JPS6036504A - 感光性樹脂の製法 - Google Patents

感光性樹脂の製法

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JPS6036504A
JPS6036504A JP14589083A JP14589083A JPS6036504A JP S6036504 A JPS6036504 A JP S6036504A JP 14589083 A JP14589083 A JP 14589083A JP 14589083 A JP14589083 A JP 14589083A JP S6036504 A JPS6036504 A JP S6036504A
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JP
Japan
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group
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chalcone
carboxychalcone
trinitrochlorobenzene
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JP14589083A
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JPS6328442B2 (ja
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Shoji Watanabe
渡辺 庄司
Susumu Harashima
進 原島
Noriaki Tsukada
典明 塚田
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
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Agency of Industrial Science and Technology
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  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂の製法に関するものである。さらに
詳しくいえば本発明は、光架橋性基としてカルコン基ま
たはその誘導体基を拮つ感光性樹脂の製法に関するもの
である。
これまで、カルコンまたはその誘導体基を有する感光性
樹脂の合成はポリベンザルアセトフェノンにアルデヒド
を反応させる方法、ポリスチレンに桂皮酸クロライドを
フリーデル・クラフト反応させる方法などが知られてい
る。これらの方法では光架橋性基の高い置換率の感光性
樹脂は得られずこれに帰因して感度か低い。吏に従来の
合成法では反応時間を長く必要とし。
ゲル化を生じるなどの問題点がある。
本発明者らは、このような従来の感光性樹脂の製法のも
つ欠点を克服すべ(鋭意研究を重ねた結果、一般式(1
)で表わされるカルフンまたはその誘導体を2.4.6
−トリニトロクロルベンゼンの存在下でアルコール性水
酸基をもつ重合体または共重合体に直接反応させること
に成功し2本発明をなすに至った。
すなわち本1明はアルコール性水酸基をもつ重合体また
は共重合体に 一般式 (式中のRI、 R2,Rsは前記と同じ意味を示す)
で表わされるカルコン誘導体を有効量の2,4゜6−ト
リニトロクロルベンゼンの存在下で反応させることを特
徴とする。
一般式 (式中のR,、R2、Rs は前記と同じ意味を示す) で表わされる基を有する感光性樹脂の製法を提供するも
のである。
本発明に於て用いられるアルコール性水酸基をもつ重合
体または共重合体としてはボリビニルアルコール、ポリ
ヒドロキシエチルアクレート、ヒドロキシエチルアクリ
レート−スチレン共重合体、ヒドロキシエチルメタクリ
レート−メチルメタクリレート共重合体、ポリ−2−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレンとポリ
ビニルアルコールの共重合体などを小げることが出来る
。また一般式(1)で表わされるカルコン誘導体として
は4−カルボキシカルコン、4−カルボキシカルコン、
4−シアノ−4=カルボキシカルコン、4−nプロピル
−3−カルボキシカルコン、4′−クロロ−2−hルホ
キシカルコン、4−二トロー4−カルボキシカルコン、
3−メチル−2−カルボキシカルコン。
4−メj・キシカルコン、3−メトキシカルボニル−4
−カルボキシカルコンなどを挙げることが出来る。また
本発明に使用される有機塩基としてはピリジン、トリエ
チルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、1,4−ジ
゛アザビシクロ(2,2,2)オクタンなどを挙げるこ
とが出来る。
反応溶媒の例としてはN、N−ジメチルアセトアミド、
N、N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホギシド
、ヘキサメチルポスホリックトリアミドなどを挙げるこ
とができる。反応温度は20℃から100℃の範囲が望
ましいがこれに限定されるものではない。この際のカル
コン誘導体と2.4.6−)リニトロクロルクロルベン
ゼンのモル比は1:1から1=1.5の範囲で選ばれる
。しかしこれに限定されるものではない。また必要に応
じて使用される有機塩基とカルコン誘導体のモル比は2
:1から5:1の範囲が望ましいがそれ以外であっても
よい。
反応生成物は反応混合液を水に注油することにより得ら
れる。
本発明によって提供される感光性樹脂はこの有効量を有
機溶剤に溶解して溶液となし、アルミニウム板、銅板、
亜鉛板、銅張り積層板などの支持体表面上に、流延、吹
付け、塗布などの手段で施し、乾燥して製膜することが
できる。
このようにして得られる感光性膜は基体とする高分子の
物性を受継ぎ2強靭であり、かつ支持体との密着性かよ
い。このようにして得られた塗膜にネカを通して光照射
を行い、未露光部を溶剤で除去すると陰画像が得られる
。そして感度が極めて高くまた化学的に安定でいわゆる
暗反応が起こらないために溶液状態および製膜状態での
品質維持が容易である。そのためにフォトレジスト、印
刷用PSJk、金属エツチングマスクなどの用途に好適
である。
次に本発明を実施例により訂細に説明する。
実施例1 −m合度14oo、ケン化度85%のポリビニルアルコ
ール1gをジメチルアセトアミド80m1 に溶解しこ
れに4−カルボキシカルコン7.44gと2.4.6−
トリニトロクロルベンセン7、30 g ヲ加え、さら
にピリジン12gを添加し80℃で4時間反応させる。
次に得られた反応混合物を大過剰の水に注加して目的と
する感光性樹脂を単離する。エタノールで洗浄後。
乾燥した。収量は2.71gであった。このものの紫外
線吸収スペクトルを調べたところ吸収極大は3101m
であり、これからカルコン基の導入率を調べたところ6
0%であった。さらに赤外線吸収スペクトルを調べたと
ころカルコン基に基づく吸収が15Q5cm−’+及び
1665cm”−’ に認められた。
実施例2 重合度1700.ケン化度85%のポリビニルアルコー
ル0.44gをジメチルアセトアミド40m1に溶解し
これに4′−〇プロピルー4−カルボキシカルコン3.
82gと2.4.6−ドリニトロクロルベンゼン3.2
1gを加え、さらにピリジン5.1gを添加し85℃で
2時間反応さぜる。次に得られた反応混合物を大過剰の
エタノールに注加して目的とする感光性樹脂を単離する
。エタノールで洗浄後、乾燥した。収量は2.12gで
あった。このものの紫外線吸収スペクトルを調べたとこ
ろ吸収極大は3 Q 5 nmであり、これからカルコ
ン基の導入率を調べたところ6796であった。さらに
赤外線吸収スペクトルを調べたところカルコン基に基づ
く吸収が1600 Cm−’ 、及び1650Cm−’
 に認めら、れた。
実施例3 重合度2000.ケン化度85%のポリビニルアルコー
ル044gをジメチルアセトアミド40m1 に溶解し
これに4−クロロ−4−カルボキシカルコン3.72g
と2.4.6−1リニトロクロルベンセン3.21gを
加え、サラ1ごピリジン51gを添加し80°Cで23
時間反応さぜる。次に得られた反応混合物を大過剰のエ
タノールに注加して目的とする感光性樹脂を単離する。
エタノールで洗浄後、乾燥した。収量は2.55gであ
った。このものの紫外線吸収スペクトルを調べたところ
吸収極大は315 nmであり、これからカルコン基の
導入率を調べたところ76%であった。さらに赤外線吸
収スペクトルを調べたところカルコン基に基づく吸収が
1600 cm−’ r及び1665 cm−’に認め
られた。
実施例4 重合度1700.ケン化度90%のポリビニルアルコー
ル0.25gをジメチルアセトアミド2 Q Tll 
1に溶解しこれに45メチル−3−カルボキシカルコン
1.97gと2.4.6−)リニトロクロルベンゼン1
.83gを加え、さらにピリジン3.2gを添加し85
℃で4時間反応さぜる。次に得られた反応混合物を大過
剰のエタノールに注加して目的とする感光性樹脂を単離
する。エタノールで洗浄後2乾燥した。収量は0、92
 gであった。このものの紫外線吸収スペクトルを調べ
たところ吸収極太は316 nmであり、これからカル
コン基の導入率を調べたところ59%であった。さらに
赤外線吸収スペクトルを調べたところカルコン基に基づ
く吸収が1605cm−’、及び16600m−’に認
められた。
実施例5 重合度500.ケン化度85%のポリビニルアルコール
0.25gをジメチルスルホキシト゛20m1に溶解し
これに3−ニトロ−3−カルボキシカルフン219gと
2.4.6−トリニトロクロルベンゼン183gを加え
、さらにピリジン3.4gを添加し、70℃で25 ’
J6’ Ijt+反応さゼる。
次に得られた反応混合物を大過剰のエタノールに注加し
て目的とする感光性樹脂を単離する。
エタノールで洗浄後、乾燥した。収量は1.35gであ
った。このものの紫外線吸収スペクトルを調べたところ
吸収極大は320 nmであり。
これからカルコン基の導入率を調べたところ70%であ
った。さらに赤外線吸収スペクトルを調べたところカル
コン基に基づく吸収が1600cm−’ 、及び168
5 Cm−’ K認められた。
実施例6 重合度2100.ケン化度87%のポリビニルアルコー
ル0.25gをジメチルホルムアミド20m1に溶解し
これに2′−ニトロ−4−カルボキシカルコン2.19
gと2.4.6−)リニトロクロルベンゼン1.83g
を加え、さらにピリジン3.2gを添加し80℃で24
時間反応させる。次に得られた反応混合物を大過剰のエ
タノールに注加して目的とする感光性樹脂を単離する。
エタノールで洗浄後、乾燥した。収量は1.28gであ
った。このものの紫外線吸収スペクトルを調べたところ
吸収極大は319 nmであり、これからカルコン基の
導入率を調べたところ68%であった。さらに赤外線吸
収スペクトルを調べたところカルコン基に基ずく吸収か
1600cm−’+及びl 585 cm−’ に認め
られた。またニトロ基に基ずく吸収が1560Cm″、
”1350 c−m−” ニ認?b ラレf、:、。
実施例7 分子量45000のポリヒドロキシエチルアクリレート
1.15gをジメチルポルムアミド80m1に溶解しこ
れに4−カルボキシカルコン2.52gと2.4.6−
)リニトロクロルベンゼン2.53gを加え、さらにピ
リジン4.2gを添加し40℃で24時間反応させる。
次に得られた反応混合物を大過剰のエタノールに注加し
て目的とする感光性樹脂を単離する。エタノールで洗浄
後、乾燥した。収量は3.24gであった。このものの
紫外線吸収スペクトルを調べたところ吸収極大は310
 nmであり、これからカルコン基の導入率を調べたと
ころ87%であった。さらに赤外線吸収スペクトルを調
べたところカルコン基に基づく吸収が1605 crn
−’。
及び1665 Cm−’ に認められた。
特許出願人 工業技術院長 川田裕部

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 アルコール性水酸基をもつ重合体または共重合体に 一般式 (式中のR1,R2はどちらか一つはオキソメチレン結
    合であり、他は単なる結合、R3は水素原子、アルキル
    基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アルコキシカ
    ルボニル基、ハロゲン原子である) で表わされるカルコン誘導体を有効量の2,4゜6−ト
    リニトロクロルベンゼンの存在下で反応させることを特
    徴とする。 一般式 (式中のR,、R2,Rs は前記と同じ意味を示す) で表わされる基を有する感光性樹脂の製法。
JP14589083A 1983-08-10 1983-08-10 感光性樹脂の製法 Granted JPS6036504A (ja)

Priority Applications (1)

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JP14589083A JPS6036504A (ja) 1983-08-10 1983-08-10 感光性樹脂の製法

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JP14589083A JPS6036504A (ja) 1983-08-10 1983-08-10 感光性樹脂の製法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6036504A true JPS6036504A (ja) 1985-02-25
JPS6328442B2 JPS6328442B2 (ja) 1988-06-08

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ID=15395413

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JP14589083A Granted JPS6036504A (ja) 1983-08-10 1983-08-10 感光性樹脂の製法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6770720B2 (en) * 1999-09-07 2004-08-03 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. Organic polymer for organic anti-reflective coating layer and preparation thereof

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6770720B2 (en) * 1999-09-07 2004-08-03 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. Organic polymer for organic anti-reflective coating layer and preparation thereof

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JPS6328442B2 (ja) 1988-06-08

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