JPS6040210B2 - 貼り合わせ型振動子の製造方法 - Google Patents
貼り合わせ型振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6040210B2 JPS6040210B2 JP13457979A JP13457979A JPS6040210B2 JP S6040210 B2 JPS6040210 B2 JP S6040210B2 JP 13457979 A JP13457979 A JP 13457979A JP 13457979 A JP13457979 A JP 13457979A JP S6040210 B2 JPS6040210 B2 JP S6040210B2
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- JP
- Japan
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- manufacturing
- ceramic
- powder
- bonded
- fine
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高温まで使用可能な貼りあわせ型振動子（以下
／ベィモルフという）を安価にかつ高信頼度に製造する
方法に関するものである。
／ベィモルフという）を安価にかつ高信頼度に製造する
方法に関するものである。
従釆バィモルフは第１図に示す如く、図中１，１′とし
て示す圧電磁器の両面に導電性電極２，２ａ，２′，２
をを印刷・暁付け後導電性接着剤３にて接着し、電極２
，２′を短絡し、この電極２，２′と該電極２ａ′の延
長にある分極用の取出し電極２ａ″の間にシリコンオイ
ル中で電圧を印加し、分極していた。
て示す圧電磁器の両面に導電性電極２，２ａ，２′，２
をを印刷・暁付け後導電性接着剤３にて接着し、電極２
，２′を短絡し、この電極２，２′と該電極２ａ′の延
長にある分極用の取出し電極２ａ″の間にシリコンオイ
ル中で電圧を印加し、分極していた。
しかる後、必要ならばＡの位置にて切断し製品とする。
しかしながら、高温使用（たとえば１５０ｏ○）の場合
、有機系の樹脂を含む導電性接着剤を使用したとき‘こ
は長時間の動作では接着剤が劣化し、信頼性が低下した
。
しかしながら、高温使用（たとえば１５０ｏ○）の場合
、有機系の樹脂を含む導電性接着剤を使用したとき‘こ
は長時間の動作では接着剤が劣化し、信頼性が低下した
。
そのため通常このような用途には、第１図の導電性接着
剤３のかわりに貴金属系のペーストを焼成前のセラミッ
ク成形体に印刷したものを積層加圧し焼成した後、第１
図の外部電極２，２′を印刷焼付けしていた。すなわち
、この時は第１図の内部電極２ａ，２ａ′，３の役割を
貴金属系のペーストが果す。しかしながら、貴金属電極
は高価であり、またグリーンシート法等でつくられたセ
ラミック成形体の表面に印刷され、焼成と同時に燐付け
された電極は、セラミックグリーンシートの材質、組成
によっては焼成後、セラミックと貴金属電極間の界面で
接着不良（通常デラミネーションという）をおこし、歩
留りが低下し、また信頼性も十分ではなかった。本発明
は以上のような欠点を除去するもので、第１図中の接着
剤３として使用する内部電極材として、貴金属系微粉末
とこの時に使用されるセラミックと同材質のセラミック
微粉末にバィンダ、溶剤を加えペースト状にしたものを
グリーンシート法等でつくられたセラミックシート上に
印刷・乾燥後、セラミックと同時焼成する。
剤３のかわりに貴金属系のペーストを焼成前のセラミッ
ク成形体に印刷したものを積層加圧し焼成した後、第１
図の外部電極２，２′を印刷焼付けしていた。すなわち
、この時は第１図の内部電極２ａ，２ａ′，３の役割を
貴金属系のペーストが果す。しかしながら、貴金属電極
は高価であり、またグリーンシート法等でつくられたセ
ラミック成形体の表面に印刷され、焼成と同時に燐付け
された電極は、セラミックグリーンシートの材質、組成
によっては焼成後、セラミックと貴金属電極間の界面で
接着不良（通常デラミネーションという）をおこし、歩
留りが低下し、また信頼性も十分ではなかった。本発明
は以上のような欠点を除去するもので、第１図中の接着
剤３として使用する内部電極材として、貴金属系微粉末
とこの時に使用されるセラミックと同材質のセラミック
微粉末にバィンダ、溶剤を加えペースト状にしたものを
グリーンシート法等でつくられたセラミックシート上に
印刷・乾燥後、セラミックと同時焼成する。
これによると内部電極としてセラミックと同材質の微粉
末を含むため、接着性が良く、デラミネーション等の接
着不良はおこらないし、温度サイクル等の試験にても剥
離不良はおこらなかった。また、貴金属系微粉末の含有
率も低くできるため価格的にも安価になる。
末を含むため、接着性が良く、デラミネーション等の接
着不良はおこらないし、温度サイクル等の試験にても剥
離不良はおこらなかった。また、貴金属系微粉末の含有
率も低くできるため価格的にも安価になる。
ここで、貴金属系微粉末の含有量が低くなると内部電極
材部の比抵抗が上昇するが、この部分は分極時のみに使
用され、使用時には関係がなくなる。また、分極時には
電流がほとんど流れないため、セラミック部分の比抵抗
に比較して１／１０戊室度以下の比抵抗であれば問題が
ないことを確認した。貴金属系微粉末の含有量は上記理
由より最小２０ｗｔ％程度以上で、また上限は接着性の
点から９０のｔ％程度以下が適当である。
材部の比抵抗が上昇するが、この部分は分極時のみに使
用され、使用時には関係がなくなる。また、分極時には
電流がほとんど流れないため、セラミック部分の比抵抗
に比較して１／１０戊室度以下の比抵抗であれば問題が
ないことを確認した。貴金属系微粉末の含有量は上記理
由より最小２０ｗｔ％程度以上で、また上限は接着性の
点から９０のｔ％程度以下が適当である。
以下に実施例を示す。
セラミックグリーンシートとしてはバインダとしてポリ
ビニルブチラール樹脂を５のｔ％含有するチタン酸ジル
コン酸鉛系磁器の３００仏のものを用い、内部電極材と
しては白金微粉末（粒経１仏以下）５０のｔ％と上記チ
タン酸ジルコン酸鉛系磁器粉砕物（平均粒径１．８仏）
５０のｔ％及びポリビニルブチラール樹脂を前記混合粉
末に対し５のｔ％加え溶剤の酢酸ブチルにて粘度２００
比ｐｓに調整したものを上記セラミックグリーンシート
上に２００メッシュスクリーンにて印刷乾燥後、同じ３
００仏のグリーンシートを６００ｋ９／地にて加圧圧着
後、アルミナサャ中で１２５０℃で１時間焼成した。
ビニルブチラール樹脂を５のｔ％含有するチタン酸ジル
コン酸鉛系磁器の３００仏のものを用い、内部電極材と
しては白金微粉末（粒経１仏以下）５０のｔ％と上記チ
タン酸ジルコン酸鉛系磁器粉砕物（平均粒径１．８仏）
５０のｔ％及びポリビニルブチラール樹脂を前記混合粉
末に対し５のｔ％加え溶剤の酢酸ブチルにて粘度２００
比ｐｓに調整したものを上記セラミックグリーンシート
上に２００メッシュスクリーンにて印刷乾燥後、同じ３
００仏のグリーンシートを６００ｋ９／地にて加圧圧着
後、アルミナサャ中で１２５０℃で１時間焼成した。
焼成後の総厚みは４６０仏となった。そして銀ペースト
にて外部電極を印刷嬢付け後、これを所定の形状に切断
後、鎌Ｖ／側の電圧を印加して分極処理した。このよう
にして作製されたバィモルフは−３０００〜十１５００
０の温度サイクルにも十分耐え、電極の剥離等はみられ
なかった。第２図にこのようにして作製されたバィモル
フを示しており、１，１′及び２，２′は第１図と同様
で、４は分極用の内部電極材、４′は分極時に使用する
内部電極材４の延長部分である。
にて外部電極を印刷嬢付け後、これを所定の形状に切断
後、鎌Ｖ／側の電圧を印加して分極処理した。このよう
にして作製されたバィモルフは−３０００〜十１５００
０の温度サイクルにも十分耐え、電極の剥離等はみられ
なかった。第２図にこのようにして作製されたバィモル
フを示しており、１，１′及び２，２′は第１図と同様
で、４は分極用の内部電極材、４′は分極時に使用する
内部電極材４の延長部分である。
第３図は第２図の応用例を示し、４層のマルチモルフを
示し、１，２及び４は第２図と同様で、５及び６は分極
時に一度に電圧がかかるように電圧の共通となる部分を
短絡させた分極用の電極部分である。
示し、１，２及び４は第２図と同様で、５及び６は分極
時に一度に電圧がかかるように電圧の共通となる部分を
短絡させた分極用の電極部分である。
また、Ａは切断位置である。以上のように本発明方法に
よると、高信頼度のバィモルフが容易に作製し得るもの
である。
よると、高信頼度のバィモルフが容易に作製し得るもの
である。
第１図は従来のバィモルフの断面図、第２図は本発明方
法により作製されたバィモルフの断面図、第３図は第２
図の応用例を示すマルチモルフの断面図である。 ４・・・・・・内部電極材。 第１図 第２図 第３図
法により作製されたバィモルフの断面図、第３図は第２
図の応用例を示すマルチモルフの断面図である。 ４・・・・・・内部電極材。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 貼り合わせ型圧電振動子の製造方法において、分極
時に使用する内部電極材として、貴金属微粉末、基板と
同質のセラミツク微粉末、バインダ及び溶剤よりなるペ
ーストをセラミツクグリーンシートに印刷し、積層加圧
した後焼成することを特徴とする貼り合わせ型振動子の
製造方法。 ２ セラミツク微粉末を貴金属微粉末の重量比が０．８
：０．２〜０．１：０．９となるように構成されたペー
ストを使用することを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の貼り合わせ型振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13457979A JPS6040210B2 (ja) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | 貼り合わせ型振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13457979A JPS6040210B2 (ja) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | 貼り合わせ型振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5658308A JPS5658308A (en) | 1981-05-21 |
| JPS6040210B2 true JPS6040210B2 (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=15131648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13457979A Expired JPS6040210B2 (ja) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | 貼り合わせ型振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040210B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60140511U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-18 | オクス工業株式会社 | 二段繰出し口紅ケ−ス |
| JPS60140510U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-18 | オクス工業株式会社 | 二段繰出し口紅ケ−ス |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE68926166T2 (de) * | 1989-11-14 | 1996-12-12 | Battelle Memorial Institute | Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen Stapelantriebsvorrichtung |
| JP3733860B2 (ja) | 2000-02-01 | 2006-01-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子およびその製造方法 |
| KR100584733B1 (ko) * | 2001-05-07 | 2006-05-30 | 주식회사 포스코 | 장입물의 장입상태 검출장치 및 그 방법 |
-
1979
- 1979-10-17 JP JP13457979A patent/JPS6040210B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60140511U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-18 | オクス工業株式会社 | 二段繰出し口紅ケ−ス |
| JPS60140510U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-18 | オクス工業株式会社 | 二段繰出し口紅ケ−ス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5658308A (en) | 1981-05-21 |
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