JPS6034086B2 - カラ−・フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−・フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6034086B2 JPS6034086B2 JP59142239A JP14223984A JPS6034086B2 JP S6034086 B2 JPS6034086 B2 JP S6034086B2 JP 59142239 A JP59142239 A JP 59142239A JP 14223984 A JP14223984 A JP 14223984A JP S6034086 B2 JPS6034086 B2 JP S6034086B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- color
- solid
- light receiving
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はカラー面体撮像素子のカラー・フィル夕に関す
るものである。
るものである。
最近、工業用あるいは家庭用のＶＴＲの普及に伴って、
小型、軽量で使い易いテレビカメラの需要が高まってい
る。
小型、軽量で使い易いテレビカメラの需要が高まってい
る。
そこで、半導体集積回路（一般にＩＣまたはＢＩ）を使
用した固体テレビカメラは、従釆の撮像管の面板および
電子ビーム発生部分がＩＣ基板に置き換って、独立した
固体撮像素子になっている。これは電子ビームを使用し
ないため、安定性が良く、消費電力が少なく、取扱いが
簡便であるなどの点で撮像管より優れており、次代のテ
レビカメラとして期待されている。この園体撮像素子は
層状に形成され、半導体基板部分とカラー・フィルタ部
分とから成っている（侍開昭５３−４７２２４）。上記
カラー・フィル夕は、一般に、増感剤を加えたゼラチン
膜のような染色媒体を所定の回路を備えた半導体基板上
に塗布し、これをマスクを使用して露光、現像を行なっ
た後、染色して所定のカラー・フィル夕・パターンを形
成する。他のカラー・フィル夕を形成する場合には、さ
らに、染色されない高分子樹脂からなる混色防止保護膜
をコーティングしてから、第２色目用のゼラチン膜を塗
布して、以下、上記の工程を繰返すことによってフィル
夕・パターンを形成する。従来、このようにして形成さ
れたフィル夕・パターンははがれ易いという欠点があっ
た。〔発明の目的〕 本発明の副鰍ま、はがゆこくい固体撮像素子用ヵラー・
フィル夕の製造方法を得ることである。
用した固体テレビカメラは、従釆の撮像管の面板および
電子ビーム発生部分がＩＣ基板に置き換って、独立した
固体撮像素子になっている。これは電子ビームを使用し
ないため、安定性が良く、消費電力が少なく、取扱いが
簡便であるなどの点で撮像管より優れており、次代のテ
レビカメラとして期待されている。この園体撮像素子は
層状に形成され、半導体基板部分とカラー・フィルタ部
分とから成っている（侍開昭５３−４７２２４）。上記
カラー・フィル夕は、一般に、増感剤を加えたゼラチン
膜のような染色媒体を所定の回路を備えた半導体基板上
に塗布し、これをマスクを使用して露光、現像を行なっ
た後、染色して所定のカラー・フィル夕・パターンを形
成する。他のカラー・フィル夕を形成する場合には、さ
らに、染色されない高分子樹脂からなる混色防止保護膜
をコーティングしてから、第２色目用のゼラチン膜を塗
布して、以下、上記の工程を繰返すことによってフィル
夕・パターンを形成する。従来、このようにして形成さ
れたフィル夕・パターンははがれ易いという欠点があっ
た。〔発明の目的〕 本発明の副鰍ま、はがゆこくい固体撮像素子用ヵラー・
フィル夕の製造方法を得ることである。
〔発明の概要〕本発明者の実験によれば、染色体を熱処
理後染色することによって、染色館は若干低下するけれ
ども、実用上問題がなく、熱処理によって染色媒体パタ
ーンと基板との接着性が増大し、パターンがはがれるこ
とはなくなり、また熱処理によって膨潤状態にある染色
媒体パターンが収縮し、良好な形状が形成されることが
わかった。染色媒体として使用されるゼラチンは約２２
０ｑＣ上で分解し、約２００つ０を越えると多少変質す
るから、上記熱処理の温度範囲の上限は特に厳格に守ら
れなければならない。本発明によるカラー・フィル夕の
製造方法は、上記目的を達成するために、固体撮像素子
の受光部を有する半導体基板上にゼラチン層を塗布し、
マスク・パターンを介して露光し、現像した後、１５０
００から２００００までの間の温度、より好ましくは１
８０００から２００ｑｏまでの間の温度で熱処理し、そ
の後に染色してカラー・フィル夕を得たものである。
理後染色することによって、染色館は若干低下するけれ
ども、実用上問題がなく、熱処理によって染色媒体パタ
ーンと基板との接着性が増大し、パターンがはがれるこ
とはなくなり、また熱処理によって膨潤状態にある染色
媒体パターンが収縮し、良好な形状が形成されることが
わかった。染色媒体として使用されるゼラチンは約２２
０ｑＣ上で分解し、約２００つ０を越えると多少変質す
るから、上記熱処理の温度範囲の上限は特に厳格に守ら
れなければならない。本発明によるカラー・フィル夕の
製造方法は、上記目的を達成するために、固体撮像素子
の受光部を有する半導体基板上にゼラチン層を塗布し、
マスク・パターンを介して露光し、現像した後、１５０
００から２００００までの間の温度、より好ましくは１
８０００から２００ｑｏまでの間の温度で熱処理し、そ
の後に染色してカラー・フィル夕を得たものである。
実施例の１
第１図は本発明による固体撮像素子の要部の断面図であ
る。
る。
半導体基板には赤色のための受光領域２、緑色のための
受光領域３、および青色のための受光領域４が形成され
ている。上記受光領域２，３，４およびＳｉ基板１は保
護膜７によって覆われている。上記保護膜７上にゼラチ
ンを重クロム酸アンモンで増感した感光性樹脂を１．７
〃ｍで塗布し、クロム・マスク・パターンを介して露光
し、４０℃の温水現像により赤色のための受光領域２に
対応するパターンを形成し、その後１８０℃で３０分間
熱処理後赤色染料で染色し、赤色のカラー・フィル夕８
を形成した。
受光領域３、および青色のための受光領域４が形成され
ている。上記受光領域２，３，４およびＳｉ基板１は保
護膜７によって覆われている。上記保護膜７上にゼラチ
ンを重クロム酸アンモンで増感した感光性樹脂を１．７
〃ｍで塗布し、クロム・マスク・パターンを介して露光
し、４０℃の温水現像により赤色のための受光領域２に
対応するパターンを形成し、その後１８０℃で３０分間
熱処理後赤色染料で染色し、赤色のカラー・フィル夕８
を形成した。
温色防止保護膜５をその上に形成した後、以上と全く同
様の操作を繰り返して、緑色のための受光領域３に対応
して緑色のカラー・フィル夕９を、青色のための受光領
域４に対応して青色のカラー・フィル夕１０を形成し、
３色構成積層原色フィル夕を形成した。その結果、パタ
ーンはがれがなく、良好なカラー・フィル夕として満足
できるものが得られた。実施例の２ 固体撮像素子基板上に、実施例１と同機にして有機物に
よって保護膜を形成し、その上に０．７仏ｍの厚みのゼ
ラチン・パターンを形成した。
様の操作を繰り返して、緑色のための受光領域３に対応
して緑色のカラー・フィル夕９を、青色のための受光領
域４に対応して青色のカラー・フィル夕１０を形成し、
３色構成積層原色フィル夕を形成した。その結果、パタ
ーンはがれがなく、良好なカラー・フィル夕として満足
できるものが得られた。実施例の２ 固体撮像素子基板上に、実施例１と同機にして有機物に
よって保護膜を形成し、その上に０．７仏ｍの厚みのゼ
ラチン・パターンを形成した。
その後、２００ｑｏで３０分間間熱処理後、シアン酸性
染料によってゼラチンを染色した。その結果、固体撮像
素子用カラー・フィル夕として良好な分光特性を有し、
しかもはがれのない膜が得られた。〔発明の効果〕上記
のように本発明によるカラー・フィル夕の製造方法は、
固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラチン
層を塗布し、マスク・パターンを介して露光し、現像し
た後、１５０から２００℃までの間の温度、より好まし
くは１８０ｑｏから２００℃までの間の温度で熱処理し
、その後染色してカラー・フィル夕としたことにより、
はがれりくし、固体撮像素子用のカラー・フィル夕を得
ることができる。
染料によってゼラチンを染色した。その結果、固体撮像
素子用カラー・フィル夕として良好な分光特性を有し、
しかもはがれのない膜が得られた。〔発明の効果〕上記
のように本発明によるカラー・フィル夕の製造方法は、
固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラチン
層を塗布し、マスク・パターンを介して露光し、現像し
た後、１５０から２００℃までの間の温度、より好まし
くは１８０ｑｏから２００℃までの間の温度で熱処理し
、その後染色してカラー・フィル夕としたことにより、
はがれりくし、固体撮像素子用のカラー・フィル夕を得
ることができる。
第１図は本発明による固体緑像素子の要部の断面図であ
る。 １・・・・・・Ｓｉ基板、２・・…・赤色のための受光
領域、３・・・・・・緑色のための受光領域、４・・・
・・・青色のための受光領域、７……保護膜、８……赤
色のカラ−・フィル夕、９・・・…緑色のカラー・フィ
ル夕、１０・・・・・・青色のカラー・フィル夕。
る。 １・・・・・・Ｓｉ基板、２・・…・赤色のための受光
領域、３・・・・・・緑色のための受光領域、４・・・
・・・青色のための受光領域、７……保護膜、８……赤
色のカラ−・フィル夕、９・・・…緑色のカラー・フィ
ル夕、１０・・・・・・青色のカラー・フィル夕。
Claims (1)
- １ 固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラ
チン層を塗布し、マスク・パターンを介して露光し、現
像した後、１５０から２００℃までの間の温度、より好
ましくは１８０℃から２００℃までの間の温度で熱処理
し、その後に染色してなるカラー・フイルタの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59142239A JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59142239A JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041005A JPS6041005A (ja) | 1985-03-04 |
| JPS6034086B2 true JPS6034086B2 (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=15310666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59142239A Expired JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6034086B2 (ja) |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP59142239A patent/JPS6034086B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6041005A (ja) | 1985-03-04 |
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