JPS6037286A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS6037286A JPS6037286A JP58144913A JP14491383A JPS6037286A JP S6037286 A JPS6037286 A JP S6037286A JP 58144913 A JP58144913 A JP 58144913A JP 14491383 A JP14491383 A JP 14491383A JP S6037286 A JPS6037286 A JP S6037286A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- works
- workpiece
- motor
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ加工装置、特に同時に複数のワークを、
又は同時に複数の個所を加工するレーザ加工装置に関す
る。
又は同時に複数の個所を加工するレーザ加工装置に関す
る。
従来から用いられている上記のレーザ加工装置の構成は
、単独のレーザ発振器から発振出力されたレーザ光をプ
リズムやハーフミラ−等によって分割し、分割したレー
ザ光をそれぞれ反射鏡て光［１＆変更ゼしめた後、集束
レンズで集束してワークに照射して加工するものであっ
た。
、単独のレーザ発振器から発振出力されたレーザ光をプ
リズムやハーフミラ−等によって分割し、分割したレー
ザ光をそれぞれ反射鏡て光［１＆変更ゼしめた後、集束
レンズで集束してワークに照射して加工するものであっ
た。
然しなから、このような構成のレーザ加工装置はプリズ
ムやハーフミラ−等によって分割したＬ・−ザ光を光路
変更せしめるため、通常のレーザ加工装置に比べて反射
鏡を多く設けるａ・要があり、レーザ光がプリズムやハ
ーフミラ−等によって分割されるとき、或いは反射鏡で
反射するときレーザ光のエネルギが損失し、これによる
加工効率の低下の問題があった。
ムやハーフミラ−等によって分割したＬ・−ザ光を光路
変更せしめるため、通常のレーザ加工装置に比べて反射
鏡を多く設けるａ・要があり、レーザ光がプリズムやハ
ーフミラ−等によって分割されるとき、或いは反射鏡で
反射するときレーザ光のエネルギが損失し、これによる
加工効率の低下の問題があった。
一般に、レーザ発振器の発振効率は例えば約２０％以下
と低いためレーザ加工装置の効率も充分高いものではな
く、加工効率を高めることが課題となっている。
と低いためレーザ加工装置の効率も充分高いものではな
く、加工効率を高めることが課題となっている。
従って、発振されたレーザ光のエネルギを損失させるこ
となくワークに照射することが望ましいが、一般にレー
ザ光が反射鏡で反射するとき、各−回の反射でそのエネ
ルギの０．８〜１％が損失する。また、この損失はレー
ザ光の照射時間が長くなって反射鏡が高温となるに従っ
て増大するという問題点があった。
となくワークに照射することが望ましいが、一般にレー
ザ光が反射鏡で反射するとき、各−回の反射でそのエネ
ルギの０．８〜１％が損失する。また、この損失はレー
ザ光の照射時間が長くなって反射鏡が高温となるに従っ
て増大するという問題点があった。
更に、反射鏡には長時間のレーザ光の照射による歪や破
１ｎ１特性の劣化等の問題があり、その耐久性は高いも
のではない。
１ｎ１特性の劣化等の問題があり、その耐久性は高いも
のではない。
従って、反射鏡を設ける数は少ない程効率がよいのであ
るが、従来の同時に複数のワークを、又は同時に複数の
個所を加工するレーザ加工装置ではレーザ光を光路変更
せしめるため通常２〜４回の反射を行うので各々の反射
によるエネルギの損失が累積されて加工効率の低下の一
因となっていた。
るが、従来の同時に複数のワークを、又は同時に複数の
個所を加工するレーザ加工装置ではレーザ光を光路変更
せしめるため通常２〜４回の反射を行うので各々の反射
によるエネルギの損失が累積されて加工効率の低下の一
因となっていた。
また、複数のレーザ発ｍ器から発振出力されたレーザを
ハーフミラ−等を用いて一本のビームに北めて照射する
構成のものでは、それぞれ別個のレーザ発振器から発振
出力されたレーザ光のコヒーレンスが揃わず、パワー密
度の低下を招くと云う問題がある。
ハーフミラ−等を用いて一本のビームに北めて照射する
構成のものでは、それぞれ別個のレーザ発振器から発振
出力されたレーザ光のコヒーレンスが揃わず、パワー密
度の低下を招くと云う問題がある。
本発明は畝上の観点に立ってなされたものであり、本発
明の目的とするところは、反射鏡やプリズムを用いずに
同時に複数のワーク又は複数の個所を加工を行うし〜ザ
加工装置を構成し、反射によるエネルギの損失を無くし
て加工効率を高めることにある。
明の目的とするところは、反射鏡やプリズムを用いずに
同時に複数のワーク又は複数の個所を加工を行うし〜ザ
加工装置を構成し、反射によるエネルギの損失を無くし
て加工効率を高めることにある。
而して、その要旨とするところは、
１個又は複数のワークが取り付けられ、それらを−軸方
向に移動せしめるワークテーブルと、それぞれ集束レン
ズを備えた１１数のレーザ発振器と、 上記ワークテーブルと平行に相対向して設けられ、上記
１Ｍ数のレーザ発振器を支承し、これらを上記ワークテ
ーブルの移動方向とは直角方向に移動せしめるレーザテ
ーブルと、 上記ワークテーブル及びレーザテーブルによる加工送り
とレーザ発振器の作動を制御する制御装置とを設けたこ
とにある。
向に移動せしめるワークテーブルと、それぞれ集束レン
ズを備えた１１数のレーザ発振器と、 上記ワークテーブルと平行に相対向して設けられ、上記
１Ｍ数のレーザ発振器を支承し、これらを上記ワークテ
ーブルの移動方向とは直角方向に移動せしめるレーザテ
ーブルと、 上記ワークテーブル及びレーザテーブルによる加工送り
とレーザ発振器の作動を制御する制御装置とを設けたこ
とにある。
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
図面は本発明に係るレーザ加工装置の一実施例を示す説
明図である。
明図である。
図中、１．２．３．４はレーザ照射装置、１−１．２−
１．３−１．４−１はレーザ発振器、５は機台、６．６
は支柱、７は架台、８はレーザ照射装置を取り付けるレ
ーザテーブル、９はガイドレール、１０はレーザテーブ
ル５を移動せしめるモータ、１１は第一のケーシング、
１２は第二のケーシング、１３は第二のケーシングを移
動せしめるモータ、１４は集束レンズ、１５は隔壁ノズ
ル、１６は加工用ガス供給管、Ｉ７．１７は被加工体、
１Ｂは被加工体を取り付けるワークテーブル、１９はガ
イドレール、２０はワークテーブル１８を移動せしめる
モータ、２１は制御装置である。
１．３−１．４−１はレーザ発振器、５は機台、６．６
は支柱、７は架台、８はレーザ照射装置を取り付けるレ
ーザテーブル、９はガイドレール、１０はレーザテーブ
ル５を移動せしめるモータ、１１は第一のケーシング、
１２は第二のケーシング、１３は第二のケーシングを移
動せしめるモータ、１４は集束レンズ、１５は隔壁ノズ
ル、１６は加工用ガス供給管、Ｉ７．１７は被加工体、
１Ｂは被加工体を取り付けるワークテーブル、１９はガ
イドレール、２０はワークテーブル１８を移動せしめる
モータ、２１は制御装置である。
架台７は機台５上に設けた支柱６．６によって機台７と
平行に支持されている。
平行に支持されている。
レーザテーブル８は架台７の外側に張り出しており、架
台７に設けたガイドレール９」二をモータ１０の駆動に
より図中Ｘ軸方向に摺動する。
台７に設けたガイドレール９」二をモータ１０の駆動に
より図中Ｘ軸方向に摺動する。
レーザ照射装置１〜４はレーザテーブル８の端部に同一
直線上に且つ等間隔に取り付けられている。
直線上に且つ等間隔に取り付けられている。
レーザ発振器１−１．２−１．３−１．４−１には加工
の種類に応じてＣ０２レーザ、ｌ１ｃ−Ｎθレーザ等の
気体レーザ、ルビーレーザ、ＹＡＣレーザ、ガラスレー
ザ等の固体レーザその他を用い、それぞれ同一の特性を
持ったものを用いる。
の種類に応じてＣ０２レーザ、ｌ１ｃ−Ｎθレーザ等の
気体レーザ、ルビーレーザ、ＹＡＣレーザ、ガラスレー
ザ等の固体レーザその他を用い、それぞれ同一の特性を
持ったものを用いる。
尚、図面ではレーザ発振器１−１．２−１．３−１．４
−１の励起用の電源装置及び冷却液供給ｙｔ置等は省略
しである。
−１の励起用の電源装置及び冷却液供給ｙｔ置等は省略
しである。
以下、レーザ照射装置１〜４の構成は同様であるので、
レーザ照射装置１に就いてのみ詳細に説明する。
レーザ照射装置１に就いてのみ詳細に説明する。
第一のケーシング１１はレーザ発振器１−１から発振出
力されるレーザ光の光軸と同軸にレーザ発振器１−１に
固定されている。
力されるレーザ光の光軸と同軸にレーザ発振器１−１に
固定されている。
第二のケーシング１２及び第一のケーシング１１は共に
？、ｌであり、第二のケーシング１２は第一のケーシン
グ１］と同軸に且つ摺動自在に取り付けられている。
？、ｌであり、第二のケーシング１２は第一のケーシン
グ１］と同軸に且つ摺動自在に取り付けられている。
モータ１３は第一のケーシング１１の側面に設けられ、
その駆動軸には雄螺子が切られ、第二のケーシング１２
と一体に設けられた板状体に切られた雌螺子と噛み合っ
ている。
その駆動軸には雄螺子が切られ、第二のケーシング１２
と一体に設けられた板状体に切られた雌螺子と噛み合っ
ている。
従って、第二のケーシング１２はモータ１３の駆動によ
ってレーザ光の光軸方向に微小距離宛平行移動する。
ってレーザ光の光軸方向に微小距離宛平行移動する。
集束レンズ１４は第二のケーシング１２の内部に固定さ
れており、レーザ発振器１−１から発振出力されたレー
ザ光を一点に集束する。
れており、レーザ発振器１−１から発振出力されたレー
ザ光を一点に集束する。
また県東レンズ１４はモータ１３の駆動による第二のケ
ーシング１１の移動に伴いこれと一体にレーザ光の光軸
方向に移動する。従ってモータ１３の駆動を制御装置２
１によって制御することによってレーザ光の焦点を被加
工体の加工面に一致させることができる。
ーシング１１の移動に伴いこれと一体にレーザ光の光軸
方向に移動する。従ってモータ１３の駆動を制御装置２
１によって制御することによってレーザ光の焦点を被加
工体の加工面に一致させることができる。
隔壁ノズル１５は第二のケーシング１２の先端膨出部内
に設けられており、レーザ光の照射口と加工用ガスの噴
出口とを分離する。
に設けられており、レーザ光の照射口と加工用ガスの噴
出口とを分離する。
第二のケーシング１２と隔壁ノズル１５との間の空所に
は図示しない供給装置によって被加工体の種頬に応じた
加工用ガスがガス供給管１６を経て供給され、第二のケ
ーシング１２の先端部のガス噴出口よりレーザ光の焦点
に鍋中して吹き付けられる。
は図示しない供給装置によって被加工体の種頬に応じた
加工用ガスがガス供給管１６を経て供給され、第二のケ
ーシング１２の先端部のガス噴出口よりレーザ光の焦点
に鍋中して吹き付けられる。
被加工体１７．１７はレーザ照射装置１〜４に対応して
ワークテーブル１８に取り付けられている。
ワークテーブル１８に取り付けられている。
尚、本実施例では同時に複数のワーク（被加工体）を加
工する場合の例を示すが、単独のワーク（被加工体）を
摺動テーブル１８に取り付け、その複数の個所を同時に
加工することもできる。
工する場合の例を示すが、単独のワーク（被加工体）を
摺動テーブル１８に取り付け、その複数の個所を同時に
加工することもできる。
ワークテーブル１８は機台７に設けられたガイドレール
１９上をモータ２０の駆動により図中Ｙ軸方向に摺動す
る。
１９上をモータ２０の駆動により図中Ｙ軸方向に摺動す
る。
制御装置２１はレーザテーブル８を移動せしめるモータ
１０、ワークテーブル１８を移動せしめるモータ２０及
びレーザ照射装置１〜４のそれぞれの第二のケーシング
を移動せしめるモータの駆動を制御する。
１０、ワークテーブル１８を移動せしめるモータ２０及
びレーザ照射装置１〜４のそれぞれの第二のケーシング
を移動せしめるモータの駆動を制御する。
而して、レーザ発振器１−１．２−１．３−１．４−１
からレーザ光が発振出力されると、レーザ光はそれぞれ
に対応して設けられた集束レンズによって各々の焦点位
置に集束する。これと同時に制御装ｆｆ１２１はそれぞ
れの第二のケーシングを移動せしめるモータの駆動を制
御してレーザ光の焦点を被加工体Ｉ７、Ｉ７の所望加工
面と一致せしめる。
からレーザ光が発振出力されると、レーザ光はそれぞれ
に対応して設けられた集束レンズによって各々の焦点位
置に集束する。これと同時に制御装ｆｆ１２１はそれぞ
れの第二のケーシングを移動せしめるモータの駆動を制
御してレーザ光の焦点を被加工体Ｉ７、Ｉ７の所望加工
面と一致せしめる。
制御装置２１は予め定められたプログラムに従いレーザ
照射装置１〜４が取り付けられたレーザテーブル８を図
中Ｘ軸方向に移動せしめるモータ１０及び被加工体１７
．１７が取り付けられたワークテーブル１８を図中Ｙ軸
方向に移動せしめるモータ２０の駆動を制御して被加工
体１７．１７に所望の加工送りを与え、切断、溶接、ト
リミング等の加工が行われる。
照射装置１〜４が取り付けられたレーザテーブル８を図
中Ｘ軸方向に移動せしめるモータ１０及び被加工体１７
．１７が取り付けられたワークテーブル１８を図中Ｙ軸
方向に移動せしめるモータ２０の駆動を制御して被加工
体１７．１７に所望の加工送りを与え、切断、溶接、ト
リミング等の加工が行われる。
本発明は畝上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、構成が極めて簡単で且つ強固なものとなり、反射鏡
やプリズムを用いずに同時に複数のワーク又は複数の個
所を加工でき、反射によるエネルギの損失がなく、加工
動車の高いレーザ加工装置を提供することができる。
は、構成が極めて簡単で且つ強固なものとなり、反射鏡
やプリズムを用いずに同時に複数のワーク又は複数の個
所を加工でき、反射によるエネルギの損失がなく、加工
動車の高いレーザ加工装置を提供することができる。
尚、本発明の構成は畝上の実施例に限定されるものでは
なく、レーザ照射装置を設ける数は同時に加工するワー
クの数、又は同時に加工する個所の数に応じて自由に設
定することができ、また、実施例では複数のレーザ照射
装置を同一直線上で且つ等間隔に設ける構成としたが、
これらの配置も適宜に変更できるものであり、本発明は
これらの一切を包摂するものである。
なく、レーザ照射装置を設ける数は同時に加工するワー
クの数、又は同時に加工する個所の数に応じて自由に設
定することができ、また、実施例では複数のレーザ照射
装置を同一直線上で且つ等間隔に設ける構成としたが、
これらの配置も適宜に変更できるものであり、本発明は
これらの一切を包摂するものである。
図面は本発明に係るレーザ加工装置の一実施例を示す説
明図である。 １．２．３．４−−−−−−−−−−一−−レーザ照射
装置１−１．２−１３−１．４−１−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−レーザ発振器５−−−
−−−−−−−−−−−一機台７−−−−−−−−−−
−−−−−−−−一−−架台８−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−レーザテーブル１１−−−−−−−−
−−−−−−−−−−一第一のケーシング＋ ２−−−
−−−−−−−−−一第二のゲージング１４−−−−−
−−−−−−−−−−−−一望東レンズ１５−−−−−
−−−−−−−隔壁ノズル１７、ｌ’ｔ−−−−−−
−−−−−−−一被加工体１Ｂ−−−−−−−−−−−
−−−ワークテーブル２１−−一−−−−−−−−−−
−−−−制御装置特許出願人 株式会社 井上ジャパッ
クス研究所代理人（７５２４）最上正太部
明図である。 １．２．３．４−−−−−−−−−−一−−レーザ照射
装置１−１．２−１３−１．４−１−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−レーザ発振器５−−−
−−−−−−−−−−−一機台７−−−−−−−−−−
−−−−−−−−一−−架台８−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−レーザテーブル１１−−−−−−−−
−−−−−−−−−−一第一のケーシング＋ ２−−−
−−−−−−−−−一第二のゲージング１４−−−−−
−−−−−−−−−−−−一望東レンズ１５−−−−−
−−−−−−−隔壁ノズル１７、ｌ’ｔ−−−−−−
−−−−−−−一被加工体１Ｂ−−−−−−−−−−−
−−−ワークテーブル２１−−一−−−−−−−−−−
−−−−制御装置特許出願人 株式会社 井上ジャパッ
クス研究所代理人（７５２４）最上正太部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ発振器と、発振出力されたレーザ光を被加工体上
に集束する光学系と、上記レーザ光の築束点と被加工体
とを相対的に移動させる装置とから成るレーザ加工装置
に於て、 １個又は複数のワークが取り付けられ、それらを−軸方
向に移動せしめるワークテーブルと、それぞれ集束レン
ズを備えた複数のレーザ発振器と、 上記ワークテーブルと平行に相対向して設けられ、上記
複数のレーザ発振器をその発振出力の光軸が上記被加工
体と相対向するように支承し、これらを上記ワークテー
ブルの移動方向とは直角方向に移動ゼしめるレーザテー
ブルと、 上記ワークテーブル及びレーザテーブルによる加工送り
とレーザ発振器の作動を制御する制御装置とを具備する
ことを特徴とする上記のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144913A JPS6037286A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144913A JPS6037286A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6037286A true JPS6037286A (ja) | 1985-02-26 |
Family
ID=15373171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144913A Pending JPS6037286A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037286A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007128332A1 (de) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laserbearbeitungsmaschine mit einem relativ zum rahmen der maschine bewegbaren lasergenerator |
| US7728255B2 (en) * | 2006-04-28 | 2010-06-01 | Coretronic Corporation | Spinning-type pattern-fabrication system and a method thereof |
-
1983
- 1983-08-10 JP JP58144913A patent/JPS6037286A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7728255B2 (en) * | 2006-04-28 | 2010-06-01 | Coretronic Corporation | Spinning-type pattern-fabrication system and a method thereof |
| WO2007128332A1 (de) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laserbearbeitungsmaschine mit einem relativ zum rahmen der maschine bewegbaren lasergenerator |
| US8536482B2 (en) | 2006-05-09 | 2013-09-17 | TRUMPF Laser -und Systemtechnik GmbH | Laser processing machines |
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