JPS604963U - 半導体素子の測定装置 - Google Patents
半導体素子の測定装置Info
- Publication number
- JPS604963U JPS604963U JP9725783U JP9725783U JPS604963U JP S604963 U JPS604963 U JP S604963U JP 9725783 U JP9725783 U JP 9725783U JP 9725783 U JP9725783 U JP 9725783U JP S604963 U JPS604963 U JP S604963U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- semiconductor device
- measurement equipment
- device measurement
- carrier
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案が対象とする測定装置の概要を示す説明
図、第２図は本考案の要部説明図。 １・・・供給シュート、２．３・・・測定シュート、４
・・・配分機構、５・・・素子、６・・・軸、７・・・
キャリヤ、８・・・案内、９．１０・・・断熱部材、１
１・・・発熱部（または冷却部）。
図、第２図は本考案の要部説明図。 １・・・供給シュート、２．３・・・測定シュート、４
・・・配分機構、５・・・素子、６・・・軸、７・・・
キャリヤ、８・・・案内、９．１０・・・断熱部材、１
１・・・発熱部（または冷却部）。
Claims (1)
- 供給シュート１から半導体素子を連続して受は取る配分
機構４によって複数列の測定部を有するシュート２．３
に素子を加熱もしくは冷却搬送する測定装置において、
配分機構４のキャリヤ７上の断熱部材９の中に素子の案
内８を設け、素子の受取り位置Ｉをキャリヤ７の待機位
置とし、この位置の案内８に対向して断熱部材１０によ
り覆われた発熱もしくは冷却部１１を設け、素子が■位
置にあるとき発熱もしくは冷却部１１を案内８に接触も
しくは近接可能としたことを特徴とする半導体素子の測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9725783U JPS604963U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 半導体素子の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9725783U JPS604963U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 半導体素子の測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604963U true JPS604963U (ja) | 1985-01-14 |
| JPS645256Y2 JPS645256Y2 (ja) | 1989-02-09 |
Family
ID=30231423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9725783U Granted JPS604963U (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 半導体素子の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604963U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0740721U (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | 荒庄鳴河株式会社 | 女性の水着用バストカップ |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP9725783U patent/JPS604963U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0740721U (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | 荒庄鳴河株式会社 | 女性の水着用バストカップ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645256Y2 (ja) | 1989-02-09 |
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