JPS604357U - 切削装置 - Google Patents

切削装置

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JPS604357U
JPS604357U JP9535783U JP9535783U JPS604357U JP S604357 U JPS604357 U JP S604357U JP 9535783 U JP9535783 U JP 9535783U JP 9535783 U JP9535783 U JP 9535783U JP S604357 U JPS604357 U JP S604357U
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JP
Japan
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cutting equipment
cutting
cutting blade
workpiece
conveyor table
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Pending
Application number
JP9535783U
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English (en)
Inventor
岸之上　太三
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の切削装置の切削ブレードを除いた平面図
である。第２図は第１図の切削装置の要部拡大断面図で
ある。第３図は従来の切削ブレードの要部拡大断面図で
ある。第４図は従来の切削ブレードを用いて半導体ウェ
ーハを切削している状態を示す要部拡大断面図である。 第５図は従来の切削ブレードの切削後の状態を示す要部
拡大断面図である。第６図はこの考案の一実施例の切削
ブレードの断面図である。第７図は第６図の切削ブレー
ドの要部拡大断面図である。第８図は第６図の切削ブレ
ードにより半導体ウェハーを切削している状態を示す要
部拡大断面図である。 １・・・・・・搬送台（ターンテーブル）、２・・・・
・・被切削物（半導体ウェーハ）、３０・・・・・・切
削ブレード、３１・・・・・・外面、３２・・・・・・
刃先部分。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被切削物を載置固定した搬送台と、搬送台の上面から所
    定高さに保持され高速回転によって前記被切削物を切削
    する切削ブレードとを備えた切削装置において、 前記切削ブレードの刃先部分を鈍角に形成したことを特
    徴とする切削装置。
JP9535783U 1983-06-20 1983-06-20 切削装置 Pending JPS604357U (ja)

Priority Applications (1)

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JP9535783U JPS604357U (ja) 1983-06-20 1983-06-20 切削装置

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JP9535783U JPS604357U (ja) 1983-06-20 1983-06-20 切削装置

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Publication Number Publication Date
JPS604357U true JPS604357U (ja) 1985-01-12

Family

ID=30227759

Family Applications (1)

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JP9535783U Pending JPS604357U (ja) 1983-06-20 1983-06-20 切削装置

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