JPS6031300A - 半導体素子の自動選別装置の測定用接触子 - Google Patents
半導体素子の自動選別装置の測定用接触子Info
- Publication number
- JPS6031300A JPS6031300A JP13918683A JP13918683A JPS6031300A JP S6031300 A JPS6031300 A JP S6031300A JP 13918683 A JP13918683 A JP 13918683A JP 13918683 A JP13918683 A JP 13918683A JP S6031300 A JPS6031300 A JP S6031300A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体素子の製造に於ける自動選別装置の
測定用接触子に関するものである。
測定用接触子に関するものである。
従来、自動選別装置において、半導体測定装置と電気的
接続を行なう為の測定用接触子は電気的外乱の遮断を役
すために、測定用接触子の配列と平行に一枚のグランド
板を施していた。
接続を行なう為の測定用接触子は電気的外乱の遮断を役
すために、測定用接触子の配列と平行に一枚のグランド
板を施していた。
すなわち第１図において、測定用接触子１が複数本整ク
リしてお９、この先端部にて、−ｔ＆一定累子と、機械
的接続の後、電気的接続がなぢれる。ここにグランド板
２が電気的外乱の遮断を行なう為に取シつけている。測
定用接触子１とグランド板２は絶縁性の保持板３で保持
されている。ヤして測定用接触子ｌと、グランド板２を
保付しているの保持板３とを接触子取付板４の一枚の板
に組立て取付けている。
リしてお９、この先端部にて、−ｔ＆一定累子と、機械
的接続の後、電気的接続がなぢれる。ここにグランド板
２が電気的外乱の遮断を行なう為に取シつけている。測
定用接触子１とグランド板２は絶縁性の保持板３で保持
されている。ヤして測定用接触子ｌと、グランド板２を
保付しているの保持板３とを接触子取付板４の一枚の板
に組立て取付けている。
第２図は、被側定素子５の外部ルードロの副足麻接触子
１とが、機械的且′）電気的に接続きれた状態の断面図
である。この状態で、各測定用接触子に半導体測定装置
から、電気的信号及びレベルを流すと、測定用接触子が
、複数本整列しているので、それぞれの測定用＊触子間
に、電気的容量が発生する。これ【のグランド板２で、
多少なりとも、取シ除いていたが、完全に遮断できす、
被側定素子の電気的特性が、正確に測定判別できないと
いう欠点がめった。
１とが、機械的且′）電気的に接続きれた状態の断面図
である。この状態で、各測定用接触子に半導体測定装置
から、電気的信号及びレベルを流すと、測定用接触子が
、複数本整列しているので、それぞれの測定用＊触子間
に、電気的容量が発生する。これ【のグランド板２で、
多少なりとも、取シ除いていたが、完全に遮断できす、
被側定素子の電気的特性が、正確に測定判別できないと
いう欠点がめった。
本発明は、前記問題点を解消するもので、それぞれの測
定用接触子に電気的外乱の遮助手段を施したものでるる
。具体的には測定用接触子の周囲Ｋｅ縁膜をつけさらに
その外周に導電膜をつけた三重層の測定用接触子を提供
することにある。
定用接触子に電気的外乱の遮助手段を施したものでるる
。具体的には測定用接触子の周囲Ｋｅ縁膜をつけさらに
その外周に導電膜をつけた三重層の測定用接触子を提供
することにある。
以下本発明の一実施例を第３図に基づ匹て説明する。複
数の電気的外乱遮断測定用接触子７が共通グランド板８
と電気的に接続されて、接触子取付板４に組立てられて
いる。
数の電気的外乱遮断測定用接触子７が共通グランド板８
と電気的に接続されて、接触子取付板４に組立てられて
いる。
第４図は第３図の電気的外乱遮断測定用接触子７の個片
を拡大して前面にした図でろる。測定用接触子内部基体
９の外周に先端部のみを残して淳さ数十ｐｍ〜数百ｐｍ
の絶縁膜１０を密層させ、・さらにその外周に厚さ数十
Ｐｍ〜数百Ｐｍの導電膜１１ｔ−密層させ、三重層の形
状會なしている。
を拡大して前面にした図でろる。測定用接触子内部基体
９の外周に先端部のみを残して淳さ数十ｐｍ〜数百ｐｍ
の絶縁膜１０を密層させ、・さらにその外周に厚さ数十
Ｐｍ〜数百Ｐｍの導電膜１１ｔ−密層させ、三重層の形
状會なしている。
そしてこの導電膜１１は共通グランド板８を電気的に接
続させる。尚この共通グランド板は、各々の電気的外乱
遮断測定用接触子に共通に施す。
続させる。尚この共通グランド板は、各々の電気的外乱
遮断測定用接触子に共通に施す。
これによシ、各々の測定用接触子間の衡衝による電気的
外乱は遮断され、この為による被測定素子の電気的特性
の測定判別は、正確さをそこな；う・ことなく実行でき
る。
外乱は遮断され、この為による被測定素子の電気的特性
の測定判別は、正確さをそこな；う・ことなく実行でき
る。
本発明によシ、重速半導体素子の自動選別装置化が、可
能となる。
能となる。
第１図は、測定用接触子のユニｙ）図である。
第２図は、測定用接触子と被測定素子が接続された時の
断面図である。第３図は、本発明の実施例の電気的外乱
遮断測定用接触子を用いたユニット図である。第４図は
、本発明の電気的外乱遮断測定用接触子の個片断面図で
ある。 尚、図において、１−・・・・・測定用接触子、２・・
・・・・グランド板、３・・・・・・保持板、４・・・
・・・接触子取付板、５・−・・・・被測定素子、６・
・・・・・被測定素子の外部リード、７・・・・・・電
気的外乱遮断測定用接触子、８・・・・・・共通グラン
ド板、９・・・・・・測定用接触子内部、ｌ。 ・・・・・・絶縁膜、ｌｌ”−・・・導電膜である。 第 １ 母 ＃ ２ 口 第３図 第４ 図
断面図である。第３図は、本発明の実施例の電気的外乱
遮断測定用接触子を用いたユニット図である。第４図は
、本発明の電気的外乱遮断測定用接触子の個片断面図で
ある。 尚、図において、１−・・・・・測定用接触子、２・・
・・・・グランド板、３・・・・・・保持板、４・・・
・・・接触子取付板、５・−・・・・被測定素子、６・
・・・・・被測定素子の外部リード、７・・・・・・電
気的外乱遮断測定用接触子、８・・・・・・共通グラン
ド板、９・・・・・・測定用接触子内部、ｌ。 ・・・・・・絶縁膜、ｌｌ”−・・・導電膜である。 第 １ 母 ＃ ２ 口 第３図 第４ 図
Claims (1)
- 半導体素子の電気的％性を自ｌ！Ｉｌ１選別する自動選
別装置の測定用接触子が電気的外乱の遮萌手段を施こさ
れてい不ことを！憾とする測定用接触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918683A JPS6031300A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 半導体素子の自動選別装置の測定用接触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918683A JPS6031300A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 半導体素子の自動選別装置の測定用接触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6031300A true JPS6031300A (ja) | 1985-02-18 |
Family
ID=15239560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13918683A Pending JPS6031300A (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 半導体素子の自動選別装置の測定用接触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6031300A (ja) |
-
1983
- 1983-07-29 JP JP13918683A patent/JPS6031300A/ja active Pending
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