JPS6045031A - 自動ウェ−ハ移換機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（利用分野） 本允朗は、自動ウェーハ移１勢１１Ｗ１こ１ν１リろ｝
）のであり、特に、一方のキ鬼・リノ′内１；−．　ｉ
ｔうろ一定の１゛゛ソヂで収納されたウェーハを、ｆの
ＩＩ　｛ｉ’ｌ　：ｌ．／．−　１．Ｌｌ　／’　ｎ　
｛６のピッチｒ　｛ＩＩ！／“ｊの−１１・リノノ内へ
移ｊ（４，　、＋ｒ−＋＋′ｙ、納りる自り」つｉ−ハ
移換（幾に関づるものＣある。 （（）（来１ｋ　ｔｒｉ　） １′ど冊本製）’ｅｊ　、’、１稈においては、半宥体
つ」−ハに種ノＺの熱処理や化学処理、洗１鋒などが実
施されることは周知のとおりである。このＪ、うに、ウ
ー［−ハに台秤舛（埋を煎り場合、従来は、該処理の能
率をＬＬかるＩこめに、該つ１−ハを１ニドリア内に多
数１１ゾ納しＣ行イｊっでいる。 該キ１７リアは、前記ウェーハ収納用の溝が一定ビツブ
Ｃ形成され（いるつ１−ハ収納用の箱０ある。前記：Ｉ
Ｉ・リノ７内に収納りる前記ウェーハは、ｔするべく多
く収納した方が収納の効率が良いのは当然（−ｄうる。 。 しかし、処理の内容によっては、たどえＬ；ｒ　、熱処
理を扉１りか１ツブ−ング処叩を／ｊ［！ｉ−ＪかにＪ
：つては、該ダ１即のｉｌ常な効果を得るＩこめに、前
記キャリｊ′内（、二１１ゾ納され！ご各々のつ〕−ハ
の間隔を′？シならＵることが必要（・（１りる。 例えば、宍ハ処理は、イの効；ｆ′イ１１りる１、＝め
につ１−ハの間隔を狭＜　シ（１’ｉ　ｌ、（い、−１
ｊ　、　ＣＶ　ｒ’＋　Ｘｓ−「ツブング処狸なとは、
これらの処理のむらへ・防ぐために、前記つ工−ハの間
隔を熱処理Ｉｔ？　ｋ：化しＣ人きくして行なうのであ
る、。 また、前５１１シたにうな夕ＬＩ叩の３ひいによ−）（
、前記キ鵞アリアの材質も変え４「（〕れＩＩ１．なｉ
−、ｆ、−；い、、　”）　ｉｌす、熱処理はつ」−−
ハを石英製等の−Ｉ＋・すｊ′（：収納しく行ない、一
方、コツプ〕／グ９ハ理；、１前記つ１−八をデノ［１
ン等の樹脂１１１１．　ｔ・リノ′（、二１１シ納１ｙ
　？、　（ｉなうの’Ｃ１ＩＦ）る。 したがっ（、つ「−ハ’ｅ：　Ａ’＞イ）９ハ狸１稈か
ら別の処理］’ｆ？へ移り場合、ある物１”ｉ　Ｉ−’
、　、ノ、り形成２＼れｌ、−第１の一１ニトリノア内
に、あるピッｆ？形成さ１＋、　／、ｉｉ、％部に配直
されＩこウ−

【−ハを、別の物？！（１，−、！、（・
）形成されＩこ他のキレリア内１＝、別のヒップで・形
％、！ｊさ４１゜た）ｉ部に移換える１・■口をｉ’−
７ｆ、ｔわ／ｉ　Ｃ１ｔＬ　Ｌｌ、’　１．ｒらイ１゛
イ。 前述の操作の従来例は、ピ・〕／レッＥ　Ｊ：（ｊイ・
−用い（、人が−４（枚つ１−ハを直接ｆｒ行なうもの
（゛あ−）　１ニー、　、、　ｉＦ）るい（Ｊ、つ１−
ハの間隔は一定Ｃ１１−トリアの４４７’ｉだ【）を変
えたい、１易含は、該つ１−ハが水土１ｉ向に１１Ｖ、
納されＩこ状態にしＣ１第１の＝ｌ：　ｔ７リノ′に第
２の１１１リノ′を各々のつ［−ハ挿入面どう１）が対
向りるように密着させ、第２の二１−レリアがトにくる
ようにしＣ１該つ（−八を第１の一１′ＩＩリノ′から
第２の１１？リアへ移Φ）ノさけるものＣあっｌこ。 この場合の操作も人が該Ｖニドリアを干ぐ持−）Ｕ行／
、ｉつ（いた。 しかし、前）！１３の１に来例では、つ丁−ハを第１の
Ｆ　１７す７ノから第２のキャリアへ移換える時、該つ
Ｔ−ハを汚１ノたり、；Ｌｌ、：該ウノーハが該第１＃
Ｊ、び第２の−Ｐ　ｔ＋リアとＩｆｆ　Ｆｌ！ｌＩ／て
、該つＴ−ハに傷が（＝Ｊいｌこり、欠ｌＪたり、ある
いは該つＪ−ハを床面に落とし、破ｒ１りる等の欠点が
あった。 特に、第１および第２のキ１ｔリアを、各々のつ謬−ハ
ト０人面どうしが対向づるように密着させる操作の場合
は、傷やアーツビング等を／１１；、よ１；　１５）塵
をＲ１しＣつＪ、−７の発１１−する原因と％　”−（
いＩこ。また、人が直接操作をりるのＣリドｔ２が悪く
、’ｌ’　Ｑ　（ホ’ＦＪ　（Ｔ−費の」−胃等の欠点
ｔ＞　ｉｔ’＋　−）　／Ｊ。 （目的） 本発明は、前述の欠点を除、ＩＸＪろため１．’：　／
ｉされたものであり、その目的は、第１のＩＩ・リノ′
内（、“第１のピッチ”（聞直されたつ■−ハを、第２
の１１！リア内に、前記第１のピッＪ’　Ｕ＞　’Ｉｔ
’　ＫＱ　ｌｒＸ：１．／、：　ｔよｆｆ１ｌｚ数分の
１のピッチで配列さ１しるように移１！／Ｉえる場合に
おいて、該つ１−ハを（τ、１つ１．Ｊ　／、−リ、汚
しＩ、：すすることなく安全に移換２４１行４−・い、
かつ該移１（ｒ・えの時間４ｇ′）、ｉ７縮し、りｌを
１４＜・１〈）の１．“好ｊｉ；：）　／ｆ白動つ１−
ハ１５５挽間を提供りる１、′・に（（すろ、。 （概要） 前記の１］的を達成りる１１］めに、本発明（よ、−ε
の底面にプツシｐ穴ｉ３よびつＩ−−ハＩｆｉ　Ｉｆ−
、ｌ＋’Ｔを形成した第１のキ１１リアと、ての庭１面
（、−ｆツ〕ノド穴、ｌｉ　Ｊ、びつｉ−ハ係１１溝を
形成した第２のキトすｊ／と、前記ＩＩ・リッツをのｌ
、該キ！・リア底面に形成された／フシ１／穴と番よぼ
同形状の穴を形成１ノだテーブルと、ぞの３・１向而に
該ウェーハを挿入、係止できる第′１の１．　！Ｍおよ
び特定のヒップ（１′／直にａ＞るつ１−ハｌどｔＪを
通過できる第２の主）ｈを１１する１組のホルタと、該
ホルタを回転さく！−（前記主溝を選１１りりるホルダ
回転装置と、該ホルダの１方に位巧し、ｒの対向面に該
つ■−ハを挿入でさる第３の主佑をイｊづる１相のガイ
ドと、前記ホルダおよび前記ガイドを支持する支持架枠
ど、該ガイドを上昇またはト降させるガイド昇降装胃と
、前記テーブルを下りに位置し、：１１ノリア内のつＩ
−ハを上背または下降さ１！るノッシレど、該プッシト
を上Ｆ？まｌ（二はＩ−曽さく↓るブ・ンシｔ−テｉド
ｆ装買ど、該ラーｆ）しと支持架枠、＋３　Ｊ：びプツ
シ１？を相対移動させる装置どをＵｉ　Ｍ＾した均に特
徴がある。 （実施例） 以下に、図面を参照しく、本発明を；ｉＴ　ＩＩＩ　ｋ
コミ（ンＩｌｌりる。 第１図は本発明の一実施例ｑ）概Ｆ８ｉｆ’　！…１λ
ｌ　’Ｐ　１ｔ６Ｋ）１、第′１図にＪ３いて、ノｔホ
ルダ１ａお」、ｒｙ　、（１ｒ１−）１ツタ１１叫よ、
」（に正方形柱状を１，１１／　’（いる１、該７−ｌ
ｉ　ルダ１ａの両端に（よ、該］ｉミーホルタｌ　ａ　
ｃｌ）　１ｒｆｊ　ＪＩ５　ＦＪｉ　ｉｒ＋ｉの中心線
延長」にその回転Ｉ１１＋と４Ｔる八ｌ”ｌ　’Ｉ’Ａ
　（’Ｉｌｌ　Ｂ　ａが突出し、また該右ホルダ′１１
１の両端１；二１．１．　、　ｉ’ｉ　１：＋ホルダ１
（）の正方形１す１面の中心線延１ぐｉ　ＩＬ−’（σ
）　ｔｉ１１転中心軸となるイｉ回転軸８１）が突出し
くし′Ｖイ）、。 デー１ル４の中火ｌ、　ｆｊ　ｆ：はＩ’２１示さ４’
ｔ４１’ｖ”ニジ１°、ｊｐ２枠がある。該支持架枠は
、前記ノ、−小ルタ゛ｌ　ｎ　Ｊ−Ｇホルダ１１１との
間がつＪ−−−ハの夕１形、、１．　Ｉ）　１．＋　Ｎ
！＋＼ゝ））ゾ：い間隔を保つように、前記／ｉ回転軸
Ｆ’ｊ　；ｌ　に−１、（ｙ（１回転軸８ｂを保持しく
いる。、該ｆｉ：　ｌｏｉ　ＬＬ前記ノド１・Ｊレダｌ
　ａ　（＋３　Ｊ：び右ホルダ゛ｌ　ｂが回転１右ｔ；
−，’、ｒ　Ｚ＋　、１、−）になされ（いる。 ｆｉｔ記）ｉ：、　７トルダ１ａおＪ、び右ホルダ″１
１）の同一側の側面、１．り突出した左回転軸８　Ｂ　
Ｊ、’；　Ｊ：び右回転軸１１１１　＋、ｔ、Ｙの−／
ｊが、前記克持架枠に固着されＩ（図示されないホルダ
回転装「に接続されている。 該ホルダ回転装四は、前記左ホルグ１ａおＪ：び右ホル
ダ１１）を該ノ１ホルダ１ａＪｊＪ、び右ホルダ１１）
の対称面に対して対称方向に任意の内爪回転さ口ること
がでさる。 ／ｉ−万（１ニア　ａおｊ；び名刀−Ｎ’２１１１共に
７Ｊｉ形奢１状をｔｉｃ　Ｌ／　Ｃいる。１１１記）し
ホルダ１ａの上方にはｈガイド２ａが、前記右ホルダ１
１）のＬ方には右ガｆド２１）がｌｊ／同じ、該Ｉｆガ
イド２ａとイｉガイド２　＋１どの間がつ１−への外径
よりも丸５や狭い間隔を保つＪ：うに、前記支持架粋に
固看されている。 前記支持１２１７枠ｔ、Ｌ図示されないガイド界降装同
より、テーブル４に二対１ノτ−１−、Ｆ　ｉｊ向に移
動りることができる。 第１　（７）　：：Ｓ”　Ｉｙ　ＩＪ　’ｊν３０は丁
−１ル４の中央に設置されＣいイ５１．第２の：ｌ：　
ｐリノ’４０は該第１のＩＪ・す７’　３０の左側トニ
、第３の一日ｌリノ’　！’ｉ　０　ＩＬｊ、−へ；０
１の−１」アリア３０の右側に、該第゛１のｌ’ＩＪリ
ノ’　：１　（３とそれぞれ一定の間隔をＪ３い（、前
記テーブル４に段ｆｒされ（いる。 前記デープル４は図示さ１０「いｉ’　＝　ｆル移ＩＩ
ＩＪ１１−ｔにより］Ｉ゛右に移動りることが（・ン＼
る３゜前記第１のキレリア３０の１−）′ｊ（、二（ま
ｆ・ンゞ〕Ｉｒ　！ｉが設置され（いる。１．ｈプツシ
ｌ＋　５１ま１ツ１小されむ０プツシ−１胃陪装買によ
り−１１・（、−移動４ることが（き、第１のＶ′１ア
リｊ’　３０、あるいは第２１１３Ｊ、　（ｆ第３のキ
レリア４０．５０に５！ＪｌｌＧれ１．：浦］１ノ目ト
日ｉｉｉ’＋して該キ１？す７内に進入りろ（二とが（
−；＼る１゜前記第２の二亀−ｐ　’Ｊ　７４　（３の
１・Ｉ貨１」１］、１１−−ノロａが設置され（いる。 ；１、Ｉ、二、前記’、’（！　３（１）　ｌ　）−リ
ア５０の下方にＬＬ右［ｌ−ラ（３１＋がａＵ　Ｉｆ／
ｉされ（（するつ該第１および第２の１１−ラＦ’）　
：＋　、（’ｊ　ｌ＋　１．Ｌ　ｌ’７１示さ１１、な
いＵ−ラ駆９）ｒ　’Ａ置に」二Ｖ）、１ｉｉｌ　’？
ｉ１．旧Ｊ、　Ｕ用ト１；Ｊ、　ＩＺｉＰＩｌりること
がぐきる。 第２図はｈ　ＡＳ　Ｊ：び右ホルタｌａ、１１１の詳細
図、第３図はノｒａ３よび右ホルタ１８．ｌｂが第２図
の１／ｌ　ｆｆ４からノｒ′、Ｉ３ｊこび右回転軸８ａ
、８ｂ・を中心としく、該ノｒ　Ａ３よび右ホルダｌａ
、１ｂの対向りる部分が１向さになるようｌｆｆ１４５
１（［回転した様子を示しＩ、：状態図（゛（６る。ま
１．：第４図は左および右ホルタ１ａ、ｌｂが、第３図
の状態からｌｉ−おＪ、び右回転軸８ａ、Ｆ３ｔｌを中
心として、該左おにび右ホルタｌａ、ｉｌ＋の対向りる
部分が下向さになるように、９０１．！’Ｊ回転しｔ、
二仔子を示した状態図である。 ｒｊｌ　２　Ｍ、り１３　Ｚ　Ｊ、）　ヨ（ｆ　第４１
”Ｉ　Ｌ　Ｊ７　イＴ、第１図ど同一の符弓は、同一ま
たは同等部分をあられし−（いる。 第２図においＵｌ　（ａ）は第１図と同様に１１−おＪ
：び右ボルダｌａ、ｌｂの正面図、（１））は同図（ａ
）の平面図ひある。 第２図におい゛Ｃ１左小ルダ１ａと右ボルダ゛ｌ　１１
のでれぞれ対向し１一面の開の距離は、つＸ−ハの外径
１〕Ｊ：りも−１５や８９（い間隔に設定ｃ）ｌ′ｌ　
ｌいる。 該左ホルダ１ａと右ホルタ１１１との対向面にＧＥＬ　
。 前記ウー［−への外径１）、Ｊ、す０ヤ）や広い間隔Ｐ
　’Ｉを提供づるＪ：うな第１の主溝２０１が、＞１１
形状（、二、かつ該つｉ−へのがみ、Ｊ、リムＸゝ）・
１ゝ）広く、第゛１の１亀νすｊ’　３０に収納りるつ
１−への数／、’ｌＪ同　ビツヂｒ、ｑ、たテーブル１
に対しく　Ｊｊ　ｉｉ’ｉ　ｊｊ向ｉ、ｌ形成、＼れＣ
いる。 たとλば、第１Ｅｆ１２．第３　ｉｌ；　、Ｌ　（ドｒ
ｉ　４のつ暫−Ａ　１０１　、１０２　、１０３　、１
０　／Ｉ　Ｌ、Ｌ、Ｉ’ｌ’ｌ　Ｏｈ　ｍｌの主Ｐｉ　
２０１を通ること１ｍ　、１．　り、１１小ルクｉ　ａ
ど右ボルダ１ｂとの間を失１’１ｌＡｉｊ向に、−）、
１リドｈから上方へ、あるい（３！、イのｊφの１万り
日〜）１・Ｉ１７＼自由に移動できる。 左ホルダ１ａに形成されろ第゛１σ川１１１へ２０１１
Ｊ、前述のように、第１の：ｌ−＋７すｊ’　３０に収
納（Ｊろつ１−ハの数だ番）形成されている。。 さらに該第１の主溝２０１１；二は、ｒの１−）Ｊｊき
に、該第１の主溝２０１と同し幅で、また、ぞのｆｆ”
＋の底面からノーｉｉｌ転’Ｉｌｌ　（３ａの中心まで
のＦ［’ｉ　ｐ！１が、該第１の主溝２０１の底面から
左回転軸８ａの中心；１．Ｃの部門］ど冑しくなるよう
に、かつイの溝の底面が、前記第１の主溝２０１の底面
と反時８（方向に４５葭の角１σを形成りる９Ｌう４に
第２の：１−溝２０２が形成されている。 第２図（１１）においＣは、左ボルダ１ａの第２の主１
ｍ　２０２は、図面の１・から数えＣ偶数番［１の第１
のコ″佑２０１に形成されている、。 また右ホルダコｂに形成され１．：　化第１の主溝２０
１ｂ、前述のように第１の：１ニレリア３０に収納りる
つ１．〜ハの数だけ形成されているるっｉｔらに、該ｆ
ｆｌ　’１の主溝２０゛１に番よでの１一つおきに、前
記左ホルダ１８に形成された第２の主溝２０２と対向り
るＪ：うな位′「Ｃに該第１の主ｄ４２０　’Ｉと同じ
幅ぐ、まＩこその溝の底面から右回転軸８ＩＩの中心よ
Ｃの部用が、該第″１の二１−溝２０１の底面から４１
回転軸８１）の中心；Ｉ７′の距四と等しくなるように
、かつその溝の底面が前記第゛１の１−’Ｍ　２０１　
（７）底面トＩＩＴ　Ｆｉｔ　ＩＪ　１ｒｉｌ　ＩＬ、
　４５１１’ｊ　＋７．１１　角ｒＱ　＜？　７１　Ｑ
Ｑ覆るような第２の主溝２０２が形成されでいる。 第２図（ｂ　）　にＪｊい’Ｃは、／［ホＪＬ／　ｆ　
ｌ　ｌｌ　）ｒＮ２の主溝２０２は図面の千から数λて
１出数翫［］の第１の三ｔｔＭ　２０１に対して形成さ
４１？いる。 第３図は左お、１；び右ホルタｌａ、ｉｂが第２図の状
態からｈ：　Ａ３　Ｊ：び右回転軸８ａ、）３１＋を中
心として、該１ｒおＪ：び右ホルタｌａ、ｉｂの対向で
する部分が−し向きになるＪ：うに、す１．ｊ　ｉ’、
、ｌもｊ矢印ロ／ノ向に４５麿回転した状態図（・ある
。 第３図（ａ　）は１向図、ｆｆｉ　３　Ｍ　（Ｉ＋　）
　Ｌｌ　１ｉｉｌ　ｌ’７１（ａ　＞の甲面図である。 第３図より明らかなＪ、う（Ｊ、（−の状（ｌｉｉｌ、
イ１ンいでは第１．第２．第３および第４のり一一−ハ
Ｉ　０１　。 １０２、１０３．１０’ｌ　ｌ；ｔ、イ１１’１ｔ）ｌ
ｉ　Ａ；Ｊ、Ｔｆ石右ホルタａ＋、１ｂに形成されＩ、
］第１１７）　１．−　ｉＦｉ　’；’　０　’ｌ　Ｌ
ｌ、’。 １糸ＩＩされ（いる。 す１．１わら、この状態では、第１．第２．第３Ａ夕、
Ｊ、び第４のつ■−ハ１０１，１０２，１０３゜１０４
が１φ人され（いる前記〕１おＪ、び右ホルタ１１、ｉ
ｌ＋間の相対向りる部分、っＪ：す、対向りる第１の土
：Ｍ　２０　’Ｉ側喘の底面部間の距Ｎ１はりへ（１９
（〕く、（−れを１）２どりるど、Ｐ　２　＜　＋）な
る条ｆ′１がりλられ（いるの′Ｃ′ｄうる。 ２１〕１図１；Ｌ　、　ｌｊ　＋１３．にび右ボルタ’
　ｌ　ａ　、　１　ｂ　ｌｆｉ　第３図の状態から左Ｊ
３よび右回転軸８ａ　、　８ｂを中心どｌ、　’Ｕ　、
該ノｉ：　４３　Ｊ、び右ホルタ１ａ、１Ｌ＋の対向り
−る部分が下向きになるように、１なゎら、矢印Ｃｆｊ
向に９０庶回転した様子を示しくいる。 １１４図（ａ　）　ＬＪ　ｉｌ：面図、第４図（１１）
は同図（ａ＞の平面図ひある。 第４図Ｊ、り明らか’、ｔ　ｊ、うに、この状態におい
ては、第１６３よび第３のつＴ−ハ１０１．’１０３は
）ｉ　Ａ１−１、びイ１ホルタｌａ、１１＋に形成され
た第′１の主溝２０１に１糸止されくいろ、。 しかし、第２おＪ：び第４のつ「−ハ’Ｉ　０２　。 １０４は第２の主）呂２０２の間を）山Ｖ〕ぬ（Ｊろご
どがひきる。し）だがっＣ１該第２の−１）１１□＋　
：、’　（１：、’を）山ることにより、前記ノｉおよ
びイ１ホルグ゛ｌａ、ｉｂどの間を矢印Δ方向（Ｊｌつ
す１す＋ツノから１．７ｉ’＼、Ｊ一方から１；方へ自
由に移１ＩＩＩｊ（さインのＣある、。 この状態では、第１．第２．ε′ｆ１３おＪ、び第１の
ウェーハ１０１，１０２．’＋０１’１．’ＩＯ／ｌが
１Φ人され（いる前記！ｅ＃３よび右ボルクｉａ、ｌｂ
間の相対向づる部分は、第４図（ｂ　）　ｋ−Ｊ’Ｓい
（、該図面の下から数え（奇数番［］のつ１−ハ、つり
１、り第１、第３のつ丁−ハ１０１　、　’＋　（１：
ｔが沖人、＼１１．（いる部分においては第１の一１’
　＋１”ｌ　？ｃｌ＋−１つ、１り１面のトから数え−
１１ｆｌｆ数番目のつｌ−ハ、っ；Ｉ：　り第２．第４
のつ１−ハ１０２，１ｆ）４が１Φ人され（いる１；１
；分に＋３いては第２の一１活である。 前ｎａ　ｆｆｉ　１　（７）　主ｉＭ　２０１　間ノＶ
Ｉ’　ｎｌ　１．Ｌ　第：’（図（、：　、ｌ；　ＩＪ
る説明ど同様］）２Ｃあるが、前記り＋２の主溝２０２
間のＶｌｉ　ＦｉｌをＰｌとづるど、Ｐ　２　＜　１）
　＜　１）　１イする条イ′１が！’７えられているの
である。 第４ｊ図はノ肖１３Ｊ：び右ガーｒド２ａ、２ｂの詳細
図（”ｉｔうる。ｌ 第５１図に＋３い（、（ａ）Ｇ；ｉ第１図とＪｉｍ桶に
７１゛Ｊ３、Ｊ、σ右方−（ド２ａ、２ｉの正面図、（
１））は同図（ａ）の平面図ぐある。。 り）５図に＋３い（、第１図〜イＩ４図と同一の符「）
は、Ｉｒ１ｌ　−；ｌ、１．−は１１１１等部分をｄう
らねしている、７左ガイド２ａどイ：１ガイド２１）の
てれぞれ対向しＩ（面の間の距四は、つ１〜ハの外径］
）にりもやや狭い間隔にｔｔＱ定されＣいる。該ノ「ガ
イド２ａと右ガイド２１）の対向面には、１）１１記ウ
−［−ハの夕日￥１〕よｔ′）１）やヤ）広い間隔１〕
１を１１シ供するにうな第３のｌ　ｔＭ　’２０３が、
り、１ｊ形状に、かっ該つＪ−ハの厚みＪ：りもＸ’Ｊ
　ｌゝ）広く、第１の１−Ｉ＋リア３０に収納するつＪ
−−ハの数だ１１回１ｒツブ（−１まＩこ、−ｊ−−−
１ル４に対しく’Ｑ直力方向形成さ１１（いる。 前記ビッヂは、〕〕■−小ルグ１お、Ｊ、び右ホルタ１
ｂに形成さ４１に第１σ尺１−１１へ２　（”ｌ　ｉ　
（！：　１ｉｉｌ　Ｌｆｆｆｉあり、また該第３の主溝
２（１：”の断面形状（，１、前Ｆ＋ｄ　ｍ　１　（１
）　ｇｔ−、＋１４２０１　（７）　ｎ面形１／ｉ　ト
ｌ１ｉｌ　Ｌ；　Ｌニー　形成＋：＼：ｌｔＣいる。 第５図（１））において、１ル１面の１・の第３の：Ｉ
ＨＨ，７２０３から順に第１．第２．第３　＋３．、Ｌ
び第１のウ−［−ハ１０’ｌ、１０２．１０３．Ｍｌ／
Ｉか１φ人、＼れている。 前記第１．第２．第３　Ａ３　Ｊ、び第４の９１−ハ１
０１、’１０２，１０３．１０’Ｎ、１前記第：）の１
満２０３を通ることｔこより、ノ１ノＪｌ’ｌ・２　ｎ
　、！−，，’Ｎ刀イド２１）どの間を矢印方向へ、′
）　：Ｉ：　ｔ′ｌ　ｌ・ノ°＋／＋日）１方へ、ある
いは上１ノから下Ｉノ／＼自山１．−移１；１１＜、さ
る、１第６図は、第１．り）２お、Ｊ、び：Ｔ！　３の
１１ノリ！！３０、４０．５０ｉ１ＬＩび）−ノル’Ｉ
ｃｒＢＴ庁１１１図１ある。 １Ｂ６図（ａ）Ｉ；ｔ、第１図とｌ１ｉｌ　１１に第′
１．第２　Ａ３Ｊ、びε（’ｒ３０）：ＩＩｒ’）ｉ’
３０．　／Ｉ０．５０ｉ１３Ｊ：びテーブル１のｉＬ面
図、第６図（ｂ　）　４Ｊ同図（ａ　）の平面図Ｃ゛あ
る。 イ）６図に（１３い（、第１図へ・第５図と同一の符号
は、同　よた【、Ｌ同等部分をあられし〕”Ｃいる。 第′１のキレリア３０はグープル４の中央に設置され、
第２のキ１Ｔリア４０は該第１のキレリア；３０のノ１
−側に、また第３の一部１ノリア５０は該第１ノ：ｌ−
、＋−ＩＪ　７３０　ノ右側に、Ｋ　ｍ　１　’ｌ）　
：＃　Ｉ□　’）　７３０と　定の間ＦＭをおいＣ前記
７−ブル４に設直され【いる。 ｌ’ｌ’ｌ　ＣＬ！イ１１の１１・リノ７３０（、Ｌイ
の断面が凹形をなしくＪメリ、該凹形内部に「ウェーハ
を収納ぐさるよ）に、ぞの側面板の対向する内面の距向
日、レンｆ、　−ハの外径りより１９大きく　＜＞つて
いる。 該第′１の１トリノ’　３０の底面の中央部には、矩形
ＩＩりの第１のフッシト穴３１が形成されている、。 Ｊ二だ、前記第１σ戸１トリツノ３３０の側面板（１−
下行イ（、該第１のプツシｐ穴３′１の対向りろ辺には
、つ１−ハ係止Ｉ１１の第１のつ〕−−ハ係山ｆＭ　、
３０１が形成されている。 該第１のつ工−ハ係＋ｌ　ｉ関３０’Ｉは、前ム１；第
１のプツシｐ穴３１の対向りる辺の−ｆれ；パれ（１−
１第１の１１１リノ７３０に収納されるベン＼つ１　ハ
の数だ（Ｊ形成されている。 また、該第１のつ１−ハ係ＩＬ　！！’＋　３　（、）
　１　を門１、前′、１１左ｉ１３よび右ボルダｉａ、
１１１：二ＩＩｉ成さｉｔ　／、＝第１のＡ溝２０１　
、　ｒ１３よび前記左お、Ｉ（）イ１刀４　ｉ”　２　
ａ　。 ２　ｂに形成された第３０十ｆｉ＋′＋　２　（１：’
Ｉ　Ｌ：　ｌｉ′ｉｌビ・・）ｆ（形成され（いる。 前記第１の１りＪ−ハ係＋１．　ｌｉ’＋　３（’ｌ　
ｉ　１．１、つ１−ハの一部をそこに挿入した場合（、
−１該１°／Ｉ−ハが則れないように支持りるｌこめの
！ｉ”＋　ｒ　ｉｌ□＋るの（、ｌの形状は該つ■−ハ
の人ささ、１１りるい１．１形状＋ｌｌ　、１−）（慎
重に定められるものひある。 前音１ｕ１１の１．：　ｔノリア３（）が設置されてい
るｊ−プル４にｂ、該第１のキせリノ７：３０に形成さ
れているガ〕′１のプツシ亀・穴３゛１とほぼ同形状の
プツシ１７穴３１１が加トされている。 第２１１３Ｊ、び第３の＝１−１７リア／１０．５０も
第１の二１１・すＩ３０と同様に、その断面が凹形をに
丁しており、該門形内部につＪ−ハを収納でさるＪ、う
に、；どの側面板の対向Ｊる内面の戸開はつＪ−への外
径１〕よりも大きくなつ−（いる。 前記第１．第２おにび第３のキＩ２リノ７３０゜４０．
５０はつ「−ハの処Ｌｌｌ！−，１稈が違う揚台に用い
られること（−４するのぐ、（の４ｊ１１成をなり月７
１は８Ｉシなることが多い。まＩこ、前記側面板の対向
りる内面のｒｌｉ　Ｍｌは、イれぞれ同じＣあるが、該
側面板の６゛ちさけ必ＩＪ′１］０同じぐはない。 前記第２おＪ：び第３の二１１１リア４０．５０に（，
１、ｎ１１記１１のキレリア３０に形成されｌ〔第１の
プツシ亀・穴；３１と同形状の第２．第Ｓ３のｆフシ１
ν穴４１．５１が、該第２および第３ａ）＝ｌトリノ’
　４０　。 ５０の底面の中央部に形成Ｊされ（いる。 前記第２の一１鵞ｌす７／ＩＯに形成されｌこ該第２＋
７．）プツシ１１穴４１の、該第２の１トす／’　／ｌ
　□の側面板と平行な、対向する辺にｉ、１．　、つ［
−ハ係１１川の第２のつＪ−ハ係＋ｌ−ｔＭ　４０１が
形成さＩＩ（いる。 該第２のウェーハ係止溝／ＩＯ’Ｉ　Ｌ；Ｉｌ、各々の
形状は前記第１のウェーハ係止ｔＭ　３０１の各々の形
状と同じであるが、イのピップは、図示のｌ？ｌ　’ｒ
　ｔよ、前記第１のつ１−ハ係１１：　ｉｆ’ｉ　、”
３０１のそれの２１？Ｘ（−ある。 また、それぞれの該第２のつｌ−ハ係ＩＩ　！ｉｌ’＋
４０１は、それ−されの該第１の・“］］１−ハ１糸Ｉ
ｆｔ＃’＋３０１のｌ１ＴＩ　−ｉｉ線」に４Ｔｌ）壜
１．　ｌ；［４：　”’・１、五Ｋ　／、＋面のずれは
絶対に許されない。 第６図（ｂ）に、！３い（は、図面のトか−）数λて偶
数番目の前記第１のつＴ−ハ１糸ＩＬ　ｔＦ’ｉ　３０
１に対応して、偶数部１］の第１のパノ１−ハ係Ｉｆ　
！＃冒１０１のｌ「側延１４１！＋ｌ　１に第２のつＴ
−ハ係１１−満４０１が位１ｒ′７され（いる。 ＋ｉｒｔ記第２　（１）　：ｌ　ｌ−リノ７４０が段冒
され【いるｊ　−ｆル４し二も、該第２のギ（・すＦ２
Ｏに形成されえいる第２のプツシ（・穴／１１どほぼ同
形状のプツシレジ＜　４　’Ｉ−１が加にされＣいる。 。 １ｉ’ｌ　ｉ＋１−！ε＋＋３の二Ｖトリア５０に形！
戊されｌこ該第；３の／ツシト穴５１の、該第３のキ１
７リア５０の側面板ど下行な、対向りる辺に、ウズーー
ハ係庄用の第３１７）　”）　＋：　−ハ係１１）＋’
ｉ　５　（１’Ｉ　カ形成ｃ”ｃ　ｔｔ　Ｃ（１’　ル
。 該第３のつ［−ハ係止溝５０１は、各々の形状；よ、前
記第１および第２のつｌ−ハ係＋１ｉＭ　３０１　。 ４０１の各１７　Ｑ）形状ど１ｉｉｌ　Ｌ；　”Ｃ゛ｉ
ｔ５　ル。 該第３のつ】−−ハ係１１）古５０１のピップ−は、前
記第１　（７）　＋、７　：ｔ　−ハ係Ｉｆ溝３０１　
（７）それの２拾〇あり、第２のつＴ−ハ係車溝４０１
のそれど同じＣａりる。 ｍ　６図（ＩＩ）においＣ１該第３のウー智−ハ係】１
のつ１−ハ係ＩＩ−溝３０１　ｋ二文・１応じ（、該奇
数番［１の第１のつＩ−ハ係Ｉｆ、　ｆＭ　：ｉ　０ｉ
の（１側チ１「（（わｉｔ　ｌ　ｔ；ｆ位買され゛（い
ろ。 そ１１ぞれの該第３のつ１−ノ箇系Ｉｆ　！Ｍ　！ｉ　
Ｄ　１１．Ｌ、第２のウェーハ係１ｊ−）笛４０゛１と
同ｌ〕２、されそれの該第１のウー［−ハ係Ｉｔ　Ｗ／
＋　３ｔ、ｉ　ｌの同　線１１＋−、＜＋′１１ればな
らず、縦方向のづ゛れｔ、）、絶り・）１ごｎｉさ１１
．／己）、。 １’＋ｉｉ記第３のキ１１リノ’　５０が７．ｊ目°゛
？さ１′１（いろ）−プル４にも、該第３３の八Ｉ７’
）　−ｊ’　！ｉ　０　ｋ−１１５成され（いる第３の
プツシ（・穴５１と（、ｌＳＬ回！ｌ＞　Ｕｌの／゛・
・ｌシセ穴５１Ｔが７１１１１［され（いる１、さＣ，
第１図にＪｉいて説明しＩｌ、１・）（、−１７−／ル
４の中火部、１なわＩ〕、第１のＩＩＩリノ’　ｒｌ　
（＋の１、ｈに、図示され４「い’Ａ　ｆｉ架什に：　
、、１．　Ｉｌ　、ノー１；　Ｊ、　’Ｕ右ボルダｉａ
、ｉｂが々持さ１１１．−＼’″１　ｋ、−、Ｊ’＜）
、　、１．１び右ホルダｌａ、ｌｌｔのＩｈｌ；−ノ＋
　；１７　ｊ（７′（＋刀（１’２ａ、２１＋が支Ｍさ
れ（いる。 Ｊ、た、前記ノｉおよび右ホルダ１ａ、ｌｂに形成され
た第１の主溝２０１＋ＹＩ記ノ「おＪ、び右ガイド２ａ
、２１＋１；二形成され／Ｓ第３の主）Ｍ　２０３　ｄ
３よび第１の１１１リノ’　：１０に形成されＩこ第１
のウー［−ハ係Ｉｔ　ｔｌ’ｉ　３０１はｌｎｌじピッ
プで同数だり形成されＣいる。 前記第１の」：溝２０１　、第３の１而２０３および第
１のつＩ−ハ係止ｖＩＳ３０　’ｌは、第１図を平面図
として見た場合、つまり、第１図にａ５いて矢印１−７
’ｊ向／）＋　１う児た場合（ごは、（れぞれの溝の縦
方向のイＯ億が一致４るように椙成きれ（いる。 ′つまり、前記第１の−ＩＩｒす１３０に形成された第
１のつＪ−ハ係止ｔＭ　３０１の各々に、つ」−ハが係
１１され（いる場合において、での各々のつＪ−−ハは
、該つ■−ハを重めに上背させ／、：峙、第２図に示さ
れた相３！ｌ　（ｆＺ直関係にある前記第１のＪＥ　Ｉ
Ｍ２０１を通りＶ、）りる（二とができ、さらに、１１
１５図（口承された前記１１および右ガイド２ａ、２ｂ
に形成された第３の：ｒ　ｉ％’ｉ　２０３に挿入され
て）Ｊ、う（・二、前記それぞれの構は配ＩＮされ（い
るのｒ′ａつる。 次にウェーハの移換えの干！！Ｉ″ｉを説明りる。 第７図（ａ）−ｍ７図（１）ＬＬ、Ｍ移１．Ｓ　、ｔ、
　ａ＞　：１’順を承り説明図である。 これらの図にａ３い（、第１図・−・ＶＯ６図と同一（
７，ｌ　ｉｔ号は、同一または同等部分をあられしＵｕ
ｓる。 第１図はつ１−ハ移換λのｎｉ　Ｋ／Ｉの状ＱｌｉをＣ
１う１１）しでいる。第１の一日！リア３０１１こ形成
３才ｔ　１：ゴ１′１のつ【−ハ係止潜３０１　ｔ；Ｌ
　５０　ｆｉｌｌが形成２Ｓ　４’Ｌ　（ｕ凡て、該５
０組の第１０ウ−１−ハ係’Ｉ　ＩＭ　３（璽ｔこ（，
１５０枚のつｒ−−／曹００がそれて゛れ係１；（冒’
Ｌ　（（＋）る。 左おにび右ホルダ゛１ａ、′ｌｌ＋お、１、σノー１＋
　、１．　（）　ｔ＋ｊＪ−（ド２ａ、２ｂは１図示、
＼１）、／己′１点１１ｒりｔ１４ｉ”　Ｌｌす、第１
のキＩｌリフ！３０のｌ　ＩＩＩこイ）ン首、きｌｔ　
（（、Ｘイン。 前記左おＪ−び右ホルダｌｌ、１ｂＬ、１１１２図の、
１、）な状態に（６る。 第７図（ａ　）−・第７図（１）において、つ１−ハコ
０００円の中にｐ（かれた数字は、該つ■−ハＩ　ＯＯ
の枚数を示している。 り１７図（ａｒｋ：おい−（、図示上＼れない支持架枠
が図示され（２いガイドｒｊ？降装置により下降し、該
寺持架粋に（１ト持されたノｉおよび右ホル９”ｌ　ａ
　。 ＋　１１が、第′１の１１７リア３０の側面板に接近し
たところで、該支持架枠は停止１する。 該第１の＝１−１７リア３０下方に位置していた１ツシ
亀・５【、１、図示されないプツシト背降装胃によりト
冒りる。該プツシＩ７５は、５０枚の前記つ１−ハ１０
０に接触しく該つＪ−ハ１０　（、）を土臂さＵる。 該プツシＩｒ　５は、前記つ１−ハ１００がノ１−１お
よび右ホルタ’ｌａ、ｉｂの第１の主ｆｆ’７２０１間
を通り、’ＬＳ　’Ｊ　ニノ［オＪ、び右カイト２ａ、
２＋＋の第：３の主溝２０３間にＩｎ人されたところ′
ＣＣ停止る。 第７図（ｂ）にＪ３い（、図示されないホルダ回転装置
は前記）「おＪ、び右ホルタ′し１　、　’ｌ　ｉ　４
＋、該左および右ボルダ１ｒｌ、ｉｌｌの夕・１向りる
部分が１昇リルＪ：うに、ツｊ、り矢印［３／Ｊ向１；
−、４ｒｉ　ｌＴｒ回り・ｌ：さける。し！、−がっ’
ｌ、前記）ｉ’、　ｉ１３．、ｌ、び（ｉホルダ’ｌｎ
。 １１）は第３図のＪ、うな状（１Ｂにイ「ろ。 第７図（ｃ）に（Ｊ３いて（ｊｌ、前記ブツシト１）が
、ブッシリ１装「により＋ＭＬ、前、′、［！　’／−
ノル１の上方に来たところで停止Ｉ−りる。１前記５０
枚のつ［−ハ１００　ｌ；１．　、前記ｆツシト５と共
に下降し、前記左おＪ：びイｊホルダ′１ａ。 １１１に形成された第１の」猫２０１の９・１向ン１ろ
１１’（。 面９ｈ部にぶつかり、該底面端部（、二１糸１１されろ
、１この状態Ｃ支持架枠は１−冒する。。 Ｊ−！ｊｉ’−ＬＬ、１）ｒ１記ノ「ＡＥ、Ｊ、びイｉ
　ホル＜ｌ’　ｉ　ｎ　、’ｌ　ｔｌ　Ｌｌ）　ｌ；端
が、第１．第２および第３　（Ｄ　ｌ　＋・リノ’　：
１０　。 ／１０．５０のいＭ゛れの側面（反Ｊ、　１′１１ｉ）
　ｉ：’：＋いｌＩ’／　ｉｉＦ／　Ｉ＋二くるまｖｔ
ｊなわれ、ぞの１η（７１１りる７゜第７図（（１）に
おい−（は、ｉ−’ｆル１（１１図、Ｊミされｔｌい〕
−−プル移りＪ装買により右ｆｊへ移ｆｈ−！ｌる。 該移動は、該ｊ−プル４］−に設訂された第２の１−ト
す７’　４０が、前記支１でｔ架枠のジ°１１；にくる
まで行ｔ「ねれる。 前１１Ｉシ支持架枠は、ガイド胃降装置にＪ、り下降し
、前記ノ＋：　６３　Ｊ：びイｉボルダ１ａ、’ｌｉｔ
が前記第２のキレリア１０の側面板に接近したところＣ
停止りる。 第７図（０）においては、前３に　Ｌｌ　／、：’７”
　’フル４１、−右１ｊへの移動にＪ、す、前記第２の
−Ｐ　ｔ・リア４０のＦ　／’ｊにイ１′１厘すること
となつＩこ前記プツシｌｙ　５は、ｆツシＩｌ胃降装買
により上背りる。 そして、！Ｔ１２のキトす７４０の底面および前記ｊ−
プル４に形成された第２の１ツシｔ・穴４′１おＪ、σ
４１−１−を通り、前記ノ「ＪりＪ、び右ボルダ゛Ｉａ
。 ｉ　Ｉ＋に形成された第１の主溝２０１の３・１向りる
底面端部に：係１１°された前記５０枚のつ■−ハ゛１
００の上部（に−接触りる。１ 前記１ツシ１７５はさらに［胃し、前記ウェーハ１００
をｉＶ　Ｊｊよび右ガｒド２ａ、＞川）に形成された第
３の＋ｉ呂２０３へ種入りる。この時、ｉ’ｌ’Ｉ　Ｎ
：　’７ツシＶ５は十Ｒを（７１１ニする。 第７図（［）においＣは、ホルタ回ｖ１装置シロ、Ｅ、
前記左Ｊ３よび右ホルダーａ　、１ｂ　４、該／ｉお、
１、び右ホルダーａ、１１＋の対向りる部５）がＩ・向
ンさＬＪ、　％るように、つまり矢印Ｃ’Ｂ向１．．ｉ
、　、　９０四回ｑｉ島＼ｌする。したが・）（、前記
）［６３Ｊ、びイｉｊｌ、ル’７　ｉ　ｒ＋　。 １１）は第４図のにうン「状態になる。。 第７図（ｇ＞に４３い（は、ｆｉ’ｌ　Ｆ＋ｌｊ　５０
４９．σ）・“ノーーハ１００を克１ぜ１しくい！、口
止１記ｆ・ンシ亀・５　＋、１、ノンシＩｌ胃陪装置に
より］；陪をｔｆｌめる１、同ｎ：Ｉｈ前記つ１−ハｉ
ｏｏも該プツシーノ！’ｉ　、！−１’、に１・Ｆグｆ
ＩＩイ）、２該５０枚のつ「−ハ１００１．Ｌ、前ムｔ
！　ｌ＋　ｊｌ、１．　（Ｊ’　（＋ボルダ１ａ、１ｂ
の１Ｍ部【、口上さしかか′）Ｉ、ニーＨ：　ｒｌｌ　
７）　Ｔｊ、該左および右ホルタ１ａ、１日こ形成Ｃさ
Ｉ＋　／＝−＞’（ｉ　’？の主溝２０２を通過＼りる
らの（１、前記グ・ンシ１１！）＼ とｊＬに前記１１おＪ、び右ホルタ゛ｌｉｌ、１Ｉｌｌ
・部Ｉ＼；ｉｒ＋Ｘ、１・Ｊる。。 しかし、該ノｊ　１１３Ｊ、び右ホルタＩａ、ｌｂに形
成５＼れた前記第１のＪ：ｔＦｊ　２０１に進入りる１
りＬ−ハ１００は、該第１の主ｔＭ　２０１の底面６に
：部に−（係１１−される。 第４図（ＩＩ〉にＪ：り明らがなＪ：うに、該第２のＪ
ＨｆＭ　２０２　Ｌｊ、それソ゛レノ第１の主ｉｎ　２
０１　（０１つおきに形成され−Ｃいるの−（−・、前
記５）０枚σ戸シｌ−−ハ１００は、−ぞの′１４父Ｊ
５さに、２５枚は該ノ「おｅｌ、びイ１ホルクｌａ、１
１＋の部ブ）　’ｖ　ｉｍ　、＋１され、残り２５枚は
前記プツシ１７５ど其にＦ　＊ｙをｖ：＋ｊることにイ
「る。 該１ツシト！′）と共に１・降を続【ノる２５枚のつＴ
−ハ’Ｉ　Ｏ（ｌ　ｌ；Ｌ　、第２の：１−ｐす７’　
／Ｉ　（’、）内に挿入され、該イ１２０日Ｉリノ’４
０の底面にＫｕｔＪられた第２の１”／　、Ｔ：−ハ係
＋ｌ：　Ｍ’ｔ　４　Ｃ−）　１のそれぞれに係止され
る。 ｉｊ’ｌ　ｌ；ＩＪ　ｆツシｌ’　５１；Ｌ、ｎＭ　ｍ
　２　（７）−１−１７１Ｊ　ア／Ｉ　Ｏノ底面および
前ｉｉ＋、！　ｊ−’フル１に説りられた第２のプッシ
ャ穴／ＩＩ　Ａ３　Ｊ：　ヒ／１１−ｌ　’ｋＭｒｌＡ
　ｌ／、前ｉｉｊ　２５栓ノウ１−ハ１００を前記第２
のパノ（−ハ係＋ｌ　ｉ；＋’＋４０１に係止させた後
、十降を１・、−１１りる。 その後、支持架枠はガイ１〜７ｉ′降″１−直によ１・
〕、前記左ｄ３よび右ホルタｉａ、ｉｂのト端が第１．
第２　Ａ３よび第３のキＸＩリッツ３０．／Ｉ　Ｏ，！
ｉｏのい・１゛れの側部板、Ｊ−りら」部へ）５：・す
る：１、て１冒りる１゜第７図り１１）にＡ３い（は、
前記ノーノル４が１′７１示されないテーブル移動」・
己、直（二、１、（・〕ノ「Ｉｊへ移動（する。該移動
は、該）　Ｉ　／ｌ／　’Ｉ　ｌシ設置ｊ＼４−１　／
、−、’ｉｏ　３のキトリア５０が、前記ｑ持架枠の一
°１１・（、りる；１、で行なわれる。 第７図（ｉ　）におい（は、ム１．７り１！４１°１．
Ｌ刀イド冒降装置に、１：すｒｙ＊　（Ｊ　ト降し、該
（１４１°＋　’、’１．’　ｌｉ’　１．１、ｌ’ｌ
’ｌ　＋１４　／＋　＋ｌ＋Ｊ、び右ホルタｌａ、ｌｌ
＋か萌５ｊ！　ｉ’ｌｉ　：ｉのルリノ１５０の側面様
に接ｊ１１シたど（二ろ”：　ｌｉ゛＋ｌりろ。 でしく、前）ホした）−ノル１のイ、／ノｌ＼Ｃノ）４
１５昂１０．〜より、前記第３のキトリノ’　５０の１
・方（、二１−ン１１′Ｃりることとなっｌこ前記プツ
シ１１５は、プツシ（７昇降装置にＪ：　Ｐ、ｌ　、ｌ
胃りる。 該プツシｒｒ　５は、第３のキＩＴす？５０の底面お、
Ｊ、び−テーブル４に形成されＩＣ第３のプツシ１！穴
５ト１３Ｊ、（Ｆ　５　’Ｉ　’！を通り、前記外およ
び右ホルダ’ＩＱ、’Ｉ１１に形成された第１の、−ト
ｔｉ’１２０１の底部端部に係止され／ｊ前記２５枚の
つ工−ハ１００の１；部に接ｍ：づる。 前記ブッシト５はさらに［−胃し、前記つ■−ハ１００
を前記外おＪ、び右ガイド２ａ、２ｂに形成８’　ｔｔ
　／＝　ｍ　３の主溝２０３内へ種入りる。この時、前
記プツシｒ５は上界を１？止する。 第７図（ｊ　）にＡ３い−Ｃは、前記ガイド回転装置は
、前記！「および右ホルダ１ａ、１ｂを、該ノ「おＪ、
び右ホルダ１ａ、ｌｂの対向りる部分が上向きになるＪ
：うに、つ；１り矢印Ｂ方向に、４５度回転さｌる。 したがっ（、前記外おＪ：び右ホルダ１ａ、ｌｂは始め
の状態、つ；［り第２図のＪ）１．”−、、リベ（のつ
１−ハを通過さける状Ｑ％とイ「る、。 第７図（ｋ）おい（は、前記プツシＩｔ　５は、ｆフシ
１２宜降装買により「１び十降イＶ胎める。前ｌ″１１
１２５枚のつ１−ハ１００−ｆ、、＋該ゾ・フシ１１５
−ハ：；−ト降する。 該２５枚のつ■−ハ１００は、ｆ）’ｔ　ｉｔ＋３ノｒ
、’　ｉｔンよひ右ボルダ１ａ、１ｈに形成された第′
１のＪ：、　！Ｆ＋　２（’ｌ　ｉを通過し、法外おＪ
、び右ホルダ’Ｉｎ、ｉｌ＋の１・側へ下降し、その後
、前記イビ）の１トすｊ’　Ｅ−１０内へ挿入される。 前記２５枚のつＪ−ハ１００１．１．、該イ１：１．の
１トリア５０の底面に設（ＪられＩ、：第３Ｃ））パノ
ｉ−ハ係１１溝５０１のイれぞれに係１１さ４Ｉる。 前記プツシせ５は、前記第７１１７）　ｌレリｉ’　り
　０の底面Ａ３Ｊ、ヒＯｊｒ　記テ’ソ）Ｌｔ　’Ｉ　
＋＝　設置、Ｊ　’）しｌ：第：’Ｓ　’７ｉ　ｆラシ
ャ穴５１を通過し、Ｎｉ記２５　＋９．の「゛ノＩ−・
ハ１００を前３ｆシ第３のつ１−ハ係Ｉｆ　ｔＭ　！’
＋　０１に係１１させた後、下降を停止にる。 その後、支持架枠は、カイト譬降装買によす、前記左お
よび右ホルタ１ａ、１ｂの下端が、第１、第２および第
３のキャリア３０．４０，５０のいずれの側面仮にりも
高い位置へ達するまで上背する。 第１図（１）においては、前記ラープル４はテ−ゾル移
動装貿こより右方へ移動する。該移動は、該シーゾル４
上に設電された第１のキトリア３０が、前記友持架悍の
真下にくるまて行なわれ、その後、停止する、 以上の第１図、第７図（ａ）−（ｌ）の操作により、該
第１図において第１のキャリア３０内に収納された５０
枚のウェーハ１００は、該第１のキャリア３０の左右に
設置された第２および第３のキャリア４０，５０内に２
５枚ずつ、かつ前記第１のキャリア３０内に収納されて
いたウェーハ１００間のピッチの２倍のピッチで収納さ
れたことになる。 なお第７図（ｄ）、（ｈ）、（ｌ）においては、テーブ
ル４を図示されないラーグル移動装置にはり右方あるい
は左方に移動しこが、該テーフル４を固定しておいて、
左および右ホルタ１ａ、１ｂ、左および右ガイド２ａ、
２ｂ、プッシャ５および左および右ローラ６ａ、６ｂを
移動させても同様の効甲が得られることは明白である。 一般に、ウェーハはグルンニウムやシリトノ等の単結晶
であるが、亀甲結晶の方向を示すために、該ウェーハは
円形形状の該ウェーハの一部に内線状のカットが施され
ている。そして，キャリア内にウェーハを収納りる揚台
、該ウェーハの結晶方位、つまり円形形状の一部を白線
状にカットした部分を一定方向にそろえる必要かある号
合が名い。 前述の操作においては、該ウェーハ１００の方向をそろ
える操作はしていないのて、第７図の（１）におりる第
２および第３のキャリア４０、５０に収納さたウェーハ
１００は、その方向かばらばらである。 以下に、第２および第３のキャリア４０、５０こ収納さ
れこウェーハ１００の方向をぞろえる手順を示す。 第７図（ｍ）−第７図（ｐ）はウェーハ１００の方向を
そろえる丁順を説明りる説明図である。 第１図〜第６図および第７図（ａ）−第７図（ｌ）にお
いては、ウェーハ１００の前記切欠直線部は示していな
かったが、第１図（ｎ）−第７図（ｐ）においては該切
欠直線部を示しである。 また、ウェーハ１００の円の中に書かれた数字は、該ウ
ェーハ１００の枚数を示している。 第７図（ｍ）−第７図（ｐ）において、第１図〜第６図
、および第７図（ａ）−第７図（１）と同一の符号は、
同一または同一部文をあうらねしている。 前述のように第１図（ａ）においで、第１のキキャリア
３０内に収納されていた５０枚のウェーハ１００は、第
７図（１）においては、第２および第３のキャリア４０
．５０内に２５枚ずつ、かつ前記第１のキャリア３０内
に収納されたウェーハ１００間のピッチの２倍の収納さ
れている。 第７図（ｍ）においては、前記第２およひ第３のキャリ
ア４０、５０の下方に設置された左および右ローラ６ａ
、６ｂが、同小されないローラ駆動装置により上背りる
。 前記第２および第３のキャリア４０、５０内に収納され
たウェーハ１００は、第２および第３のウェーハ係止溝
４０１、５０１に挿入、係止されているが、該ウェーハ
１００の最下部は第２および第３のプツシャ穴４１、５
１の名出に若干突出している。 前記左および右ローラ６ａ、６ｂの上昇は、前記第２お
よび第３のプッシャ穴４１、５１の下面に突出した前記
ウェーハ１００の最下部の円弧状部分に接触りるまぐ行
にねれる。 この助、ウェーハ１００の結晶方位を承り前記直線部が
、ぞの最下部にあるウェーハ１００には、前記左および
右ローラ６ａ、６ｂは接触しない。 第７図（１１）においては、前記左および右ローラ６ａ
、６ｂは、図示されないローラ駆動装置に一定時間回転
りる。回転方向は、時貢方向、反時計方向どららでもよ
い。 前記左および右ローラ６ａ、６ｂの回転により、法外お
よび右ローラ６ａ、６ｂと接触している前１、Ｌ！つ硬
−ハ゛１００は、ぞの摩１■ミカの！こめに回転りる。 ｆｌ意の／ｊ向に向い−Ｃいた前記つ１−ハ゛１００の
１１線部は、前記回転のため、該つ丁−ハ１００の最上
部へ回転さ１！られる。該つ１−ハ１００のＩｌｌ［・
部に移ｆ＋ｈ　Ｌ　／、：該ウェーハ１００の直線部は
、前ｉ；１！）ｉ−ｉｌｊよび右【ト→６ａ、６１１に
接触しなくなる３゜し／ｊが−）（、前記）「お、１．
びに＋＋−−ノロ　ｉ＋　、　（ｉ　ｂが回転を続【）
（も１．１亥つＴ−ハ１（３０は罰の回転を停」１りる
１、前記左お上び右１．１−ｆ〕６ａ　、　（５１，Ｉ
　Ｌ；ｌ、前記づべでのウェーハ’Ｉ　（１０の直線部
が該・°〕１−ハ１００の最下ｒ’ＡＩに移動し、該リ
ヘ（の・：）＋−ハ１００の回転が停止ｊ−りるま−Ｃ
耘ｊ４Ｊられる１、この状態におい（、前記つＴ−ハ゛
Ｉ　０００）　ｔｉ’、品方位は、づべて同−ｈ向に１
ｌＦｌλられｌ、：　ｃ’、！：’、　Ｉ：：なで）。 さらに、前記つ［−ハ１００のｉｉ’ｉ　、１１！ｉｔ
部を、該つ■−ハ１００の下以外に向１．．Ｉ　／、二
い１“４含１．’　ｉ、１．．１′１１・の操（”ｌを
（１なう。 ｍ　７　図（ｏ　）　ニ、ＩＪイ（１，Ｌ、ｆ　Ｉ／）
１　ヘ（（１）　ｉｊ’ｌ　ｉｌ；１部が、ぞの最Ｆ部
にイｊ／　ｆ　ｌろ前ｉｉｌ！　”、／　＋−ハ１０　
（１＋、一対しく、前記）１おＪ、び右１゛１−ラ（冒
＋　、　６　ｂ　１．１同率されないローラ駆動装置に
より１、【らに−、Ｌ　’Ｒ・１イ）、。 法外おＪ：び右ロー’＞　６８　、　Ｃｉ　１＋　１．
Ｌ、ｌ’ｌ’ｌ　ｕτ！パノ１〜ハ１００の直線部に１
）触りると同１１゛１に、イの１　＋７．＋イ・停止り
る、。 第７図（１））に「１ヌい（＋よ、前記）ｒＡ３よび右
１ｌ−−１７（５ｎ　、　６ｂ　Ｉ；ｌ、前記図示’ｒ
３１−Ｌ　ｆ、ｇ　イＤ　”）　ｊＪ＋ｊ　ｉ’ｌＪ　
’（（直に、〕、り同転する。回転方向ＧＥＬ　、時ａ
１方向、反時ｉｉ１　／Ｊ向のどららｒ　Ｇ　Ｊ、い。 前＝Ｌ！つ１−ハ゛１０ｏは、前記ノｒおにび右［１−
ラ（ｉａ、（’３１１の同転にＪ、り回転りる。前記つ
１−ハ１００のＭｉ直線部希望する任意の方向に向（ｊ
られｌζどコロ（゛、前記！ｉ’　ａ３　Ｊ：びイｉｌ
ｌ　’＞６ａ　、　６１＋は、−ｆの回転を停止づる。 第７図（ｐ）においては、前記’／　■／”Ｉ　００の
直線部はリベて該つＪ−ハの最上部（、ニイＣｌ　ｒ　
Ｌ／　’Ｃいる。 前記クー１−ハ１００のｉｉ’ＴＰ、１１部が希望覆る
任なの方向に向けられ、前記左Ｌ１３よび右ローラ（３
ａ。 ６１訃の回転が停止Ｌ　Ｌ　ｋところ（、前式！］、お
Ｊ、び右１−１一つ６ａ、６ｂは下降りる。 Ｊズ１−の禄イγにより、ての直線部が種々の方向Ｉコ
ー向りられていＩこつ１．−ハ１００は、リベて希望覆
る同一り向へ向Ｉ−，）　Ｉ）れ／ｊことになる。 また、以１−の操作の１．１！ｊの操ｆｌ、）７１すＥ
Ｏ’；’　に　ｊ。 び第３のキＩ７リア’１０．５０内に収めＩ）れｌ、・
つｉ−ハ１００を、第１０′ＩＩノリノ’　：３０内ｌ
（移１）λる操作ら、前述した操作を全く通の丁Ｍｉ’
ｉ　１．、−ｊ、すｆｌえば容易にｊ５：成′ｒ：さる
。 また、第１の：１″レリア３０のノＷ石両四ｌ＼；’ｌ
＋　２＋第３のキ１７リア４０．５０を説ＩＪ　／、＝
が、こ４０．限らず、前記第１の−１−ｔ・リラ１３０
を端部（二設置１、第２＝１．たは第３の−Ｉ＋？リア
４　＋１　、　り０　’Ｓ中史１．二ｉ、（シ（Ｊても
よいのは当然Ｃルｊる。 本発明の一実施例では、つ１　ハ’＋　（１０の４５；
　＋／ｊ「えに、第１または第２おＪ、び第Ｊ）の１．
　ｙす／’　＋３０　。 ４０．５０に形成された第′１；また１、１第２お、Ｊ
、び２゛０３のウェーハ係止溝３０１　、４０１　、　
「ｉ　０　’Ｉ　ｌ、−係止されたイれぞれのつ■−ハ
ｌ　（３０４、）「お、１、（ｆ右ホルダｌａ、１ｂお
よび）響、お、Ｊ、げＣ９がｒＬｊ２ａ。 ２１）ニ形成された？　ＪＬ　（ＩＩ　（７）　Ｅｒｉ
　’ｌ　、　第２．Ｉｉ　、１、（Ｆ　ｆ４３の主ｆｉ
？＋　２０１　、２０２　、２　（１：１内１．−１小
人あるいは係ＩＩ−する千［ひ、あるいはでの逆の手段
を用い（いる、ｌ ｉ″ｆ１−！第１．第２おＪ、び第３のつＪ−ハ係１］
猫３０１　、　／Ｉ　Ｏ１、５（）Ｉ　Ｊｊよび第１．
第２　Ｊよび；ａ　：３のＬ、　ｉＭ　２０１　、２０
２　、２０３は、前記ウーし一ハ１００を係１１−ある
いは保持するための溝であるから、該溝の幅はあまり広
くｔまできないが、適１１工＜ｒ　Ａ７びは必要ぐある
。 前記第′１．第２おＪ、び第３の−１−１１リラ７３ｏ
。 ／Ｉ　（’、）　、　５０に形成された前記第１．第２
および第３のつＩ−ハ係１１１ｉｉ３０１　、４０１　
、　Ｅ５０１に係１１されたｒｉｉｔ記つ１−ハ１００
は、該ウェーハ１糸止）１！１の前記ｊりびの１．−め
（二、該−１トリアの底面にλ・１しく手向（二＼“１
−）（ニー゛が（さｌ’　＋　；魁ルすｊ′の底面の千
「°Ｊ面に対しくン冒の傾斜角１ｆｌ＠　＜「Ｌ／　’
Ｕ、あるつＪ−ハは該垂直面の下前側１．１：Ｉこ、他
のウェーハは反ス・ｊ側に傾斜しＵ　５’／　＝）こと
になる。 したが−）（、−１−１ｒリア内での各つＪ−ハ１０゜
間の上部のビッヂが異イ１す、この状態で１４１１、前
＾１！ｒｃ１３　Ｊ：びもホルダＩＬｌ、ｉｌ＋　Ｊ３
土びノロ１３．１．σもガイド２ａ、２ｂに形成され１
．−第１．第２およびり１３の主ＩＭ　２０１　、　２
０２　、２０　、’ｌ内（１、該つＩ　−ハ１００を円
滑に挿入りる（−Ｊ、がむｊ［かしく／７る。 はｌｅ「はだしい場合には、前３１１：の移１’：’ｒ
　、′？＋ＦＩ＋　ｌ’ｌ　１．　ｌ、！７陣を生じＩ
こり、つ１−ハをＩＱ　１１３　＋、、　／；−リ１１
ろ火山がある。 、１−記欠点の解決策とし゛（，１１１４ｉ＋−ｓ　ｉ
＞　４１．　ｒ、７い丁ＩＱ　ｋ−にり前記デープル／
Ｉを、該デープル４ど菌中１！つ■−ハ１００どの交線
ト平ｈ　’；ｃ　仮！’；！、！　軸（１）　、１、ｉ
、＋　ｔ：＋　に薯１ｎ斜させてやることが考えられる
。。 前記ラーＩル４の飼１斜に、１、”、”　、ｌ’ｌｌｌ
　ｉｉｌ：の・１１＼（のウェーハ゛Ｉ　００は同　ｆ
ｊ向ＩＪＩ”ｉ　：ｉ”ｌじ、ｌ）！−か）（、該つ１
．−ハコ００間の１部のじツｆ（３１、ｉ’　（１）　
ｌ　Ｉｒリアごとに同じになる。 なお、前記傾斜が大きい場合（、゛は、ＩＭ　Ｙ、１；
第１のキャリア３０に形成されｌ、７第１のつ嘗−ハ係
１１漏：ｓ　０１と、前記）ｌお、ｊ、び右ボルダｌ　
ａ　、　ｌ　ｌ＋　ａＪＪ：びノｉ’　Ｊｊよびイ＋　
）Ｊ　ｒド２ａ、２ｂに形成された第１゜第２８，１、
び第３のに溝２０１，２０２．，２０３どの相λ・！　
１１７１Ｍを調整りる必要がある。 また、前）４：の、Ｊ：うに左および右ボルダ１ａ、Ｉ
Ｉｆ　ｉｌｊ　Ｊ、びｉｉｌ　ｉＢよび右ガイド２ａ、
２１＋に形成され！、：第１．ｆｆｌ：１１５Ｊ：ヒ第
３ｆ７）主ｌＭ２Ｏ１，２０２゜２０３　’ｌ）、前記
つ１−ハ１００が挿入された時に’７１１Ｊな逅びが牛
り゛るＪ：うに形成されＣいる。 該遊び（，１、前記ウー［−ハ係止Ｈ’ｔに係止された
前記つ［−ハ１００を前記プツシ鬼・５にＪ：り１昇さ
μる際、前記第１．第２おＪ、び第３の＋ｉ％Ｓ　２０
１　。 ２０２．２０３にｉｌｊ人しやりくりる為のものＣある
。 しかし、該遊で１のムニめに、前−］］ウド１へ八゛ｌ
００が、それぞれ平行に保持されなくなるＪ３イれがあ
る。しノＪが・）−（、この状態では、前記右おＪ、び
右ボルダ１ａ、１ｂににり保持され／ｅ前記ウェーハ１
００を前記第１．第２および第３　ｑ）つ１−ハ係ＩＬ
ｔＭ３０１　、４０１　、　！１５０１内／＼ｌｉ　人
、１ｆｆｉ　Ｉｆ　サＬ！ることはむ１１゛かしくなる
。。 −［記欠貞の解決のために（：１、前記第１．第２，１
５１こび第３の主溝２０’ｌ、２０２．２０３４、ｒの
断面が矩形ではなく、法面の底肉部がｉｌｌつ「−ハ１
００の幅トＩｎｌ　Ｕ　（−１該ｊｉＩＮｌ／）　１ｆ
ｔｌ　Ｉ　ｌ　ｒ＋ｌＬ　カｎｊｔ　開底面部の幅より
し広くなるよう’Ｊ　ｒ’？　Ｉｒ看（ｌ・〕るよ）ｔ
「形１１；とするのがよい。 この場合には、第１．第２イ１；よひ第３のつ瞥−へ係
止溝３０１．／１０１．トｊ０１内（５−１糸１し＼ｉ
ｔ、　ｌ−ウ−［−ハ１００を、第１．第’ｔ”　ｉ１
３＋１．び第３ｑ）１漏　２　（１１，２０２，２０３
’＼ｉｆ”　へ１　／＋　、”４合ｔ、ｔ　、）　１７
）断面をり４１形状とし、遊びを人さりＬ／　／、Ｉ）
ｎ命と同（Ｔに容易Ｃあり、また該つ１−−ハＩ　００
をｆ＋：　１１ｒ　１ろ場合は、該つ１−−ハ係１１漏
のハ“（２面部にて、前記１°〕Ｔ−ハ１００が保持さ
れるのＣ，該つ１−ハ１００　、！＝該第１．第２　ｄ
３　Ｊ：　ヒｒ（’ｒ　、７）０１１　ｉｆ’＋　２０
　’ｌ　。 ２０２．２０３との間に１ｊ７７びは生じ４１い。 前ｒＨ＋−実ＪＡｉ例に４３いては、ノ［イ１３よび右
ホルダｌａ、ｌｂを１ｌｆｊ形手、［状としたが、特に
正カ形科状に限らり゛、円（１状あるいは他の形状Ｃあ
−）てＯＪ、い。 マＩコ、第２ｉ１ｊ　Ｊ、σ２０：ｉ　（１）　ｔ　Ｉ
ノ’Ｊ　’／’　４０　、５０　（１）底面に形成され
Ｉこ第２お上てｆ第３３のつｔ−ハ係ｊ１）Ｉう４０１
．５Ｑ１の子れぞれのピップを、第１のｉ：　ｒＩリア
３０の底面に形成された第１σ戸ノ１−−ハ係１１）呂
３０１のイれぞ１１のビッヂの２１ｆ’としたが、該第
１のつ〕−−ハ係止溝３ｏ′１の−Ｃれぞれのピップど
同一にしても良いことは明らか（゛ある。 Ｊの場合、第゛１のキレリア３ｏと第２および第３の１
−１？すｊ’／１０．５０どの祠負が同じ時は、第１　
（１）　１１１．す／’　、”３　（Ｊをちっ（、第２
　ｉｌ３　Ｊ、び第３の＋＋１リノ’４（、）、５Ｑに
代えることが′Ｃきる。 さＣ１本発明の一実施例は、１っσ）　＝１−ＩＩリノ
′内１、：　ＩＩＩめＩ）れだりＣ）枚のつＪ−ハを別
の２つの１トリア内へ２５枚ずつ移し換え、′、Ｉ：　
／、二該別の２゛）のギＩアリア内へ２５枚り゛つ移し
１テ六られｌζつＩ−ハ間のビッヂ（、Ｌ、始めの１′
）の１１ノリ１′内（、−収められた５０枚のつＪ、−
ハ間のピッ゛１の２（ｉ’ｌてあった。 つＪ、す、釘１１の〜トリアへ１１Ｖ、１内（＼ｉ’１
．　（いＩＪつ１−ハの枚数番、１、第２Δ３よび第、
′）の１１ＴＩＪノｌへ１１マ納された枚数の２イｊ１
（あ）　Ｉ＝−、、。 しかし、ノｔおＪ、び右ホルダ（、叫杉成され／、−ｉ
Ｔ！　２σ）主溝を、多ｒｉ　１の’？”　ｆＭの一咽
（＋２　）Ｊメハ（、−形成りるとともに、もう１れ１
の前記’（’Ｑ　２　（１）　十、　ｉＭと同形状の第
４０主溝を前記第２０）　ａ、’、　ｉｉ’ｉが形１〜
（＼れ（い１．１い前記第１の主溝の他端に２つ、）メ
い、１．二形成し、：ＩＩ　Ｌ：、ざらに第４のキ（・
すｊ）を′、’Ａ　ＩＪ　、　ｉイ１２．第３４３４．
’び第４０）キトすｊｌに第１のキトリノ’　１．Ｊ、
　Ｉ七成され！、７第１のウ−「−ハ係＋Ｌ　ｉ笥の３
１ｆ１σン１゛・ン１に了’ｒ　２．；４！　：”！Ｌ
１３　Ｊ：び第４のつ］−−ハ係１ｌｉｉ”ｉイ１形成
し、１．ヘク゛１′１１のつ１−−ハ係＋Ｌ、　＋Ｍ　
（Ｊ）　リｌ＼テカＨ’ｘ　；Ｙｉ　’）　、　’、’
ｎ　：３　Ｌｌｒ　、１．７Ｆ　第４　（７）　Ｉ）　
Ｊ：　Ａ　係止ｉＦｉ　Ｕ）　ｇ　１４　ＪＳＩ　Ｉ　
Ｌ二Ｋｌ　ｆｎ　１　ｄ、＋　、Ｌ　’＞　ＩＪ１〆１
成りることにより、前記化率を３倍にすることが（シー
＼る。。 一＃シに、’ｈ、　＋３　Ｊ、び右ホルダに形成された
第１お、Ｊ、び第２のＪｉｉｔお、Ｊ：び法外Ｊ３よび
イ１ホルグの形状を自１１１　ｋ’−、’＜＝形りるこ
とにＪ、す、本発明（，１５、これらの！：１１ホ的イ
；　ｉｋ　ｆ！ｔｆ　ｌ−、ｉｉ＋ｌ約されず、１　ッ
Ｑ）　千Ｉｒ　１，１７’　内（６−１ツぬられｔ、−
Ｘ枚のウェーハを、別のｎ個の一１トすｌ′内ｌＸ、Ｘ
　、ｒ’　ｌ１枚り′つ仔し換え１．１、！、：、該別
の１１１１、ｉｌのＩＩ・リア内へＸ７勺１枚ず゛つ移
し挽えられたつ１−ハ間のビッヂ【ｊｌ、ｊ）ｆＨめの
′１つのキトリア内に１１１４めらｔｌ、　／、＝　Ｘ
枚のつＴ−ハ間の１７１０月１（ｊｌにりるｌ二どがｒ
ぎる。 また、逆の操ｆ′１にＪ、す１１個のＩＩ・すｊ′内に
Ｘ枚１「つＩＩＶめられＩ、＝つ１−八を、別の１つの
キｔ！リア内ｌ＼１１　・Ｘ枚移１）換え、；１．ｌこ
該別の１つのキトすｊｌ内へ移し換えｌ）れた１１　・
Ｘ枚のつＪ−−ハ間のピップ（，１、始めのｎ個のキト
・リア内にＸ枚り゛っ収められＩ、：ウシーハ間のヒッ
プの１／’１１倍にりることができる。 （効果） 以上の説明から明らか’、ｒ　Ｊ、）に、本光明（・ｌ
　、Ｊ：　ｔｌば、つぎの、）、）な効果が達成、Ｘれ
る。 （１）　キトリア内へ収納さ１１　／、　ｌ’ノ１−ハ
ネ曲の１ｐリア内へ自動的ｔｒ移１／／ｌ　／ｌでて）
（−が−（きるの（、該−シ　、「　−ハ　を　ンク　
し　ｌζニ　リ　、　ｉｌ７１）（）　人−をン　、　
（１リ　る　い　＋７１破に１りることかなく、：ＩＩ
、°該移１色えかダｊ１！千′、１、く行なわれ、経湾
的（δりる。。 （２）−１−＋７すｊｌ内へ収納されｌご・、゛ノ１−
ハの結晶１ノ位をそろえく）ことが（きるの（、各（Φ
＾ｌハ理がｒｉＦ率よく行なわれる。 ４、図面の（ｍ　Ｑ！　’−′ｒｒＪ２明第１図は本明
朗１図実ｌ１１１！例のＩ１１イ略１１面口、：１２図
はノｊ　＋３　ｃｌ：　ヒ右＊　７Ｌ／　’ｌ　Ｏ）　
ＫＴ　？ＩＩ　ｆ’ＪＩ、第３１ｍ　１．１　／＋　Ｊ
＋　Ｊ。 び右ホルダが第２図の状態からでのヌ・ｊｌりる部分が
上向さになるＪ：うに／Ｉ！：５１θ回Φｉ、　シ／ｒ
ニオｌり剋１４、第４図は左おにびねホルダが第ｒｔ　
ｒＸｌの払（ｊ、ｉからイのス・１向づる部分がＩ悄「
りきにイｆる。１：　’ｒに９０度回転しＩＣ状態図、
第５）図はノ１おＪ、び右ガイドの詳ｔｌｌ１図、第（
３図は第１．第２および第３のキＩ７リアＪ３．Ｊ：び
ｒ　−−１ルの８Ｙ細図、第７図（ａ　）へ・（１）は
つ工−ハの移し１φえの手順を示１説明図、第７図＜ｍ
）・・・（１））はつＪ−ハのｌｊ向をそろえる手順を
承り説明図で（５る１゜ ’ｌ　ａ・・・）１ホルダ、１ｂ・・・イｉホルダ、２
ａ・・・１刀（ド、２１）・・・右方イド、／１・・テ
ーブル、５・・・プツシト、Ｆｌ　ａ・・・ノ「回転軸
、ε３１１・・・右回転軸、３０・・・第１の−１−１
−リア、３１・・・第１のプツシｔ・穴、／ＩＯ・・・
第２の１＋７リラ７．４゛１・・・第２のプツシＩＩ穴
、５０・・第３のＩＩ７リノ７．５１・・・第３のプツ
シＩ７穴、１００・・−ンＪ−ハ、１０１・・・第１の
つ１．−ハ、１０２・・・第２のウェーハ、’＋　０３
・・・第３のウー１−ハ、１０／ｌ・・・第４のつ１−
ハ、２０　’Ｉ・・・第１の１！ｒ１ｉ、２０２・・・
第２の十ｉｉｉ　。 ２０３・・・第３の干満、３０１・・・第１のウェーハ
係１１−ｊ苫、／＋　０１・・・ε０２のつ誓−ハ係１
１）１１′１．５０１・・・第３のウェーハ係ＩＬ　！
＃“１代理人弁狸十　′″１′木値人　夕１１上第　１
　図 （ 第２図 牙　３　図 牙４１ン１ 第５　Ｎ ７図 （ｂ） ・ｊｄ） 第　７ 第　７ （１） （ｋ） ８ａ１ト１ａ１ｂ十ト８ｂ ０−６・　工５ （１） ト（士Ｉａ　１ｂモレ８ｂ ■、６ａ５−Ａ−６ｂ〜■ （ｍ） （ｏ） 図 （ｎ） ａａイ１１．　ｉｂ〜Ｂ−ｓｂ ８ａ）７ト１ａ　１ｂ（Ｂ７８ｂ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｆｉｔ　ｊｊの−Ｉ＋・リア内に、第１のピッチで収納
   されたつＪ−ハを、ぞ０月１倍（ｎは整数）またはｉ／
   ｎ倍に相当“する第２のビッヂＣ他方のキ１７リア内へ
   移換えて収納する自動ウェーハ移換ｌＦ、ｔ！　ｅあっ
   て、前記第１のピップ−で形成された複数のつＩ−−ハ
   係止溝および底面に穿設されたブッシト穴を右りる第１
   のキャリア、ならびに前記第２のピップ−で形成された
   複数のウェーハ係盲ト渦おＪ：び底内に穿設されたプツ
   シ１１穴を有りる第２σ月−レリアを、〃いに対応する
   各キャリｊ′のウェーハ係止溝が一直線十に配列される
   ように、その−１面にｔＩη買状態で載バするためのテ
   ーブルと、旧式：テーブルの、前記第１おＪ、び第２０
   ）−１１１す）７のｆフシ１ν穴に対応りる１０首に穿
   設されたプツシ１１穴と、前＆ｉｉ−プルのｌ＝　１３
   に。 前記第１おＪ、び第２の“ｔトリアと平行に、か′）互
   いに平行に配「されて柱状をなし、ぞれぞれの周面には
   、前記第１７１３Ｊ、び第２のピッｆの中の小さい方の
   ピッチで収納され！、ニラ「−八を通過さける第１の複
   数の主溝お、１、σ前記第１おＪ、び第２のピッチの中
   の大きい方のピッ１で収納されたウェーハのみを通過さ
   １！る少なくとも１組の第２の複数の主溝が、４うろ中
   心角だ【＋１′らして穿設され（いる１対のホルタと、
   前記１対のホルダを、その情のよりＩ）　Ｕ二回転５（
   シ謙、ホルタ間のつ■−への通過・係１１を制ＤＩＩ　
   ｌるホルタ回転装置と、前記１対のホルタの（％　十ｌ
   −１でれて゛れ配置され、て゛れぞれの対向面に、前８
   Ｃ第１８３よび第２のビッヂの中の小、＼い〕°ノのじ
   ツ′ｆ（収納されたウェーハを挿入りるε０：）の複数
   の１−溝を穿設された１対の）ＪＣドと・、Ｉ’ｌ’ｌ
   　＋ｊｌ：　１女・１のホルタおＪ：び１対のガ、イド
   を、ｉｌｌ　／、／　１．、：所′、ｊ゛の相２・１（
   ｉ’／　ｔｉ’ｉ°に１尿って支１゛１りる支持架枠と
   、前記支持架枠を１胃Ｊ、たは下ｌｌ？ｆさＵる力・ｆ
   ド胃降装同と、前記７−プルの■：方に設りられ、前記
   置−ブル（１３土び−での上のキ【ｌリノ７の各プツシ
   Ｉ７穴を目）ＩＴ＋しＣ１，胃、下降し、キ１７リア内
   、１３よび前記ホルタに支持されたつＴ−ハを上Ｆｊ１
   ’：Ｊ、たは下降さ１！るプツシＩ７と、前記プツシレ
   の土を・下降を制ヤ１１づるプツシシ胃降装置と、前記
   テーブルａ３よびプツシ１１、ならびに前記支持架枠を
   、つＴ−−ハ１糸１１溝ど平ｔＩな方向に相対移動さけ
   る駆動装同とを口備し１．−ことを特徴どりる自動つ［
   −ハｆｉＸ＋灸１幾。 （２）　ｉ’＋ζ１記第１お上第１２のキトリアに形成
   されたつ１−ハ係止ｆｆ４のビッヂが等しいことを特徴
   とする特許 ■ーハ移１ｑ｛｛災。 （ご３１　ｉ’ｌｊじｉシ弟′１、第２おＪ、ひ第３の
   主｝吊の断面形状が台形であることを特徴どする前記特
   許請求の範囲第１珀または第２１「１記載の自動・ラ］
   ーノ入移挽｝；覗。 （４）　一ブｊのキセリア内に、第′１のビ・ソ’ｆ（
   −１１’７　１１’＋されたウ〕−−ハを、そのＩＴ　
   Ｉ：’ｉ　（　ｎ　ＬＵ　′ｌｉリＱｌｌこ【、口／　
   ｎ　（ｉｌに相当りる第２のビ・ンｆ　（’　ｆｌｌ！
   　１３σ）１ｌｌリア内へ移換えてＩＩソ納Ｊる自動ウ
   １−ノＳ　ｉ？’，　ＩＩｉｌ！問であって、前記第゛
   １のピッｆで形成さ；Ｉ’ｌ．　ｔ．、、ｔｕ数のウ］
   ．ーハ係１１：Ｆｉおｊ；び底面に穿設さ１′シ！、゛
   ｌプツシＩｒ穴右りる第１の１１・リア、４ｆらひ（Ｌ
   ｌ　＋’＋ｆｉ記第２のピッチで形成されＩ．：複数の
   ウｒ　−　ｌＸＪ糸止満おＪ、び底面に′ｇ設さｔ＋．
   　ｌ：ゾ・ンシＩＴ穴を右《ノる第２のキレリアを、η
   いに対応１る各１：　＋７　’Ｊノ７０ウ、Ｙ−ハ係１
   １ー溝が一ｉｉ’ｊ絆ロ，ーｌｌ１１１．ｌ１１さ１′
   シく）４１〜うに、イの土面に並置状態Ｃ戟１ｒ１りる
   Ｉ、ニダ）　Ｃ１）　ｊ一ブルど、前記テーブルの、前
   記第１Ａタよｒｙ第２のキ１・リアのＪツシ＼・穴にλ
   −Ｉ　Ｌト＞　ｉｆるｌ１′／直し一穿設されたプツシ
   １・穴と、前面！　ｊ’　−　ノノ１ノσ）ｌ　／’Ｊ
   　ＩＺ、前記第１および第２のキ１７リノ？と甲ｆ−ｉ
   に、！”一）ｌｌい（、１平１１に配冒され（柱状をイ
   『し、一てｆしーぞｔしの周面には、前記第゛１おＪ、
   び第２σ）ビツブ−σ）【１ｌの小さい方のピッチぐ収
   納されＩこ・ハーノＸを）ｉ！＋過さｌる第１の複数の
   主溝および前記第１　ｉ１３Ｊ’；び第２のピッチの中
   の大きい方のピッチ−７：　ｆｌｙ．ｔｌ’１されたウ
   ェーハのみを通過さＵる少なくとも１相の第２の複数の
   主ｆＭが、ある中心角だＧｆずらし（穿没されていろ１
   対のホルタと、前２１ス・１のホルダを、一での軸のま
   わりに回転させ、ｉｌ　／レグ間の・戸一ハの通過・係
   １１二を制御Ｊるｊｌζノレダ回転装直と、前記１対の
   ホルダの真Ｌ　Ｉｆｆ．、イれぞれ配置され、それぞれ
   の対向面に、前記第１（１｝よび第２のピップの中の小
   さ（へ方のピップＣ収納され１＝ウ１−ハを挿入りる第
   ３の複数σ）　；１溝を穿設さｉＬ　／．：　’Ｉ　Ｘ
   Ｊのガイドと、前記１対の４一ルゲお，１、び１タ・１
   のガイドを、相′ｌ７に所定のｌｔｌ交り位直に保つｒ
   ：支持づる支持架枠と、前記支１０架枠を１冒１　／ζ
   ｌ；ｌ．−（；費さＵるガイド貸降装置と、前記−ｊ−
   ノルの下／Ｊに設（ｊられ、前記ｉ　−　’，ｆ　／し
   およびその」のキＶリＩの名１・ンシ１・穴を円；ｉｊ
   して上着、一ト降し、日・リｊノ内お上（ＦｔＹｉ記ｒ
   １ζノ１ノダに支持されＩこウ１ーーハ苓ｌ冒ＩＩ：＝
   　ｌｊ：　’ｌ−降七＼ｌるプツシレと、前記プツシ１
   ・の１胃・１・Ｆテｔイ・制御りるブツシャ昇薪装買と
   、１）｛１記−ｊ−’ｆルお．」、びプツシ１？、なら
   びに前．ｌ１！支４、１架枠を、１゜ノ１ーハ係止溝と
   平行な／ｉ向に１１．１χ・１移Φ１１さｌｌる一ゼ千
   ；１装冒と、前記テーブルを、での面お、１，びウ１ノ
   ＼面の両方にほぼ重直な面内ｖ１′一定角＋Ｃｒ　ｌ、
   ＋　＋１　ｔｌη１゛じ＼ｕるｆ段Ｊ二をＦＩ　Ｈｉｔ
   　Ｌ／　Ａ：　（一と４：　ｑ．’ｊ　ｉｎｋと１Ｊる
   白子１１１シ］．ーハ移１／／！機，。