JPS604965B2 - ボンディング点指示装置 - Google Patents
ボンディング点指示装置Info
- Publication number
- JPS604965B2 JPS604965B2 JP52101330A JP10133077A JPS604965B2 JP S604965 B2 JPS604965 B2 JP S604965B2 JP 52101330 A JP52101330 A JP 52101330A JP 10133077 A JP10133077 A JP 10133077A JP S604965 B2 JPS604965 B2 JP S604965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- base
- bonding point
- fixed
- solenoid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体装置の細緑接続作業において作業の効
率化をはかるため細線接続用のキャピラリの降下する点
をスポットライトを照射して指示する装置に関する。
率化をはかるため細線接続用のキャピラリの降下する点
をスポットライトを照射して指示する装置に関する。
一般に第１ボンディング点と第２ボンディング点は同一
レベルにはなく、最大数ミリメートルのレベル差を有し
ている。
レベルにはなく、最大数ミリメートルのレベル差を有し
ている。
又スポットライトは被照射物に対して垂直方向から照射
することはキャピラリ等の存在により不可能であり従っ
てある煩斜角をもって照射することになる。この時ボン
ディング点にレベル差がある場合１方のボンディング点
のキャピラリ降下位置にスポットを合せた場合他方に於
いては第１図に示すようにスポットライト１の照射角を
８とし、段差をｈとすると、スポットライト１で示され
る点と、実際にキャピラリ２が降下する第２ボンディン
グ点は６＝ねｎ８×ｈだけ水平方向にずれることになる
。従来この欠点をさげるため２個のスポットライトを用
いて第１ボンディング点第２ボンディング点それぞれを
照射する方法がとられているが、この方法では価格的に
無駄があり又スポットライト２基分の取付けスペースが
必要となり加えてスポットが２個あることにより作業能
率が害される。
することはキャピラリ等の存在により不可能であり従っ
てある煩斜角をもって照射することになる。この時ボン
ディング点にレベル差がある場合１方のボンディング点
のキャピラリ降下位置にスポットを合せた場合他方に於
いては第１図に示すようにスポットライト１の照射角を
８とし、段差をｈとすると、スポットライト１で示され
る点と、実際にキャピラリ２が降下する第２ボンディン
グ点は６＝ねｎ８×ｈだけ水平方向にずれることになる
。従来この欠点をさげるため２個のスポットライトを用
いて第１ボンディング点第２ボンディング点それぞれを
照射する方法がとられているが、この方法では価格的に
無駄があり又スポットライト２基分の取付けスペースが
必要となり加えてスポットが２個あることにより作業能
率が害される。
本発明においてその特徴とするところはスポットライト
の光軸上にガラス板をおき、ガラス板を光軸に対して煩
射させることによりスポットライトよりでた光線が傾斜
したガラス板を通過する時光の屈折により微少量だけ変
位することに着目し、第１ボンディング点と第２ボンデ
ィング点を指示する場合それぞれ別個にガラス板の優斜
角を決めて、細線接続作業中に各々へ繰返し切換えるこ
とによりボンディング点のレベル差による作業能率の低
下を防ぎ、従来の方法の欠点を解決することが出来る。
本発明を第２図に示す実施例によって具体的に説明する
と１はスポットライト、２は略図で表示せる紬線接続用
のキヤピラリであってその垂直下方に被照射物６である
半導体は保持せられる。
の光軸上にガラス板をおき、ガラス板を光軸に対して煩
射させることによりスポットライトよりでた光線が傾斜
したガラス板を通過する時光の屈折により微少量だけ変
位することに着目し、第１ボンディング点と第２ボンデ
ィング点を指示する場合それぞれ別個にガラス板の優斜
角を決めて、細線接続作業中に各々へ繰返し切換えるこ
とによりボンディング点のレベル差による作業能率の低
下を防ぎ、従来の方法の欠点を解決することが出来る。
本発明を第２図に示す実施例によって具体的に説明する
と１はスポットライト、２は略図で表示せる紬線接続用
のキヤピラリであってその垂直下方に被照射物６である
半導体は保持せられる。
スポットラィトーはランプ１′の先にパターン３及びレ
ンズ４を備えて直線状の光線を発生する。この光軸は被
照射物６上でキャピラリ２の先端部と合致する。この光
軸の途中には後に詳細な説明をする回転機構７を有する
ガラス板６が置かれる。ガラス板５はスポットライト１
と同じく図示しないが顕微鏡装置に固定せられたビン１
１に枢着せられたベース１２の一端に固定され、他端に
は後斜角の調整ねじ８及び８′が顕微鏡装置に固定せら
れためねじ１３，１３′にねじ込まれてその先端部はベ
ース１２を間隔をとって挟持する形となっている。ベー
ス１２にはばね１４の一端が係合いまね１４の他端は固
定点に係止せられベース１２に絶えず引張り力を与えて
いる。ベース１２の中央部には長孔があげられ、固定さ
れたソレノイド１５の可動片１６の一端に固定せるピン
１７が糟入している。ソレノィド１５を附勢すると可動
片１６はソレノィド１５中に引込まれ、ピン１７により
ベース１２はぱね１４に抗してピン１１を中心に回り、
ベース１２の端部は調整ねじ８′の端部に当接し、それ
に従ってガラス板５は第２図の位置となる。ソレノィド
１５が消勢されるとばね１４の引張力によりベース１２
はピン１１を中心に回りその端部は調整ねじ８に当俵し
ガラス板５は傾斜する。ガラス板５の煩斜角は調整ねじ
８，８′を回すことにより得られる。スポットライト１
のパターン３よりでた光線はしンズ４ガラス板５を通っ
て被照射物６に照射される。
ンズ４を備えて直線状の光線を発生する。この光軸は被
照射物６上でキャピラリ２の先端部と合致する。この光
軸の途中には後に詳細な説明をする回転機構７を有する
ガラス板６が置かれる。ガラス板５はスポットライト１
と同じく図示しないが顕微鏡装置に固定せられたビン１
１に枢着せられたベース１２の一端に固定され、他端に
は後斜角の調整ねじ８及び８′が顕微鏡装置に固定せら
れためねじ１３，１３′にねじ込まれてその先端部はベ
ース１２を間隔をとって挟持する形となっている。ベー
ス１２にはばね１４の一端が係合いまね１４の他端は固
定点に係止せられベース１２に絶えず引張り力を与えて
いる。ベース１２の中央部には長孔があげられ、固定さ
れたソレノイド１５の可動片１６の一端に固定せるピン
１７が糟入している。ソレノィド１５を附勢すると可動
片１６はソレノィド１５中に引込まれ、ピン１７により
ベース１２はぱね１４に抗してピン１１を中心に回り、
ベース１２の端部は調整ねじ８′の端部に当接し、それ
に従ってガラス板５は第２図の位置となる。ソレノィド
１５が消勢されるとばね１４の引張力によりベース１２
はピン１１を中心に回りその端部は調整ねじ８に当俵し
ガラス板５は傾斜する。ガラス板５の煩斜角は調整ねじ
８，８′を回すことにより得られる。スポットライト１
のパターン３よりでた光線はしンズ４ガラス板５を通っ
て被照射物６に照射される。
この時第１ボンディング点と第２ボンディング点のうち
のレベルの高い方を照射して指示する場合にスポットラ
イト１の光線がガラス板５上に垂直に入射するようガラ
ス板をセットし、次にレベルの低い方を照射して指示す
る場合にガラス板５の回転機構７によりある鏡斜角を与
え、スポットライトの光線がガラス板５に角度ｉをもっ
て入射するようにする。この時傾斜角は入射角ｉに等し
い。又傾斜角は傾斜角調節ネジ８‘こよって調節するこ
とが出来る。以上の説明にあるように第１ボンディング
点と第２ボンディング点とのレベル差によるスポットの
位置ずれを補正することが判明した。
のレベルの高い方を照射して指示する場合にスポットラ
イト１の光線がガラス板５上に垂直に入射するようガラ
ス板をセットし、次にレベルの低い方を照射して指示す
る場合にガラス板５の回転機構７によりある鏡斜角を与
え、スポットライトの光線がガラス板５に角度ｉをもっ
て入射するようにする。この時傾斜角は入射角ｉに等し
い。又傾斜角は傾斜角調節ネジ８‘こよって調節するこ
とが出来る。以上の説明にあるように第１ボンディング
点と第２ボンディング点とのレベル差によるスポットの
位置ずれを補正することが判明した。
第３図に示す実施例は前記実施例におけるスポットライ
ト１に代え顕微鏡の鞍眼レンズ１８をおき、第３図の光
軸ＫＩにハーフミラー９を額斜して設け、その交点に於
いてハーフミラー９の表面に法線を立てその法線を挟ん
でその法線と光軸ＫＩとの間の角と等しい角を該法線と
の間に張るその法線に関し対称な光軸Ｋ２上に前記回転
機構７を有するガラス板５を設け、更に光鞠Ｋ２の延長
上にランプ１０を有するパターン３′を設けたものであ
ってスポットライトを被照射物に直接照射することなく
ハーフミラー９を通してパターン３′を被照射物と重ね
て見る方法である。
ト１に代え顕微鏡の鞍眼レンズ１８をおき、第３図の光
軸ＫＩにハーフミラー９を額斜して設け、その交点に於
いてハーフミラー９の表面に法線を立てその法線を挟ん
でその法線と光軸ＫＩとの間の角と等しい角を該法線と
の間に張るその法線に関し対称な光軸Ｋ２上に前記回転
機構７を有するガラス板５を設け、更に光鞠Ｋ２の延長
上にランプ１０を有するパターン３′を設けたものであ
ってスポットライトを被照射物に直接照射することなく
ハーフミラー９を通してパターン３′を被照射物と重ね
て見る方法である。
じ〆上を光学的に説明すると第４一１図、第４−２図に
示すように「パターンＡから出た光はガラス板Ｇに垂直
に入射した場合、被照射物上の点Ｂにいたる。
示すように「パターンＡから出た光はガラス板Ｇに垂直
に入射した場合、被照射物上の点Ｂにいたる。
しかし入射角ｉでガラス板Ｇに入った光は屈折角ｒで屈
折した後入射光線に平行でかつ△ｙの変位をもって点Ｂ
′にいたる。入射角ｉ、屈折角ｒ、変位△ｙの関係を求
めると、ガラス板の屈折率をｎとすると Ｓｉｎ ｌ ｎこ前庁７………ｍ 又ガラス板の厚さをｔとすると ｔ △ｙ＝交す？ｉｎ（ｉ−ｒ）………■ ここで△ｙとは第１図６で示されるｈ・ｔａｎｏを補正
するものであるから△ｙ＝ｈ・ねｎひ又はｔとｎは適当
なガラス板を選ぶことによって決まる。
折した後入射光線に平行でかつ△ｙの変位をもって点Ｂ
′にいたる。入射角ｉ、屈折角ｒ、変位△ｙの関係を求
めると、ガラス板の屈折率をｎとすると Ｓｉｎ ｌ ｎこ前庁７………ｍ 又ガラス板の厚さをｔとすると ｔ △ｙ＝交す？ｉｎ（ｉ−ｒ）………■ ここで△ｙとは第１図６で示されるｈ・ｔａｎｏを補正
するものであるから△ｙ＝ｈ・ねｎひ又はｔとｎは適当
なガラス板を選ぶことによって決まる。
従って‘１｝■式を計算すると入射角ｉ、即ち煩斜角が
求まる。このようにして必要な変位△ｙに対して、適当
なガラス板のｔ、ｎを選んで煩射角を調節すれば汎用性
をもたせることが出釆る。
求まる。このようにして必要な変位△ｙに対して、適当
なガラス板のｔ、ｎを選んで煩射角を調節すれば汎用性
をもたせることが出釆る。
又本発明において光線が２点を照射する場合、いずれか
１点についてはガラス面に対して垂直に入射するとした
が、これは垂直でなくてもよく、２点に対する光線の入
射角に差をつけるだけでよい。
１点についてはガラス面に対して垂直に入射するとした
が、これは垂直でなくてもよく、２点に対する光線の入
射角に差をつけるだけでよい。
又光を屈折させる煤質をガラス板としたが、他の透明な
媒質であってもよい。
媒質であってもよい。
第１図は従来の装置の図、第２図及び第３図はこの発明
に係る実施例の図、第４−１図、第４−２図はこの発明
の光学的作用の説明図である。 １……スポットライト、１′……ランプ、３，３′……
パターン、４……レンズ、５……ガラス板、７・・・・
・・回転機構、８，８′・…・・調整ねじ、９……ハー
フミラー、１０……ランプ、１１……ピン、１２……ベ
ース、１４……ばね、１５……ソレノィド、１６・・・
・・・可動片、１７・・・・・・ピン、１８・…・・接
眼レンズ。 第１図 第２図 第３図 第４図
に係る実施例の図、第４−１図、第４−２図はこの発明
の光学的作用の説明図である。 １……スポットライト、１′……ランプ、３，３′……
パターン、４……レンズ、５……ガラス板、７・・・・
・・回転機構、８，８′・…・・調整ねじ、９……ハー
フミラー、１０……ランプ、１１……ピン、１２……ベ
ース、１４……ばね、１５……ソレノィド、１６・・・
・・・可動片、１７・・・・・・ピン、１８・…・・接
眼レンズ。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 固定のピン１１にベース１２を枢支し、ベース１２
の中央部に設けた長孔にボンデイング点に従って制御さ
れるソレノイド１５の可動片１６端に固定したピン１７
を係合し、ベース１２の一端にガラス板５を固定し、ベ
ース１２の他端をばね１４により一方向に付勢してなる
ガラス５の回転機構７を設け、ボンデイング点のレベル
差によるスポツト位置ずれを補正するようにガラス板５
を、被照射物の面に対して斜め方向より照射するスポツ
トライトの光軸上に配置したることを特徴とするボンデ
イング点指示装置。 ２ 固定のピン１１にベース１２を枢支し、ベース１２
の中央部に設けた長孔にボンデイング点に従って制御さ
れるソレノイド１５の可動片１６端に固定したピン１７
を係合し、ベース１２の一端にガラス板５を固定し、ベ
ース１２の他端をばね１４により一方向に付勢してなる
ガラス５の回転機構７を設け、ボンデイング点のレベル
差によるスポツト位置ずれを補正するようにガラス板５
を、ハーフミラー９を介して被照射物の面に対して斜め
方向より照射するランプ１０の該ランプ１０とハーフミ
ラー９との間の光軸上に配置し、かつ、ハーフミラー９
と被照射物との間の光軸の延長線上に接眼レンズ１８を
配置したることを特徴とするボンデイング点指示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52101330A JPS604965B2 (ja) | 1977-08-24 | 1977-08-24 | ボンディング点指示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52101330A JPS604965B2 (ja) | 1977-08-24 | 1977-08-24 | ボンディング点指示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5434848A JPS5434848A (en) | 1979-03-14 |
| JPS604965B2 true JPS604965B2 (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=14297810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52101330A Expired JPS604965B2 (ja) | 1977-08-24 | 1977-08-24 | ボンディング点指示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604965B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920669A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-02-02 | Shinko Kikai Seisakusho:Kk | 印版ロ−ラへのゴム版の貼り付け位置合せ方法 |
-
1977
- 1977-08-24 JP JP52101330A patent/JPS604965B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5434848A (en) | 1979-03-14 |
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