JPS6033264A - 炭化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は炭化ケイ素焼結体の製造方法に係り、特に高耐
圧電気絶縁性に優れた炭化ケイ素焼結体の製造方法に関
する。

〔発明の背景〕

炭化ケイ素焼結体は、一般に炭化ケイ素粉に酸化ベリリ
ウムを２重量％程度混合し、緻密に焼結して得られてい
る。このようにして（Ｇられた炭化ケイ素焼結体は１０
０ｖ／ｃｎ１の電界強度で１０１３Ωｃｒｎ（Ｒ，Ｔ）
の抵抗率を有し、１００ＯＶ／ｍの電界強度で１　ｇｌ
ｌΩｔＭ（几、Ｔ）程度の抵抗率を有している。しかし
、近年、炭化ケイ素焼結体についてはより高耐圧電気絶
縁性の性能を有するものが要望されているが、従来の炭
化ケイ素焼結体は耐電圧の点で改善の余地が残されてい
た。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、耐電圧性に優れた電気絶縁性炭化ケイ
素焼結体の製造方法を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明者らは、原料炭化ケイ素粉に合成条件が異なるも
のや、微量の添加物を混合するなど、焼結体原料組成が
電気絶縁特性に及ばず影響を検討し、遊離ケイ素の割合
が焼結体の耐電圧に顕著な影響を及ぼすことを見い出し
た。

すなわち、従来、炭化ケイ累焼結体の製造に用いられる
炭化ケイ素粉は遊離ケイ素が０，２７重量％程度のもの
が用いられているが、遊離ケイ素の割合が０．３〜０．
８重量％の炭化ケイ素粉を用いると、１００ＯＶ／口の
電界強度で１０１３Ωｍ以上（几、Ｔ）の耐電圧性に優
れた炭化ケイ素焼結体が得られる。

本発明において、炭化ケイ素粉は０．５〜２０μｍの平
均粒径をもつのが望ましい。炭化ケイ素粉の平均粒径を
０．５μｍより小さくしても炭化ケイ素焼結体の性能は
実質的に変らず、又は粒径を必要以上に小さくすること
は実用的ではなく、一方平均粒径が２０μｍよりも太き
いと、緻密な焼結体が得られず、所定の性能（高制圧電
気絶縁性）が得られない。

また焼結方法はホットプレス法に限らず、従来公知の焼
結手段がいずれも適用しつる。また炭化ケイ素粉中の遊
離ケイ素量の調整は炭化ケイ素粉の合成粂件等によりて
行うことができる。

〔発明の実施例〕

実施例 原料割合や合成栄件を制御してアチソン法で作った遊離
ケイ素割合が異なるαタイグ炭化ケイ素粉（第１表のＡ
１〜屋８であって、溶解性鉄分、酸化ケイ素、および遊
離ケイ素以外の不純物は、３．５重量％以下である）を
粉砕して平均粒径的２μｍのものを作製した。この粉末
５００ｇに対しベリリア１０ｇを混合し圧粉体としたも
のを黒鉛型に充填、真空容器中で２１００Ｃ，３００に
９／ｃｒ＆。

に１時間ホットプレスして焼結体を作製した。

（図中、数値は重量％を示す） 得られた焼結体の電圧−電流特性の例を第１図に示す。

第１図において、１は第１表の墓２の焼結体、２は墓１
の焼結体、３はＡ８の焼結体である。第１図から明らか
なように本実施例の屋２（遊離ケイ素０．３０重量％）
は高耐電圧を示している。

第２図は、Ｍ１表の４１〜Ａ８の焼結体の電界強度、１
０００　Ｖ　／　ｃｎｔにおける抵抗率を示している。

第２図から明らかなように原料として用いる炭化ケイ素
が０．３〜０．８重量％では１０００　Ｖ　／　ｃｍの
電界強度で１０１３ΩｃＩｎ（ＲｏＴ）以上となってい
る。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、原料として用いる炭化ケ
イ素粉中の遊離ケイ素量を調整するのみで高耐電圧性に
優れた電気絶縁性炭化ケイ素焼結体を製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は遊離ケイ素量が異なる炭化ケイ素粉を用いた焼
結体の常温における電圧−電流特性図、第２図は電界強
度１０００■１０ｎにおける常温の抵抗率と遊離ケイ素
量との関係図である。 代理人　弁理士　鵜沼辰之

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、炭化ケイ素粉にベリリウム又はベリリウム化合物を
   少なくとも１種以上混合した原料組成物を焼結する炭化
   ケイ素焼結体の製造方法において、前記炭化ケイ素粉中
   の遊離ケイ素量がα３〜０．８重量％であることを特徴
   とする炭化ケイ素焼結体の製造方法。