JPH01319968A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
- Publication number
- JPH01319968A JPH01319968A JP63153184A JP15318488A JPH01319968A JP H01319968 A JPH01319968 A JP H01319968A JP 63153184 A JP63153184 A JP 63153184A JP 15318488 A JP15318488 A JP 15318488A JP H01319968 A JPH01319968 A JP H01319968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding device
- support rod
- substrate holding
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、基板をあるカセット治具から別のカセット治
具へ移し替える際に用いる基板保持に関するものである
。
具へ移し替える際に用いる基板保持に関するものである
。
従来の技術
近年、基板保持装置は、半導体工場の拡散炉工程におい
て、運搬用テフロンカセットと処理用石英ボートの間で
、シリコンウェハーを移し替、える際使用されている。
て、運搬用テフロンカセットと処理用石英ボートの間で
、シリコンウェハーを移し替、える際使用されている。
以下図面を参照しながら、従来の基板保持装置の一例に
ついて説明する。
ついて説明する。
第４図は従来の基板保持装置の斜視図である。
同図において、１け基板（シリコンウェハ）テする。２
けウェハチャックロッド（基板支持棒）で円柱形の部品
である。２け基板チャック板（ウェハチャック板）で、
基板１を保持した時、隣勺合う基板１どうしが接触しな
いための溝部が設けられている。そして基板チャック板
２の開口部３に円柱形の基板支持棒（ウェハチャックロ
ッド）４を組み込むことによ夕、基板１を保持すること
ができる。
けウェハチャックロッド（基板支持棒）で円柱形の部品
である。２け基板チャック板（ウェハチャック板）で、
基板１を保持した時、隣勺合う基板１どうしが接触しな
いための溝部が設けられている。そして基板チャック板
２の開口部３に円柱形の基板支持棒（ウェハチャックロ
ッド）４を組み込むことによ夕、基板１を保持すること
ができる。
第５図は第４図の断面図であるが、その動作について以
下説明すも基板１Ｖｉ、向い合った１対の基板チャック
板２と、それに組み込まれた基板支持棒４によって保持
されている。重力方向の規制は基板支持棒４により、横
倒れ方向の規制は基板チャック板２の溝部によシ行われ
ている。
下説明すも基板１Ｖｉ、向い合った１対の基板チャック
板２と、それに組み込まれた基板支持棒４によって保持
されている。重力方向の規制は基板支持棒４により、横
倒れ方向の規制は基板チャック板２の溝部によシ行われ
ている。
次に基板１の保持を解除する方法について説明する。基
板支持棒４間の最短距離を基板１の直径以上に広げるよ
う基板チャック板２の間隔を広げる。これに、ｌ、シリ
コンウェハの重力方向に保持は解除される。従って、数
枚の基板１を同時に一括移し替えることが可能である。
板支持棒４間の最短距離を基板１の直径以上に広げるよ
う基板チャック板２の間隔を広げる。これに、ｌ、シリ
コンウェハの重力方向に保持は解除される。従って、数
枚の基板１を同時に一括移し替えることが可能である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、基板チャック板２
の間に存在する数枚の基板１の保持、あるいけ保持解除
が、−括でしか行えないために、基板間隔の変更に対応
不可能という課題を有していた。
の間に存在する数枚の基板１の保持、あるいけ保持解除
が、−括でしか行えないために、基板間隔の変更に対応
不可能という課題を有していた。
本発明け、上記課題に鑑み、基板チャック板の間に存在
する数枚の基板のうち、任意の基板を保持あるいけ保持
解除が行える基板保持装置を提供することを目的とする
。
する数枚の基板のうち、任意の基板を保持あるいけ保持
解除が行える基板保持装置を提供することを目的とする
。
課題を解決するための手段
この目的を達成するため本発明の基板保持装置は、開口
部を有するとともに複数の溝部が設けられた１対の基板
チャック板と、前記基板チャック板の開口部に挿入され
る凹凸部を有する基板支持棒とを備えてなるものである
。
部を有するとともに複数の溝部が設けられた１対の基板
チャック板と、前記基板チャック板の開口部に挿入され
る凹凸部を有する基板支持棒とを備えてなるものである
。
作 用
この構成によって、基板チャック板のａｔ１部に設けら
れた基板について、任意に保持、あるいけ保持解除が可
能となる。
れた基板について、任意に保持、あるいけ保持解除が可
能となる。
実施例
以下本発明の一実施例における基板保持装置について図
面をお照しながら説明する。
面をお照しながら説明する。
第１図は、本発明の一実施例における基板保持装置の斜
視図であ夛、第２図、第３図は同断面図である。第１図
において、５は基板（シリコンウェハ）である。６ｆｉ
基板チヤツク板（ウェハチャック板）で、基板６を保持
した時隣り合うシリコンウェハどうしが接触しないため
の溝部が設けられている。８は基板チャック板６の開口
部７に挿入される基板支持棒で回転軸と平行の凹凸部の
列が６００ごとに３列設けられている。また基板支持棒
８け基板チャック板６の開口部７に挿入された状態で外
力によ勺回転可能である。
視図であ夛、第２図、第３図は同断面図である。第１図
において、５は基板（シリコンウェハ）である。６ｆｉ
基板チヤツク板（ウェハチャック板）で、基板６を保持
した時隣り合うシリコンウェハどうしが接触しないため
の溝部が設けられている。８は基板チャック板６の開口
部７に挿入される基板支持棒で回転軸と平行の凹凸部の
列が６００ごとに３列設けられている。また基板支持棒
８け基板チャック板６の開口部７に挿入された状態で外
力によ勺回転可能である。
以下、その動作について、第２図、第３図に基づき説明
する。まず、基板チャック板６のある箇所の溝部におけ
る基板６と基板支持棒８の凹凸部の関係が、第２図のよ
うな場合、すなわち、基板支持棒８のそれぞれの凸部と
凸部との間隔よフ基板６の直径の方が大きい場合は基板
６を保持する。
する。まず、基板チャック板６のある箇所の溝部におけ
る基板６と基板支持棒８の凹凸部の関係が、第２図のよ
うな場合、すなわち、基板支持棒８のそれぞれの凸部と
凸部との間隔よフ基板６の直径の方が大きい場合は基板
６を保持する。
一方、チャックロッドをそれぞれ６０°回転させた場合
（第３図）、すなわち、基板支持棒８のそれぞれの凹部
と凹部との間隔を基板の直径より大 ・きくした場合基
板６は保持解除を行うものである。
（第３図）、すなわち、基板支持棒８のそれぞれの凹部
と凹部との間隔を基板の直径より大 ・きくした場合基
板６は保持解除を行うものである。
基板チャック板６の全ての溝に対して、基板支持棒８が
この凹凸部を有することによ勺、ピッチとばし用の基板
チャックとなる。
この凹凸部を有することによ勺、ピッチとばし用の基板
チャックとなる。
以上のように本実施例によれば、基板支持棒８が凹凸部
を有し、かつ、回転動作によりその凹凸列を切シ換える
ことにより任意のシリコンウェハの保持、あるいけ保持
解除を行うことができる。
を有し、かつ、回転動作によりその凹凸列を切シ換える
ことにより任意のシリコンウェハの保持、あるいけ保持
解除を行うことができる。
なお、本実施例では凹凸部を６０Ｑごとに６列設けたが
、６列でなくてもよいことはいうまでもない。
、６列でなくてもよいことはいうまでもない。
発明の効果
以上のように本発明は、基板チャック板と基板支持棒と
からなる基板チャック部において、基板支持棒に凹凸部
を設けることＫよフ、その凹凸部パターンに一致した基
板を選択しチャックすることができ、また、この基板支
持棒を回転させることによシ、基板選択のパターンを変
えることができる。
からなる基板チャック部において、基板支持棒に凹凸部
を設けることＫよフ、その凹凸部パターンに一致した基
板を選択しチャックすることができ、また、この基板支
持棒を回転させることによシ、基板選択のパターンを変
えることができる。
第１図は本発明の一実施例における基板保持装置の斜視
図、第２図、第３図は同断面図、第４図は従来の基板保
持装置の斜視図、第５図は同断面図である。 ６・・・・・・基板、６・・・・・・基板チャック板、
７・・・・・・開口部、８・・・・・・基板支持棒。
図、第２図、第３図は同断面図、第４図は従来の基板保
持装置の斜視図、第５図は同断面図である。 ６・・・・・・基板、６・・・・・・基板チャック板、
７・・・・・・開口部、８・・・・・・基板支持棒。
Claims (2)
- （１）開口部を有するとともに複数の溝部が設けられた
１対の基板チャック板と、前記基板チャック板の開口部
に挿入される凹凸部を有する基板支持棒とを備えてなる
基板保持装置。 - （２）基板支持棒が回転可能である請求項１記載の基板
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63153184A JPH01319968A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63153184A JPH01319968A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 基板保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319968A true JPH01319968A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15556880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63153184A Pending JPH01319968A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01319968A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045031A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-11 | Tomuko:Kk | 自動ウェ−ハ移換機 |
| JPS60258459A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-20 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 縦型熱処理装置 |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP63153184A patent/JPH01319968A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045031A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-11 | Tomuko:Kk | 自動ウェ−ハ移換機 |
| JPS60258459A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-20 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 縦型熱処理装置 |
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