JPS60324A - 磁気スケ−ル - Google Patents
磁気スケ−ルInfo
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- JPS60324A JPS60324A JP10804483A JP10804483A JPS60324A JP S60324 A JPS60324 A JP S60324A JP 10804483 A JP10804483 A JP 10804483A JP 10804483 A JP10804483 A JP 10804483A JP S60324 A JPS60324 A JP S60324A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気スケールに係る。
磁気スケールは磁性金属線材に所望のビット長（Ｎ−８
極間の長さ）で磁気書き込みを施し、磁極から湧き出る
磁束を磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子という）のよ
うな磁気センサーで検知して出力信号として処理し、長
さを測定あるいは位置を決定するものである。したがっ
て、前記磁性金属線材とＭＲ素子の位置関係は最も良好
な出力信号が得られるように配置することが、高精度の
磁気スケールを製造する上て重要である。特にＭｌ（素
子と磁性金属線材の位置関係は、第１図（ａ）のように
磁性金属線材がＭＲ素子の長さ方向の中心に位置するよ
うにしなければならない。なぜならば、第１図（ｌ〕）
のように磁性金属線材の上空にＭＲ素子が位置しない場
合はＭＲ素子は抵抗変化を全く起さず、また第１図（ｃ
）のようにＰＪＲ素子の一部が位置していたとしても磁
性金属線材から湧き出る磁束を有効に利用出来ないため
Ｍ几素子の抵抗変化は小さく、シたがって感度が悪くな
る。ここで１は磁性金属線材、２は磁束、３はＭＩＩＬ
素子である。また、ＭＲ素子の長さ方向の中心に磁性金
属線材が位置しない場合に、位置合せするだめの位置調
節機構を取りつけると、その機構は複雑となυ、磁気ス
ケールは高価なものになる。もちろん、第２図のように
ＭＲ素子と磁性金属線材の距離ｄによっても、前記のよ
うに出力信号に影響を与えるが、その調節機構は簡単で
ある。また、予め前記距離の最適値がわかっていれば、
前記値になるように磁気スケールを製造すればよい。
極間の長さ）で磁気書き込みを施し、磁極から湧き出る
磁束を磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子という）のよ
うな磁気センサーで検知して出力信号として処理し、長
さを測定あるいは位置を決定するものである。したがっ
て、前記磁性金属線材とＭＲ素子の位置関係は最も良好
な出力信号が得られるように配置することが、高精度の
磁気スケールを製造する上て重要である。特にＭｌ（素
子と磁性金属線材の位置関係は、第１図（ａ）のように
磁性金属線材がＭＲ素子の長さ方向の中心に位置するよ
うにしなければならない。なぜならば、第１図（ｌ〕）
のように磁性金属線材の上空にＭＲ素子が位置しない場
合はＭＲ素子は抵抗変化を全く起さず、また第１図（ｃ
）のようにＰＪＲ素子の一部が位置していたとしても磁
性金属線材から湧き出る磁束を有効に利用出来ないため
Ｍ几素子の抵抗変化は小さく、シたがって感度が悪くな
る。ここで１は磁性金属線材、２は磁束、３はＭＩＩＬ
素子である。また、ＭＲ素子の長さ方向の中心に磁性金
属線材が位置しない場合に、位置合せするだめの位置調
節機構を取りつけると、その機構は複雑となυ、磁気ス
ケールは高価なものになる。もちろん、第２図のように
ＭＲ素子と磁性金属線材の距離ｄによっても、前記のよ
うに出力信号に影響を与えるが、その調節機構は簡単で
ある。また、予め前記距離の最適値がわかっていれば、
前記値になるように磁気スケールを製造すればよい。
本発明は上記のように、ＭＲ素子の長さ方向の中心に磁
性金属線材が位置し、ＭＲ素子の長さ方向の位置の調節
が不必要な高精度の磁気スケールを提供するものである
。
性金属線材が位置し、ＭＲ素子の長さ方向の位置の調節
が不必要な高精度の磁気スケールを提供するものである
。
すなわち本発明はその長手方向に直角な断面が台形状又
は台形部分を有する形状である非磁性基体であって、該
台形部分を構成する３つの面のうち対向する２つの面に
はさまれた中間に位置する面に前記長手方向に沿って溝
が形成されておシ、該溝に磁気的に硬い磁性金属線材が
設置されている複合基体と、前記非磁性基体の台形部分
と該、台形部分の対向する２つの面のみと接して嵌合す
る凹状部を有する非磁性基体であって前記磁性金属線材
と対向する位置に磁気センサーが取付けられ、前記磁性
金属線材に沿って移動可能な非磁性体可動部とを有する
ことを特徴とする磁気スケール。
は台形部分を有する形状である非磁性基体であって、該
台形部分を構成する３つの面のうち対向する２つの面に
はさまれた中間に位置する面に前記長手方向に沿って溝
が形成されておシ、該溝に磁気的に硬い磁性金属線材が
設置されている複合基体と、前記非磁性基体の台形部分
と該、台形部分の対向する２つの面のみと接して嵌合す
る凹状部を有する非磁性基体であって前記磁性金属線材
と対向する位置に磁気センサーが取付けられ、前記磁性
金属線材に沿って移動可能な非磁性体可動部とを有する
ことを特徴とする磁気スケール。
次に本発明の構成要素について説明する。
本発明で使用する磁性金属線材は他の既知の冷間加工可
能な永久磁石合金として知られているＦｅＣｒＣｏ系合
金、ＦｅＣｏＶ系あるいはＣｕｎｌｆｅ合金に比べ、本
発明者らによって、すでに提案されているＦｅ −Ｃｏ
−Ｍｎ −Ｃ合金Ｃ特願５６−１５４３６９）あるい
は前記合金に８ｉ 、 Ｖ 、 Ｍｏ 、 Ｗ、 Ｂ
、 Ｃｒ、ＢｅあるいはＴｉを単体あるいは２種以上含
む合金が望ましい。磁性金属線材を埋込む非磁性基体お
よびＭＲ素子を取シ付ける非磁性基体およびＭＲ素子を
取シ付ける非磁性基体は非磁性であれば、アルミニウム
あるいはその合金、銅あるいはその合金、ベークライｉ
るいは日本工業規格における５ＴＪＳ３０３あるいは５
ＵＳ３０４のいずれでもかまわない。
能な永久磁石合金として知られているＦｅＣｒＣｏ系合
金、ＦｅＣｏＶ系あるいはＣｕｎｌｆｅ合金に比べ、本
発明者らによって、すでに提案されているＦｅ −Ｃｏ
−Ｍｎ −Ｃ合金Ｃ特願５６−１５４３６９）あるい
は前記合金に８ｉ 、 Ｖ 、 Ｍｏ 、 Ｗ、 Ｂ
、 Ｃｒ、ＢｅあるいはＴｉを単体あるいは２種以上含
む合金が望ましい。磁性金属線材を埋込む非磁性基体お
よびＭＲ素子を取シ付ける非磁性基体およびＭＲ素子を
取シ付ける非磁性基体は非磁性であれば、アルミニウム
あるいはその合金、銅あるいはその合金、ベークライｉ
るいは日本工業規格における５ＴＪＳ３０３あるいは５
ＵＳ３０４のいずれでもかまわない。
磁性金属線材を埋込む溝の形状および横断面が台形の形
状はたとえば第３図（ａ）又は（ｂ）のような形状が考
えられる。
状はたとえば第３図（ａ）又は（ｂ）のような形状が考
えられる。
Ｍ几素子を取シ付ける非磁性体の可動部にＭＲを取シ付
けた例を第４図（ａ）および（ｂ）に示す。
けた例を第４図（ａ）および（ｂ）に示す。
また、２個の斜面のなす角度は４０°〈θ＜１４０°の
範囲が望ましい。
範囲が望ましい。
ここで４は非磁性基体、５は溝、６は非磁性基体の斜面
、７は非磁性体可動部、８はばね、９は非磁性体可動部
の凹部を形成する斜面、１０は絶縁体、１１．１２はネ
ジである。
、７は非磁性体可動部、８はばね、９は非磁性体可動部
の凹部を形成する斜面、１０は絶縁体、１１．１２はネ
ジである。
すなわち第４図（ａ）では台形部に嵌合する凹部を有し
、この凹状部にはばね８と絶縁体１０を介して磁気セン
サー３（たとえば磁気抵抗効果素子）が取付けられ、第
４図（ｂ）ではこの磁気センサー３がなじ１２でその位
置を調節できるようになっている。
、この凹状部にはばね８と絶縁体１０を介して磁気セン
サー３（たとえば磁気抵抗効果素子）が取付けられ、第
４図（ｂ）ではこの磁気センサー３がなじ１２でその位
置を調節できるようになっている。
以下、実施例にもとすいて説明する。
第５図（ａ）に示すように８１Ｊ Ｓ ３０３を使用し
た非磁性基体４に溝５、斜面６を形成し、溝５にＦｅＣ
ｏＭｎＣ系合金線材を埋込んだ。非磁性基体４の長さは
１０００ ｍであった。非磁性基体４０２個の斜面６と
第５図（、）のように接触する斜面９を形成したＭＲ素
子を取９付ける非磁性体可動部７を製作し、磁性金属線
材１がＭＲ素子３の長さ方向の中心に対向して位置する
ように基体７にＭＲ素子３を取シ付け、第５図（、）の
ように組み立てだ。基体７はＳ Ｕ Ｓ ３０３で製作
し、長さは５０ｍとした。
た非磁性基体４に溝５、斜面６を形成し、溝５にＦｅＣ
ｏＭｎＣ系合金線材を埋込んだ。非磁性基体４の長さは
１０００ ｍであった。非磁性基体４０２個の斜面６と
第５図（、）のように接触する斜面９を形成したＭＲ素
子を取９付ける非磁性体可動部７を製作し、磁性金属線
材１がＭＲ素子３の長さ方向の中心に対向して位置する
ように基体７にＭＲ素子３を取シ付け、第５図（、）の
ように組み立てだ。基体７はＳ Ｕ Ｓ ３０３で製作
し、長さは５０ｍとした。
また、磁性金属線材１とＭＲ素子３の距離ｄは６０μｍ
±１０μｍとなるように製作した。
±１０μｍとなるように製作した。
尚、第３図および４図のＬおよびθは次のようにした。
非磁性基体４のＬおよびθおよびその公差（２個の斜面
の一方を基準面とする）は Ｌ ＝ ２０ ｍ −０，０２１、θ−９０° ＜０．
０１非磁性基体７のＬおよびθおよびその公差（２個の
斜面の一方を基準面とする）は Ｌ−２０Ｗ−＋０゛０２１．θ−９０・ ＜０．０１次
に基体４と基体７を一体とするため、第５図（ｂ）のよ
うに止め台１４を使用した場合の磁気スケールを第５図
（ａ）のθの寸法を用いて製作した。止めネジ１３は基
体４と基体７がなめらかに摺動するように調節した。
の一方を基準面とする）は Ｌ ＝ ２０ ｍ −０，０２１、θ−９０° ＜０．
０１非磁性基体７のＬおよびθおよびその公差（２個の
斜面の一方を基準面とする）は Ｌ−２０Ｗ−＋０゛０２１．θ−９０・ ＜０．０１次
に基体４と基体７を一体とするため、第５図（ｂ）のよ
うに止め台１４を使用した場合の磁気スケールを第５図
（ａ）のθの寸法を用いて製作した。止めネジ１３は基
体４と基体７がなめらかに摺動するように調節した。
磁性金属線材に８０μｍのビット長で磁気ヘッドを使用
して磁気書き込みを施し、４− ＢｒｉｄｇｅＭＲ素子
でビット長を８分割して１０μｍ、ｌ＋０１μｍの間隔
の出力信号を得た。
して磁気書き込みを施し、４− ＢｒｉｄｇｅＭＲ素子
でビット長を８分割して１０μｍ、ｌ＋０１μｍの間隔
の出力信号を得た。
本発明の磁気スケールの磁性金属線材の埋込まれ方は第
６図（ａ）、 （ｂ）のように非磁性基体４と磁性金属
線材１が同一平面をなしているような場合、又は第７図
（ａ）、 （ｂ）のように非磁性基体４の面に対して磁
性金属線材ｌが凸状になっている場合でもよい。
６図（ａ）、 （ｂ）のように非磁性基体４と磁性金属
線材１が同一平面をなしているような場合、又は第７図
（ａ）、 （ｂ）のように非磁性基体４の面に対して磁
性金属線材ｌが凸状になっている場合でもよい。
第１図及び第２図は磁性金属線材とＭＲ素子との配置関
係を示す図、第３図は本発明に用いる磁性金属線材を埋
込むだめの非磁性基体の実施例の横断面図、第４図は本
発明に用いる非磁性体可動部の実施例の横断面図、第５
図は本発明の実施例を示す磁性金属線材を埋込んだ非磁
性体基体とＭＲ素子を取シ付けだ非磁性体可動部を組み
立てた場合の横断面図、第６図及び第７図は磁性金属線
＃が埋込まれた非磁性基体の例を示す断面図、である。 これらの図で１は磁性金属線材、２は磁束、３は磁気セ
ンサー、４は非磁性基体、５は溝、６，９は斜面、７は
非磁性体可動部、８はばね、１０は絶縁体、１１，１２
．１３はねじ、１４は止め台である。 ７１ 図 ） ２２ 図 ≦ ７３ 図 オ ４ 図 θ ；＋ ５ 図 ７Ｉ−６図
係を示す図、第３図は本発明に用いる磁性金属線材を埋
込むだめの非磁性基体の実施例の横断面図、第４図は本
発明に用いる非磁性体可動部の実施例の横断面図、第５
図は本発明の実施例を示す磁性金属線材を埋込んだ非磁
性体基体とＭＲ素子を取シ付けだ非磁性体可動部を組み
立てた場合の横断面図、第６図及び第７図は磁性金属線
＃が埋込まれた非磁性基体の例を示す断面図、である。 これらの図で１は磁性金属線材、２は磁束、３は磁気セ
ンサー、４は非磁性基体、５は溝、６，９は斜面、７は
非磁性体可動部、８はばね、１０は絶縁体、１１，１２
．１３はねじ、１４は止め台である。 ７１ 図 ） ２２ 図 ≦ ７３ 図 オ ４ 図 θ ；＋ ５ 図 ７Ｉ−６図
Claims (1)
- その長手方向に直角な断面が台形状又は台形部分を有す
る形状である非磁性基体であって、該台形部分を構成す
る３つの面のうち対向する２つの面にはさまれた中間に
位置する面に前記長手方向に沿って溝が形成されており
、該溝に磁気的に硬い磁性金属線材が設置されている複
合基体と、前記非磁性基体の台形部分と該台形部分の対
向する２つの面のみと接して嵌合する凹状部を有する非
磁性基体であって前記磁性金属線材と対向する位置に磁
気センサーが取付けられ、前記磁性金属線材に沿って移
動可能な非磁性体可動部とを有することを特徴とする磁
気スケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10804483A JPS60324A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10804483A JPS60324A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60324A true JPS60324A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14474511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10804483A Pending JPS60324A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60324A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209535A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-22 | ユ−オ−ピ−・インコ−ポレ−テツド | オルト−ビアルキル置換単環芳香族異性体の分離方法 |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10804483A patent/JPS60324A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209535A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-22 | ユ−オ−ピ−・インコ−ポレ−テツド | オルト−ビアルキル置換単環芳香族異性体の分離方法 |
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