JPS6034262B2 - 真空封止装置 - Google Patents
真空封止装置Info
- Publication number
- JPS6034262B2 JPS6034262B2 JP319877A JP319877A JPS6034262B2 JP S6034262 B2 JPS6034262 B2 JP S6034262B2 JP 319877 A JP319877 A JP 319877A JP 319877 A JP319877 A JP 319877A JP S6034262 B2 JPS6034262 B2 JP S6034262B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- workpiece
- vacuum box
- workbench
- lid
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- Vacuum Packaging (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は部品を収納した容器と蓋とを重ね合せ真空中で
加熱し、所定温度で容器と蓋との接合面に予め設けた接
合剤を溶融させて封止する真空封止装置に関するもので
ある。
加熱し、所定温度で容器と蓋との接合面に予め設けた接
合剤を溶融させて封止する真空封止装置に関するもので
ある。
真空封止装置における加工装置として、少なくとも加熱
装置と加圧装置を必要とする。
装置と加圧装置を必要とする。
従来はかかる加工装置が真空箱の内部に配設されている
ため、真空箱が大型化しかつ真空効率が悪い欠点があっ
た。特に時計に用いられる水晶振動子等は極めて小型の
もので、これを封止する容器も例えば３×２×７側程度
と小さく、通常容器を保持臭上に保持させた状態で作業
が行なわれる。かかる小物部品の真空加工装置において
は、特に真空箱の小型化及び真空効率の向上が強く要望
されていた。本発明はかかる要望を充すことのできる真
空封止装置を提供することを目的とする。
ため、真空箱が大型化しかつ真空効率が悪い欠点があっ
た。特に時計に用いられる水晶振動子等は極めて小型の
もので、これを封止する容器も例えば３×２×７側程度
と小さく、通常容器を保持臭上に保持させた状態で作業
が行なわれる。かかる小物部品の真空加工装置において
は、特に真空箱の小型化及び真空効率の向上が強く要望
されていた。本発明はかかる要望を充すことのできる真
空封止装置を提供することを目的とする。
以下本発明を図示の実施例に基づき説明する。
第１図は封止加工の施されるワークを示す。ワーク１０
は部品１１を入れたセラミック製の容器１２と、この容
器１２を密封するためのガラス製の蓋１３とよりなる。
そして、これら容器１２と蓋１３との接合面にはそれそ
れれ所定温度で溶融するはんだ等の接合剤が予め付けら
れている。第２図は前記ワーク１０を保持する保持具を
示す。保持具２０１こは容器１２に蓋１３を重ねたワー
ク１０を挿入するための有底の角溝部２１が長手方向に
沿って複数個設けられており、この角溝部２１の中央部
にそれぞれ角溝部２１の短辺より大きな直径の貫通孔２
２が穿設されている。また外周両端には保持臭２０を収
納するマガジンの爪部が係合するつば部２３Ａ，２３Ｂ
が、両側面には搬送用の切欠き２４Ａ，２４８，２４Ｃ
，２４Ｄがそれぞれ設けられている。第３図は本発明に
なる真空封止装置の概略構成説明図である。
は部品１１を入れたセラミック製の容器１２と、この容
器１２を密封するためのガラス製の蓋１３とよりなる。
そして、これら容器１２と蓋１３との接合面にはそれそ
れれ所定温度で溶融するはんだ等の接合剤が予め付けら
れている。第２図は前記ワーク１０を保持する保持具を
示す。保持具２０１こは容器１２に蓋１３を重ねたワー
ク１０を挿入するための有底の角溝部２１が長手方向に
沿って複数個設けられており、この角溝部２１の中央部
にそれぞれ角溝部２１の短辺より大きな直径の貫通孔２
２が穿設されている。また外周両端には保持臭２０を収
納するマガジンの爪部が係合するつば部２３Ａ，２３Ｂ
が、両側面には搬送用の切欠き２４Ａ，２４８，２４Ｃ
，２４Ｄがそれぞれ設けられている。第３図は本発明に
なる真空封止装置の概略構成説明図である。
即ち、本装置を大別すると、真空発生装置３川こより、
内部を真空に保持される真空箱３１と、この真空箱内部
の右側上部に配設されワーク１０がセットされた保持具
２０を積上げ収納してなる供給マガジン３２と、同様に
真空箱３１内部の左側上部に配設されかつ同様の構成よ
りなり加工済のワークがセットされた保持臭２０を収納
する収納マガジン３３と、前記両マガジン３２，３３間
に配設され保持具２川こ加工を施すために真空箱内に配
設された内部加工装置５０及び真空箱外に配設され前記
内部加工装置における作業位置に位置決めされたワーク
を加熱する外部加熱装置７川こより構成された本発明の
要旨をなす加工装置と、前記供給マガジン３２、内部加
工装置５０の位置及び収納マガジン３３の下方にそれぞ
れれ同一高さで配談してなる３つの供給台３４、作業台
３５、収納台３６と、供給マガジン３２の最下段より保
持臭２０を順次供給台３４上に戦層させる供給装置３７
と、収納台３６の保持臭２０押上げて収納マガジン３３
内に下方より”頂次積重ねて収納する収納装置３８と、
保持具２０を供給台３４、作業台３５、収納台３６の案
内面に沿って加工作業位置及び収納位置に間欠移送する
移送装置３９と、真空箱外部の配設され前記各装置を駆
動させるための駆動装置（図示せず）とよりなる。また
前記供給マガジン３２の側面には準備加熱用ヒータ４０
が設けられている。
内部を真空に保持される真空箱３１と、この真空箱内部
の右側上部に配設されワーク１０がセットされた保持具
２０を積上げ収納してなる供給マガジン３２と、同様に
真空箱３１内部の左側上部に配設されかつ同様の構成よ
りなり加工済のワークがセットされた保持臭２０を収納
する収納マガジン３３と、前記両マガジン３２，３３間
に配設され保持具２川こ加工を施すために真空箱内に配
設された内部加工装置５０及び真空箱外に配設され前記
内部加工装置における作業位置に位置決めされたワーク
を加熱する外部加熱装置７川こより構成された本発明の
要旨をなす加工装置と、前記供給マガジン３２、内部加
工装置５０の位置及び収納マガジン３３の下方にそれぞ
れれ同一高さで配談してなる３つの供給台３４、作業台
３５、収納台３６と、供給マガジン３２の最下段より保
持臭２０を順次供給台３４上に戦層させる供給装置３７
と、収納台３６の保持臭２０押上げて収納マガジン３３
内に下方より”頂次積重ねて収納する収納装置３８と、
保持具２０を供給台３４、作業台３５、収納台３６の案
内面に沿って加工作業位置及び収納位置に間欠移送する
移送装置３９と、真空箱外部の配設され前記各装置を駆
動させるための駆動装置（図示せず）とよりなる。また
前記供給マガジン３２の側面には準備加熱用ヒータ４０
が設けられている。
さらにまた本装置には供給マガジン３２及び収納マガジ
ン３３を真空箱３１内にセットする時に、外気と共にゴ
ミ等が真空箱３１に入るのを防止するためにクリーンエ
ヤー用コンブレツサ４１が配設されている。次に本発明
の要旨をなす内部加工装置５０及び外部加熱装置７０の
構成について説明する。第４図は内部加工装置を示し、
ａは平面図、ｂは断面側面図である。真空側壁３１ａに
固定した支持体５１上には作業台３５と、加工位置に搬
送された保持臭２０上にワーク上面とわずかな間隙を有
しかつ後述する加圧ピンによって上昇させられたワーク
１０と当援する受板５２とが設けられている。この受板
５２は例えば耐熱石英ガラスのような熱透過性の材料を
用いる。また真空側壁３１ａ及び支持体５１を貫通して
回動軸５３が設けられている。
ン３３を真空箱３１内にセットする時に、外気と共にゴ
ミ等が真空箱３１に入るのを防止するためにクリーンエ
ヤー用コンブレツサ４１が配設されている。次に本発明
の要旨をなす内部加工装置５０及び外部加熱装置７０の
構成について説明する。第４図は内部加工装置を示し、
ａは平面図、ｂは断面側面図である。真空側壁３１ａに
固定した支持体５１上には作業台３５と、加工位置に搬
送された保持臭２０上にワーク上面とわずかな間隙を有
しかつ後述する加圧ピンによって上昇させられたワーク
１０と当援する受板５２とが設けられている。この受板
５２は例えば耐熱石英ガラスのような熱透過性の材料を
用いる。また真空側壁３１ａ及び支持体５１を貫通して
回動軸５３が設けられている。
この回動軸５３に固定された作動レバー５４の先端のロ
ーラは、案内棒５５，５６に沿って上下駆動される昇降
部材５７に係合している。この昇降部村５７には上方に
付勢された上下可動の加圧ピン５８が作業台３５に設け
られた貫通長溝３５ａの中にあって上方に突出する如く
保持具２０上のワークと同間隔位直に配設されている。
またこの昇降部材５７には発熱体を埋設したアルミ体よ
りなる予備加熱装置５９が固定されており、この予備加
熱装置５９の温度は温度センサー（図示せず）によって
制御されるようになている。また前記作業台３５内には
冷却水を循環させるための水路６０が穿設されており、
外部ポンプ（図示せず）にパイプ等で蓮通されている。
そしてこの冷却温度は温度センサー（図示せず）によっ
て制御されるようになっている。第５図はワーク保持具
の搬送方向に垂直な断面図で、真空箱内部の図示は省略
してなる。外部加熱装置７川ま前記内部加工装置５０‘
こ対応する真空箱３１の上方外部に配設してなり、保持
具２０上に多数並べられたワーク１０の方向に集熱する
反射板７１を有するライン型赤外線ヒータ７２を備えて
なる。この赤外線ヒータ７２は図示しないタイマーによ
って制御され、真空箱３１の上部に設けた熱透過性ガラ
ス板７３及び前記受板５２を通してワーク１０を所定温
度に加熱し、ワーク１０の容器１２と蓋１３間に付着さ
れた接合剤を溶融させる働きをなす。次にかかる構成よ
りなる本装置の作動について説明する。
ーラは、案内棒５５，５６に沿って上下駆動される昇降
部材５７に係合している。この昇降部村５７には上方に
付勢された上下可動の加圧ピン５８が作業台３５に設け
られた貫通長溝３５ａの中にあって上方に突出する如く
保持具２０上のワークと同間隔位直に配設されている。
またこの昇降部材５７には発熱体を埋設したアルミ体よ
りなる予備加熱装置５９が固定されており、この予備加
熱装置５９の温度は温度センサー（図示せず）によって
制御されるようになている。また前記作業台３５内には
冷却水を循環させるための水路６０が穿設されており、
外部ポンプ（図示せず）にパイプ等で蓮通されている。
そしてこの冷却温度は温度センサー（図示せず）によっ
て制御されるようになっている。第５図はワーク保持具
の搬送方向に垂直な断面図で、真空箱内部の図示は省略
してなる。外部加熱装置７川ま前記内部加工装置５０‘
こ対応する真空箱３１の上方外部に配設してなり、保持
具２０上に多数並べられたワーク１０の方向に集熱する
反射板７１を有するライン型赤外線ヒータ７２を備えて
なる。この赤外線ヒータ７２は図示しないタイマーによ
って制御され、真空箱３１の上部に設けた熱透過性ガラ
ス板７３及び前記受板５２を通してワーク１０を所定温
度に加熱し、ワーク１０の容器１２と蓋１３間に付着さ
れた接合剤を溶融させる働きをなす。次にかかる構成よ
りなる本装置の作動について説明する。
真空箱３１の関口部（図示せず）より供給部にワ−ク１
０を保持した保持具２０を積重ね収納した供給マガジン
３２を取付ける。また同様に収納部に空の収納マガジン
３３を取付ける。次に閉口部を閉止し、真空箱３１内を
真空発生装置３川こより所定の真空圧にしてから始動さ
せる。そこで、供給装置３７によって供給マガジン３２
の下端開放部より打頂次保持臭２０が供給台３４上に載
直され、移送装置３９によって作業台３５上に加工装置
に移送される。次に内部加工装置５０の回動軸５３の回
動により昇降部材５７が上昇し、作業台３５上に載置さ
れた保持臭２０の各ワーク１０はそれぞれの加圧ピン５
８が下から当接して保持臭２０から押し出さればね力で
受板５２に一定の力でそれぞれ押圧され、昇降部材５７
は作業台３５に接触した位置で停止する。
０を保持した保持具２０を積重ね収納した供給マガジン
３２を取付ける。また同様に収納部に空の収納マガジン
３３を取付ける。次に閉口部を閉止し、真空箱３１内を
真空発生装置３川こより所定の真空圧にしてから始動さ
せる。そこで、供給装置３７によって供給マガジン３２
の下端開放部より打頂次保持臭２０が供給台３４上に載
直され、移送装置３９によって作業台３５上に加工装置
に移送される。次に内部加工装置５０の回動軸５３の回
動により昇降部材５７が上昇し、作業台３５上に載置さ
れた保持臭２０の各ワーク１０はそれぞれの加圧ピン５
８が下から当接して保持臭２０から押し出さればね力で
受板５２に一定の力でそれぞれ押圧され、昇降部材５７
は作業台３５に接触した位置で停止する。
予備加熱装置５９の加熱がワークー川こに伝達され、作
業台３５のセンサが所定温度を達したことを感知すると
、外部加熱装置７０の赤外線ヒータ７２によりワークに
所定時間高温加熱が行なわれる。これにより、ワーク１
０の容器１２と蓋１３の接合面の接合剤が溶融し、両者
が所定圧で押圧された状態で接合される。そこで、外部
加熱装置７０の赤外線ヒータ７２が消灯され、作業台３
５に穿設された水路６川こ冷却水が循環され、ワークは
冷却される。
業台３５のセンサが所定温度を達したことを感知すると
、外部加熱装置７０の赤外線ヒータ７２によりワークに
所定時間高温加熱が行なわれる。これにより、ワーク１
０の容器１２と蓋１３の接合面の接合剤が溶融し、両者
が所定圧で押圧された状態で接合される。そこで、外部
加熱装置７０の赤外線ヒータ７２が消灯され、作業台３
５に穿設された水路６川こ冷却水が循環され、ワークは
冷却される。
ワークが所定温度まで冷却されると、冷却水の循環は停
止する。その後、昇降部材５７が下降してワーク１川ま
作業台３５上の保持具２０の元の位置に教壇される。こ
のようにして所定の熱処理加工作業が行なわれ、再び移
送送層３９により収納台３６上の収納位置に移送され、
収納装置３８によって収納マガジン３３内に下から積上
げ収納される。
止する。その後、昇降部材５７が下降してワーク１川ま
作業台３５上の保持具２０の元の位置に教壇される。こ
のようにして所定の熱処理加工作業が行なわれ、再び移
送送層３９により収納台３６上の収納位置に移送され、
収納装置３８によって収納マガジン３３内に下から積上
げ収納される。
このような一連の動作を順次繰返し、供給マガジン内の
全ての保持臭２０のワーク１０が加工され、収納マガジ
ン３３内に収納されると、本装置の駆動は停止する。
全ての保持臭２０のワーク１０が加工され、収納マガジ
ン３３内に収納されると、本装置の駆動は停止する。
そして、クリーンエヤー用コンブレッサ４１を作動させ
、真空箱３１内の開口部より空の供給マガジン３２及び
加工済のワークが収納された収納マガジン３３を取出し
、新しくワークの収納された供給マガジン３２及び空の
収納マガジン３３と交換する。この場合、真空箱３１内
はクリーンエヤー用コンブレツサ４１により大気圧若し
くは大気圧より高くなっているので、外部よりゴム等を
真空箱内に引込むことはない。以上の説明から明らかな
如く、本発明になる真空封止装置によれば、加工装置の
主要部を占める加熱装置を真空箱外部に配設してなるの
で、真空箱ひいては装置全体の小型化及び真空効率の向
上がはかれる。また加熱装置が外部に配設されるため、
取付調整及び交換等が容易になる。
、真空箱３１内の開口部より空の供給マガジン３２及び
加工済のワークが収納された収納マガジン３３を取出し
、新しくワークの収納された供給マガジン３２及び空の
収納マガジン３３と交換する。この場合、真空箱３１内
はクリーンエヤー用コンブレツサ４１により大気圧若し
くは大気圧より高くなっているので、外部よりゴム等を
真空箱内に引込むことはない。以上の説明から明らかな
如く、本発明になる真空封止装置によれば、加工装置の
主要部を占める加熱装置を真空箱外部に配設してなるの
で、真空箱ひいては装置全体の小型化及び真空効率の向
上がはかれる。また加熱装置が外部に配設されるため、
取付調整及び交換等が容易になる。
第１図はは封止加工の施されるワークの一例を示す斜視
図、第２図はワークを保持する保持具の一例を示し、ａ
は平面図、ｂは断面側面図、第３図は本発明になる真空
封止装置の一実施例を示す概略構成説明図、第４図は内
部加工装置を示す、ａは平面図、ｂは断面図、第５図は
外部加熱装置部の搬送方向に垂直な断面図である。 １０……ワーク、１１……部品、１２……容器、１３・
・・・・・蓋、２０・・・・・・保持具、２１・…・・
角溝部、３０・・・・・・真空発生装置、３１・・・・
・・真空箱、３５・・・・・・作業台、５０…・・・内
部加工装置、５２・・・・・・受板、５７・・・・・・
昇降部材、５８・・・…加工ピン、７０・・・・・・加
熱装置、７２・・・・・・赤外線ヒータ。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
図、第２図はワークを保持する保持具の一例を示し、ａ
は平面図、ｂは断面側面図、第３図は本発明になる真空
封止装置の一実施例を示す概略構成説明図、第４図は内
部加工装置を示す、ａは平面図、ｂは断面図、第５図は
外部加熱装置部の搬送方向に垂直な断面図である。 １０……ワーク、１１……部品、１２……容器、１３・
・・・・・蓋、２０・・・・・・保持具、２１・…・・
角溝部、３０・・・・・・真空発生装置、３１・・・・
・・真空箱、３５・・・・・・作業台、５０…・・・内
部加工装置、５２・・・・・・受板、５７・・・・・・
昇降部材、５８・・・…加工ピン、７０・・・・・・加
熱装置、７２・・・・・・赤外線ヒータ。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- １ 部品を収納した容器と蓋とよりなるワークを真空中
で加熱し、所定温度で容器と蓋との接合面に予め設けた
接合剤を溶融させて封止する真空封止装置において、内
部を真空に保持される真空箱と、この真空箱内に配設さ
れワークを載置する保持具を作業位置に保持する作業台
と、この作業台上方に配設され熱透過性の材料よりなる
受板と、この受板にワークを下方より加圧する加圧ピン
を備えて上下可動な昇降部材と、前記真空箱の外部に配
設され前記受板を通して加圧状態のワークを加熱する加
熱装置とよりなる真空封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP319877A JPS6034262B2 (ja) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | 真空封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP319877A JPS6034262B2 (ja) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | 真空封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5388952A JPS5388952A (en) | 1978-08-04 |
| JPS6034262B2 true JPS6034262B2 (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=11550715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP319877A Expired JPS6034262B2 (ja) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | 真空封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6034262B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2890065B1 (fr) * | 2005-08-30 | 2007-09-21 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'encapsulation d'un composant, notamment electrique ou electronique au moyen d'un cordon de soudure ameliore |
-
1977
- 1977-01-14 JP JP319877A patent/JPS6034262B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5388952A (en) | 1978-08-04 |
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