JPS6031964U - ウエハ−ポリッシング装置用重り構造 - Google Patents

ウエハ−ポリッシング装置用重り構造

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JPS6031964U
JPS6031964U JP1983124712U JP12471283U JPS6031964U JP S6031964 U JPS6031964 U JP S6031964U JP 1983124712 U JP1983124712 U JP 1983124712U JP 12471283 U JP12471283 U JP 12471283U JP S6031964 U JPS6031964 U JP S6031964U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer polishing
weight structure
polishing equipment
divided
parts
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983124712U
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English (en)
Inventor
浩一郎 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikoshi Machinery Corp
Original Assignee
Fujikoshi Machinery Corp
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Publication date
Application filed by Fujikoshi Machinery Corp filed Critical Fujikoshi Machinery Corp
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Publication of JPS6031964U publication Critical patent/JPS6031964U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はポリッシング装置斜視図、第２図および第３図
は本考案によるポリッシング第１図装置重り構造の実施
例を示す斜視図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）中央に取付孔が形成されていると共に、この取付
    孔を通って二分割され、かつ二分割された各部分が互い
    に係脱し得る如く、一方の分割部分には係合部が形成さ
    れ、他方の分割部分には前記係合部と係脱可能な被係合
    部が形成されていることを特徴とするウェハーポリッシ
    ング装置重り構造。 、（２）前記保合部は蟻状に形成され、かつ前記被係合
    部は蟻溝状に形成されてなる実用新案登録請求の範囲第
    （１）項に記載のウェハーポリッシング装置用重り構造
    。
JP1983124712U 1983-08-11 1983-08-11 ウエハ−ポリッシング装置用重り構造 Pending JPS6031964U (ja)

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JPS6031964U true JPS6031964U (ja) 1985-03-04

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006055921A (ja) * 2004-08-18 2006-03-02 Koushin Special Glass Co Ltd 研磨ツール

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5553324U (ja) * 1978-10-06 1980-04-10
JPH031426U (ja) * 1989-05-23 1991-01-09

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5553324U (ja) * 1978-10-06 1980-04-10
JPH031426U (ja) * 1989-05-23 1991-01-09

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006055921A (ja) * 2004-08-18 2006-03-02 Koushin Special Glass Co Ltd 研磨ツール

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