JPH0455335B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （利用分野） 本発明は、自動ウエーハ移換機に関するもので
あり、特に、一方のキヤリア内にある一定のピツ
チで収納されたウエーハを、そのｎ倍または１／
ｎ倍のピツチで他方のキヤリア内へ移換えて収納
する自動ウエーハ移換機に関するものである。

（従来技術） 半導体製造工程においては、半導体ウエーハに
種々の熱処理や化学処理、洗滌などが実施される
ことは周知のとおりである。このように、ウエー
ハに各種処理を施す場合、従来は、該処理の能率
をはかるために、該ウエーハをキヤリア内に多数
収納して行なつている。

該キヤリアは、前記ウエーハ収納用の溝が一定
ピツチで形成されているウエーハ収納用の箱であ
る。前記キヤリア内に収納する前記ウエーハは、
なるべく多く収納した方が収納の効率が良いのは
当然である。

しかし、処理の内容によつては、たとえば、熱
処理を施すかエツチング処理を施すかによつて
は、該処理の正常な効果を得るために、前記キヤ
リア内に収納された各々のウエーハの間隔を異な
らせることが必要である。

例えば、熱処理は、その効率を上げるためにウ
エーハの間隔を狭くして行ない、一方、CVDや
エツチング処理などは、これらの処理のむらを防
ぐために、前記ウエーハの間隔を熱処理時に比し
て大きくして行なうのである。

また、前記したような処理の違いによつて、前
記キヤリアの材質も変えなければならない。つま
り、熱処理はウエーハを石英製等のキヤリアに収
納して行ない、一方、エツチング処理は前記ウエ
ーハをテフロン等の樹脂性キヤリアに収納して行
なうのである。

したがつて、ウエーハをある処理工程から別の
処理工程へ移す場合、ある物質により形成された
第１のキヤリア内に、あるピツチで形成された溝
部に配置されたウエーハを、別の物質により形成
された他のキヤリア内に、別のピツチで形成され
た溝部に移換える操作を行なわなければならな
い。

前述の操作の従来例は、ピンセツト等を用い
て、人が一枚一枚ウエーハを直接手で行なうもの
であつた。あるいは、ウエーハの間隔は一定で、
キヤリアの材質だけを変えたい場合は、該ウエー
ハが水平方向に収納された状態にして、第１のキ
ヤリアに第２のキヤリアを各々のウエーハ挿入面
どうしが対向するように密着させ、第２のキヤリ
アが下にくるようにして、該ウエーハを第１のキ
ヤリアから第２のキヤリアへ移動させるものであ
つた。この場合の操作も人が該キヤリアを手で持
つて行なつていた。

しかし、前述の従来例では、ウエーハを第１の
キヤリアから第２のキヤリアへ移換える時、該ウ
エーハを汚したり、また該ウエーハが該第１およ
び第２のキヤリアと接触して、該ウエーハに傷が
付いたり、欠けたり、あるいは該ウエーハを床面
に落とし、破損する等の欠点があつた。

特に、第１および第２のキヤリアを、各々のウ
エーハ挿入面どうしが対向するように密着させる
操作の場合は、傷やチツピング等を生じ、また粉
塵を発生してウエーアの発生を原因となつてい
た。また、人が直接操作するので効率が悪く、半
導体製作費の上昇等の欠点もあつた。

（目的） 本発明は、前述の欠点を除去するためになされ
たものであり、その目的は、第１のキヤリア内に
第１のピツチで配置されたウエーハを、第２のキ
ヤリア内に、前記第１のピツチの整数倍または整
数分の１のピツチで配列されるように移換える場
合において、該ウエーハを傷つけたり、汚したり
することなく安全に移換えを行ない、かつ該移換
えの時間を短縮し、効率を良くするのに好適な自
動ウエーハ移換機を提供することにある。

（概要） 前記の目的を達成するために、本発明は、その
底面にプツシヤ穴およびウエーハ係止溝を形成し
た第１のキヤリアと、その底面にプツシヤ穴およ
びウエーハ係止溝を形成した第２のキヤリアと、
前記キヤリアをのせ、該キヤリア底面に形成され
たプツシヤ穴とほぼ同形状の穴を形成したテーブ
ルと、その対向面に該ウエーハを挿入、係止でき
る第１の主溝および特定のピツチ位置にあるウエ
ーハだけを通過できる第２の主溝を有する１組の
ホルダと、該ホルダを回転させて複数の予定位置
で停止させ、該ホルダの回転方向での前記各主溝
の位置を選択してウエーハの通過・係止溝を制御
するホルダ回転装置と、該ホルダの上方に位置
し、その対向面に該ウエーハを挿入できる第３の
主溝を有する１組のガイドの、前記ホルダおよび
前記ガイドを支持する支持架枠と、該ガイドを上
昇または下降させるガイド昇降装置と、前記テー
ブルを下方に位置し、キヤリア内のウエーハを上
昇または下降させるプツシヤと、該プツシヤを上
昇または下降させるプツシヤ昇降装置と、該テー
ブルと支持架枠およびプツシヤを相対移動させる
装置とを具備した点に特徴がある。

（実施例） 以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説明
する。

第１図は本発明の一実施例の概略正面図であ
る。

第１図において、左ホルダ１ａおよび右ホルダ
１ｂは、共に正方形柱状をなしている。該左ホル
ダ１ａの両端には、該左ホルダ１ａの正方形断面
の中心線延長上にその回転軸となる左回転軸８ａ
が突出し、また該右ホルダ１ｂの両端には、該右
ホルダ１ｂの正方形断面の中心線延長上にその回
転中心軸となる右回転軸８ｂが突出している。

テーブル４の中央上方には図示されない支持架
枠がある。該支持架枠は、前記左ホルダ１ａと右
ホルダ１ｂとの間がウエーハの外形よりもやや狭
い間隔を保つように、前記左回転軸８ａおよび右
回転軸８ｂを保持している。該保持は前記ホルダ
１ａおよび右ホルダ１ｂが回転自在になるように
なされている。

前記左ホルダ１ａおよび右ホルダ１ｂの同一側
の側面より突出した左回転軸８ａおよび右回転軸
８ｂは、その一方が、前記支持架枠に固着された
図示されないホルダ回転装置に接続されている。

該ホルダ回転装置は、前記左ホルダ１ａおよび
右ホルダ１ｂを該左ホルダ１ａおよび右ホルダ１
ｂを互いに反対方向に任意の角度回転させ、複数
の予定位置で停止させ、その位置を保持すること
ができる。

左ガイド２ａおよび右ガイド２ｂは共に矩形柱
状をなしている。前記左ホルダ１ａの上方には左
ガイド２ａが、前記右ホルダ１ｂの上方には右ガ
イド２ｂが位置し、該左ガイド２ａと右ガイド２
ｂとの間がウエーハの外径よりもやや狭い間隔を
保つように、前記支持架枠に固着されている。

前記支持架枠は図示されないガイド昇降装置よ
り、テーブル４に対して上下方向に移動すること
ができる。

第１のキヤリア３０はテーブル４の中央に設置
されている。第２のキヤリア４０は該第１のキヤ
リア３０の左側に、第３のキヤリア５０は該第１
のキヤリア３０の右側に、該第１のキヤリア３０
とそれぞれ一定の間隔をおいて、前記テーブル４
に設置されている。

前記テーブル４は図示されないテーブル移動装
置により左右に移動することができる。

前記第１のキヤリア３０の下方にはプツシヤ５
が設置されている。該プツシヤ５は図示されない
プツシヤ昇降装置により上下に移動することがで
き、第１のキヤリア３０、あるいは第２および第
３のキヤリア４０，５０に設けられた補助溝を通
して該キヤリア内に進入することができる。

前記第２のキヤリア４０の下方には左ローラ６
ａが設置されている。また、前記第３のキヤリア
５０の下方には右ローラ６ｂが設置されている。
該第１および第２のローラ６ａ，６ｂは図示され
ないローラ駆動装置により、回転および上下に移
動することができる。

第２図は左および右ホルダ１ａ，１ｂの詳細図
であり、第１図と同一の符号は、同一または同等
部分をあらわしている。

第２図において、ａは第１図と同様に左および
右ホルダ１ａ，１ｂの正面図、ｂは同図ａの平面
図である。

第２図において、左ホルダ１ａと右ホルダ１ｂ
のそれぞれ対向した面の間の距離は、ウエーハの
外径Ｄよりもやや狭い間隔に設定されている。

該左ホルダ１ａと右ホルダ１ｂとの対向面に
は、前記ウエーハの外径Ｄよりもやや広い間隔Ｐ
１を提供するような第１の主溝２０１が、矩形状
に、かつ該ウエーハの厚みよりもやや広く、第１
のキヤリア３０に収納するウエーハの数だけ同一
ピツチで、またテーブル４に対して垂直方向に形
成されている。

たとえば、第１、第２、第３および第４のウエ
ーハ１０１，１０２，１０３，１０４は、前記第
１の主溝２０１を通ることにより、左ホルダ１ａ
と右ホルダ１ｂとの間を矢印Ａ方向に、つまり下
方から上方へ、あるいはその逆の上方から下方へ
自由に移動できる。

左ホルダ１ａに形成される第１の主溝２０１
は、前述のように、第１のキヤリア３０に収納す
るウエーハの数だけ形成されている。

さらに該第１の主溝２０１には、その１つおき
に、該第１の主溝２０１と同じ幅でまた、その溝
の底面から左回転軸８ａの中心までの距離が、該
第１の主溝２０１の底面から左回転軸８ａの中心
までの距離と等しくなるように、かつその溝の底
面が、前記第１の主溝２０１の底面と反時計方向
に45度の角度を形成するような第２の主溝２０２
が形成されている。

第２図ｂにおいては、左ホルダ１ａの第２の主
溝２０２は、図面の下から数えて偶数番目の第１
の主溝２０１に形成されている。

また右ホルダ１ｂに形成された該第１の主溝２
０１も、前述のように第１のキヤリア３０に収納
するウエーハの数だけ形成されているる。

さらに、該第１の主溝２０１にはその１つおき
に、前記左ホルダ１ａに形成された第２の主溝２
０２と対向するような位置に該第１の主溝２０１
と同じ幅で、またその溝の底面から右回転軸８ｂ
の中心までの距離が、該第１の主溝２０１の底面
から右回転軸８ｂの中心までの距離と等しくなる
ように、かつその溝の底面が前記第１の主溝２０
１の底面と時計方向に45度の角度を形成するよう
な第２の主溝２０２が形成されている。

第２図ｂにおいては、左ホルダ１ｂの第２の主
溝２０２は図面の下から数えて偶数番目の第１の
主溝２０１に対して形成されている。

第３図は左および右ホルダ１ａ，１ｂが第２図
の状態から左および右回転軸８ａ，８ｂを中心と
して、該左および右ホルダ１ａ，１ｂの対向する
部分が上向きになつて第１の主溝２０１が上向き
になるように、すなわち矢印Ｂ方向に45度回転し
た状態図である。

第３図ａは正面図、第３図ｂは同図ａの平面図
である。

第３図より明らかなように、この状態において
は第１、第２、第３および第４のウエーハ１０
１，１０２，１０３，１０４はいずれも左および
右ホルダ１ａ，１ｂに形成された第１の主溝２０
１に係止されている。

すなわち、この状態では、第１、第２、第３お
よび第４のウエーハ１０１，１０２，１０３，１
０４が挿入されている前記左および右ホルダ１
ａ，１ｂ間の相対向する部分、つまり、対向する
第１の主溝２０１側端の底面部間の距離はすべて
等しく、これをP2とすると、P2＜Ｄなる条件が
与えられているのである。

第４図は、左および右ホルダ１ａ，１ｂが第３
図の状態から左および右回転軸８ａ，８ｂを中心
として、該左および右ホルダ１ａ，１ｂの対向す
る部分が下向きになつて第２の主溝２０２が対向
するように、すなわち、矢印Ｃ方向に90度回転し
た様子を示している。

第４図ａは正面図、第４図ｂは同図ａの平面図
である。

第４図より明らかなように、この状態において
は、第１および第３のウエーハ１０１，１０３は
左および右ホルダ１ａ，１ｂに形成された第１の
主溝２０１に係止されている。

しかし、第２および第４のウエーハ１０２，１
０４は第２の主溝２０２の間を通りぬけることが
できる。したがつて、該第２の主溝２０２を通る
ことにより、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂと
の間を矢印Ａ方向に、つまり下方から上方へ、上
方から下方へ自由に移動できるのである。

この状態では、第１、第２、第３および第４の
ウエーハ１０１，１０２，１０３，１０４が挿入
されている前記左および右ホルダ１ａ，１ｂ間の
相対向する部分は、第４図ｂにおいて、該図面の
下から数えて奇数番目のウエーハ、つもり第１、
第３のウエーハ１０１，１０３が挿入されている
部分においては第１の主溝であり、図面の下から
数えて偶数番目のウエーハ、つまり第２、第４の
ウエーハ１０２，１０４が挿入されている部分に
おいては第２の主溝である。

前記第１の主溝２０１間の距離は第３図におけ
る説明と同様P2であるが、前記第２の主溝２０
２の距離をP1とすると、P2＜Ｄ＜P1なる条件が
与えられているのである。

第５図は左および右ガイド２ａ，２ｂの詳細図
である。

第５図において、ａは第１図と同様に左および
右ガイド２ａ，２ｂの正面図、ｂは同図ａの平面
図である。

第５図において、第１図〜第４図と同一の符号
は、同一または同等部分をあらわしている。

左ガイド２ａと右ガイド２ｂのそれぞれ対向し
た面の間の距離は、ウエーハの外径Ｄよりもやや
狭い間隔に設定されている。該左ガイド２ａと右
ガイド２ｂの対向面には、前記ウエーハの外径Ｄ
よりもやや広い間隔P1を提供するような第３の
主溝２０３が、矩形状に、かつ該ウエーハの厚み
よりもやや広く、第１のキヤリア３０に収納する
ウエーハの数だけ同ピツチで、また、テーブル４
に対して垂直方向に形成されている。

前記ピツチは、左ホルダ１ａおよび右ホルダ１
ｂに形成された第１の主溝２０１と同ピツチであ
り、また該第３の主溝２０３の断面形状は、前記
第１の主溝２０１の断面形状と同じに形成されて
いる。

第５図ｂにおいて、図面の下の第３の主溝２０
３から順に第１、第２、第３および第４のウエー
ハ１０１，１０２，１０３，１０４が挿入されて
いる。

前記第１、第２、第３および第４のウエーハ１
０１，１０２，１０３，１０４は前記第３の主溝
２０３を通ることにより、左ガイド２ａと右ガイ
ド２ｂとの間を矢印方向へ、つまり下方から上方
へ、あるいは上方から下方へ自由に移動できる。

第６図は、第１、第２および第３のキヤリア３
０，４０，５０およびテーブル４の詳細図であ
る。

第６図ａは、第１と同様に第１、第２および第
３のキヤリア３０，４０，５０およびテーブル４
正面図、第６ｂは同図ａの平面図である。

第６図において、第１図〜第５図と同一の符号
は、同一または同等部分をあらわしている。

第１のキヤリア３０はテーブル４の中央に設置
され、第２のキヤリア４０は該第１のキヤリア３
０の左側に、また第３のキヤリア５０は該第１の
キヤリア３０の右側に、該第１のキヤリア３０と
一定の間隔をおいて前記テーブル４に設置されて
いる。

前記第１のキヤリア３０はその断面が凹形をな
しており、該凹形内部にウエーハを収納できるよ
うに、その側面板の対向する内面の距離はウエー
ハの外径Ｄよりも大きくなつている。

該第１のキヤリア３０の底面の中央部には、矩
形状の第１のプツシヤ穴３１が形成されている。
また、前記第１のキヤリア３０の側面板に平行
な、該第１のプツシヤ穴３１の対向する辺には、
ウエーハ係止用の第１のウエーハ係止溝３０１が
形成されている。

該第１のウエーハ係止溝３０１は、前記第１の
プツシヤ穴３１の対向する辺のそれぞれに、第１
のキヤリア３０に収納されるべきウエーハの数だ
け形成されている。

また、該第１のウエーハ係止溝３０１は、前記
左および右ホルダ１ａ，１ｂに形成された第１の
主溝２０１、および前記左および右ガイド２ａ，
２ｂに形成された第３の主溝２０３と同ピツチで
形成されている。

前記第１のウエーハ係止溝３０１は、ウエーハ
の一部をそこに挿入した場合に、該ウエーハが倒
れないように支持するための溝であるので、その
形状は該ウエーハの大きさ、あるいは形状によつ
て慎重に定められるものである。

前記第１のキヤリア３０が設置されているテー
ブル４にも、該第１のキヤリア３０に形成されて
いる第１のプツシヤ穴３１とほぼ同形状のプツシ
ヤ穴３１Ｔが加工されている。

第２および第３のキヤリア４０，５０も第１の
キヤリア３０の同様に、その断面が凹形をなして
おり、該凹形内部にウエーハを収納できるよう
に、その側面板の対向する内面の距離はウエーハ
の外径Ｄよりも大きくなつている。

前記第１、第２および第３のキヤリア３０，４
０，５０はウエーハの処理工程が違う場合に用い
られることになるので、その構成をなす材質は異
なることが多い。また、前記側面板の対向する内
面の距離は、それぞれ同じであるが、該側面板の
高さは必ずしも同じではない。

前記第２および第３のキヤリア４０，５０に
は、前記第１のキヤリア３０に形成された第１の
プツシヤ穴３１と同形状の第２、第３のプツシヤ
穴４１，５１が、該第２および第３のキヤリア４
０，５０の底面の中央部に形成されている。

前記第２のキヤリア４０に形成された該第２の
プツシヤ穴４１の、該第２のキヤリア４０の側面
板と平行な、対向する辺には、ウエーハ係止用の
第２のウエーハ係止溝４０１が形成されている。

該第２のウエーハ係止溝４０１は、各々の形状
は前記第１のウエーハ係止溝３０１の各々の形状
と同じであるが、そのピツチは、図示の例では、
前記第１のウエーハ係止溝３０１のそれの２倍で
ある。

また、それぞれの該第２のウエーハ係止溝４０
１は、それぞれの該第１のウエーハ係止溝３０１
の同一直線上になければならず、縦方向のずれは
絶対に許されない。

第６図ｂにおいては、図面の下から数えて偶数
番目の前記第１のウエーハ係止溝３０１に対応し
て、偶数番目の第１のウエーハ係止溝３０１の左
側延長線上に第２のウエーハ係止溝４０１が位置
されている。

前記第２のキヤリア４０が設置されているテー
ブル４にも、該第２のキヤリア４０に形成されて
いる第２のプツシヤ穴４１のほぼ同形状のプツシ
ヤ穴４１Ｔが加工されている。

前記第３のキヤリア５０に形成された該第３の
プツシヤ穴５１の、該第３のキヤリア５０の側面
板と平行な、対向する辺に、ウエーハ係止用の第
３のウエーハ係止溝５０１が形成されている。

該第３のウエーハ係止溝５０１は、各々の形状
は、前記第１および第２のウエーハ係止溝３０
１，４０１の各々の形状と同じである。

該第３のウエーハ係止溝５０１のピツチは、前
記第１のウエーハ係止溝３０１のそれの２倍であ
り、第２のウエーハ係止溝４０１のそれと同じで
ある。

第６図ｂにおいて、該第３のウエーハ係止溝５
０１は、図面の下から数えて奇数番目の第１のウ
エーハ係止溝３０１に対応して、該奇数番目の第
１のウエーハ係止溝３０１の右側延長線上に位置
されている。

それぞれの該第３のウエーハ係止溝５０１は、
第２のウエーハ係止溝４０１と同様、それぞれの
該第１のウエーハ係止溝３０１の同一線上になけ
ればならず、縦方向のずれは絶対に許されない。

前記第３のキヤリア５０が設置されているテー
ブル４にも、該第３のキヤリア５０に形成されて
いる第３のプツシヤ穴５１とほぼ同形状のプツシ
ヤ穴５１Ｔが加工されている。

さて、第１図において説明したように、テーブ
ル４の中央部、すなわち、第１のキヤリア３０の
上方に、図示されない支持架枠により、左および
右ホルダ１ａ，１ｂが支持され、さらに該左およ
び右ホルダ１ａ，１ｂの上方に左および右ガイド
２ａ，２ｂが支持されている。

また、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂに形成
された第１の主溝２０１、前記左および右ガイド
２ａ，２ｂに形成された第３の主溝２０３および
第１のキヤリア３０に形成された第１のウエーハ
係止溝３０１は同じピツチで同数だけ形成されて
いる。

前記第１の主溝２０１、第３の主溝２０３およ
び第１のウエーハ係止溝３０１は、第１図を平面
図として見た場合、つまり、第１図において矢印
Ｅ方向から見た場合には、それぞれの溝の縦方向
の位置が一致するように構成されている。

つまり、前記第１のキヤリア３０に形成された
第１のウエーハ係止溝３０１を各々に、ウエーハ
が係止されている場合において、その各々のウエ
ーハは、該ウエーハを垂直に上昇させた時、第２
図に示された相対位置関係にある前記第１の主溝
２０１を通りぬけることができ、さらに、第５図
に示された前記左および右ガイド２ａ，２ｂに形
成された第３の主溝２０３に挿入されるように、
前記それぞれの溝は配置されているのである。

次にウエーハの移換えの手順を説明する。

第７図ａ〜第７図ｌは該移し換えの手順を次す
説明図である。

これらの図において、第１図〜第６図と同一の
符号は、同一または同等部分をあらわしている。

第１図はウエーハ移換えの最初の状態をあらわ
している。第１のキヤリア３０に形成された第１
のウエーハ係止溝３０１は50組が形成されてい
て、該50組の第１のウエーハ係止溝３０１には50
枚のウエーハ１００がそれぞれ係止されている。

左および右ホルダ１ａ，１ｂおよび左および右
ガイド２ａ，２ｂは、図示されない支持架枠によ
り、第１のキヤリア３０の上方に位置されてい
る。前記左および右ホルダ１ａ，１ｂは第２図の
ような状態にある。

第７図ａ〜第７図ｌにおいて、ウエーハ１００
の円の中に書かれた数字は、該ウエーハ１００の
枚数を示している。

第７図ａにおいて、図示されない支持架枠が図
示されないガイド昇降装置により下降し、該支持
架枠に支持された左および右ホルダ１ａ，１ｂ
が、第１のキヤリア３０の側面板に接近したとこ
ろで、該支持架枠は停止する。

該第１のキヤリア３０下方に位置していたプツ
シヤ５は、図示されないプツシヤ昇降装置により
上昇する。該プツシヤ５は、50枚の前記ウエーハ
１００に接触して該ウエーハ１００を上昇させ
る。

該プツシヤ５は、前記ウエーハ１００が左およ
び右ホルダ１ａ，１ｂの第１の主溝２０１間を通
り、さらに左および右ガイド２ａ，２ｂの第３の
主溝２０３間に挿入されたところで停止する。

第７図ｂにおいて、図示されたいホルダ回転装
置は前記左および右ホルダ１ａ，１ｂを、該左お
よび右ホルダ１ａ，１ｂの対向する部分が上昇す
るように、つまり矢印Ｂ方向に45度回転させる。
したがつて、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂは
第３図のような状態になる。

第７図ｃにおいては、前記プツシヤ５が、プツ
シヤ昇降装置により下降し、前記テーブル４の下
方に来たところで停止する。

前記50枚のウエーハ１００は、前記プツシヤ５
と共に下降し、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂ
に形成された第１の主溝２０１の対向する底面端
部にぶつかり、該底面端部に係止される。この状
態で支持架枠は上昇する。

上昇は、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂの下
端が、第１、第２および第３のキヤリア３０，４
０，５０のいずれの側面板よりも高い位置にくる
まで行なわれ、その後停止する。

第７図ｄにおいては、テーブル４は、図示され
ないテーブル移動装置により右方へ移動する。該
移動は、該テーブル４上に設置された第２のキヤ
リア４０が、前記支持架枠の真下にくるまで行な
われる。

前記支持架枠は、ガイド昇降装置により下降
し、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂが前記第２
のキヤリア４０の側面板に近接したところで停止
する。

第７図ｅにおいては、前述したテーブル４に右
方への移動により、前記第２のキヤリア４０の下
方に位置することとなつた前記プツシヤ５は、プ
ツシヤ昇降装置により上昇する。

そして、第２のキヤリア４０の底面および前記
テーブル４に形成された第２のプツシヤ穴４１お
よび４１Ｔを通り、前記左および右ホルダ１ａ，
１ｂに形成された第１の主溝２０１の対向する底
面端部に係止された前記50枚のウエーハ１００の
下部に接触する。

前記プツシヤ５はさらに上昇し、前記ウエーハ
１００を左および右ガイド２ａ，２ｂに形成され
た第３の主溝２０３へ挿入する。この時、前記プ
ツシヤ５は上昇を停止する。

第７図ｆにおいては、ホルダ回転装置は、前記
左および右ホルダ１ａ，１ｂを、該左および右ホ
ルダ１ａ，１ｂの対向する部分が下向きになるよ
うに、つまり矢印Ｃ方向に、90度回転させる。し
たがつて、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂは第
４図のような状態になる。

第７図ｇにおいては、前記50枚のウエーハ１０
０を支持していた前記プツシヤ５は、プツシヤ昇
降装置により下降を始める。同時に前記ウエーハ
１００も該プツシヤ５と共に下降する。

該50枚のウエーハ１００は、前記左および右ホ
ルダ１ａ，１ｂの溝部にさしかかつたところで、
該左および右ホルダ１ａ，１ｂに形成された第２
の主溝２０２を通過するものは、前記プツシヤ５
と共に前記左および右ホルダ１ａ，１ｂ下部へ通
過する。

しかし、該左および右ホルダ１ａ，１ｂに形成
された前記第１の主溝２０１に進入するウエーハ
１００は、該第１の主溝２０１の底面端部にて係
止される。

第４図ｂにより明らかなように、該第２の主溝
２０２は、それぞれの第１の主溝２０１の１つお
きに形成されているので、前記50枚のウエーハ１
００は、その１枚おきに、25枚は該左および右ホ
ルダ１ａ，１ｂの部分で係止され、残り25枚は前
記プツシヤ５と共に下降を続けることになる。

該プツシヤ５と共に下降を続ける25枚のウエー
ハ１００は、第２のキヤリア４０内に挿入され、
該第２のキヤリア４０の底面に設けられた第２の
ウエーハ係止溝４０１のそれぞれに係止される。

前記プツシヤ５は、該第２のキヤリア４０の底
面および前記テーブル４に設けられた第２のプツ
シヤ穴４１および４１Ｔを通過し、前記25枚のウ
エーハ１００を前記第２のウエーハ係止溝４０１
に係止させた後、下降を停止する。

その後、支持架枠はガイド昇降装置により、前
記左および右ホルダ１ａ，１ｂの下端が第１、第
２および第３のキヤリア３０，４０，５０のいず
れの側面板よりも上部へ達するまで上昇する。

第７図ｈにおいては、前記テーブル４が図示さ
れないテーブル移動装置により左方へ移動する。
該移動は、該テーブル４上に設置された第３のキ
ヤリア５０が、前記支持架枠の真下にくるまで行
なわれる。

第７図ｉにおいては、支持架枠はガイド昇降装
置により再び下降し、該支持架枠は前記左および
右ホルダ１ａ，１ｂが前記第３のキヤリア５０の
側面板に接近したところで停止する。

そして、前述したテーブル４の右方への移動に
より、前記第３のキヤリア５０の下方に位置する
こととなつた前記プツシヤ５は、プツシヤ昇降装
置により上昇する。

該プツシヤ５は、第３のキヤリア５０の底面お
よびテーブル４に形成された第３のプツシヤ穴５
１および５１Ｔを通り、前記左および右ホルダ１
ａ，１ｂに形成された第１の主溝２０１の底部端
部に係止された前記25枚のウエーハ１００の下部
に接触する。

前記プツシヤ５はさらに上昇し、前記ウエーハ
１００を前記左および右ガイド２ａ，２ｂに形成
された第３の主溝２０３内へ挿入する。この時、
前記プツシヤ５は上昇を停止する。

第７図ｊにおいては、前記ガイド回転装置は、
前記右ホルダ１ａ，１ｂを、該左および右ホルダ
１ａ，１ｂの対向する部分が上向きになるよう
に、つまり矢印Ｂ方向に、45度回転させる。

したがつて、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂ
は始めの状態、つまり第２図のように、すべての
ウエーハを通過させる状態となる。

第７図ｋにおいては、前記プツシヤ５は、プツ
シヤ昇降装置により再び下降を始める。前記25枚
のウエーハ１００も該プツシヤ５と共に下降す
る。

該25枚のウエーハ１００は、前記左および右ホ
ルダ１ａ，１ｂに形成された第１の主溝２０１を
通過し、該左および右ホルダ１ａ，１ｂの下側へ
下降し、その後、前記第３のキヤリア５０内へ挿
入される。

前記25枚のウエーハ１００は、該第３のキヤリ
ア５０の底面に設けられた第３のウエーハ係止溝
５０１のそれぞれに係止される。

前記プツシヤ５は、前記第３のキヤリア５０の
底面および前記テーブル４に設けられた第３のプ
ツシヤ穴５１を通過し、前記25枚のウエーハ１０
０を前記第３のウエーハ係止溝５０１に係止させ
た後、下降を停止する。

その後、支持架枠は、ガイド昇降装置により、
前記左および右ホルダ１ａ，１ｂの下端が、第
１、第２および第３のキヤリア３０，４０，５０
のいずれの側面板よりも高い位置へ達するまで上
昇する。

第７図ｌにおいては、前記テーブル４はテーブ
ル移動装置により右方へ移動する。該移動は、該
テーブル４上に設置された第１のキヤリア３０
が、前記支持架枠の真下にくるまで行なわれ、そ
の後、停止する。

以上の第１図、第７図ａ〜ｌの操作により、該
第１図において第１のキヤリア３０内に収納され
た50枚のウエーハ１００は、該第１のキヤリア３
０の左右に設置された第２および第３のキヤリア
４０，５０内に25枚づつ、かつ前記第１のキヤリ
ア３０内に収納されていたウエーハ１００間のピ
ツチの２倍のピツチで収納されたことになる。

なお第７図ｄ，ｈ，ｌにおいては、テーブル４
を図示されないテーブル移動装置により右方ある
いは左方に移動したが、該テーブル４を固定して
おいて、左および右ホルダ１ａ，１ｂ、左および
右ガイド２ａ，２ｂ、プツシヤ５および左および
右ローラ６ａ，６ｂを移動させても同様の効果が
得られることは明白である。

一般に、ウエーハはゲルマニウムやシリコン等
の単結晶であるが、該単結晶の方向を示すため
に、該ウエーハは円形形状の該ウエーハの一部に
直線状のカツトが施されている。そして、キヤリ
ア内にウエーハを収納する場合、該ウエーハの結
晶方位、つまり円形形状の一部を直線状にカツト
した部分を一定方向にそろえる必要がある場合が
多い。

前述の操作においては、該ウエーハ１００の方
向をそろえる操作はしていないので、第７図のｌ
における第２および第３のキヤリア４０，５０に
収納されたウエーハ１００は、その方向がばらば
らである。

以下に、第２および第３のキヤリア４０，５０
に収納されたウエーハ１００の方向をそろえる手
順を示す。

第７図ｍ〜第７図ｐはウエーハ１００の方向を
そろえる手順は説明する説明図である。

第１図〜第６図および第７図ａ〜第７図ｌにお
いては、ウエーハ１００の前記切欠直線部は示し
ていなかつたが、第７図ｍ〜第７図ｐにおいては
該切欠直線部を示してある。

また、ウエーハ１００の円の中に書かれた数字
は、該ウエーハ１００の枚数を示している。

第７図ｍ〜第７図ｐにおいて、第１図〜第６
図、および第７図ａ〜第７図ｌと同一の符号は、
同一または同等部分をあらわしている。

前述のように第７図ａにおいて、第１のキヤリ
ア３０内に収納されていた50枚のウエーハ１００
は、第７図ｌにおいては、第２および第３のキヤ
リア４０，５０内に25枚ずつ、かつ前記第１のキ
ヤリア３０内に収納されたウエーハ１００間のピ
ツチの２倍のピツチで収納されている。

第７図ｍにおいては、前記第２および第３のキ
ヤリア４０，５０の下方に設置された左および右
ローラ６ａ，６ｂが、図示されないローラ駆動装
置により上昇する。

前記第２および第３のキヤリア４０，５０内に
収納されたウエーハ１００は、第２および第３の
ウエーハ係止溝４０１，５０１に挿入、係止され
ているが、該ウエーハ１００の最下部は第２およ
び第３のプツシヤ穴４１，５１の下面に若干突出
している。

前記左および右ローラ６ａ，６ｂの上昇は、前
記第２および第３のプツシヤ穴４１，５１の下面
に突出した前記ウエーハ１００の最下部の円弧状
部分に接触するまで行なわれる。

この時、ウエーハ１００の結晶方位を示す前記
直接部が、この最下部にあるウエーハ１００に
は、前記左および右ローラ６ａ，６ｂは接触しな
い。

第７図ｎにおいては、前記左および右ローラ６
ａ，６ｂは、図示されないローラ駆動装置により
一定時間回転する。回転方向は、時計方向、反時
計方向のどちらでもよい。

前記左および右ローラ６ａ，６ｂの回転によ
り、該左および右ローラ６ａ，６ｂと接触してい
る前記ウエーハ１００は、その摩擦力のために回
転する。

任意の方向に向いていた前記ウエーハ１００の
直線部は、前記回転のため、該ウエーハ１００の
最下部へ回転させられる。該ウエーハ１００の最
下部に移動した該ウエーハ１００の直線部は、前
記左および右ローラ６ａ，６ｂに接触しなくな
る。

したがつて、前記左および右ローラ６ａ，６ｂ
が回転を続けても、該ウエーハ１００はその回転
を停止する。前記左および右ローラ６ａ，６ｂ
は、前記すべてのウエーハ１００の直線部が該ウ
エーハ１００の最下部に移動し、該すべてのウエ
ーハ１００の回転が停止するまで続けられる。

この状態において、前記ウエーハ１００の結晶
方位は、すべて同一方向に揃えられたことにな
る。さらに、前記ウエーハ１００の直接部を、該
ウエーハ１００の下以外に向けたい場合には、以
下の操作を行なう。

第７図ｏにおいては、そのすべての直接部が、
その最下部に位置する前記ウエーハ１００に対し
て、前記左および右ローラ６ａ，６ｂは図示され
ないローラ駆動装置により、さらに上昇する。該
左および右ローラ６ａ，６ｂは、前記ウエーハ１
００の直線部に接触すると同時に、その上昇を停
止する。

第７図ｐにおいては、前記左および右ローラ６
ａ，６ｂは、前記図示されないローラ駆動装置に
より回転する。回転方向は、時計方向、反時計方
向のどちらでもよい。

前記ウエーハ１００は、前記左および右ローラ
６ａ，６ｂの回転により回転する。前記ウエーハ
１００の直線部が希望する任意の方向に向けられ
たところで、前記左および右ローラ６ａ，６ｂ
は、その回転を停止する。第７図ｐにおいては、
前記ウエーハ１００の直線部はすべて該ウエーハ
の最上部に位置している。

前記ウエーハ１００の直線部が希望する任意の
方向に向けられ、前記左および右ローラ６ａ，６
ｂの回転が停止したところで、前記左および右ロ
ーラ６ａ，６ｂは下降する。

以上の操作により、その直線部が種々の方向に
向けられていたウエーハ１００は、すべて希望す
る同一方向へ向けられたことになる。

また、以上の操作の逆の操作、つまり第２およ
び第３のキヤリア４０，５０内に収められたウエ
ーハ１００を、第１のキヤリア３０内へ移換える
操作も、前述した操作を全く逆の手順により行え
ば容易に達成できる。

また、第１のキヤリア３０の左右両側へ第２、
第３のキヤリア４０，５０を設けたが、これに限
らず、前記第１のキヤリア３０を端部に設け、第
２または第３のキヤリア４０，５０を中央に設け
てもよいのは当然である。

本発明の一実施例では、ウエーハ１００の移換
えに、第１または第２および第３のキヤリア３
０，４０，５０に形成された第１または第２およ
び第３のウエーハ係止溝３０１，４０１，５０１
に係止されたそれぞれのウエーハ１００を、左お
よび右ホルダ１ａ，１ｂおよび左および右ガイド
２ａ，２ｂに形成されたそれぞれの第１、第２お
よび第３の主溝２０１，２０２，２０３内に挿入
あるいは係止する手段、あるいはその逆の手段を
用いている。

前記第１、第２および第３のウエーハ係止溝３
０１，４０１，５０１および第１、第２および第
３の主溝２０１，２０２，２０３は、前記ウエー
ハ１００を係止あるいは保持するための溝である
から、該溝の幅はあまり広くできないが、適度か
遊びは必要である。

前記第１、第２および第３のキヤリア３０，４
０，５０に形成された前記第１、第２および第３
のウエーハ係止溝３０１，４０１，５０１に係止
された前記ウエーハ１００は、該ウエーハ係止溝
の前記遊びのために、該キヤリアの底面に対して
垂直に立つことができず、該キヤリアの底面の垂
直面に対して若干の傾斜角度をなして、あるウエ
ーハは該垂直面の手前側、また、他のウエーハは
反対側に傾斜して立てことになる。

したがつて、キヤリア内での各ウエーハ１００
間の上部にピツチが異なり、この状態では、前記
左および右ホルダ１ａ，１ｂおよび左および右ガ
イド２ａ，２ｂに形成された第１、第２および第
３の主溝２０１，２０２，２０３内に、該ウエー
ハ１００を円滑に挿入することがむずかしくな
る。

はなはだしい場合には、前述の移換え動作に支
障を生じたり、ウエーハを損傷したりする欠点が
ある。

上記欠点の解決策として、図示されない手段に
より前記テーブル４を、該テーブル４と前記ウエ
ーハ１００との交線と平行な仮想軸のまわりに傾
斜させてやることが考えられる。

前記テーブル４の傾斜により、前記のすべての
ウエーハ１００は同一方向に傾斜し、したがつ
て、該ウエーハ１００間の上部のピツチは、その
キヤリアごとに同じになる。

なお、前記傾斜が大きい場合には、前記第１の
キヤリア３０に形成された第１のウエーハ係止溝
３０１と、前記左および右ホルダ１ａ，１ｂおよ
び左および右ガイド２ａ，２ｂに形成された第
１、第２および第３の主溝２０１，２０２，２０
３との相対位置を調整する必要がある。

また、前述のように左および右ホルダ１ａ，１
ｂおよび左および右ガイド２ａ，２ｂに形成され
た第１、第２および第３の主溝２０１，２０２，
２０３も、前記ウエーハ１００が挿入された時に
適度な遊びが生ずるように形成されている。

該遊びは、前記ウエーハ係止溝に係止された前
記ウエーハ１００を前記プツシヤ５により上昇さ
せる際、前記第１、第２および第３の主溝２０
１，２０２，２０３に挿入しやすくする為のもの
である。

しかし、該遊びのために、前記ウエーハ１００
が、それぞれ平行に保持されなくなるおそれがあ
る。したがつて、この状態では、前記左および右
ホルダ１ａ，１ｂにより保持された前記ウエーハ
１００を前記第１、第２および第３のウエーハ係
止溝３０１，４０１，５０１内へ挿入、係止させ
ることはむずかしくなる。

上記欠点の解決のためには、前記第１、第２お
よび第３の主溝２０１，２０２，２０３を、その
断面が矩形ではなく、該溝の底面部が該ウエーハ
１００の幅の同じて、該溝の開口部が前記底面部
の幅よりも広くなるような台形であるような形状
とするのがよい。

この場合には、第１、第２および第３のウエー
ハ係止溝３０１，４０１，５０１内に係止された
ウエーハ１００を、第１、第２および第３の主溝
２０１，２０２，２０３へ挿入する場合は、その
断面を矩形状とし、遊びを大きくした場合と同様
に容易であり、また該ウエーハ１００を保持する
場合は、該ウエーハ係止溝の底面部にて、前記ウ
エーハ１００が保持されるので、該ウエーハ１０
０と該第１、第２および第３の主溝２０１，２０
２，２０３との間に遊びは生じない。

前記一実施例においては、左および右ホルダ１
ａ，１ｂを正方形柱状としたが、特に正方形柱状
に限らず、円柱状あるいは他の形状であつてもよ
い。

また、第２および第３のキヤリア４０，５０の
底面に形成された第２および第３のウエーハ係止
溝４０１，５０１のそれぞれのピツチを、第１の
キヤリア３０の底面に形成された第１のウエーハ
係止溝３０１のそれぞれのピツチの２倍とした
が、該第１のウエーハ係止溝３０１のそれぞれの
ピツチと同一にしても良いことは明らかである。

この場合、第１のキヤリア３０と第２および第
３のキヤリア４０，５０との材質が同じ時は、第
１のキヤリア３０をもつて、第２および第３のキ
ヤリア４０，５０に代えることができる。

さて、本発明の一実施例は、１つのキヤリア内
に収められた50枚のウエーハを別の２つとキヤリ
ア内へ25枚ずつ移し換え、また該別の２つのキヤ
リア内へ25枚ずつ移し換えられたウエーハ間のピ
ツチは、始めの１つのキヤリア内に収められた50
枚のウエーハ間のピツチの２倍であつた。

つまり、第１のキヤリアへ収納されていたウエ
ーハの枚数は、第２および第３のキヤリアへ収納
された枚数の２倍であつた。

しかし、左および右ホルダに形成された第２の
主溝を、第１の主溝の一端に２つおきに形成する
とともに、もう１組の前記第２の主溝と同形状の
第４の主溝を前記第２の主溝が形成されいない前
記第１の主溝の他端に２つおきに形成し、また、
さらに第４のキヤリアを設け、第２、第３および
第４のキヤリアに第１のキヤリアに形成された第
１のウエーハ係止溝の３倍のピツチで第２、第３
および第４のウエーハ係止溝を形成し、該第１の
ウエーハ係止溝のすべてが該第２、第３および第
４のウエーハ係止溝の延長線上に位置するように
構成することにより、前記比率を３倍にすること
ができる。

一般に、左および右ホルダに形成された第１お
よび第２の主溝および該左および右ホルダの形状
を自由に変形することにより、本発明は、これら
の具体的な数値に制約されず、１つのキヤリア内
に収めらたＸ枚のウエーハを、別のｎ個のキヤリ
ア内へＸ／ｎ枚ずつ移し換え、また、該別のｎ個
のキヤリア内へＸ／ｎ枚ずつ移し換えられたウエ
ーハ間のピツチは、始めの１つのキヤリア内に収
められたＸ枚のウエーハ間のピツチのｎ倍にする
ことができる。

また、逆の操作によりｎ個のキヤリア内にＸ枚
ずつ収められたウエーハを、別の１つのキヤリア
内へｎ・Ｘ枚移し換え、また該別の１つのキヤリ
ア内へ移し換えられたｎ・Ｘ枚のウエーハ間のピ
ツチは、始めのｎ個のキヤリア内にＸ枚ずつ収め
られたウエーハ間のピツチの１／ｎ倍にすること
ができる。

（効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、つぎのような効果が達成される。

(1) キヤリア内へ収納されたウエーハを他のキヤ
リア内へ自動適に移換えることができるので、
該ウエーハを汚したり、傷つけたり、あるいは
破損することがなく、また該移換えが効率よく
行なわれ、経済的である。

(2) キヤリア内へ収納されたウエーハの結晶方位
をそろえることができるので、各種処理が能率
よく行なわれる。

(3) １対の柱状ホルダによつて、ウエーハの選択
および一方のキヤリアから他方のキヤリアへの
移送中の保持機能を果たすことができるので、
移換え装置の構造を簡素化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略正面図、第２
図は左および右ホルダの詳細図、第３図は左およ
び右ホルダが第２図の状態からその対向する部分
が上向きになるように45度回転した状態図、第４
図は左および右ホルダが第３図の状態からその対
向する部分が下向きになるように90度回転した状
態図、第５図は左および右ガイドの詳細図、第６
図は第１、第２および第３のキヤリアおよびテー
ブルの詳細図、第７図ａ〜ｌはウエーハの移し換
えの手順を示す説明図、第７図ｍ〜ｐはウエーハ
の方向をそろえる手順を示す説明図である。 １ａ……左ホルダ、１ｂ……右ホルダ、２ａ…
…左ガイド、２ｂ……右ガイド、４……テーブ
ル、５……プツシヤ、８ａ……左回転軸、８ｂ…
…右回転軸、３０……第１のキヤリア、３１……
第１のプツシヤ穴、４０……第２のキヤリア、４
１……第２のプツシヤ穴、５０……第３のキヤリ
ア、５１……第３のプツシヤ穴、１００……ウエ
ーハ、１０１……第１のウエーハ、１０２……第
２のウエーハ、１０３……第３のウエーハ、１０
４……第４のウエーハ、２０１……第１の主溝、
２０２……第２の主溝、２０３……第３の主溝、
３０１……第１のウエーハ係止溝、４０１……第
２のウエーハ係止溝、５０１……第３のウエーハ
係止溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 一方のキヤリア内に、第１のピツチで収納さ
   れたウエーハを、そのｎ倍（ｎは整数）または
   １／ｎ倍に相当する第２のピツチで他方のキヤリ
   ア内へ移換えて収納する自動ウエーハ移換機であ
   つて、 前記第１のピツチで形成された複数のウエーハ
   係止溝および底面に穿設されたプツシヤ穴を有す
   る第１のキヤリア、ならびに前記第２のピツチで
   形成された複数のウエーハ係止溝および底面に穿
   設されたプツシヤ穴を有する第２のキヤリアと、 前記第１および第２のキヤリアのプツシヤ穴に
   対応する位置にプツシヤ穴が穿設されていて、前
   記第１のキヤリアおよび第２のキヤリアを、互い
   に対応する各キヤリアのウエーハ係止溝が一直線
   上に配列されるように、その上面に並置状態で載
   置するためのテーブルと、 前記テーブルの上方に、前記第１および第２の
   キヤリアと平行に、かつ互いに平行に配置され
   て、それぞれの周面には、前記第１および第２の
   ピツチの中の小さい方のピツチで収納されたウエ
   ーハを通過させる第１の複数の主溝、および前記
   第１および第２のピツチの中の大きい方のピツチ
   で収納されたウエーハのみを通過させる少なくと
   も１組の第２の複数の主溝が、相互にある中心角
   だけずらして穿設されている１対の柱状ホルダ
   と、 前記１対のホルダを、その軸のまわりに回転さ
   せ、各ホルダの第１の主溝を対向させて前記小さ
   い方のピツチで収納されたウエーハを通過させる
   第１の位置、および各ホルダの第２の主溝を対向
   させて前記大きい方のピツチで収納されたウエー
   ハのみを通過させる第２の位置、ならびに前記第
   １の位置から予定角度だけ回転させて第１および
   第２のピツチで収納されたすべてのウエーハの通
   過を禁止して該ウエーハをホルダで保持させる第
   ３の位置で停止させるようにホルダ間のウエーハ
   の通過・係止を制御するホルダ回転装置と、 前記１対のホルダの真上に、それぞれ配置さ
   れ、それぞれの対向面に、前記第１および第２の
   ピツチの中の小さい方のピツチで収納されたウエ
   ーハを挿入する第３の複数の主溝を穿設された１
   対のガイドと、 前記１対のホルダおよび１対のガイドを、相互
   に所定の相対位置に保つて支持する支持架枠と、 前記支持架枠を上昇または下降させるガイド昇
   降装置と、 前記テーブルの下方に設けられ、前記テーブル
   およびその上のキユリアの各プツシヤ穴を貫通し
   て上昇、下降し、キヤリア内および前記ホルダに
   支持されたウエーハを上昇または下降させるプツ
   シヤと、 前記プツシヤの上昇・下降を制御するプツシヤ
   昇降装置と、 前記テーブルおよびプツシヤ、ならびに前記支
   持架枠を、ウエーハ係止溝と平行な方向に相対移
   動させる駆動装置とを具備したことを特徴とする
   自動ウエーハ移換機。 ２ 前記第１および第２のキヤリアに形成された
   ウエーハ係止溝のピツチが等しいことを特徴とす
   る前記特許請求範囲の第１項記載の自動ウエーハ
   移換機。 ３ 前記第１、第２および第３の主溝の断面形状
   が台形であることを特徴とする前記特許請求の範
   囲第１項または第２項記載の自動ウエーハ移換
   機。 ４ 一方のキヤリア内に、第１のピツチで収納さ
   れたウエーハを、そのｎ倍（ｎは整数）または
   １／ｎ倍に相当する第２のピツチで他方のキヤリ
   ア内へ移換えて収納する自動ウエーハ移換機であ
   つて、 前記第１のピツチで形成された複数のウエーハ
   係止溝および底面に穿設されたプツシヤ穴を有す
   る第１のキヤリア、ならびに前記第２のピツチで
   形成された複数のウエーハ係止溝および底面に穿
   設されたプツシヤ穴を有する第２のキヤリアと、 前記第１および第２のキヤリアのプツシヤ穴に
   対応する位置にプツシヤ穴が穿設されていて、前
   記第１のキヤリアおよび第２のキヤリアを、互い
   に対応する各キヤリアのウエーハ係止溝が一直線
   上に配列されるように、その上面に並置状態で載
   置するためのテーブルと、 前記テーブルの上方に、前記第１および第２の
   キヤリアと平行に、かつ互いに平行に配置され
   て、それぞれの周面には、前記第１および第２の
   ピツチの中の小さい方のピツチで収納されたウエ
   ーハを通過させる第１の複数の主溝、および前記
   第１および第２のピツチの中の大きい方のピツチ
   で収納されたウエーハのみを通過させる少なくと
   も１組の第２の複数の主溝が、相互にある中心角
   だけずらして穿設されている１対の柱状ホルダ
   と、 前記１対のホルダを、その軸のまわりに回転さ
   せ、各ホルダの第１の主溝を対向させて前記小さ
   い方のピツチで収納されたウエーハを通過させる
   第１の位置、および各ホルダの第２の主溝を対向
   させて前記大きい方のピツチで収納されたウエー
   ハのみを通過させる第２の位置、ならびに前記第
   １の位置から予定角度だけ回転させ、第１および
   第２のピツチで収納されたすべてのウエーハの通
   過を禁止して該ウエーハをホルダで保持させる第
   ３の位置で停止させて、ホルダ間のウエーハの通
   過・係止を制御するホルダ回転装置と、 前記１対のホルダの真上に、それぞれ配置さ
   れ、それぞれの対向面に、前記第１および第２の
   ピツチの中の小さい方のピツチで収納されたウエ
   ーハを挿入する第３の複数の主溝を穿設された１
   対のガイドと、 前記１対のホルダおよび１対のガイドを、相互
   に所定の相対位置に保つて支持する支持架枠と、 前記支持架枠を上昇または下降させるガイド昇
   降装置と、 前記テーブルの下方に設けられ、前記テーブル
   およびその上のキユリアの各プツシヤ穴を貫通し
   て上昇、下降し、キヤリア内および前記ホルダに
   支持されたウエーハを上昇または下降させるプツ
   シヤと、 前記プツシヤの上昇・下降を制御するプツシヤ
   昇降装置と、 前記テーブルおよびプツシヤ、ならびに前記支
   持架枠を、ウエーハ係止溝と平行な方向に相対移
   動させる駆動装置と、 前記テーブルを、その面およびウエーハ面の両
   方にほぼ垂直な面内で予定角度だけ傾斜させる手
   段とを具備したことを特徴とする自動ウエーハ移
   換機。