JPS604959U - 自動測定装置 - Google Patents
自動測定装置Info
- Publication number
- JPS604959U JPS604959U JP9620883U JP9620883U JPS604959U JP S604959 U JPS604959 U JP S604959U JP 9620883 U JP9620883 U JP 9620883U JP 9620883 U JP9620883 U JP 9620883U JP S604959 U JPS604959 U JP S604959U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- automatic measuring
- circuit
- response characteristics
- waveform
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例である自動測定装置用故障検
出回路のブロック図、第２図ａ−ｄは本考案の動作原理
を説明するための各部波形図である。 １・・・・・・測定用パルス電源群、２・・・・・・計
測器群、３・・・・・・リレーマトリクス、４・・・・
・・’ＮＵＲＩ用コンピュータ、５・・・・・・記憶回
路、６・・・・・・パルス発生回路、７・・・・・・電
源波形検出回路、８・・・・・・比較回路、９・・・・
・・試料。
出回路のブロック図、第２図ａ−ｄは本考案の動作原理
を説明するための各部波形図である。 １・・・・・・測定用パルス電源群、２・・・・・・計
測器群、３・・・・・・リレーマトリクス、４・・・・
・・’ＮＵＲＩ用コンピュータ、５・・・・・・記憶回
路、６・・・・・・パルス発生回路、７・・・・・・電
源波形検出回路、８・・・・・・比較回路、９・・・・
・・試料。
Claims (1)
- 半導体装置等の特性を自動測定する自動測定装置におい
て、自動測定装置の測定用パルス電源の応答特性を記憶
する回路と前記記憶値に基づき応答特性を再現するパル
ス発生回路と前記測定用パルス電源の波形を検出する回
路と前記パルス発生回路の出力波形と測定用パルス電源
の波形を比較する比較回路から構成され前記比較値に基
づいて自動測定装置の故障を検出する故障検出回路を備
えたことを特徴とする自動測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9620883U JPS604959U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 自動測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9620883U JPS604959U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 自動測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604959U true JPS604959U (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=30229385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9620883U Pending JPS604959U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 自動測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604959U (ja) |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP9620883U patent/JPS604959U/ja active Pending
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