JPS6027435U - 半導体基板測定装置 - Google Patents

半導体基板測定装置

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JPS6027435U
JPS6027435U JP11829083U JP11829083U JPS6027435U JP S6027435 U JPS6027435 U JP S6027435U JP 11829083 U JP11829083 U JP 11829083U JP 11829083 U JP11829083 U JP 11829083U JP S6027435 U JPS6027435 U JP S6027435U
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JP
Japan
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semiconductor substrate
measuring device
mounting plate
substrate measuring
measurement probe
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Application number
JP11829083U
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English (en)
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早瀬　茂樹
寿夫 長谷川
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の測定探針部を取付板にネジ止めした状態
図、第２図は本考案による測定探針部を取付板に真空吸
着させた状態図、第３図は測定探針部をスライドさせて
取付板上に真空吸着させた状態図である。 １・・・ウェハー、２・・・ウェハー載置台、３・・・
測定探針部、４・・・取付板、５・・・金属性測定針、
１１・・・基台、１２・・・ホース継手、１３・・・真
空ホース、１４・・・真空ポンプ、１５・・・スイッチ
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ３軸方向に移動させて半導体基板上の素子に接触させ、
    その電気的特性を測定する測定針を備えた測定探針部を
    、取付板の定位置に定着させる半導体基板測定装置にお
    いて、前記取付板に、測定探針部を真空吸着して取付板
    の定位置に定着させる真空吸着機構を設置したことを特
    徴とする半導体基板測定装置。
JP11829083U 1983-07-29 1983-07-29 半導体基板測定装置 Pending JPS6027435U (ja)

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JP11829083U JPS6027435U (ja) 1983-07-29 1983-07-29 半導体基板測定装置

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JPS6027435U true JPS6027435U (ja) 1985-02-25

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