JPS6037254Y2 - 研摩装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、水平回転される定盤の上方に昇降可能な加
圧盤を配設し、前記定盤と加圧盤との間に挾んだ被加工
物の片面を研摩する研摩装置の改良に関するものである
。

従来、前述のような研摩装置では、２″程度の小口径シ
リコンウェハの研摩においては第１図に示すように定盤
１上に配設した加圧盤２の全体をシリング機構を備えた
加圧機構３から取外して加圧盤２内に温水を供給したり
該加圧盤全体を加熱したりして、ワックス等でその下面
に被加工物４を接着し冷却し、その後再び加圧盤２を加
圧機構３に取付けているが、被加工物が近年では３”、
４“径のごとく大口径化し、半導体素子のさらなる量
産化を目的としつつあるが、その際、研摩機も大型化し
、加圧盤が大型で重量が重くなるが、一般的には８ｋｇ
重程度が限度とされ、その脱着時などの取扱いが困難に
なる。

また、研摩能力を向上させるために、高温、高圧下で研
摩する際ワックスが軟化して被加工物が保持出来なくな
ったり、高精度のラッピングを必要な場合など、加圧盤
２の熱変形による加工精度の低下を防止するなどのため
に、加圧盤２の内部に冷却室２ａを形成してこれに冷却
水を通じて加圧盤２を冷却することが考えられるが、こ
のようにすると、加圧盤の重量がさらに重くなるばかり
でなく、加圧盤の脱着に際して冷却水が洩れ冷却水配管
中のさびやごみが研摩布上に落下し、ウェハ等に傷等の
欠陥を生せしめるのでこの洩れを防止することが必要と
なり、加圧盤の脱着時などの取扱いが一層困難になる。

この考案は、前述したような研摩装置において、加圧盤
の下面にセラミック製等の被加工物取付板を簡易な操作
によって脱着できるように固定し、被加工物取付板の下
面に被加工物を前述したような方法で接着するようにす
ることにより、困難な加圧盤の脱着操作を必要としない
ようにして、被加工物の取付、取外し作業を短時間で容
易にできるようにすることを目的とするものであり、あ
わせて本来の水冷効果をもそこなわないものである。

以下、この考案の一実施例について図面を参照して説明
する。

第２図はこの考案の一実施例による研摩装置を示す。

この研摩装置は、水平回転される定盤１１の上方に複数
個の加圧盤１２が配設され、これらの加圧盤１２は装置
本体１５に設けたシリンダ機構を備えた加圧機構１３に
それぞれ取付けられている。

前記加圧盤１２は、第３図に示すように内部に冷却室１
２ａが形成され、この冷却室１２ａに加圧盤１２外から
図示しない適宜の手段で冷却水が流通されるようになっ
ている。

また、第３図、第４図および第５図に示すように、加圧
盤１２の下面に密接して被加工物取付板１６が着脱可能
に固定される。

すなわち、加圧盤１２の下部外周面には等角度間隔で前
記外周面の円弧の一部を直線状の切欠部１２ｂが４個所
に形成され、被加工物取付板１６は、平面形状を加圧盤
１２の切欠部１２ｂを有する部分の横断平面形状とほぼ
同形、同大とし、被加工物取付板１６外周面の円弧の一
部を直線状に切欠いた回り止め部１６ａが形威されてい
る。

また、加圧盤１２の切欠部１２ｂには下方に突出する爪
１７がそれぞれ固着されている。

そして、前記爪１７を被加工物取付板１６の回り止め部
１６ａに嵌合させ、被加工物取付板１６を加圧盤１２に
対してその円周方向への回り止めと位置決めをすると共
に、加圧盤１２の下面に被加工物取付板１６を密接させ
る。

また、加圧盤１２の上面にはその周縁から外方へ突出す
るように形威されたブラケット２５が取付けられ、ブラ
ケット２５の突出部分２５ａにはクランプ２１がピン２
４により枢着され、ブラケット２５の上面側には端部に
カム２０ａを有するレバー２０がピン２３により枢着さ
れているとともに、ピン２３の下方には押棒２２が加圧
盤を貫通するように上下方向に摺動可能に設けられ、レ
バー２０を起伏させることによりクランプ２１を回動さ
せ或は押棒２２を下方に摺動させるようにし“Ｃある。

そして、加圧盤１２の下面に被加工物を密接させた状態
でレバー２０を起立位置からＢの倒伏位置へと転倒させ
ると、クランプ２１はカム２０ａで外方に押されてピン
２４を軸として、回動し、その下端部によって被加工物
取付板１６を該クランプ２１と対向した側の爪１７に、
押しつけることになり、その状態で該被加工物取付板１
６を加圧盤下に固定可能となる。

なお、第３図中、１４は被加工物取付板１６の下面に接
着した被加工物、１９は定盤１１上に敷設した不織布な
どからなる研摩用クロスである。

次に、以上のように構成された研摩装置の被加工物着脱
操作について説明すると、加圧盤１２を加圧機構１３で
下定盤１１と離して上昇させた状態で被加工物１４をワ
ックス等で固着した被加工物取付板１６を被加工面を下
にし、切り大部１６ａと爪１７が一致する位置に下方か
ら挿入すると同時に、レバー２０をＡの位置からＢの位
置へと転倒させることにより該被加工物取付板１６を保
持するようにしている。

その後加圧機構１３により加圧盤１２を下降させて、被
加工物取付板１６を介して水平回転する定盤１１上に被
加工物１４を押付け、これらの下面にラッピング、ポリ
ッシングのような研摩を行うものである。

被加工物の研摩終了後には、加圧盤１２下面と被加工物
取付板１６との間に研摩液等が浸入して一種の吸着状態
を呈するため、該被加工物取付板１６を容易に取りはず
すことが困難である。

そこでレバー２０をＢの位置からＡの位置に直立させる
と、レバー２０の先端は押棒２２を押し押棒は被加工物
取付板１６を押し、加圧盤１２下面と被加工物取付板１
６上面の間に、間隙を作りその状態で加圧盤１２を上部
エアシリンダによる加圧機構により上昇させて、その後
該被加工物取付板を取り出す。

なお、この考案において、加圧盤１２に設ける回り止め
部１２ｂの形状は例えば台形溝にするなど適宜変更する
ことができ、回り止め部１２ｂの数も複数個所であれば
４個所に限定されるものではない。

以上説明したように、この考案の研摩装置は、加圧盤の
外周面に回り止め部を形威し、爪を前記回り止め部に嵌
めて、被加工物取付板をクランプで締結することにより
、被加工物取付板を加圧盤の下面に着脱可能に固定する
ものであるから、加圧盤に比べて被加工物取付板が軽い
こと、加圧盤が内部に冷却水が通じるものであっても被
加工物取付板の脱着は冷却水洩れに対して考慮を払う必
要がないことにより、従来の加圧盤全体を脱着して被加
工物を接着するものに比べて、被加工物取付板を加圧盤
に対して脱着し、被加工物取付板に被加工物を接着する
この考案の研摩装置の方が被加工物の取付作業を短時間
で容易にでき、また、クランプを付加するだけであるか
ら構成もあまり複雑にならないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の研摩装置の定盤および加圧盤部分を示す
概略縦断面図、第２図はこの考案の一実施例による研摩
装置を示す概略正面図、第３図は回加圧盤部分の概略縦
断面図、第４図は同概略平面図、第５図は同被加工物取
付板の平面図である。 １１・・・・・・定盤、１２・・・・・・加圧盤、１２
ａ・・・・・・冷却室、１２ｂ・・・・・・回り止め部
、１３・・・・・・加圧機構、１４・・・・・・被加工
物、１６・・・・・・被加工物取付板、１７・・・・・
・爪、１８・・・・・・締結具、２０・・・・・・レバ
ー ２１・・・・・・クランプ、２２・・・・・・押棒
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 水平回転される定盤の上方に昇降可能な加圧盤を配設し
   、前記定盤と加圧盤との間に被加工物を挾んで被加工物
   の片面を研摩する研摩装置において、内部に冷却水が通
   じる前記加圧盤の外周面の複数個所に、この加圧盤より
   下方に突出する爪を固着させ、この爪を被加工物取付板
   の外周面に形成した回り止め部に嵌合させるとともに、
   加圧盤の上面にはさらに、その周縁から外方に突出する
   ように形成したブラケットを取付け、このブラケットの
   上面側には、端部にカムを有するレバーをピンにより起
   伏自在に枢着し、ブラケットの突出部分には、上端部が
   レバーのカムに係接し下端部が被加工物取付板の側面に
   係接するクランプをピンにより枢着し、また、前記レバ
   ーのピンの下方には、上端がレバーのカムに係接する押
   棒を加圧盤を貫通して上下方向に摺動可能に設けたこと
   を特徴とする、研摩装置。