JPS6047583B2 - 欠陥パタ−ンの修正方法 - Google Patents
欠陥パタ−ンの修正方法Info
- Publication number
- JPS6047583B2 JPS6047583B2 JP52066621A JP6662177A JPS6047583B2 JP S6047583 B2 JPS6047583 B2 JP S6047583B2 JP 52066621 A JP52066621 A JP 52066621A JP 6662177 A JP6662177 A JP 6662177A JP S6047583 B2 JPS6047583 B2 JP S6047583B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- defect
- defects
- correction
- corrected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフィルム感光材料上に形成されたパターンの欠
陥を自動装置を使用して修正する方法に関する。
陥を自動装置を使用して修正する方法に関する。
従来、電子素子の製造等に使用するフィルム感光材料上
に形成されたフォトマスク等のパターンの欠陥を含むも
のについては、廃棄するかもしくは、要求される精度の
や）ゆるやかなプリント板フォトマスクの場合に限り、
インクて修正したりナイフ等を用いて削除を行つたりし
ていたが、これでは修正に時間が掛り、また相当の熟練
を必要とする等の欠陥があつた。
に形成されたフォトマスク等のパターンの欠陥を含むも
のについては、廃棄するかもしくは、要求される精度の
や）ゆるやかなプリント板フォトマスクの場合に限り、
インクて修正したりナイフ等を用いて削除を行つたりし
ていたが、これでは修正に時間が掛り、また相当の熟練
を必要とする等の欠陥があつた。
本発明はこのようなプリント板フォトマスク上のパター
ン欠陥等に対する従来の修正方法を大巾に改善せんとす
るものであつて、従来殆ど目視による作業に頼つていた
作業を自動検査装置と、それに連動する顕微鏡テレビモ
ニタ並に電動式ポイント削り工具とを駆使する半自動的
な修正作業に改めていることがその特色である。
ン欠陥等に対する従来の修正方法を大巾に改善せんとす
るものであつて、従来殆ど目視による作業に頼つていた
作業を自動検査装置と、それに連動する顕微鏡テレビモ
ニタ並に電動式ポイント削り工具とを駆使する半自動的
な修正作業に改めていることがその特色である。
以下本発明による欠陥修正方法を、これを実施するため
の一装置システム例図を参照しながら説明する。
の一装置システム例図を参照しながら説明する。
本発明によれば、第１図、及び第２図ａ及ひをのシステ
ム図に示す装置により、被修正フィルム１の欠陥修正を
次の順序に従い行う。
ム図に示す装置により、被修正フィルム１の欠陥修正を
次の順序に従い行う。
１ 被修正フィルム上の欠陥の読取りを次のようにして
行う。
行う。
被修正フィルム１を第１図に示す様に、ＸＹ移動装置３
のステージ４上に取付け、光学走査装置５によりレーザ
光線６によりフィルム１を走査し、フィルム１を透過し
た回折光７を光検知器８て検出し、光検知器８からの信
号を欠陥判定回路９に入力し、欠陥信号１０を出力する
。
のステージ４上に取付け、光学走査装置５によりレーザ
光線６によりフィルム１を走査し、フィルム１を透過し
た回折光７を光検知器８て検出し、光検知器８からの信
号を欠陥判定回路９に入力し、欠陥信号１０を出力する
。
又ステージ４の位置を、レーザ干渉測長装置１１により
測長し、座標信号１２として欠陥信号１０とともに磁気
テープ１３に書き込む。２ 次に修正フィルム１を第２
図Ｘ−Ｙ移動装置３の移動ステージ４上に取付けたま、
、前記資料の内、各欠陥部の位置データだけをＸ−Ｙ移
動装置３のステージコントローラ１４に磁気テープ１３
からインプットすることにより、移動ステージ４を各欠
陥部毎に移動させ、移動ステージ中央部の下方にある顕
微鏡１５を有するテレビカメラ１６とモニタテレビ１７
からなる観察光学系により写した、各欠陥部の拡大映像
がモニタテレビ１７の画面の中央に印されている十字線
の交点に近い位置にくるように、自動的に導く。
測長し、座標信号１２として欠陥信号１０とともに磁気
テープ１３に書き込む。２ 次に修正フィルム１を第２
図Ｘ−Ｙ移動装置３の移動ステージ４上に取付けたま、
、前記資料の内、各欠陥部の位置データだけをＸ−Ｙ移
動装置３のステージコントローラ１４に磁気テープ１３
からインプットすることにより、移動ステージ４を各欠
陥部毎に移動させ、移動ステージ中央部の下方にある顕
微鏡１５を有するテレビカメラ１６とモニタテレビ１７
からなる観察光学系により写した、各欠陥部の拡大映像
がモニタテレビ１７の画面の中央に印されている十字線
の交点に近い位置にくるように、自動的に導く。
３ その欠陥部映像の大きさと形状に適当した刃先１９
を有する電動式ポイント削りを、人手又は自動的に回路
による自動作動により選出して、顕微鏡１５及びテレビ
カメラ１６の光軸上にその修正刃先１９が斜めに来るよ
うに設定し、その修正刃先位置をモニタテレビで目視し
ながら、欠陥部位置に対し微調整を行う。
を有する電動式ポイント削りを、人手又は自動的に回路
による自動作動により選出して、顕微鏡１５及びテレビ
カメラ１６の光軸上にその修正刃先１９が斜めに来るよ
うに設定し、その修正刃先位置をモニタテレビで目視し
ながら、欠陥部位置に対し微調整を行う。
なお上記の修正工具類の選定は次の基準により行うこと
とする。
とする。
即ち小さい円形（５０〜１００ミクロン径、深さ５〜１
０ミクロン程度）の欠陥除去に対しては回転やすり式の
ものを、それより大きい円形に対しては電磁歪振動方式
の原動機と第３図に示す形状の刃先をもつものを、長方
形の欠陥除去に対しては同じ振動方式で第４図に示す形
状刃先のものを使用すれば最適である。４次に、前記光
軸上を修正刃先が上下移動可能に設けられている選定さ
れた電動式ポイント削り工具１８を運転させ乍ら、手動
で微かに上下させて修正刃先をフィルム面に接触させ、
その欠陥が取れる迄削り除去作業を行う。
０ミクロン程度）の欠陥除去に対しては回転やすり式の
ものを、それより大きい円形に対しては電磁歪振動方式
の原動機と第３図に示す形状の刃先をもつものを、長方
形の欠陥除去に対しては同じ振動方式で第４図に示す形
状刃先のものを使用すれば最適である。４次に、前記光
軸上を修正刃先が上下移動可能に設けられている選定さ
れた電動式ポイント削り工具１８を運転させ乍ら、手動
で微かに上下させて修正刃先をフィルム面に接触させ、
その欠陥が取れる迄削り除去作業を行う。
５次いで欠陥位置データにより、次の欠陥部をステージ
コントローラ１４により、モニタテレビ１７の画面中央
部に持ち来たし、前記３及び４の作業を繰返すことを、
全欠陥部の修正を終える迄繰返し行う。
コントローラ１４により、モニタテレビ１７の画面中央
部に持ち来たし、前記３及び４の作業を繰返すことを、
全欠陥部の修正を終える迄繰返し行う。
上記の一連の作業工程を行う方法が、本発明による欠陥
パターンの修正方法である。
パターンの修正方法である。
なお前記の異なる型式の修正工具とその刃先が、自動検
査装置で得た資料に従つて、自動的に選別されて使用個
所に差出されるシステムを、電子計算機を使用して第５
図のブロック図のように設けておけば、上記の３及び４
項の作業を最も能率良く行うことができる。
査装置で得た資料に従つて、自動的に選別されて使用個
所に差出されるシステムを、電子計算機を使用して第５
図のブロック図のように設けておけば、上記の３及び４
項の作業を最も能率良く行うことができる。
このように自動化を極度に進めて、自動検査装置と自動
修正装置を最も効率良く組合せて使用すれば、従来の手
作業なら・ば２時間も要していた作業を僅か１紛間で済
ますこともできるという実績が得られている。なお上記
の方法による時は、修正の質を向上して製品品質の均一
化をも可能とし得ることもまた明白である。
修正装置を最も効率良く組合せて使用すれば、従来の手
作業なら・ば２時間も要していた作業を僅か１紛間で済
ますこともできるという実績が得られている。なお上記
の方法による時は、修正の質を向上して製品品質の均一
化をも可能とし得ることもまた明白である。
上述したように、本発明による欠陥パターンの修正方法
は、従来の手作業方式に比し作業能率上、製品品質上顕
著なる効果を奏し得るものである。
は、従来の手作業方式に比し作業能率上、製品品質上顕
著なる効果を奏し得るものである。
第１図及第２図ａ及びｂは本発明による欠陥修正方法を
行うための一実施例装置を示すシステム図、第３図、第
４図の各ａは電磁歪振動式の修正刃先例を、また同じ両
図のｂは修正部修正後の形状を示す説明図、第５図は自
動修正装置の自動交換方式を示すブロック図である。 １・・・被修正フィルム、２・・・自動検査装置、３・
・・Ｘ−Ｙ移動装置、４・・・ステージ、１４・・・ス
テージコントローラ、１５・・・顕微鏡、１６・・・テ
レビカメラ、１７・・・モニターテレビ、１８・・・電
動式ポイント削り工具。
行うための一実施例装置を示すシステム図、第３図、第
４図の各ａは電磁歪振動式の修正刃先例を、また同じ両
図のｂは修正部修正後の形状を示す説明図、第５図は自
動修正装置の自動交換方式を示すブロック図である。 １・・・被修正フィルム、２・・・自動検査装置、３・
・・Ｘ−Ｙ移動装置、４・・・ステージ、１４・・・ス
テージコントローラ、１５・・・顕微鏡、１６・・・テ
レビカメラ、１７・・・モニターテレビ、１８・・・電
動式ポイント削り工具。
Claims (1)
- １ フィルム感光材料上に形成されたパターンの欠陥を
修正する方法において、自動検査装置によつて被修正フ
ィルムの欠陥についての資料を読み取つた後、該フィル
ムを移動ステージ上に取付け、前記検査装置の読み取つ
ている資料により、該テージ上のパターン欠陥部を所定
の位置に位置決めして、削り工具を使用して、欠陥の必
要な修正を行うことを特徴とする欠陥パターンの修正方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52066621A JPS6047583B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 欠陥パタ−ンの修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52066621A JPS6047583B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 欠陥パタ−ンの修正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS541879A JPS541879A (en) | 1979-01-09 |
| JPS6047583B2 true JPS6047583B2 (ja) | 1985-10-22 |
Family
ID=13321133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52066621A Expired JPS6047583B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 欠陥パタ−ンの修正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047583B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855710A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-04-02 | Fujitsu Ltd | 欠陥位置表示方法 |
-
1977
- 1977-06-08 JP JP52066621A patent/JPS6047583B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS541879A (en) | 1979-01-09 |
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