JPS603724B2 - 透明導電性パタ−ンの形成方法 - Google Patents
透明導電性パタ−ンの形成方法Info
- Publication number
- JPS603724B2 JPS603724B2 JP11228375A JP11228375A JPS603724B2 JP S603724 B2 JPS603724 B2 JP S603724B2 JP 11228375 A JP11228375 A JP 11228375A JP 11228375 A JP11228375 A JP 11228375A JP S603724 B2 JPS603724 B2 JP S603724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent conductive
- printing
- conductive film
- conductive pattern
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000012255 powdered metal Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は液晶パネル、プラズマディスプレー・ェレク
トロルミネセンス等、種々の表示素子に使用される透明
電極パターンのついたガラスの製造方法に関するもので
ある。
トロルミネセンス等、種々の表示素子に使用される透明
電極パターンのついたガラスの製造方法に関するもので
ある。
従来、ガラスに透明電極パターンを形成する方法として
、{1} 全面透明電導膜を被膜後、フオトェツチング
によりパターンの形成。
、{1} 全面透明電導膜を被膜後、フオトェツチング
によりパターンの形成。
【2)全面透明電導膜を被膜後、レジストィンクを印刷
しエッチングしてパターンを形成。
しエッチングしてパターンを形成。
‘31 金属酸化物を含む印刷インク印刷後、透明導亀
膜をコーティングし、前記印刷インクを除去して透明導
電膜を形成。
膜をコーティングし、前記印刷インクを除去して透明導
電膜を形成。
という様な方法があった。
しかしながら{11の方法は、フオトェツチング法が工
程が非常に複雑で、多く技術を必要とし、製造コストが
非常に高くなるという欠点がある。
程が非常に複雑で、多く技術を必要とし、製造コストが
非常に高くなるという欠点がある。
■の方法は‘1}に比較し工程はかなり簡単になり製造
コストが安くなるが、エッチング工程があるため、公害
問題もあり、自動化もかなり困難である。‘31の方法
は、昭和4乎手公開特許公報第113573号で述べら
れている方法であるが{1}、{2’の方法と比較する
と工程が非常に簡単であり、エッチング工程がないため
公害もなく良い方法であるが、遮蔽用組成物として粉状
金属酸化物を使用しているため、その吸湿性、他の混合
物の適合性から、印刷インクとして合成した際、粘性特
性の急変、金属酸化物の沈澱などを生じ、一時的には印
刷可能であっても連続的に多数の印刷は無理であり、透
明電極パターン製造の際に大中な工程削減とはなり得な
い。
コストが安くなるが、エッチング工程があるため、公害
問題もあり、自動化もかなり困難である。‘31の方法
は、昭和4乎手公開特許公報第113573号で述べら
れている方法であるが{1}、{2’の方法と比較する
と工程が非常に簡単であり、エッチング工程がないため
公害もなく良い方法であるが、遮蔽用組成物として粉状
金属酸化物を使用しているため、その吸湿性、他の混合
物の適合性から、印刷インクとして合成した際、粘性特
性の急変、金属酸化物の沈澱などを生じ、一時的には印
刷可能であっても連続的に多数の印刷は無理であり、透
明電極パターン製造の際に大中な工程削減とはなり得な
い。
本発明は前記した従来の欠点を除去するために行なわれ
、工程を削減し、かつ品質が均一な製品を安定に製造す
る方法を提供することを目的としたものである。
、工程を削減し、かつ品質が均一な製品を安定に製造す
る方法を提供することを目的としたものである。
以下、本発明の実施例を詳述する。
本発明に於て、品質が均一で安定した製品を製造するた
めには、印刷インクの特性が最も重要な点である。
めには、印刷インクの特性が最も重要な点である。
安定な印刷インクとして必要な特性は次に述べる通りで
ある。‘1’インク合成後、長期間インクの特性に変化
がないこと。
ある。‘1’インク合成後、長期間インクの特性に変化
がないこと。
特に粘性の変化があってはならない。【2} スクリー
ン印刷特に自ずまりが起きないこと。
ン印刷特に自ずまりが起きないこと。
剛 印刷パターンのエッジがシャープにできること。‘
4ー 透明導電膜被膜コーティング時の500℃前後の
温度で、十分な耐熱性と、化学的安定性と、遮蔽効果を
有すること。
4ー 透明導電膜被膜コーティング時の500℃前後の
温度で、十分な耐熱性と、化学的安定性と、遮蔽効果を
有すること。
前記した特性を満足する印刷インクとして種々のインク
を合成したが、最適な耐熱粒子として、窒化棚素を用い
、バインダーとして硝化線、溶剤としてプチルカルビト
ールを用いた印刷インクが、全て前記の特性を満足した
。
を合成したが、最適な耐熱粒子として、窒化棚素を用い
、バインダーとして硝化線、溶剤としてプチルカルビト
ールを用いた印刷インクが、全て前記の特性を満足した
。
配合比は重量比でほぼ10:10:1(硝化線が1)で
あった。
あった。
ここで遮蔽用物質として用いた窒化欄素は900℃以下
で化学的安定に富み、他の混合物と何ら反応せず、イン
クの長期安定性が得られ、透明導電膜コーティング時に
も何ら反応を示さず、かつ平均粒度が2〜3山肌という
粒子を用いたため印刷時のエッジのシャープさも得られ
る。
で化学的安定に富み、他の混合物と何ら反応せず、イン
クの長期安定性が得られ、透明導電膜コーティング時に
も何ら反応を示さず、かつ平均粒度が2〜3山肌という
粒子を用いたため印刷時のエッジのシャープさも得られ
る。
溶剤として用いたブチルカルピトールは各種の硝化綿の
溶剤の中でも最も蒸気圧の低い物であり、印刷時の乾燥
がなく、目ずまりは全く起こらない。
溶剤の中でも最も蒸気圧の低い物であり、印刷時の乾燥
がなく、目ずまりは全く起こらない。
又、混合比も印刷しやすい様に適当に可変することによ
り安定な印刷が行なうことができる。この窒化棚素を主
体とした印刷インクを透明基板に印刷する工程において
は、最終的に得ようとする所望パターンのネガとなるよ
うにスクリーン印刷することは言うまでもないことであ
る。ガラスに印刷後のインクは常温では長期間固化しな
いが、透明導電膜コーティング前で保存したい場合は1
50qoで数分加熱することによりプチルカルビト−ル
は蒸発し印刷インクは固化する。つまり、印刷工程の直
後に後述するコーティング工程が行なわれる場合には、
印刷後そのままコーティングを行なっても良いが、印刷
後の基板を長時間ストックする場合は、インクの拡散等
を防ぐため上記乾燥工程が必要となる。印刷後のガラス
基板は約500℃に加熱され酸化スズの透明導電膜がコ
ーティングされる。
り安定な印刷が行なうことができる。この窒化棚素を主
体とした印刷インクを透明基板に印刷する工程において
は、最終的に得ようとする所望パターンのネガとなるよ
うにスクリーン印刷することは言うまでもないことであ
る。ガラスに印刷後のインクは常温では長期間固化しな
いが、透明導電膜コーティング前で保存したい場合は1
50qoで数分加熱することによりプチルカルビト−ル
は蒸発し印刷インクは固化する。つまり、印刷工程の直
後に後述するコーティング工程が行なわれる場合には、
印刷後そのままコーティングを行なっても良いが、印刷
後の基板を長時間ストックする場合は、インクの拡散等
を防ぐため上記乾燥工程が必要となる。印刷後のガラス
基板は約500℃に加熱され酸化スズの透明導電膜がコ
ーティングされる。
この加熱時にブチルカルビトールは蒸発し、かつ硝化線
は完全に燃焼する。
は完全に燃焼する。
この際発生する排ガスは、酸化スズのコーティング膜に
悪影響をおよぼすので、この排ガスは除去する。こうし
て印刷インクは燃焼して粉状の室化棚素のみが残留物と
してガラス基板上に付着する。従って500℃加熱状態
では室化棚素のみがパターン状に残留し、透明導電膜は
遮蔽される。透明導電膜コーティング後のガラスは冷却
された後、その上の遮蔽物質が除去される。
悪影響をおよぼすので、この排ガスは除去する。こうし
て印刷インクは燃焼して粉状の室化棚素のみが残留物と
してガラス基板上に付着する。従って500℃加熱状態
では室化棚素のみがパターン状に残留し、透明導電膜は
遮蔽される。透明導電膜コーティング後のガラスは冷却
された後、その上の遮蔽物質が除去される。
このときに遮蔽物質(窒化棚素)上のコーティング膜も
当然除去される。この剥離は、遮蔽物が完全に窒化棚素
粒子のみなので非常に容易で、超音波洗浄、ブラシによ
る剥離、軽く手でこすりとる等いずれの方法でも可能で
ある。こうして印刷パターン(ネガパターン)がすべて
除去され、所望のパターン形状が透明導電膜で形成され
る。以上に述べたように、この発明の透明電極パターン
の製造方法によれば、連続式の透明電極コーティング装
置を用いることによって、全くバッチ工程が入ることが
なくなり、全工程の連続化が可能となり、液晶パネル等
表示装置製造の大中なコストダウンが可能となる。
当然除去される。この剥離は、遮蔽物が完全に窒化棚素
粒子のみなので非常に容易で、超音波洗浄、ブラシによ
る剥離、軽く手でこすりとる等いずれの方法でも可能で
ある。こうして印刷パターン(ネガパターン)がすべて
除去され、所望のパターン形状が透明導電膜で形成され
る。以上に述べたように、この発明の透明電極パターン
の製造方法によれば、連続式の透明電極コーティング装
置を用いることによって、全くバッチ工程が入ることが
なくなり、全工程の連続化が可能となり、液晶パネル等
表示装置製造の大中なコストダウンが可能となる。
Claims (1)
- 1 窒化硼素を主体とした印刷インクを透明基板にスク
リーン印刷する工程と、この印刷された透明基板上に約
500℃に加熱しながら透明導電性被膜をコーテイング
する工程と、前記印刷インクの燃焼により生じた残留物
を除去する工程とからなる透明導電性パターンの形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228375A JPS603724B2 (ja) | 1975-09-17 | 1975-09-17 | 透明導電性パタ−ンの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228375A JPS603724B2 (ja) | 1975-09-17 | 1975-09-17 | 透明導電性パタ−ンの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5236495A JPS5236495A (en) | 1977-03-19 |
| JPS603724B2 true JPS603724B2 (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=14582808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11228375A Expired JPS603724B2 (ja) | 1975-09-17 | 1975-09-17 | 透明導電性パタ−ンの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603724B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5792704A (en) * | 1980-12-01 | 1982-06-09 | Tokyo Denshi Kagaku Kk | Method of forming pattern of metallic oxide film |
| JPS6093761U (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-26 | 日本軽金属株式会社 | 犠牲陽極 |
| JPS60150508A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-08 | 日本写真印刷株式会社 | 透明電極基板の製造方法 |
-
1975
- 1975-09-17 JP JP11228375A patent/JPS603724B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5236495A (en) | 1977-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS603724B2 (ja) | 透明導電性パタ−ンの形成方法 | |
| JPS5893107A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト | |
| US6120586A (en) | Metal composition containing metal acetylide, blank having metallic coating formed therewith, and method for forming the metallic coating | |
| US4985071A (en) | Process for producing a base metal thin film and an electronic device using the same | |
| JPH05234432A (ja) | パターン化した透明導電膜の形成方法 | |
| JP2008274324A (ja) | 組成物及び銅膜の形成方法 | |
| EP0976848B1 (en) | Metal composition containing metal acetilide, blank having metallic coating formed therewith, and method for forming the metallic coating | |
| JPS6319046B2 (ja) | ||
| JPH0260974A (ja) | 卑金属薄膜形成用インキ | |
| JP2702713B2 (ja) | 卑金属薄膜の製造方法 | |
| JPS6063174A (ja) | サ−マルヘッドの製法 | |
| JP2009013262A (ja) | 組成物及び銅膜の製造方法 | |
| JPH0233075B2 (ja) | ||
| JPH0581942A (ja) | パターン化した透明導電膜の形成方法 | |
| JPS60243279A (ja) | 透明電極形成方法 | |
| JPH01276512A (ja) | 透明導電膜用オフセット印刷インキ組成物 | |
| JPH0593915A (ja) | パターン形成方法 | |
| JPH01159381A (ja) | 卑金属薄膜の製造方法 | |
| JP2843982B2 (ja) | サーマルヘツド | |
| JPS58208380A (ja) | 螢光体薄膜形成用ペ−スト | |
| JPH0144788B2 (ja) | ||
| JP2887318B2 (ja) | 金属薄膜抵抗体の製造方法 | |
| JPS5826602B2 (ja) | パタ−ン形成時の遮蔽膜用インク | |
| JPH02157121A (ja) | 超伝導酸化物薄膜形成用スクリーン印刷インキおよびこのインキを使用した超伝導酸化物薄膜の形成方法 | |
| JPH02281505A (ja) | パターン化した酸化錫系透明導電性薄膜の製法およびそれに用いる組成物 |