JPH0455584U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455584U JPH0455584U JP9863690U JP9863690U JPH0455584U JP H0455584 U JPH0455584 U JP H0455584U JP 9863690 U JP9863690 U JP 9863690U JP 9863690 U JP9863690 U JP 9863690U JP H0455584 U JPH0455584 U JP H0455584U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- under test
- electrical characteristics
- casing
- measuring electrical
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは、本考案の実施例の評価治具を
示した平面図及び断面図である。第２図ａ，ｂは
従来の評価治具の一例を示した平面図及び断面図
である。 図において、１はマイクロ波集積回路測定用基
板、３は被測定素子、８は本発明による吸引用の
穴である。なお、各図中、同一符号は同一または
相当部分を示す。
示した平面図及び断面図である。第２図ａ，ｂは
従来の評価治具の一例を示した平面図及び断面図
である。 図において、１はマイクロ波集積回路測定用基
板、３は被測定素子、８は本発明による吸引用の
穴である。なお、各図中、同一符号は同一または
相当部分を示す。
Claims (1)
- 電界効果トランジスタの電気的特性測定装置に
関し、被測定素子と電気的に接続される電極を有
するマイクロ波集積回路測定用基板と、この基板
及び被測定素子を収容する筐体とを備え、前記被
測定素子を、筐体上部のふたに、外部から吸引す
ることにより被測定素子を固定することを特徴と
する半導体素子の電気的特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9863690U JPH0455584U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9863690U JPH0455584U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455584U true JPH0455584U (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=31839956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9863690U Pending JPH0455584U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455584U (ja) |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP9863690U patent/JPH0455584U/ja active Pending
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