JPS604573U - 結晶引上げ装置 - Google Patents
結晶引上げ装置Info
- Publication number
- JPS604573U JPS604573U JP9563783U JP9563783U JPS604573U JP S604573 U JPS604573 U JP S604573U JP 9563783 U JP9563783 U JP 9563783U JP 9563783 U JP9563783 U JP 9563783U JP S604573 U JPS604573 U JP S604573U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulling device
- crystal pulling
- crystal
- transparent plate
- monitoring window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は結晶引上げ装置の概略断面図、第2図は目盛り
を刻んだ透明板の斜視概略図。 1・・・シャフト、2・・・チャンバ、3・・・結晶成
長監視窓、3′・・・目盛りを刻んだ透明石英板、4・
・・種結晶、5・・・結晶、6・・・保温筒、フ・・・
発熱体、8・・・サセプター、9・・・坩堝、10・・
・融液、11・・・電極、12・・・熱電対。
を刻んだ透明板の斜視概略図。 1・・・シャフト、2・・・チャンバ、3・・・結晶成
長監視窓、3′・・・目盛りを刻んだ透明石英板、4・
・・種結晶、5・・・結晶、6・・・保温筒、フ・・・
発熱体、8・・・サセプター、9・・・坩堝、10・・
・融液、11・・・電極、12・・・熱電対。
Claims (1)
- 結晶を引上げ法によって成長する装置において目盛りを
刻んだ透明板を結晶成長監視窓に配置したことを特徴と
する結晶引上げ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9563783U JPS604573U (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 結晶引上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9563783U JPS604573U (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 結晶引上げ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604573U true JPS604573U (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=30228302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9563783U Pending JPS604573U (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 結晶引上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604573U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55144497A (en) * | 1979-04-27 | 1980-11-11 | Toshiba Corp | Preparing single crystal |
| JPS588781U (ja) * | 1981-07-11 | 1983-01-20 | 日産自動車株式会社 | 液体用回転ポンプ |
-
1983
- 1983-06-21 JP JP9563783U patent/JPS604573U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55144497A (en) * | 1979-04-27 | 1980-11-11 | Toshiba Corp | Preparing single crystal |
| JPS588781U (ja) * | 1981-07-11 | 1983-01-20 | 日産自動車株式会社 | 液体用回転ポンプ |
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