JPS6032343B2 - 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料 - Google Patents
粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料Info
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- JPS6032343B2 JPS6032343B2 JP52081164A JP8116477A JPS6032343B2 JP S6032343 B2 JPS6032343 B2 JP S6032343B2 JP 52081164 A JP52081164 A JP 52081164A JP 8116477 A JP8116477 A JP 8116477A JP S6032343 B2 JPS6032343 B2 JP S6032343B2
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料に関し、
特にそのtan6、絶縁抵抗、温度特性、DCバイアス
電圧特性が改善されたものである。
特にそのtan6、絶縁抵抗、温度特性、DCバイアス
電圧特性が改善されたものである。
近年、多結晶焼結体において、半導性をもたせた結晶の
粒界を選択的に絶縁化し、半導性結晶の表面に得た誘電
層による容量素子が製造されるようになり、従来の磁器
コンデンサに比較して非常に大きな比議電率のコンデン
サが得られることが一般に知られている。これは境界層
コンデンサといわれ、主成分としてチタン酸バリウムと
チタン酸ストロンチウムによるものがある。チタン酸バ
リウムおよびチタン酸ストロンチウムやスズ酸バリウム
などを固溶したチタン酸バリウム固溶体を主成分とする
ものをチタン酸バリウム系境界層コンデンサと称し、こ
の種のものでは比誘電率が50000〜80000と非
常に大きなものが得られ、小型の容量素子を提供してい
る。しかし、この種のチタン酸バリウム系境界層コンデ
ンサは鷺n6が3〜5%と大きく、容量温度特性も−2
5〜十85℃の温度範囲において2000における容量
を基準として土30%程度の変化を示し、またバイアス
電圧依存性はDCバイアス電圧25Vのとき、バイアス
電圧が零の場合の容量に対し約25%低下するなどの欠
点があり、コンデンサとしては実用上の有用性が制限さ
れていた。
粒界を選択的に絶縁化し、半導性結晶の表面に得た誘電
層による容量素子が製造されるようになり、従来の磁器
コンデンサに比較して非常に大きな比議電率のコンデン
サが得られることが一般に知られている。これは境界層
コンデンサといわれ、主成分としてチタン酸バリウムと
チタン酸ストロンチウムによるものがある。チタン酸バ
リウムおよびチタン酸ストロンチウムやスズ酸バリウム
などを固溶したチタン酸バリウム固溶体を主成分とする
ものをチタン酸バリウム系境界層コンデンサと称し、こ
の種のものでは比誘電率が50000〜80000と非
常に大きなものが得られ、小型の容量素子を提供してい
る。しかし、この種のチタン酸バリウム系境界層コンデ
ンサは鷺n6が3〜5%と大きく、容量温度特性も−2
5〜十85℃の温度範囲において2000における容量
を基準として土30%程度の変化を示し、またバイアス
電圧依存性はDCバイアス電圧25Vのとき、バイアス
電圧が零の場合の容量に対し約25%低下するなどの欠
点があり、コンデンサとしては実用上の有用性が制限さ
れていた。
またチタン酸ストロンチウム境界層コンデンサはtan
6が1〜3%で、温度範囲−25〜十8500における
容量変化率は土15%程度であり、またDCバイアス電
圧による変化率は25Vで−8%程度となり、前記チタ
ン酸バリウム系境界層コンデンサあるいは一般の磁器コ
ンデンサに比べて優れているが、比護電率が約3000
0で容量素子の小型化には充分でなく、またフィルムコ
ンデンサと比較してねn6および絶縁性の点で劣ってい
る。
6が1〜3%で、温度範囲−25〜十8500における
容量変化率は土15%程度であり、またDCバイアス電
圧による変化率は25Vで−8%程度となり、前記チタ
ン酸バリウム系境界層コンデンサあるいは一般の磁器コ
ンデンサに比べて優れているが、比護電率が約3000
0で容量素子の小型化には充分でなく、またフィルムコ
ンデンサと比較してねn6および絶縁性の点で劣ってい
る。
また最近SrTi03にNb2Q、Ta203、W03
、Y203、Dy203などの半導体化促進剤およびZ
n○を添加して還元性雰囲気で糠結し、Bi203また
はB;203、Pb○およびB203の混合物を拡散せ
しめて得たチタン酸ストロンチウム境界層コンデンサが
発明されているが、この種のコンデンサは比誘電率が3
5000〜50000と大きく、またねn6は1%以下
、絶縁抵抗も2×1びoQ−伽以上で、かつ温度特性も
−25〜十85ooの温度範囲において約±15%と極
めて優れている。
、Y203、Dy203などの半導体化促進剤およびZ
n○を添加して還元性雰囲気で糠結し、Bi203また
はB;203、Pb○およびB203の混合物を拡散せ
しめて得たチタン酸ストロンチウム境界層コンデンサが
発明されているが、この種のコンデンサは比誘電率が3
5000〜50000と大きく、またねn6は1%以下
、絶縁抵抗も2×1びoQ−伽以上で、かつ温度特性も
−25〜十85ooの温度範囲において約±15%と極
めて優れている。
しかし、この種のコンデンサは焼成温度が1400〜1
500o0と非常に高く、かつ焼成温度による特性の変
化が大きく、製造上の糠結の制御が困難である。本発明
は〔(1−x)Sの十xCe02十Ti02〕(ただし
、xはSr0に対するCe02のモル分率)で表される
組成物にZn○を添加してなる組成物を暁結し、しかる
後強制還元して得た半導体磁器の結晶粒界にBj203
を拡散せしめて結晶粒界を絶縁化することを特徴とする
チタン酸ストロンチウム粒界絶縁型半導体磁器コンデン
サ材料であって、前記従来の境界層コンデンサの欠点を
除き、比誘電率が大きく、tan6が小さく、絶縁抵抗
が大きく、かつ温度特性およびDCバイアス電圧特性の
優れたコンデンサを困難な温度管理を必要とせず、12
50〜135000で容易に暁結して得られる粒界絶縁
型半導体磁器コンデンサ材料を提供するものである。
500o0と非常に高く、かつ焼成温度による特性の変
化が大きく、製造上の糠結の制御が困難である。本発明
は〔(1−x)Sの十xCe02十Ti02〕(ただし
、xはSr0に対するCe02のモル分率)で表される
組成物にZn○を添加してなる組成物を暁結し、しかる
後強制還元して得た半導体磁器の結晶粒界にBj203
を拡散せしめて結晶粒界を絶縁化することを特徴とする
チタン酸ストロンチウム粒界絶縁型半導体磁器コンデン
サ材料であって、前記従来の境界層コンデンサの欠点を
除き、比誘電率が大きく、tan6が小さく、絶縁抵抗
が大きく、かつ温度特性およびDCバイアス電圧特性の
優れたコンデンサを困難な温度管理を必要とせず、12
50〜135000で容易に暁結して得られる粒界絶縁
型半導体磁器コンデンサ材料を提供するものである。
以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
本発明は〔(1−x)Sの十xCe02十Ti02〕(
ただし、xはSr0に対するCe02のモル分率)で表
される組成物にZn○をyモル%添加する場合において
、xおよびyが第1表に示した割合にあるようにSrC
03、Ti02、Ce2(C204)3・細20、Zn
0を正確な割合で秤量した後湿式混合を行ない、次いで
空気中114000で2時間予備焼成して原料粉末の分
解および固相反応を起さしめ、得られた反応生成粉末を
ボールミルで粉砕し、調整原料粉末を得た。
ただし、xはSr0に対するCe02のモル分率)で表
される組成物にZn○をyモル%添加する場合において
、xおよびyが第1表に示した割合にあるようにSrC
03、Ti02、Ce2(C204)3・細20、Zn
0を正確な割合で秤量した後湿式混合を行ない、次いで
空気中114000で2時間予備焼成して原料粉末の分
解および固相反応を起さしめ、得られた反応生成粉末を
ボールミルで粉砕し、調整原料粉末を得た。
この調整原料粉末にポリビニールアルコールを3.の重
量%添加して額粒状に造粒し、1200k9/地の圧力
で円板状に加圧成形し、空気中1250〜1350qo
で4時間焼成した。さらに焼成した磁器を水素中130
0午0で2時間還元して直径約14側◇、厚さ約0.6
柵の円板状半導体磁器を得た。次いで磁器表面にBi2
08粉末を5〜20の9塗布し、空気中130000で
2時間熱処理して、Bi203を結晶粒界に拡散せしめ
て結晶粒界を絶縁化し、得られた円板型誘電体磁器に通
常の方法で銀ペーストを塗布、乾燥し、800qoで3
0分間焼成し銀電極を形成した。このようにして作成し
たコンデンサ各試料につき、電気特性を測定した結果を
第1表に示す。
量%添加して額粒状に造粒し、1200k9/地の圧力
で円板状に加圧成形し、空気中1250〜1350qo
で4時間焼成した。さらに焼成した磁器を水素中130
0午0で2時間還元して直径約14側◇、厚さ約0.6
柵の円板状半導体磁器を得た。次いで磁器表面にBi2
08粉末を5〜20の9塗布し、空気中130000で
2時間熱処理して、Bi203を結晶粒界に拡散せしめ
て結晶粒界を絶縁化し、得られた円板型誘電体磁器に通
常の方法で銀ペーストを塗布、乾燥し、800qoで3
0分間焼成し銀電極を形成した。このようにして作成し
たコンデンサ各試料につき、電気特性を測定した結果を
第1表に示す。
なお、試料の測定に際し、容量およびtan6はキヤパ
シタンスブ−リッジを用いて周波数lkHz、入力信号
電圧IV肌sで測定し、絶繁劇抵抗は絶縁抵抗計によっ
てDC50Vを1分間印加した後の値を測定し、温度特
性は20qoを基準に各温度の容量変化率を示した。ま
た比譲露率(ごr)は14.4×容量(pF)x厚み(
弧)の計算式により求め直径x直径(地)・ なお、第1表において、試料番号1、12、13および
21は本発明の範囲外のものである。
シタンスブ−リッジを用いて周波数lkHz、入力信号
電圧IV肌sで測定し、絶繁劇抵抗は絶縁抵抗計によっ
てDC50Vを1分間印加した後の値を測定し、温度特
性は20qoを基準に各温度の容量変化率を示した。ま
た比譲露率(ごr)は14.4×容量(pF)x厚み(
弧)の計算式により求め直径x直径(地)・ なお、第1表において、試料番号1、12、13および
21は本発明の範囲外のものである。
試料番号18は3と同一試料である。試料番号2、3、
5、8、10、14、15 18 19および20の特
性をみれば、比譲電率が32000〜51000と大き
く、tan6は1.0%以下で、絶縁抵抗は50×1ぴ
Q−cの以上と大きく、温度特性は土15%以内で極め
て優れた特性をもっている。
5、8、10、14、15 18 19および20の特
性をみれば、比譲電率が32000〜51000と大き
く、tan6は1.0%以下で、絶縁抵抗は50×1ぴ
Q−cの以上と大きく、温度特性は土15%以内で極め
て優れた特性をもっている。
なお、DCバイアス電圧特性においても、25Vで−8
%以内、50Vで−20%以内と良好な値が得られた。
また試料番号3、4、5、6、7、8、9、10、11
、15、16、17の特性をそれぞれ比較すると、絶縁
抵抗が高く、かつ比護電率およびtan6が競結温度に
よってほとんど影響を受けておらず、製造上極めて好ま
しいことである。本発明の磁器誘電体組成物は結晶粒が
70〜100仏肌の範囲にあり、粒子径が揃った粒界の
鮮明な多結晶体であった。
%以内、50Vで−20%以内と良好な値が得られた。
また試料番号3、4、5、6、7、8、9、10、11
、15、16、17の特性をそれぞれ比較すると、絶縁
抵抗が高く、かつ比護電率およびtan6が競結温度に
よってほとんど影響を受けておらず、製造上極めて好ま
しいことである。本発明の磁器誘電体組成物は結晶粒が
70〜100仏肌の範囲にあり、粒子径が揃った粒界の
鮮明な多結晶体であった。
これはCe2(C204)3・8L○の添加が結晶粒の
成長および粒界の形成に大きく寄与し、Zn○の添加が
結晶粒の均一化と焼成温度の低下に寄与したものと考え
られる。ちなみに仏203、Dy203、Y203、N
Q05、Ta205等を添加し、Zn0も同時に添加し
た磁器組成物においては結晶粒子径が不揃いで、loo
仏のぐらいの巨大結晶と数ム肌〜10仏の程度の小結晶
が混在しており、焼成条件によって結晶粒を均一化する
ことは困難であった。なお、本発明の粒界絶縁型半導体
磁器コンデンサ材料を上記結果からx、yによる組成範
囲において0.003ミxSO.011および2.26
≦y≦11.3と限定した理由について説明すると、x
が0.003より4・さい範囲および0.011より大
きに範囲ならびにyが2.26より小さい範囲では第1
表の試料番号1321および1のごとく比誘電率が小さ
く本発明の目的を満足しない。
成長および粒界の形成に大きく寄与し、Zn○の添加が
結晶粒の均一化と焼成温度の低下に寄与したものと考え
られる。ちなみに仏203、Dy203、Y203、N
Q05、Ta205等を添加し、Zn0も同時に添加し
た磁器組成物においては結晶粒子径が不揃いで、loo
仏のぐらいの巨大結晶と数ム肌〜10仏の程度の小結晶
が混在しており、焼成条件によって結晶粒を均一化する
ことは困難であった。なお、本発明の粒界絶縁型半導体
磁器コンデンサ材料を上記結果からx、yによる組成範
囲において0.003ミxSO.011および2.26
≦y≦11.3と限定した理由について説明すると、x
が0.003より4・さい範囲および0.011より大
きに範囲ならびにyが2.26より小さい範囲では第1
表の試料番号1321および1のごとく比誘電率が小さ
く本発明の目的を満足しない。
またyが11.3より大きい範囲では試料番号12で示
したごとく、比誘電率は大きく、tan6も小さいが、
絶縁抵抗が小さいため境界層コンデンサとして不適であ
る。なお、実施例において、拡散物質としてBi203
を用いたがCu、Pb、Biの混合物を用いても同様の
特性が得られる。
したごとく、比誘電率は大きく、tan6も小さいが、
絶縁抵抗が小さいため境界層コンデンサとして不適であ
る。なお、実施例において、拡散物質としてBi203
を用いたがCu、Pb、Biの混合物を用いても同様の
特性が得られる。
以上説明したように、本発明による粒界絶縁型半導体磁
器コンデンサ材料は従釆の磁器コンデンサはもちろんの
こと、境界層コンデンサのtan6、絶縁抵抗、温度特
性、バイアス電圧特性を大幅に改善し、コンデンサとし
ての諸特性に優れているとともに焼給条件の管理が容易
であり、極めて新規で有用な電子部品を提供することが
できるものである。
器コンデンサ材料は従釆の磁器コンデンサはもちろんの
こと、境界層コンデンサのtan6、絶縁抵抗、温度特
性、バイアス電圧特性を大幅に改善し、コンデンサとし
ての諸特性に優れているとともに焼給条件の管理が容易
であり、極めて新規で有用な電子部品を提供することが
できるものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 xが0.3〜1.1モル%の範囲(ただし、xはS
rOに対するCeO_2のモル分率)にある。 〔(1−x)SrO+xCeO_2+TiO_2〕で表
される組成物にZnOを2.26〜11.3モル%添加
してなる粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52081164A JPS6032343B2 (ja) | 1977-07-07 | 1977-07-07 | 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52081164A JPS6032343B2 (ja) | 1977-07-07 | 1977-07-07 | 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5415197A JPS5415197A (en) | 1979-02-03 |
| JPS6032343B2 true JPS6032343B2 (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=13738807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52081164A Expired JPS6032343B2 (ja) | 1977-07-07 | 1977-07-07 | 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032343B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5731125A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-19 | Nichicon Capacitor Ltd | Dielectric porcelain composition |
-
1977
- 1977-07-07 JP JP52081164A patent/JPS6032343B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5415197A (en) | 1979-02-03 |
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