JPS6063174A - サ−マルヘッドの製法 - Google Patents
サ−マルヘッドの製法Info
- Publication number
- JPS6063174A JPS6063174A JP58170587A JP17058783A JPS6063174A JP S6063174 A JPS6063174 A JP S6063174A JP 58170587 A JP58170587 A JP 58170587A JP 17058783 A JP17058783 A JP 17058783A JP S6063174 A JPS6063174 A JP S6063174A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal head
- paste
- metal organic
- organic compound
- layer
- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はサーマルヘッドの製法に係り、特にそれの厚膜
抵抗層の形成方法に関する。
抵抗層の形成方法に関する。
従来の厚膜抵抗層材料としては、酸化ルテニウムや他の
ルテニウム化合物とガラスフリットとの混合物、または
銀−パラジウム合金とガラスフリットとの混合物などが
ある。
ルテニウム化合物とガラスフリットとの混合物、または
銀−パラジウム合金とガラスフリットとの混合物などが
ある。
ところがこれら従来の厚膜抵抗層材料では形成された抵
抗層の寸法精度が低く、特に微細なパターンには不向き
である。
抗層の寸法精度が低く、特に微細なパターンには不向き
である。
従ってドツトＭ度の高いきめ細かなプリントができない
。
。
本発明の目的は上記従来技術の欠点を解消し、寸法精度
の高い厚膜抵抗層が量産性よく生産でき、ドツト密度の
高いプリントが可能なサーマルヘッドの製法を提供する
にある。
の高い厚膜抵抗層が量産性よく生産でき、ドツト密度の
高いプリントが可能なサーマルヘッドの製法を提供する
にある。
この目的を達成するため、本発明は、貴金属有機化合物
と、卑金属有機化合物と、これら有機化合物を溶解する
有機液体との混合組成物から厚膜抵抗層形“成用ペース
トを基板上に塗布し焼成して抵抗層を形成し、しかるの
ちその抵抗層をホトリソグラフィで所望の形状にパター
ンニングしたことｒ％徴とするものである。
と、卑金属有機化合物と、これら有機化合物を溶解する
有機液体との混合組成物から厚膜抵抗層形“成用ペース
トを基板上に塗布し焼成して抵抗層を形成し、しかるの
ちその抵抗層をホトリソグラフィで所望の形状にパター
ンニングしたことｒ％徴とするものである。
本発明で用いられる貴金属有機化合物としては金−白金
有機金属化合物が好適である。この有機化合物はバルサ
ム、ロジン、テレピン油の混合樹１１゛ばにイオウを作
用して得た硫化樹脂と、塩化金ならびに塩化合金の混合
物を化学反応させることによって得られる。前記バルサ
ムとは種々の植物から分泌される粘稠性の液体で、固形
樹脂が揮発油に浴解したものであり、代表伯なものは松
脂で、ソレハカナタハルサム、ペルーバルサム ） −
／にバルサムなどがある。
有機金属化合物が好適である。この有機化合物はバルサ
ム、ロジン、テレピン油の混合樹１１゛ばにイオウを作
用して得た硫化樹脂と、塩化金ならびに塩化合金の混合
物を化学反応させることによって得られる。前記バルサ
ムとは種々の植物から分泌される粘稠性の液体で、固形
樹脂が揮発油に浴解したものであり、代表伯なものは松
脂で、ソレハカナタハルサム、ペルーバルサム ） −
／にバルサムなどがある。
本発明で用いられる卑金属有機化合物としては、（す（
脂敵クロム、樹脂酸ビスマス、アルミニウムアセチルア
セトナート、インジウムアセチルアセトナート、エトキ
シシランなどが用いられる。前記樹脂酸クロムは、ロジ
ンと硝酸クロムを反応させた金属石ケンの１種で、主成
分はアビエチン絃クロムとα−ビマール酸クりムチ＆ル
。
脂敵クロム、樹脂酸ビスマス、アルミニウムアセチルア
セトナート、インジウムアセチルアセトナート、エトキ
シシランなどが用いられる。前記樹脂酸クロムは、ロジ
ンと硝酸クロムを反応させた金属石ケンの１種で、主成
分はアビエチン絃クロムとα−ビマール酸クりムチ＆ル
。
本発明で用いられる有機液体（溶媒）としては、ブチル
カルピトール、ブチルアルビトール、植物精油（ラベン
ダー油、樟脳油、ローズマリー油、ローズ油、テ〈ピン
油）などがある。
カルピトール、ブチルアルビトール、植物精油（ラベン
ダー油、樟脳油、ローズマリー油、ローズ油、テ〈ピン
油）などがある。
本発明に係るペーストの厚膜スクリーン印刷性を向上す
るため、ニトロセルロースなどを添加するとよい。
るため、ニトロセルロースなどを添加するとよい。
次に本発明の実施例について説明する。
カナダバルサム、ロジン、テレピン油の混合樹脂にイオ
ウを加え、加熱反応させて硫化樹脂ケ作る。この樹脂と
塩化金および塩化白金を、それぞれ金含有率が８重量％
、白金含有率が４重量％になるように配合し、１５０〜
１７０℃で加熱反応させて金−白金有機金属化合物をつ
くる。この樹脂状化合物をラベンダー油、ローズマリー
油などの俗剤に浴解し、金−白金含有率が６重量％にな
るように調整する。こうして得られたものｔペースト（
■ンとする。
ウを加え、加熱反応させて硫化樹脂ケ作る。この樹脂と
塩化金および塩化白金を、それぞれ金含有率が８重量％
、白金含有率が４重量％になるように配合し、１５０〜
１７０℃で加熱反応させて金−白金有機金属化合物をつ
くる。この樹脂状化合物をラベンダー油、ローズマリー
油などの俗剤に浴解し、金−白金含有率が６重量％にな
るように調整する。こうして得られたものｔペースト（
■ンとする。
一方、卑金属有機化合物として樹脂酸クロム、アルミニ
ウムアセチルアセトナート、エトキシシランを用い、ニ
トロセルロースを添加し、ブチルカルピトールやブチル
カルピトールアセテートなどに溶角了して、ペースト（
ｒｌ）をつくる。
ウムアセチルアセトナート、エトキシシランを用い、ニ
トロセルロースを添加し、ブチルカルピトールやブチル
カルピトールアセテートなどに溶角了して、ペースト（
ｒｌ）をつくる。
ペース） （１）ならびにペース） （１［）の車装成
分の含有率を次の表１、表２に示す。
分の含有率を次の表１、表２に示す。
表 １
表 ２
このペース） （１）とペース）（ＩＩ）を所定の割合
に配合し、よく混練して抵抗材ペーストラつくる。各配
合比の抵抗材ペーストを基板に厚膜スクリーン法で印刷
し、７００〜８５０℃で焼成して得られた厚膜抵抗層の
シート抵抗値を測定した結果′ｆ：Ｍ１図に示す。図中
のＡ点はペースト（１）とペース） （Ｉｔ）の配合重
量比が（Ｉ）：Ｑｌ）＝１＋４、Ｂ点は同様に２：４．
０点は３：４、Ｄ点は４：４、Ｅ点は４：３、Ｆ点は４
：２、Ｇ点は４：１、Ｈ点は４：０のものの各抵抗層の
シート抵抗値である。この図から明らかなように、ペー
ス） （１１とペース）（ＩＩ）の配合比を調整するこ
とにより、約加Ω〜２００ＭΩまでの極めて広４ＩＢ囲
の抵抗値を有する抵抗層を得ることができる。
に配合し、よく混練して抵抗材ペーストラつくる。各配
合比の抵抗材ペーストを基板に厚膜スクリーン法で印刷
し、７００〜８５０℃で焼成して得られた厚膜抵抗層の
シート抵抗値を測定した結果′ｆ：Ｍ１図に示す。図中
のＡ点はペースト（１）とペース） （Ｉｔ）の配合重
量比が（Ｉ）：Ｑｌ）＝１＋４、Ｂ点は同様に２：４．
０点は３：４、Ｄ点は４：４、Ｅ点は４：３、Ｆ点は４
：２、Ｇ点は４：１、Ｈ点は４：０のものの各抵抗層の
シート抵抗値である。この図から明らかなように、ペー
ス） （１１とペース）（ＩＩ）の配合比を調整するこ
とにより、約加Ω〜２００ＭΩまでの極めて広４ＩＢ囲
の抵抗値を有する抵抗層を得ることができる。
第２図は、前記ペース） （１）とペースト（■）の配
合重量比が（ＩＪ ： （…）＝４：４（Ｄ点）、４：
３（Ｅ点）、４ 二２ （）”点）の各抵抗層の温度係
数（ＴＣ几）を示す図で、各特性の抵抗層が得られる。
合重量比が（ＩＪ ： （…）＝４：４（Ｄ点）、４：
３（Ｅ点）、４ 二２ （）”点）の各抵抗層の温度係
数（ＴＣ几）を示す図で、各特性の抵抗層が得られる。
第３図は、各抵抗層におけるシート抵抗値の信頼性を示
す図である。すなわち、同図０）は前記ぺ−スト（１）
とペースト（Ｉｔ）の配合重量比が（１） ： （［１
） ＝ ３：４、同図（ロ）は４：４、同図（ハ）は４
：３、同図に）は４：２、同図０９は４：１の各抵抗層
のシート抵抗値の経時変化（ΔＩりを測定したものであ
る。各図とも曲線Ｘは耐湿試験（試験条件４０℃、６０
３％Ｉ（。
す図である。すなわち、同図０）は前記ぺ−スト（１）
とペースト（Ｉｔ）の配合重量比が（１） ： （［１
） ＝ ３：４、同図（ロ）は４：４、同図（ハ）は４
：３、同図に）は４：２、同図０９は４：１の各抵抗層
のシート抵抗値の経時変化（ΔＩりを測定したものであ
る。各図とも曲線Ｘは耐湿試験（試験条件４０℃、６０
３％Ｉ（。
１１ 、負ｄ：ｊ ３３０ ｍ Ｗ ／ ｎｔｍ２）、
曲線Ｙは耐熱試験（試験条件８０℃、３００ ｍＷ ／
ｍｔｎ” ）の特性値テアル。
曲線Ｙは耐熱試験（試験条件８０℃、３００ ｍＷ ／
ｍｔｎ” ）の特性値テアル。
この図から明らかなように、各組成の抵抗層とも抵抗値
の変化が極めて小さく、安定した高信頼性の抵抗層が祷
られる。
の変化が極めて小さく、安定した高信頼性の抵抗層が祷
られる。
第４図は本発明に係るサーマルヘッドの一部平面１、第
５図はその断面図である。アルミナからなる絶縁基板ｌ
のほば全面に二酸化ケイ素からなるアンダーグレーズ層
２を５０〜１００μｎ１の厚さで印刷し、９００〜１，
２００℃で焼成し、次に電極３．３を印刷して、７００
〜９００℃で焼成する。しかるのち−力のｔＵ電極から
他方の′電極３に掛るように前述の厚ＩＬ！４抵抗層形
成用ペースト全スクリーン印刷し、７００〜８５０℃で
焼成して、その後ホトリソグラフィの技術でパターンニ
ングしてハ１望の形状の抵抗層４を得る。
５図はその断面図である。アルミナからなる絶縁基板ｌ
のほば全面に二酸化ケイ素からなるアンダーグレーズ層
２を５０〜１００μｎ１の厚さで印刷し、９００〜１，
２００℃で焼成し、次に電極３．３を印刷して、７００
〜９００℃で焼成する。しかるのち−力のｔＵ電極から
他方の′電極３に掛るように前述の厚ＩＬ！４抵抗層形
成用ペースト全スクリーン印刷し、７００〜８５０℃で
焼成して、その後ホトリソグラフィの技術でパターンニ
ングしてハ１望の形状の抵抗層４を得る。
第６図６）、←）はこのようにして形・成された抵抗層
の表面状態を示す図である。同図（イ）、←）は抵抗層
の任意の個所の表面状態を表わしており、０）のものは
膜厚（Ｔ）が３．４０ＯＡ 、←】のものは２．７０Ｏ
Ａでいずれの個所も表面粗さは２００Å以下と極めて平
滑で寸法精度が高い。
の表面状態を示す図である。同図（イ）、←）は抵抗層
の任意の個所の表面状態を表わしており、０）のものは
膜厚（Ｔ）が３．４０ＯＡ 、←】のものは２．７０Ｏ
Ａでいずれの個所も表面粗さは２００Å以下と極めて平
滑で寸法精度が高い。
本発明は前述のような構成になっており、優れた特性を
有する抵抗層が量産性に優れた厚膜スクリーン印刷法で
形成可能である。しかもホトリソグラフィーによるパタ
ーンニングが行なわれるから、寸法精度の高い微細な抵
抗ハ４が得られ、抵抗層のドツト密度が市められ、きめ
細かなプリントができるなどの利点を有している。
有する抵抗層が量産性に優れた厚膜スクリーン印刷法で
形成可能である。しかもホトリソグラフィーによるパタ
ーンニングが行なわれるから、寸法精度の高い微細な抵
抗ハ４が得られ、抵抗層のドツト密度が市められ、きめ
細かなプリントができるなどの利点を有している。
第１図は本発明に係るペーストラ用いた各抵抗層のシー
ト抵抗値特性図、第２図はその抵抗層の温度係数特性図
、第３図０）〜０うはその抵抗層の信頼特性図、第４図
は本発明に係るサーマルヘッドの一部平面図、第５図は
そのサーマルヘッドの一部断面図、第６図０）、（ロ）
はその抵抗層の表面粗さｔ示す図である。 １・・・・・・絶縁基板、２・・・・・・アンダグレー
ズ層、３・・・・・・電極、４・・・・・・抵抗層。
ト抵抗値特性図、第２図はその抵抗層の温度係数特性図
、第３図０）〜０うはその抵抗層の信頼特性図、第４図
は本発明に係るサーマルヘッドの一部平面図、第５図は
そのサーマルヘッドの一部断面図、第６図０）、（ロ）
はその抵抗層の表面粗さｔ示す図である。 １・・・・・・絶縁基板、２・・・・・・アンダグレー
ズ層、３・・・・・・電極、４・・・・・・抵抗層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 貴金属有機化合物と、卑金属有機化合物と、こ
れら有機化合物を溶解する有機液体との混合組成物から
なる厚膜抵抗層形成用ペーストを基板上に塗布し焼成し
て抵抗層を形成し、しがるのちその抵抗層をホトリソグ
ラフィで所望の形状にパターンニングしたことを特徴と
するサーマルヘッドの製法。 （２、特許請求の範囲第（１）項記載において、前記貴
金属有機化合物が金−白金有機金属化合物であることを
特徴とするサーマルヘッドの製法。 （３） 特許請求の範囲第（１）項記載において、前記
卑金属有機化合物が樹脂酸クロム、樹脂酸ビスマス、ア
ルミニウム、アセチルアセトナート、インジウムアセチ
ルアセトナート、エトキシシランのグループから選択さ
れた化合物であることを特徴とするサーマルヘッドの製
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170587A JPS6063174A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | サ−マルヘッドの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170587A JPS6063174A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | サ−マルヘッドの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6063174A true JPS6063174A (ja) | 1985-04-11 |
| JPH0144152B2 JPH0144152B2 (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=15907596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58170587A Granted JPS6063174A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | サ−マルヘッドの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6063174A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62292453A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
| JPS6427203A (en) * | 1987-04-28 | 1989-01-30 | Fuji Xerox Co Ltd | Manufacture of resistor |
| JPH029640A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
| JPH0232866A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造法 |
| JPH02147254A (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
| JPH02243359A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3271193A (en) * | 1962-09-20 | 1966-09-06 | Cts Corp | Electrical resistance element and method of making the same |
| GB1166992A (en) * | 1965-08-27 | 1969-10-15 | Plessey Co Ltd | Improvements in or relating to Electrical Conductors |
| US3676087A (en) * | 1971-03-15 | 1972-07-11 | Bell Telephone Labor Inc | Technique for the fabrication of a photolithographically definable,glass covered gold conductor pattern |
| JPS5316640A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Nec Corp | Manufacture of thermal head |
| JPS583201A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-10 | アルプス電気株式会社 | 抵抗ペ−スト及び該抵抗ペ−ストを用いて作製した厚膜集積回路及びサ−マルヘツドとその製造方法 |
-
1983
- 1983-09-17 JP JP58170587A patent/JPS6063174A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3271193A (en) * | 1962-09-20 | 1966-09-06 | Cts Corp | Electrical resistance element and method of making the same |
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| JPS5316640A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Nec Corp | Manufacture of thermal head |
| JPS583201A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-10 | アルプス電気株式会社 | 抵抗ペ−スト及び該抵抗ペ−ストを用いて作製した厚膜集積回路及びサ−マルヘツドとその製造方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62292453A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
| JPS6427203A (en) * | 1987-04-28 | 1989-01-30 | Fuji Xerox Co Ltd | Manufacture of resistor |
| JPH029640A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
| JPH0232866A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造法 |
| JPH02147254A (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
| JPH02243359A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0144152B2 (ja) | 1989-09-26 |
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