JPS6041971Y2 - 紫外線洗浄装置 - Google Patents
紫外線洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6041971Y2 JPS6041971Y2 JP9209883U JP9209883U JPS6041971Y2 JP S6041971 Y2 JPS6041971 Y2 JP S6041971Y2 JP 9209883 U JP9209883 U JP 9209883U JP 9209883 U JP9209883 U JP 9209883U JP S6041971 Y2 JPS6041971 Y2 JP S6041971Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- ultraviolet
- quartz tube
- air
- ultraviolet rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は紫外線洗浄装置に関するものである。
紫外線ランプより発生するオゾンを利用して汚染物を分
解洗浄することが従来より行なわれている。
解洗浄することが従来より行なわれている。
例えばシリコンウェハーに感光レジストを塗付する際の
前処理として、主洗浄後にシリコンウェハーに付着した
大気中の有機汚染物を塗布直前に追加洗浄することによ
り分解したり、電子ビームによるスパッタリング蒸着の
際に基体に付着した真空ポンプの油などによる有機汚染
物を同じく追加洗浄すると塗布膜あるいは蒸着膜の密着
性を著しく向上できることが明らかになっている。
前処理として、主洗浄後にシリコンウェハーに付着した
大気中の有機汚染物を塗布直前に追加洗浄することによ
り分解したり、電子ビームによるスパッタリング蒸着の
際に基体に付着した真空ポンプの油などによる有機汚染
物を同じく追加洗浄すると塗布膜あるいは蒸着膜の密着
性を著しく向上できることが明らかになっている。
ところで紫外線ランプ、例えば水銀ランプを点灯すると
、主として波長が２５４ｎｍの水銀共鳴線の紫外線が外
部に放出され、従として１８５ｎｍの紫外線が、更には
他の波長のものがわずかに放出される。
、主として波長が２５４ｎｍの水銀共鳴線の紫外線が外
部に放出され、従として１８５ｎｍの紫外線が、更には
他の波長のものがわずかに放出される。
そしてこれらの紫外線によるオゾンの生成機構とその洗
浄作用は次のように考えられている。
浄作用は次のように考えられている。
ｈν（１８５ｎｍ）＋０２（空気） →０＋０
（１）Ｏ＋０２（空気）→０３（２） ｈ ｖ （２５４１ｍ） ＋０３→０＊＋０２（３）０
＊ ＋ＣｍＨｎＣ１（有機汚染物） →Ｃ０９ＣＯ２，Ｈ２０（ガス化して飛散）（４）即ち
、波長１８５ｎｍの紫外線によってオゾンが生成し、次
にこのオゾンが波長２５４ｎｍの紫外線により分解され
て発生基の酸素が生成し、この発生基の酸素が有機汚染
物を分解してガス状態で飛散させるものである。
（１）Ｏ＋０２（空気）→０３（２） ｈ ｖ （２５４１ｍ） ＋０３→０＊＋０２（３）０
＊ ＋ＣｍＨｎＣ１（有機汚染物） →Ｃ０９ＣＯ２，Ｈ２０（ガス化して飛散）（４）即ち
、波長１８５ｎｍの紫外線によってオゾンが生成し、次
にこのオゾンが波長２５４ｎｍの紫外線により分解され
て発生基の酸素が生成し、この発生基の酸素が有機汚染
物を分解してガス状態で飛散させるものである。
従って、０□（空気）の供給とＣ０９ＣＯ２，）（２０
ガスの排出が必要となり、装置の冷却も兼ねて装置に対
する送風と排風が行われる。
ガスの排出が必要となり、装置の冷却も兼ねて装置に対
する送風と排風が行われる。
ところがオゾンは人体に対して有害であるため、装置に
接続されたダクトによりオゾン分解装置に排風を導き、
触媒反応や化学反応によってオゾンを分解していた。
接続されたダクトによりオゾン分解装置に排風を導き、
触媒反応や化学反応によってオゾンを分解していた。
従って装置全体が複雑となり、大きな床面積を必要とす
る不具合があった。
る不具合があった。
ことに面積の小さいクリーン室内で本洗浄装置を使用す
る場合はこのことが大きな問題点となっていた。
る場合はこのことが大きな問題点となっていた。
そこで本考案は、簡単な構造でオゾンを分解することが
可能であり、ダクトを接続することなく装置より直接排
気することができる紫外線洗浄装置を提供することを目
的とするる。
可能であり、ダクトを接続することなく装置より直接排
気することができる紫外線洗浄装置を提供することを目
的とするる。
そしてその構成は被洗浄体に対置される紫外線ランプを
備え、この紫外線ランプの光でオゾンを発生させ、この
オゾンの分解により生成される発生基のの酸素により被
洗浄体の表面に付着する有機汚染物などを分解して洗浄
する紫外線洗浄装置であって、波長が約２００ｎｍ以上
の紫外線のみを透過させるオゾンレス石英管を前記紫外
線ランプより発生する紫外線が照射される部位に配設し
、循環ファンにより吸引された洗浄室内の空気を前記オ
ゾンレス石英管に通してオゾンを分解し、その空気を装
置内で循環利用するとともにその一部を排出することを
特徴とするものである。
備え、この紫外線ランプの光でオゾンを発生させ、この
オゾンの分解により生成される発生基のの酸素により被
洗浄体の表面に付着する有機汚染物などを分解して洗浄
する紫外線洗浄装置であって、波長が約２００ｎｍ以上
の紫外線のみを透過させるオゾンレス石英管を前記紫外
線ランプより発生する紫外線が照射される部位に配設し
、循環ファンにより吸引された洗浄室内の空気を前記オ
ゾンレス石英管に通してオゾンを分解し、その空気を装
置内で循環利用するとともにその一部を排出することを
特徴とするものである。
以下に図面に示す実施例に基いて本考案を具体的に説明
する。
する。
装置箱１には灯体２が内蔵されて二重構造をなし、発生
したオゾンが外部に漏洩しないようになっている。
したオゾンが外部に漏洩しないようになっている。
灯体２の内部上方には紫外線ランプ３としてＵ字状の３
５０Ｗ高出力低圧水銀灯が２本配設され、紫外線が被洗
浄体の置かれる下方の洗浄室４に向けて照射される。
５０Ｗ高出力低圧水銀灯が２本配設され、紫外線が被洗
浄体の置かれる下方の洗浄室４に向けて照射される。
次に、前記（１）、 （２）式の０２ （空気）を供給
するための吸入開口５が洗浄室４の背部に設けられて外
部に連通している。
するための吸入開口５が洗浄室４の背部に設けられて外
部に連通している。
そして、洗浄室４の側部には洗浄室４内の空気を吸引す
る吸引口６が設けられ、その部分の灯体２の外面に設け
られた循環ファン７によって吸引される。
る吸引口６が設けられ、その部分の灯体２の外面に設け
られた循環ファン７によって吸引される。
そして、オゾンレス石英管８が洗浄室４内に配設され、
循環ファン７によって吸引された空気がこのオゾンレス
石英管δ内に導かれるようになっている。
循環ファン７によって吸引された空気がこのオゾンレス
石英管δ内に導かれるようになっている。
このオゾンレス石英管８は波長が約２００１ｍ以上の紫
外線のみを透過させ、これ以下の紫外線はカットする性
質を有するオゾンレス石英ガラスからなり、このオゾン
レス石英ガラスは通常に市販されているものであり、そ
の特性は、例えばガラス工学ハンドブック第６７０頁（
朝食書店昭和お年６月２０日 第１０版発行）に記載さ
れているところのものである。
外線のみを透過させ、これ以下の紫外線はカットする性
質を有するオゾンレス石英ガラスからなり、このオゾン
レス石英ガラスは通常に市販されているものであり、そ
の特性は、例えばガラス工学ハンドブック第６７０頁（
朝食書店昭和お年６月２０日 第１０版発行）に記載さ
れているところのものである。
そして、オゾンレス石英管８の一方の開口は洗浄室４内
に開放されるとともに途中より分岐して排出開口９に連
通し、オゾンレス石英管８内の一部の空気が装置箱１外
に排出されるようになっている。
に開放されるとともに途中より分岐して排出開口９に連
通し、オゾンレス石英管８内の一部の空気が装置箱１外
に排出されるようになっている。
なお、循環ファン７の容量が小さくて吸引される空気量
が少いときはその全量を装置箱１外に排出させるように
してもよい。
が少いときはその全量を装置箱１外に排出させるように
してもよい。
而して上記構成の紫外線洗浄装置を作動させると紫外線
ランプ３より２５４ｎｍと１８５ｎｍの紫外線が照射さ
れて洗浄室４内で前記（１）〜（４）式の反応が進行し
て洗浄されるが、循環ファン７によって洗浄室４内の０
，０３そしてＣ０９ＣＯ２，Ｈ２Ｏを含む空気がオゾン
レス石英管８内に導かれる。
ランプ３より２５４ｎｍと１８５ｎｍの紫外線が照射さ
れて洗浄室４内で前記（１）〜（４）式の反応が進行し
て洗浄されるが、循環ファン７によって洗浄室４内の０
，０３そしてＣ０９ＣＯ２，Ｈ２Ｏを含む空気がオゾン
レス石英管８内に導かれる。
そして、オゾンレス石英管８にも紫外線ランプ３より発
生した紫外線が照射されるが、前述の特性により２５４
１ｍの紫外線は透過されるが、ｌ ８４１ ｍの紫外線
はカットされてオゾンレス石英管８内には侵入しない。
生した紫外線が照射されるが、前述の特性により２５４
１ｍの紫外線は透過されるが、ｌ ８４１ ｍの紫外線
はカットされてオゾンレス石英管８内には侵入しない。
従ってオゾンレス石英管８内では前記（３）式の反応が
進行してオゾンが分解されるが、前記＜１）、 （２１
式の反応は進行しないため、この内部でオゾンがあらた
に生皮されることはない。
進行してオゾンが分解されるが、前記＜１）、 （２１
式の反応は進行しないため、この内部でオゾンがあらた
に生皮されることはない。
このため、オゾンレス石英管８内の空気にはオゾンが存
在しなくなって、この人体に無害の空気が排出開口９よ
り排出される。
在しなくなって、この人体に無害の空気が排出開口９よ
り排出される。
この様に本考案は、オゾンレス石英管を紫外線ランプよ
り発生する紫外線が照射される部位に配設して、その内
部のオゾンを分解して排出させるので、紫外線ランプが
洗浄とオゾン分解の両方の役目を果し、構造が簡単とな
るとともに装置外に直接排出することが可能となる。
り発生する紫外線が照射される部位に配設して、その内
部のオゾンを分解して排出させるので、紫外線ランプが
洗浄とオゾン分解の両方の役目を果し、構造が簡単とな
るとともに装置外に直接排出することが可能となる。
従って、ダクトを装置に接続して排気をオゾン分解装置
に導く必要がなく、床面積が小さくてよいため、とりわ
けクリーン室内で使用するのに好適である。
に導く必要がなく、床面積が小さくてよいため、とりわ
けクリーン室内で使用するのに好適である。
第１図は本考案実施例の断面図、第２図は第１図■−■
線における断面図である。 １・・・・・・装置箱、２・・・・・・灯体、３・・・
・・・紫外線ランプ、４・・・・・・洗浄室、５・・・
・・・吸入開口、６・・・・・・吸引口、７・・・・・
・循環ファン、８・・・・・・オゾンレス石英管、９・
・・・・・排出開口。
線における断面図である。 １・・・・・・装置箱、２・・・・・・灯体、３・・・
・・・紫外線ランプ、４・・・・・・洗浄室、５・・・
・・・吸入開口、６・・・・・・吸引口、７・・・・・
・循環ファン、８・・・・・・オゾンレス石英管、９・
・・・・・排出開口。
Claims (1)
- 被洗浄体に対置される紫外線ランプを備え、この紫外線
ランプの光でオゾンを発生させ、このオゾンの分解によ
り生皮される発生基の酸素により被洗浄体の表面に付着
する有機汚染物などを分解して洗浄する紫外線洗浄装置
であって、波長が約２００ｎｍ以上の紫外線のみを透過
させるオゾンレス石英管を前記紫外線ランプより発生す
る紫外線が照射される部位に配設し、循環ファンにより
吸引された洗浄室内の空気を前記オゾンレス石英管に通
してオゾンを分解し、その空気を装置内で循環利用する
とともにその一部を排出することを特徴とする紫外線洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9209883U JPS6041971Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9209883U JPS6041971Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS602537U JPS602537U (ja) | 1985-01-10 |
| JPS6041971Y2 true JPS6041971Y2 (ja) | 1985-12-21 |
Family
ID=30222233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9209883U Expired JPS6041971Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041971Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0658577B2 (ja) * | 1985-05-31 | 1994-08-03 | 三田工業株式会社 | 電子写真複写機におけるオゾン除去装置 |
| JP2622682B2 (ja) * | 1987-03-30 | 1997-06-18 | 増田 佳子 | オゾンガスによる殺菌消毒装置 |
| JPS6415053A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Shirakawa Seisakusho Kk | Method for sterilizing, deodorizing, discoloring and drying feather material by ozonized air |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP9209883U patent/JPS6041971Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS602537U (ja) | 1985-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3508894B2 (ja) | 蛍光ランプ、脱臭装置、照明装置、建築構造体および移動体 | |
| JP5083318B2 (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
| TW200909080A (en) | Apparatus and method for cleaning substrate | |
| JP2001015472A (ja) | 紫外光照射方法及び装置 | |
| KR20000071562A (ko) | 반도체 장치의 세정 방법 및 세정 장치 | |
| US6796664B2 (en) | Method and device for decontaminating optical surfaces | |
| JPH0929103A (ja) | 光触媒体、光触媒装置、光源および照明器具 | |
| JP3073691B2 (ja) | 道路またはトンネル用照明器具 | |
| JPS5994823A (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JPS60212226A (ja) | 紫外線処理方法 | |
| JP3358875B2 (ja) | ロール表面の洗浄装置 | |
| JP2000084060A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JP2588511B2 (ja) | 処理装置 | |
| JPS59161824A (ja) | 光照射装置 | |
| JP3674987B2 (ja) | 抗菌脱臭ボックス | |
| JPH0768162A (ja) | 付着物の洗浄方法及びその装置 | |
| JPH06343938A (ja) | 付着物の洗浄方法及びその装置 | |
| JPS63121A (ja) | 蒸気乾燥洗浄装置 | |
| JPS6041969Y2 (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JPS6041972Y2 (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JP3059223U (ja) | Ｕｖ照射装置 | |
| KR200356312Y1 (ko) | 광촉매를 이용한 공기정화장치 | |
| JPS6041973Y2 (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JP2005129733A (ja) | 表面改質方法及び表面改質装置 | |
| JP2005081277A (ja) | 紫外線照射装置 |