JPH0266680U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0266680U JPH0266680U JP14668988U JP14668988U JPH0266680U JP H0266680 U JPH0266680 U JP H0266680U JP 14668988 U JP14668988 U JP 14668988U JP 14668988 U JP14668988 U JP 14668988U JP H0266680 U JPH0266680 U JP H0266680U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- support jig
- crucible
- crucible support
- space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の化合物半導体単結晶製造装置
の２重構造ルツボ支持治具の一実施例を示す縦断
面図、第２図は第１図における結晶作成中のルツ
ボ内温度分布図、第３図は従来の液体封止引上法
による化合物半導体単結晶製造装置の縦断面図、
第４図は第３図における結晶作製中のルツボ内温
度分布図である。 １：高圧容器、２：引上げ結晶、３：原料融液
、４：液体封止剤、５：ルツボ、６，６″：炭素
製ルツボ支持治具、６′：底板、７：ヒータ、９
：結晶引上げ軸、１０：ルツボ支持軸、１２：種
結晶、１３：空間部、１４：貫通穴。
の２重構造ルツボ支持治具の一実施例を示す縦断
面図、第２図は第１図における結晶作成中のルツ
ボ内温度分布図、第３図は従来の液体封止引上法
による化合物半導体単結晶製造装置の縦断面図、
第４図は第３図における結晶作製中のルツボ内温
度分布図である。 １：高圧容器、２：引上げ結晶、３：原料融液
、４：液体封止剤、５：ルツボ、６，６″：炭素
製ルツボ支持治具、６′：底板、７：ヒータ、９
：結晶引上げ軸、１０：ルツボ支持軸、１２：種
結晶、１３：空間部、１４：貫通穴。
Claims (1)
- 結晶原料及び液体封止剤を所定量入れたルツボ
を収納保持する炭素製ルツボ支持治具を備えたも
のにおいて、前記炭素製ルツボ支持治具の底部を
空間部を有する二重底構造とし、前記炭素製ルツ
ボ支持治具の前記空間部の側壁に貫通穴を設けた
ことを特徴とする化合物半導体単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14668988U JPH0266680U (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14668988U JPH0266680U (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0266680U true JPH0266680U (ja) | 1990-05-21 |
Family
ID=31416414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14668988U Pending JPH0266680U (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0266680U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046573A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体結晶の製造方法 |
| JP2016528157A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-09-15 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | 坩堝及びそれを含むインゴット成長装置 |
| US10343573B2 (en) | 2014-12-19 | 2019-07-09 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kg, Coburg | Vehicle seat assembly having a reset device |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP14668988U patent/JPH0266680U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046573A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体結晶の製造方法 |
| JP2016528157A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-09-15 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | 坩堝及びそれを含むインゴット成長装置 |
| US10343573B2 (en) | 2014-12-19 | 2019-07-09 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kg, Coburg | Vehicle seat assembly having a reset device |