JPS6034834B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数個の放電路を有するガスレーザ管を備え
たガスレーザ装置に関し、特に前記放電路それぞれの放
電電流安定化と、それぞれの放電電流の平衛化を図った
ガスレーザ装置に関する。

従来、複数個の放電路を有するガスレーザ管を備えたガ
スレーザ装置では、放電路の放電電流を一定にするため
、それぞれの放電路に定電流回路を設けることが行なわ
れている。すなわち、第１図に示すように、レーザ電源
１，１′のそれぞれ一つの出力端を安定抵抗３，３′を
通してガスレーザ管４のアノード６，６′に接続し、他
端をトランジスタ１０，１０′と、電流検出抵抗１３，
１３′とを通してアースし、さらにガスレーザ管４のカ
ソード５もアース接続する。かくして、ガスレーザ管４
の放電路９，９′はそれぞれ放電し、その放電電流を電
流検出抵抗１３，１３′で検出し、その出力電圧と、基
準電源１４，１４′との差電圧はトランジスタ１０，１
０′のベース電流を供給し、差電圧が一定になるように
制御している。しかし、トランジスタ１０，１０′の周
囲温度が上昇し、トランジスタ１０，１０′の温度が上
昇した場合、トランジスター０，１０′のコレクタ飽和
電流も上昇し、前記放電電流自身の変化要因がなくとも
、この放電電流は増加し、また、トランジスタ１０，１
０′の温度特性の不均一によって、それぞれの放電電流
は不平衡状態となる。本発明の目的は、温度変化やレー
ザ電源出力電圧の変動があったも複数個の放電路のそれ
ぞれの放電電流の安定化と、平衝化が保たれるガスレー
ザ装置を提供することにある。

次に第２図について本発明を具体的に説明する。

レーザ電源１，１′のそれぞれ一つの出力端を安定抵抗
３，３′を通してガスレーザ管４のアノード６，６′に
接続し、池端を電流制御素子であるトランジスタ１０，
１０′と、電流検出抵抗１３，１３′とを通して、ガス
レーザ管４のカソード５と同電位のアースに接続すると
、ガスレーザ管４の放電路９，９′はそれぞれ放電し、
ミラー７，７′が構成する光共振器と相互作用を発振し
、レーザ光８を発生する。そして、放電路９，９′の放
電電流は電流検出抵抗１３，１３′の両端の出力電圧Ｖ
ｊ，Ｖｉ′となる。通常、出力電圧Ｖｉ，Ｖｉ′と基準
電源１４の出力電圧Ｖｓとを比較増幅器１２，１２′で
増幅し、Ｖｏ，Ｖひとして、比較増幅器１１，１１′に
供給される。また、出力電圧ＶｉとＶｉ′との差電圧を
比較増幅器１６で増幅し、次式のＶｉ″となる。Ｖｉ″
＝Ｋ（Ｖｉ−Ｖｉ′）；Ｋは増幅係数このＶｉは比較増
幅器１１と、ィンバータ１５を通じて比較増幅器１１′
とに供給される。

比較増幅器１ １，１１′はＶｏとＶｉ″との差電圧と
、Ｖｏ′とＶｉ″との差電圧とをそれぞれ増幅し、トラ
ンジスタ１０，１０′のベースに供給し、差電圧が０に
なるように制御している。ここで、トランジスタ１０，
１０′の周囲温度が上昇し、トランジスタ１０，１０′
の温度が上昇した場合や、レーザ電源１，１′の出力電
圧が上昇した場合に、ガスレーザ管４の放電路９，９′
の電流は増加し、電流検出抵抗１３，１３′の出力電圧
ｙｉ，Ｖｊ′も負電圧が増加する。

前言己出力電圧Ｖｉ，Ｖｉ′の負電圧が増加すると比較
増幅器１２，１２′の出力電圧Ｖｏ，Ｖｏ′の負電圧は
増加し、比較増幅器１１，１１′の出力の負電圧が減少
し、トランジスタ１０，１０′のベース、エミッタ電流
を減少させ、前記それぞれの放電電流の増加を阻止する
ことによりその放電電流を安定化する。また、前記それ
ぞれの放電電流に差が生じた場合電流検出抵抗１３，１
３′の出力電圧Ｖｉ，Ｖｉ′にも差が生じる、そこでＶ
ｉの負電圧がＶｉ′の負電圧より大きくなった場合、比
較増幅器１６の出力電圧の負電圧は増加し、比較増幅器
１１の出力電圧の負電圧は減少し、トランジスタ１０の
べ−ス電流を減少させＶｉの負電圧を減少させる。一方
ィンバータ１５の出力の負電圧は減少し、比較増幅器１
１′の出力電圧は増加し、トランジスタ１０′のベース
電流を増加させ、Ｖｒを増加させ、前記のそれぞれの放
電電流を平衛化する。よって、本発明のガスレーザ装置
は、周囲温度やレーザ電源出力電圧が変動しても、前記
のそれぞれの放電電流安定化と、それぞれの放電電流の
平衝化が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のガスレーザ装置を示す概略ブロック図、
第２図は本発明のガスレーザ装置を示す概略ブロック図
である。 １，１′……レーザ電源、４……ガスレーザ管、５……
カソード、６，６′……アノード、７，７′…・・・光
共振器、８…・・・レーザ出力、９，９′……放電路、
１０，１０′・・・…電流制御素子（トランジスタ）、
１１，１１′，１２，１２′，１６…・・・比較増幅器
、１３，１３′・・・・・・電流検出抵抗、１４，１４
′・・・・・・基準電源、１５・…・・ィンバータ。 豹’図 菊そ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 複数個の放電路を有するガスレーザ管と、このレー
   ザ管用のレーザ電源１，１′と、該放電路の放電電流を
   別々に検出する電流検出抵抗１３，１３′と、一定の電
   圧を発生する基準電源１４と、基準電源１４の電圧と電
   流検出抵抗１３，１３′のそれぞれの出力電圧との差電
   圧を増幅する増幅回路１２，１２′と、電流検出抵抗１
   ３，１３のそれぞれの出力電圧の差電圧を増幅する増幅
   回路１６と、増幅回路１６の出力電圧を反転するインバ
   ータ１５と、増幅回路１２′の出力電圧とインバータ１
   ５の出力電圧の差電圧を増幅する増幅回路１１′と、増
   幅回路１２の出力電圧と増幅回路１６の出力電圧との差
   電圧を増幅する増幅回路１１と、増幅回路１１，１１′
   の出力電圧により制御される前記レーザ電源の電流制御
   素子１０，１０′とを具備し、この制御により前記放電
   電流を一定に維持するようにしたガスレーザ装置。