JPS6031963U - ウエハ−ポリッシング装置用重り構造 - Google Patents

ウエハ−ポリッシング装置用重り構造

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Publication number
JPS6031963U
JPS6031963U JP1983124711U JP12471183U JPS6031963U JP S6031963 U JPS6031963 U JP S6031963U JP 1983124711 U JP1983124711 U JP 1983124711U JP 12471183 U JP12471183 U JP 12471183U JP S6031963 U JPS6031963 U JP S6031963U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer polishing
weight structure
polishing equipment
abstract
drum
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983124711U
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English (en)
Inventor
浩一郎 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikoshi Machinery Corp
Original Assignee
Fujikoshi Machinery Corp
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Publication date
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Publication of JPS6031963U publication Critical patent/JPS6031963U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はポリッシング装置斜視図、第２図は本考案によ
るポリッシング装置用重り構造の実施例を示す斜視図で
ある。 図面中、３・・・・・・ポリッシング材、Ｗ・・・・・
・ウェハー、１０・・・・・・重り、１１・・・・・・
取付孔、１２・・間第−の部分、１５・・・・・・第二
の部分、１３，１４，１７．１８・・・・・・蟻溝、１
９，２０・・・・・・鼓状くさび部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 取付孔の中心を通って二分割された半円形両部材からな
    り、その相対する分割面に設けた蟻溝に鼓状くさび部が
    着脱可能に挿入されていることを特徴とするウェハーポ
    リッシング装置用重り構造。
JP1983124711U 1983-08-11 1983-08-11 ウエハ−ポリッシング装置用重り構造 Pending JPS6031963U (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5553324U (ja) * 1978-10-06 1980-04-10

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5553324U (ja) * 1978-10-06 1980-04-10

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