JPS603724B2 - 透明導電性パタ−ンの形成方法 - Google Patents

透明導電性パタ−ンの形成方法

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JPS603724B2
JPS603724B2 JP11228375A JP11228375A JPS603724B2 JP S603724 B2 JPS603724 B2 JP S603724B2 JP 11228375 A JP11228375 A JP 11228375A JP 11228375 A JP11228375 A JP 11228375A JP S603724 B2 JPS603724 B2 JP S603724B2
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JP
Japan
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transparent conductive
printing
conductive film
conductive pattern
coating
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JP11228375A
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洵 上田
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は液晶パネル、プラズマディスプレー・ェレク
トロルミネセンス等、種々の表示素子に使用される透明
電極パターンのついたガラスの製造方法に関するもので
ある。
従来、ガラスに透明電極パターンを形成する方法として
、{1} 全面透明電導膜を被膜後、フオトェツチング
によりパターンの形成。
【2)全面透明電導膜を被膜後、レジストィンクを印刷
しエッチングしてパターンを形成。
‘31 金属酸化物を含む印刷インク印刷後、透明導亀
膜をコーティングし、前記印刷インクを除去して透明導
電膜を形成。
という様な方法があった。
しかしながら{11の方法は、フオトェツチング法が工
程が非常に複雑で、多く技術を必要とし、製造コストが
非常に高くなるという欠点がある。
■の方法は‘1}に比較し工程はかなり簡単になり製造
コストが安くなるが、エッチング工程があるため、公害
問題もあり、自動化もかなり困難である。‘31の方法
は、昭和4乎手公開特許公報第113573号で述べら
れている方法であるが{1}、{2’の方法と比較する
と工程が非常に簡単であり、エッチング工程がないため
公害もなく良い方法であるが、遮蔽用組成物として粉状
金属酸化物を使用しているため、その吸湿性、他の混合
物の適合性から、印刷インクとして合成した際、粘性特
性の急変、金属酸化物の沈澱などを生じ、一時的には印
刷可能であっても連続的に多数の印刷は無理であり、透
明電極パターン製造の際に大中な工程削減とはなり得な
い。
本発明は前記した従来の欠点を除去するために行なわれ
、工程を削減し、かつ品質が均一な製品を安定に製造す
る方法を提供することを目的としたものである。
以下、本発明の実施例を詳述する。
本発明に於て、品質が均一で安定した製品を製造するた
めには、印刷インクの特性が最も重要な点である。
安定な印刷インクとして必要な特性は次に述べる通りで
ある。‘1’インク合成後、長期間インクの特性に変化
がないこと。
特に粘性の変化があってはならない。【2} スクリー
ン印刷特に自ずまりが起きないこと。
剛 印刷パターンのエッジがシャープにできること。‘
4ー 透明導電膜被膜コーティング時の500℃前後の
温度で、十分な耐熱性と、化学的安定性と、遮蔽効果を
有すること。
前記した特性を満足する印刷インクとして種々のインク
を合成したが、最適な耐熱粒子として、窒化棚素を用い
、バインダーとして硝化線、溶剤としてプチルカルビト
ールを用いた印刷インクが、全て前記の特性を満足した
配合比は重量比でほぼ10:10:1(硝化線が1)で
あった。
ここで遮蔽用物質として用いた窒化欄素は900℃以下
で化学的安定に富み、他の混合物と何ら反応せず、イン
クの長期安定性が得られ、透明導電膜コーティング時に
も何ら反応を示さず、かつ平均粒度が2〜3山肌という
粒子を用いたため印刷時のエッジのシャープさも得られ
る。
溶剤として用いたブチルカルピトールは各種の硝化綿の
溶剤の中でも最も蒸気圧の低い物であり、印刷時の乾燥
がなく、目ずまりは全く起こらない。
又、混合比も印刷しやすい様に適当に可変することによ
り安定な印刷が行なうことができる。この窒化棚素を主
体とした印刷インクを透明基板に印刷する工程において
は、最終的に得ようとする所望パターンのネガとなるよ
うにスクリーン印刷することは言うまでもないことであ
る。ガラスに印刷後のインクは常温では長期間固化しな
いが、透明導電膜コーティング前で保存したい場合は1
50qoで数分加熱することによりプチルカルビト−ル
は蒸発し印刷インクは固化する。つまり、印刷工程の直
後に後述するコーティング工程が行なわれる場合には、
印刷後そのままコーティングを行なっても良いが、印刷
後の基板を長時間ストックする場合は、インクの拡散等
を防ぐため上記乾燥工程が必要となる。印刷後のガラス
基板は約500℃に加熱され酸化スズの透明導電膜がコ
ーティングされる。
この加熱時にブチルカルビトールは蒸発し、かつ硝化線
は完全に燃焼する。
この際発生する排ガスは、酸化スズのコーティング膜に
悪影響をおよぼすので、この排ガスは除去する。こうし
て印刷インクは燃焼して粉状の室化棚素のみが残留物と
してガラス基板上に付着する。従って500℃加熱状態
では室化棚素のみがパターン状に残留し、透明導電膜は
遮蔽される。透明導電膜コーティング後のガラスは冷却
された後、その上の遮蔽物質が除去される。
このときに遮蔽物質(窒化棚素)上のコーティング膜も
当然除去される。この剥離は、遮蔽物が完全に窒化棚素
粒子のみなので非常に容易で、超音波洗浄、ブラシによ
る剥離、軽く手でこすりとる等いずれの方法でも可能で
ある。こうして印刷パターン(ネガパターン)がすべて
除去され、所望のパターン形状が透明導電膜で形成され
る。以上に述べたように、この発明の透明電極パターン
の製造方法によれば、連続式の透明電極コーティング装
置を用いることによって、全くバッチ工程が入ることが
なくなり、全工程の連続化が可能となり、液晶パネル等
表示装置製造の大中なコストダウンが可能となる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 窒化硼素を主体とした印刷インクを透明基板にスク
    リーン印刷する工程と、この印刷された透明基板上に約
    500℃に加熱しながら透明導電性被膜をコーテイング
    する工程と、前記印刷インクの燃焼により生じた残留物
    を除去する工程とからなる透明導電性パターンの形成方
    法。
JP11228375A 1975-09-17 1975-09-17 透明導電性パタ−ンの形成方法 Expired JPS603724B2 (ja)

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JPS5236495A JPS5236495A (en) 1977-03-19
JPS603724B2 true JPS603724B2 (ja) 1985-01-30

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ID=14582808

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5792704A (en) * 1980-12-01 1982-06-09 Tokyo Denshi Kagaku Kk Method of forming pattern of metallic oxide film
JPS6093761U (ja) * 1983-12-01 1985-06-26 日本軽金属株式会社 犠牲陽極
JPS60150508A (ja) * 1984-01-18 1985-08-08 日本写真印刷株式会社 透明電極基板の製造方法

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JPS5236495A (en) 1977-03-19

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