JPS6057301A - 一眼レフレツクスカメラのハ−フミラ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、−眼レフレックスカメラにおいて、撮影レン
ズを分割し、反則光をファインダ光学系に透過光を焦点
検出用もしくはスポット測光用などの受光素子に導くハ
ーフミラ−に関する。

従来技術 従来、第１図図示のように、撮影レンズ（ＴＬ）ひアイ
ピース（Ｅｌｌ）を有するファインダ光学系に導くとと
もに、透過光を副ミラー（ＳＭ）で反射させて焦点検出
用受光素子（ＬＲ）に尋く一眼レフレックスカメラは知
られている。しかしなから、このような従来装置におい
ては、ハーフミラ−（Ｉ−ＩＭ）は全面にわたって光半
透過膜か蒸着されているのに列し、焦点検出用受光素子
（ＬＲ）か副ミラー（央部のみてあり、それ以外の周辺
部を透過した光は伺ら有効には用いられない。逆に、ハ
ーフミラ−（１１Ｍ）の周辺部を透過した光かミラーボ
ックスの内部で反射されて受光素子（’ＬＲ）に入Ｉ・
Ｊさせられると、焦点を誤検出してしまう腺因となり好
ましくない。また、ファインダ像が全体に暗くなってし
まうという欠点もある。尚、このような欠点は、ハーフ
ミラ−（ＩＩＭ）を透過した光を焦点検出用の受光素子
（ＬＲ）に導（場合にのみ生しるものではなく、スポッ
ト測光用や比較的感度分布の狭い中央重点測光用の受光
素子に導く場合にも生じる。

目　的 本発明は、上述の如き従来装置の欠点を解消し、撮影レ
ンズ透過光をファインダ用尺４＝Ｊ光と受光素子用透過
光とに分割する一眼レフレックスカメラにより適したハ
ーフミラ−を提供することを目的とするものである。

発明の要旨 上記目的を達成する為に、本発明は、ます、）八−フミ
ラー上の周辺部の反則率を」二けるとともに透過率をほ
ぼゼロにしてファインダ像を明るくするとともに受光素
子への有害光をな（ず為に、周辺部にのみ金属膜を用い
る。そして、その上に中央部及び周辺部の全面にわたっ
て高屈折率誘電体膜及び低屈折率誘電体膜の二層からな
る増反射膜を配置して更に周辺部の反射率を上けるとと
もに金属膜を保護する。史に、金属膜と基板との間に少
なくとも金属層゛に隣接する高屈折率誘電体膜を配置し
て、金属膜の基板に対する付着力の弱さを向上させ、か
つ、中央部においては該高屈折率誘電体膜と上記増反射
膜とでほぼ反射率も透過率も５０％で吸収のほとんどな
い光半透過膜を構成し、撮影レンズを透過した光を効率
良くファインダ光学系及び受光素子に導くことができる
上に、耐久性に優れ製造も容易であり、従って、上述の
如き一眼レフレックスカメラに適したハーフミラ−を得
ることを特徴とするものである。

実施例 以下、図面に基ついて本発明の実施例をその比較例とと
もに詳細に説明する。

実施例１ 第２図（ａ）　（ｂ）は実施例１のハーフミラ−の正面
図及びｌｌｌｌｒ面図である。゛第２図＠、）において
、（へ）はそこを透過する光が受光素子（Ｉ、ｋ）に等
かれる中央部であり、Φ）は周辺部である。中央部（ホ
）はハーフミラ−が光軸凶）に対して４５°傾けて用い
られることを鑑みて、撮影レンズ（′１”Ｌ）上への射
影が円となるように上下方向に長い楕円形状とされてい
る。

本実施例は、第２図（ｂ）に図示されたように、空気側
から透明基板０側へ順に、透明基板ｐ）よりも屈折率の
高い誘電体ＱＩｌからなる第１誘電体層（１）、透明基
板←）よりも屈折率の低い誘電体σ、）からなる第２誘
電体層（１１）、アルミニウムからなる金属層（ＡＬ）
高屈折率誘電体σカからなる第３誘電層Ｃｌ１１）、低
屈折率誘電体（Ｌ）からなる第４誘電体層（ＩＶ）及び
高屈折率誘電体ｔｒ＋からなる第５誘電体層（Ｖ）の誘
電体５層積層十金属膜からなる光半透過膜を有する。金
属層（ＡＩ）は周辺部（Ｂ）にのみ形成されており、第
１〜第５誘電体層（Ｉ）〜（Ｄはそれぞれ中央部（Ａ）
及び周辺部（Ｂ）の全面に形成されている。

本実施例の膜構成を第１表に示す。

本実施例において、高屈折率誘電体σカはＺｒ０ｚであ
り、低屈折率誘電体（］−）はＭｇＦｚである。Ａ０は
可視波長域内（４００〜７　（１０ｎｍ）で選択された
設計波長で、本実施例では５５０ｎｍである。

本実施例は、基板０の表面にますＺｒ０ｚを全面に０．
５５λ０となるまて真空蒸着し、その」二にＭｇＦ２を
０１４Ａ０真空蒸着し、史にＺｒ０ｚを０．３３！◎真
空蒸着し、中央部（５）にマスクを置いてＡ１を反射率
か約９０％となるまで数］Ｑｎｍ程度真空蒸着し、マス
クを取り除いた後に全面に、ＭｇＪ・２と、ＺｒＯ２と
をそれぞれ０．２５λ０となるまで真空蒸着することに
よって製造される。

本実施例の中央部（Ａ）及び周辺部（１３）における入
射角４５°の光に対する分光反射率特性を第３図にそれ
ぞれＡ及びＢで示す。

尚、分光反射率特性の比較の為に、第１〜第５誘電体層
（’Ｉ）〜（Ｖ）の間ではなく第１層（１）の」二に周
辺部にのみＡ１を設けたものを比較例１として示す。

比較例１ 本比較例１の膜構成を第４図の断面図及び第２表に゛示
し、その中央部（ハ））及び周辺部（１３）における→
射角４５°の光に対する分光反射率特性を第５図に示す
。

第２表 （、＋ｏ　＝５５０ｎｍＪ 実施例工に依れは、第３図から明らかなように、中央部
（Ａ）においても周辺部（Ｂ）においても可視波長域内
でほぼ５０％、９５％のフラットな反射率を得ることか
でき、ファインダ像の色つきも生じない」二に、第３図
と第５図とを比較すると明らかなように、実施例】の方
か周辺部（Ｉ３）における反射率か可視波長域全体にわ
たって高いのでファインダ像をより明るくすることかで
きる。更に、比較例Ｊでは、金属層（Ａ１）か外部に露
呈するので傷が伺きやすく耐久性が悪いか、実施例１て
は、金属層（Ａｌ）の」二を強固なＭｇｌ’ｚ及びＺ　
ｒＯ，ｚておおうので耐久性も良い。また、第６図のよ
うに、基板０」二にまず周辺部（Ｂ）のみにＡ１を蒸着
し、その」二に全面にわたって比較例Ｊの膜構成の誘電
体多層膜（Ｉ）〜（Ｖ）を蒸着する比較例２も考えられ
る。この場合、中央部（〜における分光反射率特性は比
較例１と同しであるので省略し、周辺部ＱＳ）における
入射角４５゜の光に対する分光反射率特性を第７図に示
す。第７図から明らかなように、比較例２では分光特性
かフラットな帯域が狭くなってＯＪ視波長全域を包括す
ることができなくなる。これに対し、実施例１では、第
３図図示のように、可視波長全域にわたってフラットな
特性が得られる。更に比較例２ては、Ａ’ｌが直接カラ
スからなる基板←）に蒸着されるが、Ａ１のガラスに対
する付着力か弱いので膜かはがれたりすることかある。

これに対し、実施例１ては、Ａｌとガラスとの間にガラ
スに対する付着力も（Ａ１の付着力も）良好な誘電体か
介在するので、比較例２に比へて耐久性か良い。

尚、第８図図示のように、実施例１の基板←）の裏面に
おける反射によって中央部＜Ａ）を透過した光か有害光
となって受光素子に受光されることのないように、基板
←）の裏面に反射防止膜（＋匂を設けても良い。

反射防止膜Ｑ勺の膜構成を第３表に示す。

（ＩＯ＝ｂ　６ｆｌｎｍｌ 本反射防止膜（６）において、第１層（１）はＭｇＦｉ
がらなり、第２層（２）はＺｒ０ｚからなる。第３層は
、第１層（１）と第２層（２）との中間の屈折率を有す
る誘電体（ロ）からなり、本実施例ではＡｌ２Ｏ８が用
いられている。尚、本例において、反則防止膜但）は基
板□の表面の中央部（／Ｘ）を透過した光が入円する領
域に設けられておれは良く、裏面の全面に設ける必要は
ない。本例を製造する場合、第３〜５誘電体層（ＩＩＩ
）　（Ｖ：Ｘ７）真空ａｓ、Ａ　１（７）　真空蒸ｋ、
？　１　、２　Ｍ電体層（１）〜（ＩＪ）の真空蒸着及
び第１〜３層（１）〜（３）の真空蒸扁の計４回の真空
蒸着作業を要するが、基板０の反転装置を設けるが基板
０）の表裏両面を同時に真空蒸着できるようにずれは、
作業を簡単化できる。

実施例２ 本実施例は、第２表に示す比較例Ｊの各層の膜厚を変え
ることなく、金属層（Ａ１）を第２誘電体層（ＩＪ）と
第３誘電体層ＣＩＩＩ）との間の周辺部（Ｍ２）のみに
配したものである。その膜構成を第４表に示す。

（λ０−０−５５０ｎ 本実施例の入射角／１５°の光に苅する分光反１．１．
Ｊ率特性は第９図に示されるように、中央部も周辺部も
フラットであり、実施例１とはとんとかわりかない。本
実施例によれは、金属１ｉｔ（Ａｌ）が表面に露呈しな
いので比較例１に比へて物理的耐久性が向上する」−に
、金属層（Ａ１月−の第１・２誘電体層（１）（ＩＪ）
か増反射膜となるので比較例１に比へてて周辺部（ｋｉ
２）の反射率を」二けることができる。

更に、本実施例によれは、誘電体層は５層積層されるか
、光学的ＩＮＫ厚は０．２８ハとｏ１２５λ０と０）　
２　Ｕｌｉであり０．５６λ０は０．２８ハの２倍であ
るので、４種の光学的膜厚を要する実施例１に比べて真
空蒸着が容易である。

実施例３ 本実施例は、実施例１の各誘電体層（１）〜（１’）の
光学的膜厚を変えたものであり、その膜構成を第５表に
示す。

（λＯ−０−５５０ｎ 本実施例の分光反射率特性は実施例１とほぼ同しである
ので省略する。

実施例４ 本実施例は、誘電体３層膜に金属膜を組合せたものであ
り、その断面図を第１０図に示す。本実施例は、本発明
のベースとなる最もシンプルな膜４’ｔ６成を有してい
る。第１０図から明らかなように、不実、′施□例は、
空気側から透明基板←）側へ順に、高屈折率誘電体（１
１）か全面に設けられたｍＩ誘電体層（ｉ）、低屈折率
誘電体（ｉ−）が全Ｈ７ｔに設けられた第２誘電体層（
ＩＩ）、Ａ１か周辺部（Ｂ）のみに設けられた金属層（
Ａ１）及び高屈折率誘電体ｑりか全１ｎ１に設りられた
第３誘電体層（ＩＩＩ）の誘電体３層＋金属層の膜構成
を冶する。

本実施例の具体的数値を第６表に示す。本実施例におい
ても高屈折率誘電体σＤは１ｒ０２てあり、低屈折率誘
電体σ−）はＭｇ＋・２からなる。

（”＝ｂｂ（Ｊｎｍ〕 本実施例は、実施例１とほぼ同様に製造される。

本実施例の中央部い）における入射角４５°の光に対す
る分光反射率特性を第１１図にＸて示す。

実施例５ 本実施例は、上記実施例４の第３誘電体層（１１）の光
学的膜厚５を０．５０λ０に変えたものである。その具
体的膜構成を第７表に示し、中央部（Ａ）における入Ｉ
・ｊ角４５°の光に対する分光反射率特性を第１１１Ｕ
ＨこＹて示す。

（λＯ＝　５　ｓ　ｏｎｍ） 実施例６ 本実施例は、誘電体８層膜と金属膜とを組合せて、中央
部の反射率を上げたものであり、その断面図を第１２図
に、その具体的膜構成を第８表に示す。本実施例も、高
屈折率誘電体り１）はＺ’ｒＯ２とｌ−１０２との混合
物からなり、低屈折率誘電体建）はＭｇＦ２からなる。

本実施例の中央部い）における入ＩＪ、１角４５°のつ
覧に対する分光反射率特性を第Ｈ図にＺて示す。

尚、実施例４〜６において周辺部（Ｉｓ）　ｉこおける
分光反射率特性は、実施例１とほぼ同しであるので省略
する。

以上のように、第３誘電体層（＋１１）と基板０との間
に介在される誘電体層の層数を変えたり、第１〜３誘電
体層（１）〜（ＩＩＩ）も含めた誘電体層の膜厚を変え
たりすることによって、可視波長域に対する平均的な反
射率を変えたり、分光箱外を変えたりすることかできる
。実施例４・５を比較すると明らかなように、同一の膜
構成でも第３誘電体層（川）の厚い実施例５の方か第１
１図にＹで小されるように、可視波長域の長波長端及び
短波長端における反ｆＡ＝１率の低下を改良し、分光反
射率動性をよりフラットにすることができる。史に、実
施例６のように誘電体８層膜を用いれは、ｉ’＋Ｊ視波
長域内の平均的な反射率を約７０％まて」二けることか
てきる。ここて、実施例４の該反射率は約４５％、実施
例５のそれは約３７％である。

従って、受光素子へ入射される光量を多くする場合には
実施例４または５を用い、ファインダ像上記実施例にお
いて金属層（Ａ１）のＩＩｕ厚については記載されてい
なかったか、周辺部０１）における透過率は１％以下程
度に抑える必要かあり、この為に、Ａ１は約４Ｑｎｍ以
上を必要とする。（Ｂし、Ａｌに代えてＡｇも適用可能
であり、この場合は約６０ｎｍ以上の膜厚を要する。更
に、高屈折率誘電体（ＩＩ）としてはＺｒＯ２ノほかに
、ＺｒＯ２ど１１０２との混合物、ＴｉＯ２単体、Ｃｅ
Ｏ２，ＺｎＳなどが適用ｉｊｆ能であり、低屈折率誘電
体（シ）としてはＭｇｌ・２のほかに５１０２か通用て
きる。

尚、第２図（ａ）においては、中央部い）の反射率か約
５０％であるのに対し、周辺部（均の反則率は９０％を
越えるので、ファインダ像においてこの反則率差か１」
立つ場合か考えられる。これを改善する為には、第１３
図の正面図に示すように、中央部Ｑ＼）から半径方向に
徐々に透過部の面積か識少するよう多数のドツト（１）
）を設けて、このドラｌ−（１））に八ｑ、ｊする光は
透過されるように構成すれは良い。この場合、ドラ）　
（］））自体が視認されることのないようドツトＱ】の
代わりにスリットでも良く、金属膜（ＡＩ）の端面を徐
々にうす（して行き反１．Ｉ−Ｊ率差か目立たないよう
にずれば良い。

効　果 以上のように、本発明は撮影レンズ透過光を分割して反
射光をファインダ光学系に透過光を受光素子にそれぞれ
導く一眼レフレックスカメラのハーフミラ−において、
空気側から透明基板側へ順に、透明基板よりも屈折率の
高い誘電体か全面に蒸着された第１誘電体層、透明基板
よりも屈折率の低い誘電体が全面に蒸着された第２誘電
体層、金属が受光素子に光を桿く為の中央部を除いた周
辺部にのみ蒸着された金属層、及び透明基板よりも屈折
率の高い誘電体が全面に蒸着された第３誘電体層を少な
くとも有することを特徴とするものであり、このように
構成することによって、透過光を必要としない周辺部に
おいてはほぼ９５％以上の分光特性のフラットな反射率
を得ることかでき、一方、中央部においてもほぼフラッ
トな分光反射率特性を得ることができ、かつ、中央部は
誘電体多層膜からなるのて吸収はほとんとセロてあり入
射光を効率良く受光素子に導くことかできる。

更に、金属層は誘電体層によっておおわれて外部に露呈
しないのて金属層に傷がつくことかない−にに、金属層
と透明基板との間には誘電体層が介在するので、金属層
の透明基板に対する台１着力の弱さによる膜のはかれも
生じず、物理的かつ化学的耐久性に優れる。

史に、実施態様のように、第３誘電体層と透明基板との
間に誘電体層を介在させることによって中央部の反射率
を」二け、ファインダ像を史に見やす（することかでき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一眼レフレックスカメラの断面図
、第２図（２））（ｂ）は実施例１のハーフミラ−の正
面図及、・ひ断面図、第３図はその分光反Ｉ・Ｊ率勧性
を示すグラフ、第４図及び第５図は比較例１の…「面図
及びその分光反射率特性を示すグラフ、第６図及び第７
図は比較例２の断面図及びその分光反射率特性を示すグ
ラフ、第８図は実施例】の変形例の断面図、第９図は実
施例２の分光反射率特性を示すグラフ第１．０．１２図
は実施例４，６の断面図、第１１図は実施例４〜６の分
光反射率特性を示すグラフ、第１３図はハーフミラ−の
変形例を示す正面図である。 （ＴＬ）；撮影レンズ、（Ｉ（Ｍ）；ノ入−フミラー。 （＋”　＋１　）　（１）　Ｉ）　）　（］ζＰ）：フ
ァインダ光学系、（Ｌｌす；受光素子、（１）；第１誘
電体層、（１，１）；第２誘電体層、（［１）；第３誘
電体層、（Ａｌ）；金属層、０；透明基板。 以上 出願人　ミノルタカメラ株式会社 第ｑ図 液　長 第１Ｏ図 筋ノ３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　撮影レンズ透過光を分割して反射光をファインダ
   光学系に透過光を受光素子にそれぞれ導く一眼レフレッ
   クスカメラのハーフミラ−において、空気側から透明基
   板側へ順に透明基板よりも屈折率の高い誘電体が全面に
   蒸着された第１誘電体層、透明基板よりも屈折率の低い
   誘電体か全面に蒸着された第２誘電体層、金属が受光素
   子に光を導く為の中央部を除いた周辺部にのみ蒸着され
   た金属層、及び透明基板よりも屈折率の高い誘電体か全
   面に蒸着された第３誘電体層を少なくとも有することを
   特徴とする一眼レフレックスカメラのハーフミラ−６ ２、更に、第３誘電体層と透明基板との間に、第３誘電
   体ｊ輪側から透明基板側へ順に、透明基板トハＬ届に羞
   ミのＩＩＣ＋、ｚ球宙Ｉ十ぜ１噸△ｉｉ　ｒｒ　４ε羊
   吉飴ナ一笛４誘電体層と、透明基板よりも高い屈折率を
   有する誘電体が全面に蒸着された第５誘電体層とを有す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の一眼レ
   フレックスカメラのハーフミラ−０／ ６、　更に、第５誘電体層と透明基板との間に第５誘電
   体層側から透明基板側へ順に、透明基板よりも屈折率の
   低い誘電体が全面に蒸着された第６誘電体層、透明基板
   よりも屈折率の高い誘電体が全面に蒸着された第７誘電
   体層と、透明基板よりも屈折率の低い誘電体が全面に蒸
   着された第８誘電体層とを有することを特徴とする特許
   請求の範［１１（第２　項記載の一眼レフレックスカメ
   ラのハーフミラ−０