JPS6029926A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6029926A JPS6029926A JP58138297A JP13829783A JPS6029926A JP S6029926 A JPS6029926 A JP S6029926A JP 58138297 A JP58138297 A JP 58138297A JP 13829783 A JP13829783 A JP 13829783A JP S6029926 A JPS6029926 A JP S6029926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- crystal grains
- columnar crystal
- cocr
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術骨！Ｉ！ｉ’
本発明は磁気ディスク装置に係り、特に記録情報を担う
磁気記録媒体に於て、磁性体１５面に垂直な方向に磁気
異方性を持ち、かつ耐ヘッドクラツシユ性の良い垂直磁
気記録媒体に関するものである。
磁気記録媒体に於て、磁性体１５面に垂直な方向に磁気
異方性を持ち、かつ耐ヘッドクラツシユ性の良い垂直磁
気記録媒体に関するものである。
（２）技術の背景
近年、記録媒体として磁気記録媒体例えば磁気ディスク
が各方面に而も一般にも多数使用されている。 この磁
気記録は磁性体のヒステリシス特性を利用して２値情報
を記録する。 これには高密度記録で、生産性シこ優れ
た安価で耐摩耗性に強いことが要求されている。 この
磁性体を利用した記録媒体中の垂直磁気記録媒体ＣｏＣ
ｒ薄１１Ａは六方晶系である。このＣｏＣｒのＣ軸が膜
面に垂直な方向に成長し、かつそれは柱状構造となる。
が各方面に而も一般にも多数使用されている。 この磁
気記録は磁性体のヒステリシス特性を利用して２値情報
を記録する。 これには高密度記録で、生産性シこ優れ
た安価で耐摩耗性に強いことが要求されている。 この
磁性体を利用した記録媒体中の垂直磁気記録媒体ＣｏＣ
ｒ薄１１Ａは六方晶系である。このＣｏＣｒのＣ軸が膜
面に垂直な方向に成長し、かつそれは柱状構造となる。
而もこのＣｏＣｒはＣ軸方向に磁気異方性を有している
。そしてこのＣｏＣｒが磁気記録媒体として特に利用さ
れている。
。そしてこのＣｏＣｒが磁気記録媒体として特に利用さ
れている。
（３）従来技術と問題点
従来、金属基板の１に形成されたＣｏＣｒＷν膜につい
て第１図に基いて説明する。 第１図は従来の垂直磁気
記録媒体の概略的Ｗｉ面図である。
て第１図に基いて説明する。 第１図は従来の垂直磁気
記録媒体の概略的Ｗｉ面図である。
この垂直磁気記録媒体として、ポリイミド、又はアルマ
イト処理したアルミ基板２上に例えばスパッタリングに
よりＣ，ｏＣｒ媒体が形成されている。
イト処理したアルミ基板２上に例えばスパッタリングに
よりＣ，ｏＣｒ媒体が形成されている。
”’ｆ＋’ｉＪこのスパッタリングで形成されたＣｏＣ
ｒ薄□膜は粒界３を生じ、この粒界３を境としてＣｏＣ
「の柱状結晶粒１が形成されている。この垂直磁気記録
媒体では、情報を書き込むためヘッドを浮上さ・口た場
合、ヘッドの浮上姿勢の変動、ｃｓｓ（コンタクト ス
タート ストップ）等に於て傷を生してしまい、更にこ
の傷で磁気ヘッドにまで傷が生じ所謂ヘッドクラッシュ
を起す原因となる問題を有していた。 尚、このヘッド
クラッシュはこのＣｏＣｒ媒体の磁気ディスクに傷等を
生じた場合、高速回転してい′る磁気ディスクと接触す
る磁気）ノドに損傷を与えることである。 一方、この
ヘッドクラッシュを防ぐ方法として、記録媒体であるＣ
ｏＣｒ媒体の表面に液体の潤滑剤例えばタライトソクス
等が塗布されている。
ｒ薄□膜は粒界３を生じ、この粒界３を境としてＣｏＣ
「の柱状結晶粒１が形成されている。この垂直磁気記録
媒体では、情報を書き込むためヘッドを浮上さ・口た場
合、ヘッドの浮上姿勢の変動、ｃｓｓ（コンタクト ス
タート ストップ）等に於て傷を生してしまい、更にこ
の傷で磁気ヘッドにまで傷が生じ所謂ヘッドクラッシュ
を起す原因となる問題を有していた。 尚、このヘッド
クラッシュはこのＣｏＣｒ媒体の磁気ディスクに傷等を
生じた場合、高速回転してい′る磁気ディスクと接触す
る磁気）ノドに損傷を与えることである。 一方、この
ヘッドクラッシュを防ぐ方法として、記録媒体であるＣ
ｏＣｒ媒体の表面に液体の潤滑剤例えばタライトソクス
等が塗布されている。
然し乍ら、この方法は記録媒体表面の、ｇ４沿剤が使用
時間の経過とともに次第に減少し、最後には殆どなくな
り、ヘッドクラッシュを起し易い欠点を有していた。
時間の経過とともに次第に減少し、最後には殆どなくな
り、ヘッドクラッシュを起し易い欠点を有していた。
（４，）発明の目的
本発明は、上記従来の欠点に鑑み、垂直磁気記録媒体で
ある薄膜を前記薄膜面に垂直な孤立した柱状結晶粒が形
成されることにより磁気ヘッドからの再生出力が大きく
、且つ垂直な孤立した柱状結晶粒間の隙間に潤滑剤を含
浸させることで耐ヘンドクラソシュ性が向上する垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とするものである。
ある薄膜を前記薄膜面に垂直な孤立した柱状結晶粒が形
成されることにより磁気ヘッドからの再生出力が大きく
、且つ垂直な孤立した柱状結晶粒間の隙間に潤滑剤を含
浸させることで耐ヘンドクラソシュ性が向上する垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とするものである。
（５）発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば金属の表面に形成した
該表面に垂直な磁気異方性を持つ薄膜磁性体に於て、前
記磁性体の薄膜面に垂直な孤立した磁性体の柱状結晶粒
を形成し、前記孤立した柱状結晶粒間の隙間に潤滑剤を
含浸させたことを特徴とする垂直磁気記録媒体を提供す
るごとによって達成され番。
該表面に垂直な磁気異方性を持つ薄膜磁性体に於て、前
記磁性体の薄膜面に垂直な孤立した磁性体の柱状結晶粒
を形成し、前記孤立した柱状結晶粒間の隙間に潤滑剤を
含浸させたことを特徴とする垂直磁気記録媒体を提供す
るごとによって達成され番。
（６）発明の実施例
以下本発明の一実施例を図面に基づいて詳述する。
第２図は本発明の一実施例の金属基板の上面に形成した
ＣｏＣｒ膜を表わす概略的断面図である。
ＣｏＣｒ膜を表わす概略的断面図である。
同図において、金属基板２の上面に所定条件（一般に普
通の条件）でスパッタリングするとＣｏＣｒの膜の柱状
結晶粒１が形成し、この柱状結晶粒１間の粒界を電気化
学エツチングすることで隙間４が生じる。
通の条件）でスパッタリングするとＣｏＣｒの膜の柱状
結晶粒１が形成し、この柱状結晶粒１間の粒界を電気化
学エツチングすることで隙間４が生じる。
同図に於て、金属基板２例えば表面を陽極酸！ヒしたア
ルミ基板上にスパッタリングにより略 ０゜０５μｍ厚
のＴｉ（チタニウム） ＩＱを形成したものの上面にＣ
ｏＣｒ膜（Ｃｒ量が略２０ａｔｏｍｉｃ％）がスパッタ
リングにより略１μｍ厚に形成される。この時このＣｏ
ｃｒ膜は、金属基板２に略垂直に六方晶系のＣ軸が揃っ
た柱状結晶粒を形成する。所謂、六方晶系ＣｏＣｒはＣ
軸方向に結晶磁気異方性を有しているので、金属基板２
に略垂直方、向にＣ軸が揃うことでその垂直方向に磁化
され易い。この金属基板２上面のＣｏＣｒ膜は柱状結晶
粒１に成長するとともに柱状構造の粒界３ （第１図参
照）を生じる。
ルミ基板上にスパッタリングにより略 ０゜０５μｍ厚
のＴｉ（チタニウム） ＩＱを形成したものの上面にＣ
ｏＣｒ膜（Ｃｒ量が略２０ａｔｏｍｉｃ％）がスパッタ
リングにより略１μｍ厚に形成される。この時このＣｏ
ｃｒ膜は、金属基板２に略垂直に六方晶系のＣ軸が揃っ
た柱状結晶粒を形成する。所謂、六方晶系ＣｏＣｒはＣ
軸方向に結晶磁気異方性を有しているので、金属基板２
に略垂直方、向にＣ軸が揃うことでその垂直方向に磁化
され易い。この金属基板２上面のＣｏＣｒ膜は柱状結晶
粒１に成長するとともに柱状構造の粒界３ （第１図参
照）を生じる。
次にこの金属基板２に成長したＣｏＣｒＭを例えば陽極
として希硫酸溶液中で炭素板を陰極とし電気化学エンチ
ングすることにより、ＣｏＣｒ膜の柱状構造の粒界３は
エツチングされ、ＣｏＣｒ膜は孤立した柱状結晶粒１の
構成となる。この柱状結苧粒の１コラムは例えばデジタ
ルで１ビツトに対応している。 この孤立した柱状結晶
粒間には略０．０２μｍの隙間４が生じる。 従ってこ
の隙間４に潤滑剤例えばタライトソクス（略０．０５％
）をＣｏＣｒ１５１に付着させるとともに合浸さ・Ｕる
と、この潤滑剤は磁気記録媒体を保護し、耐久性を向上
させる。 またこのＣｏＣｒ膜の孤立した柱状結晶粒は
高い保磁力を示す。 次にこの磁気ヒステリシス曲線か
ら本発明の一実施例を説明する。
として希硫酸溶液中で炭素板を陰極とし電気化学エンチ
ングすることにより、ＣｏＣｒ膜の柱状構造の粒界３は
エツチングされ、ＣｏＣｒ膜は孤立した柱状結晶粒１の
構成となる。この柱状結苧粒の１コラムは例えばデジタ
ルで１ビツトに対応している。 この孤立した柱状結晶
粒間には略０．０２μｍの隙間４が生じる。 従ってこ
の隙間４に潤滑剤例えばタライトソクス（略０．０５％
）をＣｏＣｒ１５１に付着させるとともに合浸さ・Ｕる
と、この潤滑剤は磁気記録媒体を保護し、耐久性を向上
させる。 またこのＣｏＣｒ膜の孤立した柱状結晶粒は
高い保磁力を示す。 次にこの磁気ヒステリシス曲線か
ら本発明の一実施例を説明する。
第３図は本発明の一実施例を説明する磁気ヒステリシス
曲線図である。同図に於て、Ｍ−１１曲線は横軸に磁場
１１．縦軸にｉ！１．化Ｍ＝４πＩを設定し、磁場ＩＩ
を変化させた時の磁性体の磁化状態を表わしている。
曲線図である。同図に於て、Ｍ−１１曲線は横軸に磁場
１１．縦軸にｉ！１．化Ｍ＝４πＩを設定し、磁場ＩＩ
を変化させた時の磁性体の磁化状態を表わしている。
第３図の（１）は従来のＣｏＣｒ膜の磁気ヒステリシス
曲線の一例、（２）は本発明の垂直磁気記録媒体ＣｏＣ
ｒ膜の磁気ヒステリシス曲線の一例である。
曲線の一例、（２）は本発明の垂直磁気記録媒体ＣｏＣ
ｒ膜の磁気ヒステリシス曲線の一例である。
一般的に磁気記録媒体の特性を決定する要因としては残
留磁束密度が大きく、Ｍ −Ｈ曲線（磁気ヒステリシス
曲線）が急峻であると言われている。
留磁束密度が大きく、Ｍ −Ｈ曲線（磁気ヒステリシス
曲線）が急峻であると言われている。
磁気ヒステリシス曲線に表わされる残留磁化はＭｌ、Ｍ
２の点を示し、磁性体に磁場を加え、その磁性体の磁化
が飽和して後、磁場を零としてもその磁性体が磁化して
いる量である。 この第３１ツ１での磁化、 Ｍｌが略
１２００ Ｇａｕｓｓ （ガウス）Ｍ２が略３８００
Ｇａｕｓｓと成っており本発明の実施例が非常に大きい
値を示している。
２の点を示し、磁性体に磁場を加え、その磁性体の磁化
が飽和して後、磁場を零としてもその磁性体が磁化して
いる量である。 この第３１ツ１での磁化、 Ｍｌが略
１２００ Ｇａｕｓｓ （ガウス）Ｍ２が略３８００
Ｇａｕｓｓと成っており本発明の実施例が非常に大きい
値を示している。
また保磁力とは、前述の磁気飽和状態の磁性体にその飽
和のために加えた磁場と逆向き磁場を作用さ−ｌて、磁
性体の磁化を零にした時の磁場の強さをａう。 この磁
気ヒステリシス曲線に於ける保磁力の値のＩＩ＋、＋１
２は夫々略８ｏｏｏｅ （エルステッド）、略１３００
０ｅと成り、本発明の実施例が大きい値を示している。
和のために加えた磁場と逆向き磁場を作用さ−ｌて、磁
性体の磁化を零にした時の磁場の強さをａう。 この磁
気ヒステリシス曲線に於ける保磁力の値のＩＩ＋、＋１
２は夫々略８ｏｏｏｅ （エルステッド）、略１３００
０ｅと成り、本発明の実施例が大きい値を示している。
尚、磁気ヒステリシス曲線［１１、＋２１ の磁気飽
和は略４０００ Ｇａｕｓｓ（ガウス）である。 従っ
て、本発明の一実施例は高い保磁力が得られている。こ
の結果この保磁力が増加することで、ヒステリシス曲線
が急１唆と成るため残留磁化も増加する。従って磁気記
録媒体としては非常に良いことになる。故にこの残留磁
化の増加、即ち残留磁束密度の増加はＣｏＣｒ薄膜の記
録媒体から読み出す場合、再生出力を大きくする。
和は略４０００ Ｇａｕｓｓ（ガウス）である。 従っ
て、本発明の一実施例は高い保磁力が得られている。こ
の結果この保磁力が増加することで、ヒステリシス曲線
が急１唆と成るため残留磁化も増加する。従って磁気記
録媒体としては非常に良いことになる。故にこの残留磁
化の増加、即ち残留磁束密度の増加はＣｏＣｒ薄膜の記
録媒体から読み出す場合、再生出力を大きくする。
一方、このＣｏＣｒ薄膜の表面は一般に潤１１１剤が塗
布されて磁気ヘッドの動作の際に傷が（＝Ｊかないよう
になされ、さらに、その傷が磁気へノドに傷をつ＆Ｊな
いようになされている。 而も本発明の一実施例では、
この他に柱状結晶粒１間の粒界３をエツチングしたこと
による１ｌｆｉｉ’間４にＡ’８？Ｍ剤を含浸させてい
るのでＣｏＣｒ薄膜への磁気ヘッドによる書込み、読み
出しの使用時に、夫々化を付けず、潤滑剤が減少しても
、隙間に含浸している潤滑剤が毛細管現象により浸み出
し補給する形となり耐久性の増加に繋がる。 即しこの
潤Ｗ”を剤の長い持続性は、Ｃｏ Ｃｒ薄膜の記録媒体
と磁気ヘッド間に発生ずる耐ヘンドクラソシュ性を向上
させることになる。
布されて磁気ヘッドの動作の際に傷が（＝Ｊかないよう
になされ、さらに、その傷が磁気へノドに傷をつ＆Ｊな
いようになされている。 而も本発明の一実施例では、
この他に柱状結晶粒１間の粒界３をエツチングしたこと
による１ｌｆｉｉ’間４にＡ’８？Ｍ剤を含浸させてい
るのでＣｏＣｒ薄膜への磁気ヘッドによる書込み、読み
出しの使用時に、夫々化を付けず、潤滑剤が減少しても
、隙間に含浸している潤滑剤が毛細管現象により浸み出
し補給する形となり耐久性の増加に繋がる。 即しこの
潤Ｗ”を剤の長い持続性は、Ｃｏ Ｃｒ薄膜の記録媒体
と磁気ヘッド間に発生ずる耐ヘンドクラソシュ性を向上
させることになる。
尚、本発明の一実施例において、ＣｏＣｒの柱状結晶粒
を形成した全屈基板表面に二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）或
いは一酸化ケイ素（Ｓ ｉ Ｏ）等の薄い保護層をスパ
ッタリング或いは真空蒸着等によって設りても良い。又
、この薄い保護層はＣ。
を形成した全屈基板表面に二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）或
いは一酸化ケイ素（Ｓ ｉ Ｏ）等の薄い保護層をスパ
ッタリング或いは真空蒸着等によって設りても良い。又
、この薄い保護層はＣ。
Ｃｒ薄膜の粒界がエツチングされた結果体じた隙間４を
埋め尽すことばな（、而もこの保護層はＣｏＣｒの柱状
結晶粒の頭の部分のみに付着し表面を硬くし、Ｃ０Ｃｒ
′４膜を保護する。
埋め尽すことばな（、而もこの保護層はＣｏＣｒの柱状
結晶粒の頭の部分のみに付着し表面を硬くし、Ｃ０Ｃｒ
′４膜を保護する。
（７）発明の効果
前述の詳細な説明により本発明は磁気記録媒体の膜面に
垂直な孤立した柱状結晶粒を形成することで、磁性体で
あるこの柱状結晶粒の残留磁化は従来より増加するため
記録特性の増大に繋がる。
垂直な孤立した柱状結晶粒を形成することで、磁性体で
あるこの柱状結晶粒の残留磁化は従来より増加するため
記録特性の増大に繋がる。
即ち残留磁束密度の増加は磁気ヘッドにより読み出す場
合、再生出力を大きくする有用な効果を有する。 更に
、前述の孤立した柱状結晶粒間に潤？ｈ刑を含浸させる
ことができるので磁気記録媒体の耐久性、耐ヘンドクラ
ソシュ性の向上に繋がる。
合、再生出力を大きくする有用な効果を有する。 更に
、前述の孤立した柱状結晶粒間に潤？ｈ刑を含浸させる
ことができるので磁気記録媒体の耐久性、耐ヘンドクラ
ソシュ性の向上に繋がる。
即ち、この含浸した潤滑剤は磁気記録媒体を使用してい
る時、この表面の潤滑剤が減少するのを防ぎより長い耐
久性を持たせる有用な効果を有する。
る時、この表面の潤滑剤が減少するのを防ぎより長い耐
久性を持たせる有用な効果を有する。
更に、この潤滑剤は磁気記録媒体の表面を保護する働き
を成し磁気ヘッドとの間で発生ずるヘンドクラソシュを
なくする大なる効果を有する。
を成し磁気ヘッドとの間で発生ずるヘンドクラソシュを
なくする大なる効果を有する。
第１図は従来−例の概略的断面図、第２図は本発明の一
実施例の概略的断面図、第３図は磁気ヒステリシス曲線
図である。 １・・・柱状結晶粒 ２・・・基板 ３・・・粒界 ４・・・隙間 特許出願人 富士通株式会社 第１図 ３ 第３図 Ｍ（＝ ４几Ｉ）
実施例の概略的断面図、第３図は磁気ヒステリシス曲線
図である。 １・・・柱状結晶粒 ２・・・基板 ３・・・粒界 ４・・・隙間 特許出願人 富士通株式会社 第１図 ３ 第３図 Ｍ（＝ ４几Ｉ）
Claims (3)
- （１）金属の表面に形成した該表面に垂直な磁気異方性
を持つ薄膜磁性体に於て、前記磁性体の薄膜面に垂直な
孤立した磁性体の柱状結晶粒を形成し、前記孤立した柱
状結晶粒間の隙間に潤滑剤を含浸さセたことを特徴とす
る垂直磁気記録媒体。 - （２）前記磁性体がＣｏＣｒであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体・ - （３）前記ＣｏＣｒからなる薄膜磁性体をエツチングし
たあとその表面に保護膜を形成してなる特許請求の範囲
第２項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138297A JPS6029926A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138297A JPS6029926A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029926A true JPS6029926A (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=15218585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58138297A Pending JPS6029926A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029926A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4789598A (en) * | 1987-01-20 | 1988-12-06 | International Business Machines Corporation | Thin film medium for horizontal magnetic recording having an improved cobalt-based alloy magnetic layer |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP58138297A patent/JPS6029926A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4789598A (en) * | 1987-01-20 | 1988-12-06 | International Business Machines Corporation | Thin film medium for horizontal magnetic recording having an improved cobalt-based alloy magnetic layer |
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