JPS6057123U - 半導体用プロセスチュ−ブ - Google Patents

半導体用プロセスチュ−ブ

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Publication number
JPS6057123U
JPS6057123U JP14883183U JP14883183U JPS6057123U JP S6057123 U JPS6057123 U JP S6057123U JP 14883183 U JP14883183 U JP 14883183U JP 14883183 U JP14883183 U JP 14883183U JP S6057123 U JPS6057123 U JP S6057123U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
process tube
semiconductors
tube
lid provided
protrusion
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Pending
Application number
JP14883183U
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English (en)
Inventor
古屋　明雪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS6057123U publication Critical patent/JPS6057123U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、はウェーハに熱処理を施す装置を説明するため
の断面図、第２図および第３図はいずれも夫々が従来の
プロセスチューブを説明するためのユ部を示す断面図、
第４図および第５図はいずれも夫々がこの考案の実施例
のプロセスチューブを説明するための一部を示す断面図
である。 １１．２１・・・プロセスチューブ、２，２・・・ウェ
ーハ、３・・・ウェーハ支持治具、４・・・ふた体、５
ａ・・・ガス導入管（ガス導入手段）、１０．２１ｂ・
・・突起部、１２．２２・・・固定部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 耐熱材でなるプロセスチューブと、半導体ウェーハを戚
    せたウェーハ支持治具を前記チューブ内を滑らせて装脱
    させるため前記プロセスチューブの一方の開端に設けら
    れたふた体と、前記プロセスチューブ内の雰囲気を形成
    するガス導入手段と、前記プロセスチューブの外周面に
    その一部を隆起し形成された突起部とを備え、前記突起
    部を外部の固定機構に係止した半導体用プロセスチュー
    ブ。
JP14883183U 1983-09-28 1983-09-28 半導体用プロセスチュ−ブ Pending JPS6057123U (ja)

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JP14883183U JPS6057123U (ja) 1983-09-28 1983-09-28 半導体用プロセスチュ−ブ

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JP14883183U JPS6057123U (ja) 1983-09-28 1983-09-28 半導体用プロセスチュ−ブ

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Publication Number Publication Date
JPS6057123U true JPS6057123U (ja) 1985-04-20

Family

ID=30330550

Family Applications (1)

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JP14883183U Pending JPS6057123U (ja) 1983-09-28 1983-09-28 半導体用プロセスチュ−ブ

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5433955A (en) * 1977-08-23 1979-03-13 Komatsu Ltd Hydraulic power transmission system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5433955A (en) * 1977-08-23 1979-03-13 Komatsu Ltd Hydraulic power transmission system

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