JPS6052620U - 縦形気相成長装置のコイルカバ− - Google Patents
縦形気相成長装置のコイルカバ−Info
- Publication number
- JPS6052620U JPS6052620U JP14307383U JP14307383U JPS6052620U JP S6052620 U JPS6052620 U JP S6052620U JP 14307383 U JP14307383 U JP 14307383U JP 14307383 U JP14307383 U JP 14307383U JP S6052620 U JPS6052620 U JP S6052620U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase growth
- growth equipment
- vapor phase
- coil cover
- vertical vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の縦断面図、第２図および第３図は本考
案の一実施例を示し第２図は縦断面図、第３図は第２図
の３−３線断面図である。 １４・・・ウェハ、１５・・・サセプタ、２１・・・コ
イル、２２・・・カバー、３１・・・支承体。
案の一実施例を示し第２図は縦断面図、第３図は第２図
の３−３線断面図である。 １４・・・ウェハ、１５・・・サセプタ、２１・・・コ
イル、２２・・・カバー、３１・・・支承体。
Claims (1)
- ウェハを載置し上回転するサセプタの下方にありかつ誘
導加熱用のコイルを被っているカバーの上面に、前記サ
セプタ下面に対しその上面を僅かな隙間をもって設けた
複数の支承体を有する縦形気相成長装置のコイルカバー
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307383U JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307383U JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052620U true JPS6052620U (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=30319475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14307383U Pending JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052620U (ja) |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP14307383U patent/JPS6052620U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6052620U (ja) | 縦形気相成長装置のコイルカバ− | |
| JPS6038493U (ja) | 電磁誘導加熱調理器のトツププレ−ト | |
| JPS60174374U (ja) | 表示装置 | |
| JPS59144795U (ja) | 誘導加熱調理器 | |
| JPS5916995U (ja) | 薄肉金属るつぼを高周波誘導加熱するためのるつぼ支持台 | |
| JPS58120591U (ja) | ヒ−タ体の支持構造 | |
| JPS60124031U (ja) | 縦型炉 | |
| JPS5984843U (ja) | 半導体製造用キヤリアハンガ | |
| JPS5889236U (ja) | 回転テ−ブル | |
| JPS605116U (ja) | 気相成長用サセプタ | |
| JPS60146307U (ja) | 超電導コイルの支持構造 | |
| JPS5975612U (ja) | 調理台装置 | |
| JPS59150374U (ja) | 箸入れ | |
| JPS5980032U (ja) | 図柄を配図した畳表 | |
| JPS6027239U (ja) | 排気筒のドレン処理装置 | |
| JPS6089517U (ja) | ガスレンジ用五徳 | |
| JPS59187133U (ja) | 蒸着装置 | |
| JPS5970118U (ja) | 調理器 | |
| JPS59109133U (ja) | 赤外線加熱処理装置 | |
| JPS5927720U (ja) | 炊事用鍋 | |
| JPS6132077U (ja) | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ | |
| JPS5970335U (ja) | ウエ−ハの浸液容器 | |
| JPS599084U (ja) | 化学的気相成長装置 | |
| JPS59131120U (ja) | 誘導電器タンクの車輪取り付け構造 | |
| JPS6062557U (ja) | 金属製蓋材の支持装置 |