JPS6042283A - 酸化物系セラミツクスと活性金属との接合法 - Google Patents
酸化物系セラミツクスと活性金属との接合法Info
- Publication number
- JPS6042283A JPS6042283A JP15067683A JP15067683A JPS6042283A JP S6042283 A JPS6042283 A JP S6042283A JP 15067683 A JP15067683 A JP 15067683A JP 15067683 A JP15067683 A JP 15067683A JP S6042283 A JPS6042283 A JP S6042283A
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- Japan
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- ceramics
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- oxide
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- metals
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸化物系セラミックスと活性金属との接合法に
関する。
関する。
最近、耐熱性、耐暦耗性、耐食性などの点で金属に比べ
て優れたセラミックスが工業用材料として注目されて来
ている。しかし、セラミックスは加工性が悪く複雑な形
状のものを製作でき人いうえに、非常に脆く使用中に脆
性破壊する可能性が高いという欠点がある。そのため、
セラミックスを工業用材料として広範囲に使用するには
、加工性に優れ靭性に冨む金属との接合が不可欠である
。
て優れたセラミックスが工業用材料として注目されて来
ている。しかし、セラミックスは加工性が悪く複雑な形
状のものを製作でき人いうえに、非常に脆く使用中に脆
性破壊する可能性が高いという欠点がある。そのため、
セラミックスを工業用材料として広範囲に使用するには
、加工性に優れ靭性に冨む金属との接合が不可欠である
。
そこで、従来からセラミックスと金属の接合法が種々提
案されている。そのうち、セラミックスの中で多用され
る酸化物系セラミックスと活性金属との接合法の具体例
を接合強度とあわせて示すと表1のようになる。
案されている。そのうち、セラミックスの中で多用され
る酸化物系セラミックスと活性金属との接合法の具体例
を接合強度とあわせて示すと表1のようになる。
表1
ここで酸化物ソルダー法は、Ca0−A/zoa−8i
OrMgO糸粉末ンルダーを、酸化物系セラミックスと
活性金属の接合部に挟んだ後、真空中で1500°Cに
加熱して5〜10分間保持するという方法である。しか
し、この方法によると、接合強度が比較的高い利点があ
るが、非常に高温に加熱しなければならないという問題
があった。
OrMgO糸粉末ンルダーを、酸化物系セラミックスと
活性金属の接合部に挟んだ後、真空中で1500°Cに
加熱して5〜10分間保持するという方法である。しか
し、この方法によると、接合強度が比較的高い利点があ
るが、非常に高温に加熱しなければならないという問題
があった。
一方、活性金属ノルグー法は、活性金属であるTi、Z
rニオブなどとNi 、 Cu、 Agなどと合金にし
て例えばセラミックス−セラミックスあるいはセラミッ
クス−金属間に挟んだ後、これを真空中または不活性ガ
ス中で加熱して接合体とする方法である。しかし、この
方法によると、活性金属の酸素との反応性をうまく利用
できるが、接合のために例えば”l’1−Ni合金ソル
ダーの作成が不可欠であるという問題があった。。
rニオブなどとNi 、 Cu、 Agなどと合金にし
て例えばセラミックス−セラミックスあるいはセラミッ
クス−金属間に挟んだ後、これを真空中または不活性ガ
ス中で加熱して接合体とする方法である。しかし、この
方法によると、活性金属の酸素との反応性をうまく利用
できるが、接合のために例えば”l’1−Ni合金ソル
ダーの作成が不可欠であるという問題があった。。
本発明はこのような従来の問題を解決することを目的と
し、酸化物糸セラミックスとチタン、ジルコニツム、ニ
オブ等の活性金属を接合する際に、接合部に、延性に富
みかつ前記活性金属と共晶反后する金属箔を挟んだ後、
酸化物系セラミックスと活性金属を加熱、IfE接して
拡散接合する構成の酸化物系セラミックスと活性金属と
の接合方法を提供することによって、その目的を達成す
るものであり、これにより、比較的低温で接合すること
ができるとともに、Ti−Ni合金ソルダー等の作成を
不用とし、そのうえ非常に高い接合強度を得ることがで
きるものである。
し、酸化物糸セラミックスとチタン、ジルコニツム、ニ
オブ等の活性金属を接合する際に、接合部に、延性に富
みかつ前記活性金属と共晶反后する金属箔を挟んだ後、
酸化物系セラミックスと活性金属を加熱、IfE接して
拡散接合する構成の酸化物系セラミックスと活性金属と
の接合方法を提供することによって、その目的を達成す
るものであり、これにより、比較的低温で接合すること
ができるとともに、Ti−Ni合金ソルダー等の作成を
不用とし、そのうえ非常に高い接合強度を得ることがで
きるものである。
以下本発明方法の一夾絶倒を図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第1図は試験片(被接合体)を示す。図において、(1
)は酸化物系セラミックスの1つである直径20闘、厚
≧5朋の(焼結)アルミナセラミックス(AfzOa)
、(2ンは活性金属の1つである直径15馴、長さ4
0酊の工業用純チタン(Ti)である。図面はアルミナ
セラミックス(1)の両面に工柴用純チタン(2)を接
合するところを示し、今、その接合部(3)に厚さ5μ
の銅箔(Cu箔)(4)が挟まれている。
)は酸化物系セラミックスの1つである直径20闘、厚
≧5朋の(焼結)アルミナセラミックス(AfzOa)
、(2ンは活性金属の1つである直径15馴、長さ4
0酊の工業用純チタン(Ti)である。図面はアルミナ
セラミックス(1)の両面に工柴用純チタン(2)を接
合するところを示し、今、その接合部(3)に厚さ5μ
の銅箔(Cu箔)(4)が挟まれている。
このような構成で、被接合体を(1) (2) (4)
*空中で、この共晶点以上鋼の融点(約1080″C
)以下の温度で加熱、加圧する。そして、加熱後、その
温度で恒温保持する。そうすると、Cu、Tiの相互拡
散により銅箔(4)中のTi濃度は時間とともに増加す
る。
*空中で、この共晶点以上鋼の融点(約1080″C
)以下の温度で加熱、加圧する。そして、加熱後、その
温度で恒温保持する。そうすると、Cu、Tiの相互拡
散により銅箔(4)中のTi濃度は時間とともに増加す
る。
ここで、Cu−Ti合金の状態を図に示すと第2図のよ
うになる。すなわち、Cu−Ti合金は、TIが約28
重量%で共晶組成となり、その融点は約:s7o jc
でおる。したがって、Ti濃度が約28重量%以下なら
ば、時間の経過とともに銅箔(Cu−Ti合金)の融点
は低下し、銅箔(Cu−Ti合金)は溶融することとな
る。七こで、このようにして恒温保持過程で、接合部(
3)にCu−Ti合金融液を一時的に生せしめる。
うになる。すなわち、Cu−Ti合金は、TIが約28
重量%で共晶組成となり、その融点は約:s7o jc
でおる。したがって、Ti濃度が約28重量%以下なら
ば、時間の経過とともに銅箔(Cu−Ti合金)の融点
は低下し、銅箔(Cu−Ti合金)は溶融することとな
る。七こで、このようにして恒温保持過程で、接合部(
3)にCu−Ti合金融液を一時的に生せしめる。
このCu−Ti合金融液中のTiが、活性金属ソルダー
法の場合と同じようにAI!20aと反応し、アルミナ
セラミックス(1)と工業用純チタン(2)の接合に寄
与することとなる。なお、チタン(2)の長さを短くシ
て厚さを薄くシ、アルミナセラミックス(,1)−銅箔
(4)−チタン(2)−金属の接合体を作成することも
できる。なお、係る場合の金属は、チタン(2)と約8
70°C〜1080°Cで拡散接合できる金属に限られ
る。
法の場合と同じようにAI!20aと反応し、アルミナ
セラミックス(1)と工業用純チタン(2)の接合に寄
与することとなる。なお、チタン(2)の長さを短くシ
て厚さを薄くシ、アルミナセラミックス(,1)−銅箔
(4)−チタン(2)−金属の接合体を作成することも
できる。なお、係る場合の金属は、チタン(2)と約8
70°C〜1080°Cで拡散接合できる金属に限られ
る。
まだ、銅箔(4)に代えて延性に富むニッケル箔、銀箔
を使用してもよい。
を使用してもよい。
ところで、本方法では、被接合体のアルミナセラミック
ス(1)、銅箔(4)、工業用純チタン(2)のそれぞ
れの間で原子が拡散する必要がある。そのため、これら
王者の間で原子が拡散できるように、間隙を消滅するよ
うな加圧を行う必要がある。しかし、銅は塑性変形しや
すいため、この加圧力は小さくてよく、例えば焼結アル
ミナセラミックスとの接合面が機械加工で表颯仕上げ(
Vvv程度)のしであるチタンの接合では2kgf/c
−程度でよい。
ス(1)、銅箔(4)、工業用純チタン(2)のそれぞ
れの間で原子が拡散する必要がある。そのため、これら
王者の間で原子が拡散できるように、間隙を消滅するよ
うな加圧を行う必要がある。しかし、銅は塑性変形しや
すいため、この加圧力は小さくてよく、例えば焼結アル
ミナセラミックスとの接合面が機械加工で表颯仕上げ(
Vvv程度)のしであるチタンの接合では2kgf/c
−程度でよい。
図1に示した形状のもので、真空中(4XIO’Tor
r)で接合部(3)を930℃、30分間保持して接合
した接合体に、接合面に対し垂直方向の引張実験を行っ
た結果を表2に示す。表1と比較すると明らかなように
、本方法によれは従来方法より高い接合強度が得られる
ことが分かる。なお、この接合時には、加圧力2tc9
f /cflと力るように接合面に垂直に加圧した。
r)で接合部(3)を930℃、30分間保持して接合
した接合体に、接合面に対し垂直方向の引張実験を行っ
た結果を表2に示す。表1と比較すると明らかなように
、本方法によれは従来方法より高い接合強度が得られる
ことが分かる。なお、この接合時には、加圧力2tc9
f /cflと力るように接合面に垂直に加圧した。
表2
以上本発明方法によれば次の効果を得ることができる。
(1) 比較的低温で接合できる。
(2)金属箔を使用するので、活性金属ンルダーのよう
な活性金属と低融点化合物を形成するような金属(Cu
、 Nt、 Ag )の合金を作る必要がない。したが
って、容易にかつ安価に接合できZ (3)延性に冨んだ金属箔を使用するので、この金属箔
の塑性変形を利用して低加圧力で接合できる。
な活性金属と低融点化合物を形成するような金属(Cu
、 Nt、 Ag )の合金を作る必要がない。したが
って、容易にかつ安価に接合できZ (3)延性に冨んだ金属箔を使用するので、この金属箔
の塑性変形を利用して低加圧力で接合できる。
図面は本発明方法の一実施例を示し、第1図fa)は試
験片の正面図、第1図(b)は同側面図、第2図はCu
−’I”i合金の状態図である。 (1)・・・アルミナセラミックス、(2)・・・工業
用純チタン、(3)・・・接合部、(4)・・・銅箔代
理人 森 本 義 弘
験片の正面図、第1図(b)は同側面図、第2図はCu
−’I”i合金の状態図である。 (1)・・・アルミナセラミックス、(2)・・・工業
用純チタン、(3)・・・接合部、(4)・・・銅箔代
理人 森 本 義 弘
Claims (1)
- 1、 酸化物系セラミックスとチタン、ジμコニクム、
ニオブ等の活性金属を接合する際に、接合部に、延性に
冨みかつ前記活性金属と共晶反応する金属箔を挟んだ後
、酸化物系セラミックスと活性金属を加熱、加圧して拡
散接合することを特徴とする酸化物糸セラミックスと活
性金属との接合法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067683A JPS6042283A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 酸化物系セラミツクスと活性金属との接合法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15067683A JPS6042283A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 酸化物系セラミツクスと活性金属との接合法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6042283A true JPS6042283A (ja) | 1985-03-06 |
Family
ID=15502032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15067683A Pending JPS6042283A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 酸化物系セラミツクスと活性金属との接合法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042283A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6077181A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | 株式会社東芝 | セラミツクス−金属接合体 |
| JPS61279651A (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-10 | Daido Steel Co Ltd | 接合材料 |
| JPS63270459A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スパツタ用タ−ゲツトのボンデイング方法 |
| US4988034A (en) * | 1987-12-25 | 1991-01-29 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Mechanical part having ceramic and metal sections soldered together and method of producing same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5084440A (ja) * | 1973-11-29 | 1975-07-08 |
-
1983
- 1983-08-17 JP JP15067683A patent/JPS6042283A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5084440A (ja) * | 1973-11-29 | 1975-07-08 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6077181A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | 株式会社東芝 | セラミツクス−金属接合体 |
| JPS61279651A (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-10 | Daido Steel Co Ltd | 接合材料 |
| JPS63270459A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スパツタ用タ−ゲツトのボンデイング方法 |
| US4988034A (en) * | 1987-12-25 | 1991-01-29 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Mechanical part having ceramic and metal sections soldered together and method of producing same |
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