JPS64329U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64329U JPS64329U JP9422987U JP9422987U JPS64329U JP S64329 U JPS64329 U JP S64329U JP 9422987 U JP9422987 U JP 9422987U JP 9422987 U JP9422987 U JP 9422987U JP S64329 U JPS64329 U JP S64329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- reaction tube
- elevator
- vertical
- vertical diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案装置の一実施例の構成を示す説
明用斜視図、第２図は本考案の主要部を示す断面
図、第３図ａ，ｂはそれぞれ従来装置の一例を反
応管内にボートを挿入した状態及びボートを取り
出した状態を示す斜視図である。 １……反応管、２……ウエーハ、３……ボート
、４……エレベータ、５……炉口扉、６……回転
アーム。
明用斜視図、第２図は本考案の主要部を示す断面
図、第３図ａ，ｂはそれぞれ従来装置の一例を反
応管内にボートを挿入した状態及びボートを取り
出した状態を示す斜視図である。 １……反応管、２……ウエーハ、３……ボート
、４……エレベータ、５……炉口扉、６……回転
アーム。
Claims (1)
- 縦型管状ヒータ内に設けられた反応管と、半導
体ウエーハ等を保持するためのボートと、このボ
ートを反応管内に挿入、取出しするためのエレベ
ータとにより構成される縦型拡散・ＣＶＤ装置に
おいて、ボートの取出し時（エレベータの下降時
）に、反応管開口部を閉じる炉口扉を回転アーム
に支持せしめてなる縦型拡散・ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9422987U JPS64329U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9422987U JPS64329U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64329U true JPS64329U (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=30957486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9422987U Pending JPS64329U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS64329U (ja) |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP9422987U patent/JPS64329U/ja active Pending