JPS6047254A - 光デイスクの作製方法 - Google Patents
光デイスクの作製方法Info
- Publication number
- JPS6047254A JPS6047254A JP15485683A JP15485683A JPS6047254A JP S6047254 A JPS6047254 A JP S6047254A JP 15485683 A JP15485683 A JP 15485683A JP 15485683 A JP15485683 A JP 15485683A JP S6047254 A JPS6047254 A JP S6047254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- optical disc
- manufacturing
- master
- stamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光ディスクの作製方法に関するものであり、特
にそのプレス型の作製方法として性能の良いものを提供
することができる方法に関する。
にそのプレス型の作製方法として性能の良いものを提供
することができる方法に関する。
ここに、光ディスクとはレーザー光線を用いて、ガラス
等の円板状基板の上にある記８ｐｊｅ膜に、所望の信号
を記録したものでめる。その応用例としては、ビデオデ
ィスク、ＰＣＭディスク、文書ファイルディジタルディ
スク、ホログランイディスク等が考えられている。
等の円板状基板の上にある記８ｐｊｅ膜に、所望の信号
を記録したものでめる。その応用例としては、ビデオデ
ィスク、ＰＣＭディスク、文書ファイルディジタルディ
スク、ホログランイディスク等が考えられている。
従来、ディスクの作製に用いるスタンパを作る際、原盤
に金属膜を付ける方法として第１図の様にして行なって
いた。すなわち原盤１の上に記録された信号部分２−１
Ｋ金属換を付ける蒸発源３にセットされた原料４は加熱
されて蒸発し、信号面に向かって放射状に飛び、イづ眉
する。この様子を分りやすく拡大したのが第２図である
。この様にして金属膜５を付着させると、１を号２−２
の部分の壁面には、金属膜５が付着させることができな
い為、結果として、この部分の転写性が悪くな〃、複製
ディスクにもこの影響が表われる。
に金属膜を付ける方法として第１図の様にして行なって
いた。すなわち原盤１の上に記録された信号部分２−１
Ｋ金属換を付ける蒸発源３にセットされた原料４は加熱
されて蒸発し、信号面に向かって放射状に飛び、イづ眉
する。この様子を分りやすく拡大したのが第２図である
。この様にして金属膜５を付着させると、１を号２−２
の部分の壁面には、金属膜５が付着させることができな
い為、結果として、この部分の転写性が悪くな〃、複製
ディスクにもこの影響が表われる。
本発明は、かかる欠点を除去する為、ディスク複Ｍ時の
スタンパとして、イに号転写性のよいものを作る方法を
提供し、さらにこのスタンパを用いて、レプリカを作る
方法に関する。
スタンパとして、イに号転写性のよいものを作る方法を
提供し、さらにこのスタンパを用いて、レプリカを作る
方法に関する。
本発明は紫外線硬化樹脂を用いてレジンスタンバを作り
、このスタンパを用いて下地膜付きレプリカを作成する
ことを特徴とする。
、このスタンパを用いて下地膜付きレプリカを作成する
ことを特徴とする。
本発明に係るスタンパの作製方法を第３図に示す。まず
厚いガラス基板１の上にフォトレジスト２を塗布し、こ
れにレーザー光で所望の信号を記録し、現鍬して表面が
凹凸になったガラス原盤１−１を作る。このガラス原盤
に、表面の膨潤や変質を防いだり、はく離を確実にする
為にＡｔ。
厚いガラス基板１の上にフォトレジスト２を塗布し、こ
れにレーザー光で所望の信号を記録し、現鍬して表面が
凹凸になったガラス原盤１−１を作る。このガラス原盤
に、表面の膨潤や変質を防いだり、はく離を確実にする
為にＡｔ。
Ｎｉ等の金桟膜５を付け、さらに必要によりはく離削（
例えばシリコンオイル、カルコゲン化物、すなわちＩＩ
Ｉ ｅＳ ｅ、 Ｓのうぢの少なくとも一考を含む混合
物や化合物等）を蒸着等の方法でコーティングする。金
属膜５は、信号部分２−１に垂直に蒸着できる様に蒸発
源３を複数個配置する。なお、一様性を確保する為に原
盤１を回転することも良い方法である。なおこの時は蒸
発源は１個でも良いが、厚みを得る必要がある場合には
、複数の蒸発源を使用する。なお、蒸発のの長さは、蒸
着しようとする原盤上の信号部分の幅の５０％以上あれ
ば良い。まだ、ここでは蒸着について述べたが、スパッ
タリングによっても実現できる。さらに、金属膜として
例えばＡｔ、Ｎ ｉ 、 Ｃ１，１ｕなどを用いること
ができる。この様に１ｕ号面に垂直に金属膜を付けた結
果、第４図に示す碌に金属Ｂ！；ｉ、５が形成され、転
写性の良い信号ピットを持つスタンパ（ｉｚ作製するこ
とができる。以下にそのスタンパを作る工程を第５図に
よシ説明する。金属膜５を付けた原盤１−１に紫外線硬
化樹脂（以下ＵＶ樹脂と称する）７−１を塗布し、透明
なアクリル板あるいはガラス板などの基板８を押し付け
／ヒ後、紫外線を照射し、ＵＶ樹脂７−１を硬化させる
。
例えばシリコンオイル、カルコゲン化物、すなわちＩＩ
Ｉ ｅＳ ｅ、 Ｓのうぢの少なくとも一考を含む混合
物や化合物等）を蒸着等の方法でコーティングする。金
属膜５は、信号部分２−１に垂直に蒸着できる様に蒸発
源３を複数個配置する。なお、一様性を確保する為に原
盤１を回転することも良い方法である。なおこの時は蒸
発源は１個でも良いが、厚みを得る必要がある場合には
、複数の蒸発源を使用する。なお、蒸発のの長さは、蒸
着しようとする原盤上の信号部分の幅の５０％以上あれ
ば良い。まだ、ここでは蒸着について述べたが、スパッ
タリングによっても実現できる。さらに、金属膜として
例えばＡｔ、Ｎ ｉ 、 Ｃ１，１ｕなどを用いること
ができる。この様に１ｕ号面に垂直に金属膜を付けた結
果、第４図に示す碌に金属Ｂ！；ｉ、５が形成され、転
写性の良い信号ピットを持つスタンパ（ｉｚ作製するこ
とができる。以下にそのスタンパを作る工程を第５図に
よシ説明する。金属膜５を付けた原盤１−１に紫外線硬
化樹脂（以下ＵＶ樹脂と称する）７−１を塗布し、透明
なアクリル板あるいはガラス板などの基板８を押し付け
／ヒ後、紫外線を照射し、ＵＶ樹脂７−１を硬化させる
。
最後に金属層５とＵＶ＃Ｉ脂７−１の境界からはくＰＩ
ＩＫさせると、原盤のパターンを基板側に写しとること
ができる。ただし凹凸は逆となる為に、レコードプロセ
スでいうマスターある＾ハ、スタンパ９として用いるこ
とができる。なおはく離する際、は＜ａ剤やＡ４等の金
属も同時にとれてしまった場合は、あらためてガラス原
盤１−１の全面につけ直し、その後同様の工程を行うと
、再びマスターあるいはスタンパを作ることが可能であ
り、この様にしてガラス原盤１−１の凹凸パターンがこ
われるよで何回も使って上記のスタンハラ作ることかで
さる。フォトレジスト／Ｍ ｉでスタンパ）］１ｕに移
ってしまった」賜金は溶媒城／こはアルカリでスタンパ
上から除去する必要がある。その友、ＵＶ樹脂７−１基
板８以外は取シ去る必要がるる。
ＩＫさせると、原盤のパターンを基板側に写しとること
ができる。ただし凹凸は逆となる為に、レコードプロセ
スでいうマスターある＾ハ、スタンパ９として用いるこ
とができる。なおはく離する際、は＜ａ剤やＡ４等の金
属も同時にとれてしまった場合は、あらためてガラス原
盤１−１の全面につけ直し、その後同様の工程を行うと
、再びマスターあるいはスタンパを作ることが可能であ
り、この様にしてガラス原盤１−１の凹凸パターンがこ
われるよで何回も使って上記のスタンハラ作ることかで
さる。フォトレジスト／Ｍ ｉでスタンパ）］１ｕに移
ってしまった」賜金は溶媒城／こはアルカリでスタンパ
上から除去する必要がある。その友、ＵＶ樹脂７−１基
板８以外は取シ去る必要がるる。
次に上記の０Ｒにして作られたスタンパを用いて第６図
に示すレプリカ１０を作製する工程を第７図に示す。
に示すレプリカ１０を作製する工程を第７図に示す。
まずスタンパにセルロースアセテートｈるいはニトロセ
ルロースなどの；１１１：’ｌ １１を塗布し、ｔよく
りの境界層とする。次に、その上にあるいは、レプリカ
の基板となる透光性基板１２のガラスある′いはアクリ
ル７ケどの上に紫外線硬化樹脂７−２（［ＪＶレジン）
を塗布した後、先の基板と、スタンパを押しく＝Ｊけ、
ＵＶレジン７−２を硬化させる。
ルロースなどの；１１１：’ｌ １１を塗布し、ｔよく
りの境界層とする。次に、その上にあるいは、レプリカ
の基板となる透光性基板１２のガラスある′いはアクリ
ル７ケどの上に紫外線硬化樹脂７−２（［ＪＶレジン）
を塗布した後、先の基板と、スタンパを押しく＝Ｊけ、
ＵＶレジン７−２を硬化させる。
この鏝、スタンパからはく離し、レプリカができあがる
。あとは目的に応じて、この上に記録膜あるいは反射膜
を付けて使用する。
。あとは目的に応じて、この上に記録膜あるいは反射膜
を付けて使用する。
以上説明したごとく、本発明はメッキ工程を含まないで
平坦性の良いスタンパを、モ１１ゆに早く作ることがで
き、さらに、これを用いて作らルたレプリカは、平坦性
の良いものとなる。
平坦性の良いスタンパを、モ１１ゆに早く作ることがで
き、さらに、これを用いて作らルたレプリカは、平坦性
の良いものとなる。
さらに、信号情報の転写性のピれた光ディスクを作製す
る上で効果がある。
る上で効果がある。
第１図は原盤に金属膜を付ける従来方法を説明する図、
第２図は従来の原盤に金属膜を付けた部分の拡大図、第
３図は本発す」の金属ｊ膜付着方法を説明する図、第４
図は本発明によるＷ、盤に金１１膜を付けた部分の拡大
図、第５図は本発明によるスタンパ作製方法を説明する
ための光ディスクの構成を示す図、第６図は光デイスク
レプリカのｆｉ９成を示す図、第７図は上記スタンパか
らレプリカを作る構成を示す図である。 １・・・原盤用基板、２・・・フォトレジスタ、５・・
・金属層、７−１．７−２・・・紫外線硬化樹脂、８・
・・スタンパ用部材、１２・・・レプリカ用基板、１１
・・・はく第 １ 図 第２ 図 不 ３ 図 一ノ 乙−−１１１Ｎ ドー乙 ８分Ｆｆ １＝（ン・ 閉 ４ 口 笛 ５ 口 ｓ ｌ 口 第７ 図
第２図は従来の原盤に金属膜を付けた部分の拡大図、第
３図は本発す」の金属ｊ膜付着方法を説明する図、第４
図は本発明によるＷ、盤に金１１膜を付けた部分の拡大
図、第５図は本発明によるスタンパ作製方法を説明する
ための光ディスクの構成を示す図、第６図は光デイスク
レプリカのｆｉ９成を示す図、第７図は上記スタンパか
らレプリカを作る構成を示す図である。 １・・・原盤用基板、２・・・フォトレジスタ、５・・
・金属層、７−１．７−２・・・紫外線硬化樹脂、８・
・・スタンパ用部材、１２・・・レプリカ用基板、１１
・・・はく第 １ 図 第２ 図 不 ３ 図 一ノ 乙−−１１１Ｎ ドー乙 ８分Ｆｆ １＝（ン・ 閉 ４ 口 笛 ５ 口 ｓ ｌ 口 第７ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定基板上のフォトレジスト材に光学的に情報を記
録された原盤に、金門ｊ漢を付ける工程と、紫外線硬化
樹脂を塗布する工程と、透光性部材を上記樹脂に押し付
ける工程と、上記樹脂に紫外線を照射する工程と、上記
樹脂を上記原盤からは＜ Ｉｉ７！＃する工程とからな
り、上記部材をスタンパとし、その上にはく離削を塗布
する工程と、紫外線硬化イツＩ脂を塗布する工程と、透
光性基板を前記樹脂に押し付ける工程と、それらに紫外
線を照射し、樹脂を硬化する工程と、硬化した樹脂と基
板を一体として、スタンパからはく離する工程とからな
る光ディスクの作製方法において、前記原盤に前記金属
膜を付ける際、前記原盤上の前記情報に垂直方向から付
着せしめたことを特徴とする光ディスクの作製方法。 ２、請求範囲第１項記載の光ディスクの作製方法におい
て、蒸着により上記金属膜を付けたことを特徴とする光
ディスクの作製方法。 ３、請求範囲第１項記載の光ディスクの作製方法におい
て、上記金属膜として復層膜を用いたことを特徴とする
光ディスクの作製方法。 ４、請求範囲第１項記載の光ディスクの作製方法におい
て、スパッタリングにより、上記金属膜を付けたことを
特徴とする光ディスクの作製方法。 ５、請求範囲第２項記載の光ディスクの作製方法におい
て、上記金属膜としてＡｔあるいｉ、ｉＮｉまたはＡｕ
を用いたことを＋＋ゲ徴とする光ディスクの作製方法。 ６、請求範囲第３項記載の光ディスクの作製方法におい
て、Ａｔ、Ｎ ｉ、Ａｕ、Ｃｒの一種あるいはそれ以上
を上記複層金属としたことを特徴とする光ディスクの作
製方法。 ７、請求範囲第２項記載の光ディスクの作製方法におい
て、蒸着用ボートあるいはフィラメントの長さが、被蒸
着原盤の信号範囲の長さの５０％以上でるることを特徴
とする光ディスクの作裏方法。 ８．請求範囲第７項記載の光ディスクの作製方法におい
て、蒸着用ボートが、被蒸着原盤の中心を軸として、円
周方向に仮数個配列されたことを特徴とする光ディスク
の作製方法。 ９、請求範囲第７項記載の光ディスクの作製方法におい
て、被蒸着原盤が蒸着中に回転していることを特徴とす
る光ディスクの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15485683A JPS6047254A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 光デイスクの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15485683A JPS6047254A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 光デイスクの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047254A true JPS6047254A (ja) | 1985-03-14 |
Family
ID=15593399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15485683A Pending JPS6047254A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 光デイスクの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047254A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190112166A (ko) | 2017-03-31 | 2019-10-02 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | 땜납 합금, 솔더 페이스트 및 땜납 조인트 |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP15485683A patent/JPS6047254A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190112166A (ko) | 2017-03-31 | 2019-10-02 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | 땜납 합금, 솔더 페이스트 및 땜납 조인트 |
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