JPS6055977B2 - 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 - Google Patents
半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPS6055977B2 JPS6055977B2 JP14564078A JP14564078A JPS6055977B2 JP S6055977 B2 JPS6055977 B2 JP S6055977B2 JP 14564078 A JP14564078 A JP 14564078A JP 14564078 A JP14564078 A JP 14564078A JP S6055977 B2 JPS6055977 B2 JP S6055977B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- grain boundary
- laminate
- metal oxide
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は小型、大容量で製作の容易な、半導体粒界絶
縁型積層磁器コンデンサを製造する方法に関するもので
ある。
縁型積層磁器コンデンサを製造する方法に関するもので
ある。
近時電気機器の小型化に伴い、電子部品の小型化も強
く要望されておる。
く要望されておる。
積層磁器コンデンサは、小型で大容量が得られるものと
してこれまで汎用されている。しかしより大容量のもの
を要求される場合には、小型化にも限度がある。 一般
に半導体磁器コンデンサは、他のものと比較してその容
量値にきわめて大きなものが得られることが知られてい
る。
してこれまで汎用されている。しかしより大容量のもの
を要求される場合には、小型化にも限度がある。 一般
に半導体磁器コンデンサは、他のものと比較してその容
量値にきわめて大きなものが得られることが知られてい
る。
しかしこのものは、これまでいわゆる単板コンデンサと
してしか利用されていない。 本発明は上記の点に鑑み
てなされたものであつて、粒界絶縁型の半導体磁器を用
いる積層コンデンサの製造方法にかかるものである。
してしか利用されていない。 本発明は上記の点に鑑み
てなされたものであつて、粒界絶縁型の半導体磁器を用
いる積層コンデンサの製造方法にかかるものである。
先づ、本発明においては、第１図に示すように、チタン
酸バリウム系やチタン酸ストロンチウム系等の、一般に
粒界絶縁型コンデンサ用として用いられる磁器を、従来
の積層コンデンサを製造する場合と同様シート状１に形
成する。
酸バリウム系やチタン酸ストロンチウム系等の、一般に
粒界絶縁型コンデンサ用として用いられる磁器を、従来
の積層コンデンサを製造する場合と同様シート状１に形
成する。
この磁器シート１の一平面上に、まず銅、マンガン、ヒ
スマス等の粒界絶縁体化用金属酸化物５の層を付与し、
この金属酸化物５表面上に金、白金、パラジウム等の高
融点金属よりなる容量用電極２の層を重層させて付与す
る。
スマス等の粒界絶縁体化用金属酸化物５の層を付与し、
この金属酸化物５表面上に金、白金、パラジウム等の高
融点金属よりなる容量用電極２の層を重層させて付与す
る。
この容量用電極２は、磁器シート１の外周端から所定の
距離をもつてほぼ中央部に付与される。この場合前記金
属酸化物５の形状は特に任意であるが、容量用電極５と
同形状で重ね合わせておくと製造上好都合である。この
磁器シート１の一平面上には、前記容量用電極２を磁器
シート１の一側端に導出させるための引出電極３の層が
、その容量用電極２の一部と連続して付与される。この
引出電極３は、容量用電極２の付与と同時に、同じ材質
のもので形成しておくことが好ましい。なお金属酸化物
５と容量用電極２とは、必すしも金属酸化物５を下層に
しなければならない必要はなく、逆にしても同じ結果が
得られる。次にこのように構成された磁器シート１を複
数枚用意し、これらを前記引出電極３が交互に位置され
るように積み重ね、圧着し，て積層体４を形成する。こ
の積層体４を形成する具体的な手段は、従来周知の方法
で行なえばよい。次にこの積層体４を、１３５０〜１４
５０゜Ｃの中性あるいは還元性雰囲気中で焼成し、積層
体４を磁器化．するとともに、金属酸化物５を積層体の
結晶粒界に拡散させて絶縁層（図示せず）を形成し、さ
らに容量用電極２を焼付ける。
距離をもつてほぼ中央部に付与される。この場合前記金
属酸化物５の形状は特に任意であるが、容量用電極５と
同形状で重ね合わせておくと製造上好都合である。この
磁器シート１の一平面上には、前記容量用電極２を磁器
シート１の一側端に導出させるための引出電極３の層が
、その容量用電極２の一部と連続して付与される。この
引出電極３は、容量用電極２の付与と同時に、同じ材質
のもので形成しておくことが好ましい。なお金属酸化物
５と容量用電極２とは、必すしも金属酸化物５を下層に
しなければならない必要はなく、逆にしても同じ結果が
得られる。次にこのように構成された磁器シート１を複
数枚用意し、これらを前記引出電極３が交互に位置され
るように積み重ね、圧着し，て積層体４を形成する。こ
の積層体４を形成する具体的な手段は、従来周知の方法
で行なえばよい。次にこの積層体４を、１３５０〜１４
５０゜Ｃの中性あるいは還元性雰囲気中で焼成し、積層
体４を磁器化．するとともに、金属酸化物５を積層体の
結晶粒界に拡散させて絶縁層（図示せず）を形成し、さ
らに容量用電極２を焼付ける。
最後にこのように構成された積層体４の、前記引出電極
３が導出されている各側端面（およびそ！の近傍）に、
それぞれ外部接続用電極６を付与し、各容量用電極２と
導電接続させ、半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサを
得る。
３が導出されている各側端面（およびそ！の近傍）に、
それぞれ外部接続用電極６を付与し、各容量用電極２と
導電接続させ、半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサを
得る。
外部接続用電極６の付与手段としては、従来の場合と同
様、メッキ、焼付、接着等を用いればよい。本発明製造
方法により得られた積層磁器コンデンサはこのように構
成され、磁器の粒界に形成される絶縁層を誘電体とする
大容量のものが得られるのである。
様、メッキ、焼付、接着等を用いればよい。本発明製造
方法により得られた積層磁器コンデンサはこのように構
成され、磁器の粒界に形成される絶縁層を誘電体とする
大容量のものが得られるのである。
従つて小型化を可能な限り行なえ、セットの小型化によ
り適応できる。また本発明では、製造工程も従来のもの
とさほど変える必要はなく、さらに誘電損失や絶縁抵抗
、温度変化特゛閉等の電気的諸特性も、従来のものと殆
んど遜色がｌない。上述の例においては、積層体４の焼
成時に金属酸化物５を拡散させて粒界に絶縁層を形成し
たものを示したが、粒界への絶縁層形成をより安定なも
のとするため、積層体４の焼成とは別工程で行なつても
同様の結果が得られる。
り適応できる。また本発明では、製造工程も従来のもの
とさほど変える必要はなく、さらに誘電損失や絶縁抵抗
、温度変化特゛閉等の電気的諸特性も、従来のものと殆
んど遜色がｌない。上述の例においては、積層体４の焼
成時に金属酸化物５を拡散させて粒界に絶縁層を形成し
たものを示したが、粒界への絶縁層形成をより安定なも
のとするため、積層体４の焼成とは別工程で行なつても
同様の結果が得られる。
すなわち、磁器シート１を複数枚積み重ねて圧着して形
成した積層体４を、先づ１３５０〜１４５０℃の温度の
中性あるいは還元性雰囲気中て焼成し、積層体４を磁器
化する。この場合金属酸化物５は、積層体４の結晶粒界
中へ拡散される。その後焼成された積層体４を、１００
０〜１２５０℃の温度の中性あるいは酸化性雰囲気中で
熱処理して、粒界に拡散された金属酸化物５を安定な絶
縁層に形成するのである。この例におけるその余の工程
および手段は、先の例と同様でよいので、説明は省略す
る。またこの例によつて得られた積層磁器コンデンサの
電気的諸特性も、従来のものと殆んど遜色のないもので
あつた。なお本発明にかかる上記の各例についての説明
から容易に認識し得る程度のことは、当然本発明の範囲
に含まれるものであつて、本発明が上記記載のものに限
定されるものではないことを付言しておく。
成した積層体４を、先づ１３５０〜１４５０℃の温度の
中性あるいは還元性雰囲気中て焼成し、積層体４を磁器
化する。この場合金属酸化物５は、積層体４の結晶粒界
中へ拡散される。その後焼成された積層体４を、１００
０〜１２５０℃の温度の中性あるいは酸化性雰囲気中で
熱処理して、粒界に拡散された金属酸化物５を安定な絶
縁層に形成するのである。この例におけるその余の工程
および手段は、先の例と同様でよいので、説明は省略す
る。またこの例によつて得られた積層磁器コンデンサの
電気的諸特性も、従来のものと殆んど遜色のないもので
あつた。なお本発明にかかる上記の各例についての説明
から容易に認識し得る程度のことは、当然本発明の範囲
に含まれるものであつて、本発明が上記記載のものに限
定されるものではないことを付言しておく。
第１図は本発明を具体的に示すための図である。
１・・・・・・磁器シート、２・・・・・・容量用電極
、３・・・・・・引出電極、４・・・・・・積層体、５
・・・・・・金属酸化物、６・・・・・・外部接続用電
極。
、３・・・・・・引出電極、４・・・・・・積層体、５
・・・・・・金属酸化物、６・・・・・・外部接続用電
極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 磁器シートの一平面上に、高融点金属よりなる容量
用電極層と、この容量用電極層に連続し、この容量用電
極層を前記磁器シートの一側端に導出させる引出電極層
と、前記容量用電極層と重畳させた粒界絶縁体化用金属
酸化物層を形成し、この磁器シートを複数枚、前記引出
電極層が交互になるように積み重ねて圧着して積層体を
形成し、この積層体を中性あるいは酸化性雰囲気中で焼
成し、この焼成によつて積層体の磁器化と積層体の結晶
粒界への絶縁層の形成とを同時に行ない、その後前記引
出電極層の各導出端面に外部接続用電極を付与してなる
ことを特徴とする半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサ
の製造方法。 ２ 磁器シートの一平面上に、重畳して付与される高融
点金属よりなる容量用電極層と粒界絶縁体化用金属酸化
物層は、金属酸化物層が下層となるように付与されてい
ることを特徴とする、特許請求の範囲第１項記載の半導
体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法。 ３ 磁器シートの一平面上に、高融点金属よりなる容量
用電極層と、この容量用電極層に連続し、この容量用電
極層を前記磁器シートの一側端に導出させる引出電極層
と、前記容量用電極層と重畳させた粒界絶縁体化用金属
酸化物層を形成し、この磁器シートを複数枚、前記引出
電極層が交互になるように積み重ねて圧着して積層体を
形成し、この積層体を中性あるいは還元性雰囲気中で焼
成した後、中性あるいは酸化性雰囲気中で熱処理して結
晶粒界の絶縁層を安定に形成し、その後前記引出電極層
の各導出端面に外部接続用電極を付与してなることを特
徴とする半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方
法。 ４ 磁器シートの一平面上に重畳して付与される高融点
金属よりなる容量用電極層と粒界絶縁体化用金属酸化物
層は、金属酸化物層が下層となるように付与されている
ことを特徴とする、特許請求の範囲第３項記載の半導体
粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14564078A JPS6055977B2 (ja) | 1978-11-24 | 1978-11-24 | 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14564078A JPS6055977B2 (ja) | 1978-11-24 | 1978-11-24 | 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5572024A JPS5572024A (en) | 1980-05-30 |
| JPS6055977B2 true JPS6055977B2 (ja) | 1985-12-07 |
Family
ID=15389678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14564078A Expired JPS6055977B2 (ja) | 1978-11-24 | 1978-11-24 | 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055977B2 (ja) |
-
1978
- 1978-11-24 JP JP14564078A patent/JPS6055977B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5572024A (en) | 1980-05-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4322698A (en) | Laminated electronic parts and process for making the same | |
| JP5483498B2 (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
| JP7081550B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP2012253338A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP4428852B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JP2020027928A (ja) | 積層セラミックキャパシタ及びその製造方法 | |
| JPH104027A (ja) | 積層型電子部品 | |
| JP3359522B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
| JPS5923458B2 (ja) | 複合部品 | |
| JP2000216046A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JPS6129133B2 (ja) | ||
| JPS6055976B2 (ja) | 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 | |
| JP3706503B2 (ja) | 積層型電子部品 | |
| JPS6055977B2 (ja) | 半導体粒界絶縁型積層磁器コンデンサの製造方法 | |
| JPH07263272A (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
| JP2000252537A (ja) | 積層型圧電セラミック | |
| JP2000077260A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
| JP2002110451A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JP2004259735A (ja) | 複合電子部品 | |
| JP2002231570A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JP2646573B2 (ja) | 半導体積層コンデンサの製造方法 | |
| JPH08273970A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JPS6029214B2 (ja) | 積層コンデンサの製造方法 | |
| JPS59193015A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JPS6226565B2 (ja) |