JPS6059251B2 - 連続式真空処理装置 - Google Patents
連続式真空処理装置Info
- Publication number
- JPS6059251B2 JPS6059251B2 JP56080898A JP8089881A JPS6059251B2 JP S6059251 B2 JPS6059251 B2 JP S6059251B2 JP 56080898 A JP56080898 A JP 56080898A JP 8089881 A JP8089881 A JP 8089881A JP S6059251 B2 JPS6059251 B2 JP S6059251B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- ripple
- vacuum processing
- preliminary
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0089—Sealing devices placed between articles and treatment installations during moulding or shaping, e.g. sealing off the entrance or exit of ovens or irradiation rooms, connections between rooms at different pressures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
Landscapes
- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はプラスチック成形品たとえば、塩化ビニール系
樹脂フィルムを連続的に真空状態でプラズマ処理する連
続式真空処理装置に関するものであり、プラスチック成
形品とは、プラスチックフィルム、プラスチックシート
あるいはプラスチック被覆電線などを指す。
樹脂フィルムを連続的に真空状態でプラズマ処理する連
続式真空処理装置に関するものであり、プラスチック成
形品とは、プラスチックフィルム、プラスチックシート
あるいはプラスチック被覆電線などを指す。
最近、真空処理室の前後に予備真空室を配置し、段階的
に真空圧力を下けて被処理物を連続的に表面処理する装
置が開発されている。
に真空圧力を下けて被処理物を連続的に表面処理する装
置が開発されている。
この予備真空室は、上下方向に対接し、被処理物の搬送
方向に並置する一対のシールロールと、このシールロー
ルの一部に軸方向に沿つて連続的に対接するリップル部
材などを備えている。
方向に並置する一対のシールロールと、このシールロー
ルの一部に軸方向に沿つて連続的に対接するリップル部
材などを備えている。
ところで、前記リップル部材は、大気側と真空側の圧力
差によりシールロールに押しつけられるように配設して
いるため、特に大気側の予備真空室てはその引力差が真
空処理室側の予備真空室の圧力差に比較して大きいため
、シールロールの駆動トルクが非常に大きく、そのため
に発熱も大きくなり、その結果、シールロールとリップ
ル部材の摩耗が大となる。〔発明の目的〕 本発明は上記の点に鑑み、シールロールおよびリップル
部材の耐久性の向上を図ることを目的とノする。
差によりシールロールに押しつけられるように配設して
いるため、特に大気側の予備真空室てはその引力差が真
空処理室側の予備真空室の圧力差に比較して大きいため
、シールロールの駆動トルクが非常に大きく、そのため
に発熱も大きくなり、その結果、シールロールとリップ
ル部材の摩耗が大となる。〔発明の目的〕 本発明は上記の点に鑑み、シールロールおよびリップル
部材の耐久性の向上を図ることを目的とノする。
本発明は上記の目的を達成するために被処理物を連続的
に処理する真空処理室およびこの真空処理室の前後に予
備真空室とを備え、この予備真空室を、被処理物の搬送
方向に複数組配置した一対のシールロールと、これらの
シールロールの軸方向に沿つて対接するリップル部材と
、前記シールロールの端面をシールするサイドピースと
から構成し、前記リップル部材を、大気側と真空側の圧
力差によりシールロールから離れるように配設したこと
を特徴とするものである。
に処理する真空処理室およびこの真空処理室の前後に予
備真空室とを備え、この予備真空室を、被処理物の搬送
方向に複数組配置した一対のシールロールと、これらの
シールロールの軸方向に沿つて対接するリップル部材と
、前記シールロールの端面をシールするサイドピースと
から構成し、前記リップル部材を、大気側と真空側の圧
力差によりシールロールから離れるように配設したこと
を特徴とするものである。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図および第２図において、１はプラスチックフィル
ム例えば塩化ビニール系樹脂フィルムのように可撓性の
被処理物Ｆを真空状態て連続的にプラズマ処理する真空
処理室、２は真空処理室１の前方側に複数個配置される
予備真空室、３は真空処理室１の後方側に複数個配置さ
れる予備真空室で、前記真空処理室１内はこれに接続す
る真空ポンプ４により１０−２トール程度の真空圧力に
保持するように排気管５を介して真空排気される。前記
予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポンプ６によ
り前記真空処理室１内の真空圧力より若干高く、かつ大
気圧より段階的に減じる真空圧力に保持するように排気
管７を介して真空排気される。処理される被処理物Ｆは
巻出装置８より前方側の予備真空室２を経て真空処理室
１へ送られ、そこでプラズマ処理された後、さらに後方
側の予備真空室３を経て巻取装置９て巻取られる。
ム例えば塩化ビニール系樹脂フィルムのように可撓性の
被処理物Ｆを真空状態て連続的にプラズマ処理する真空
処理室、２は真空処理室１の前方側に複数個配置される
予備真空室、３は真空処理室１の後方側に複数個配置さ
れる予備真空室で、前記真空処理室１内はこれに接続す
る真空ポンプ４により１０−２トール程度の真空圧力に
保持するように排気管５を介して真空排気される。前記
予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポンプ６によ
り前記真空処理室１内の真空圧力より若干高く、かつ大
気圧より段階的に減じる真空圧力に保持するように排気
管７を介して真空排気される。処理される被処理物Ｆは
巻出装置８より前方側の予備真空室２を経て真空処理室
１へ送られ、そこでプラズマ処理された後、さらに後方
側の予備真空室３を経て巻取装置９て巻取られる。
１０は駆動用モータて、この駆動用モータ１０はライン
シャフト１１および無段変速機１２，１３，１４，１５
を介して真空処理室１、予備真空室２，３、巻取装置９
へ駆動力を伝達し、真空処理室１、予備真空室２，３お
よび巻取装置９の各駆動係の回転速度は前記無段変速機
１２，１３，１４，１５により適宜調整される。
シャフト１１および無段変速機１２，１３，１４，１５
を介して真空処理室１、予備真空室２，３、巻取装置９
へ駆動力を伝達し、真空処理室１、予備真空室２，３お
よび巻取装置９の各駆動係の回転速度は前記無段変速機
１２，１３，１４，１５により適宜調整される。
前記前方および後方予備真空室２，３は第３図および第
４図に示す如く、上下一対のシールロール１６，１７、
上下ケース１８，１９および上下リップル部材２０，２
１などから構成されてお・り、以下にその詳細を説明す
る。
４図に示す如く、上下一対のシールロール１６，１７、
上下ケース１８，１９および上下リップル部材２０，２
１などから構成されてお・り、以下にその詳細を説明す
る。
第３図および第４図において、予備真空室（第１図の一
番左側又は右側の予備真空室）の大気側の上下一対のシ
ールロール１６，１７は金属たとえば鉄から成つており
、一方の上シールロール１６の表面全周には弾性体たと
えばニトリル、ゴム、シリコンゴムあるいはウレタンゴ
ムなどのゴムが装着されている。
番左側又は右側の予備真空室）の大気側の上下一対のシ
ールロール１６，１７は金属たとえば鉄から成つており
、一方の上シールロール１６の表面全周には弾性体たと
えばニトリル、ゴム、シリコンゴムあるいはウレタンゴ
ムなどのゴムが装着されている。
２０は上ケース１８に固定され、かつ上シールロール１
６の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するリッ
プル部材で、このリップル部材２０はウレタンゴムなど
のような耐摩耗性の大なるものを使用する。
６の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するリッ
プル部材で、このリップル部材２０はウレタンゴムなど
のような耐摩耗性の大なるものを使用する。
２１は下ケース１９に固定され、かつ下シールロール１
７の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するリッ
プル部材で、このリップル部材２１も上記リップル部材
２０と同様にウレタンゴムなどを使用する。
７の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するリッ
プル部材で、このリップル部材２１も上記リップル部材
２０と同様にウレタンゴムなどを使用する。
これらリップル部材２０，２１の断面形状は第５図に示
す如く上下シールロール１６，１７と対接する先端側が
弾力性を有するように折れ曲つている。そして、リップ
ル部材２０，２１は第６図に示す如く予備真空室の大気
側と真空側の圧力差によつてシールロール１６，１７か
ら離れるように予備真空室２と予備真空室３および上下
のシールロール１６，１７では逆方向に取付けられてい
る。第６図において、大気側の圧力をＡ１真空側の圧力
をＢ１大気側と真空側の中間の圧力をＣとすると、予備
真空室２の大気側ては圧力Ａが圧力Ｃより高くなるため
、リップル部材２０またはリップル部材２１は、上下シ
ールロール１６，１７に対して離れる方向の力が作用す
る。また、予備真空室２の真空側ては圧力Ｃが圧力Ｂよ
り高くなるため、前記と同様の力が作用リップル部材２
０に作用する。すなわち、予備真空室２の大気側のリッ
プル部材２０は上シールロール１６に対して先端が上向
きに対接しており、リップル部材２１は下シールロール
１７に対して先端が下向きに対接している。また、予備
真空室２の真空側のリップル部材２０，２１は前記大気
側のリップル部材２０，２１とは逆向きにシールロール
１６、１７に対接する。一方、予備真空室３てはそれと
同様の原理で予備真空室２とは逆方向にそれぞれ取付け
られる。次に本発明装置の作動を説明する。
す如く上下シールロール１６，１７と対接する先端側が
弾力性を有するように折れ曲つている。そして、リップ
ル部材２０，２１は第６図に示す如く予備真空室の大気
側と真空側の圧力差によつてシールロール１６，１７か
ら離れるように予備真空室２と予備真空室３および上下
のシールロール１６，１７では逆方向に取付けられてい
る。第６図において、大気側の圧力をＡ１真空側の圧力
をＢ１大気側と真空側の中間の圧力をＣとすると、予備
真空室２の大気側ては圧力Ａが圧力Ｃより高くなるため
、リップル部材２０またはリップル部材２１は、上下シ
ールロール１６，１７に対して離れる方向の力が作用す
る。また、予備真空室２の真空側ては圧力Ｃが圧力Ｂよ
り高くなるため、前記と同様の力が作用リップル部材２
０に作用する。すなわち、予備真空室２の大気側のリッ
プル部材２０は上シールロール１６に対して先端が上向
きに対接しており、リップル部材２１は下シールロール
１７に対して先端が下向きに対接している。また、予備
真空室２の真空側のリップル部材２０，２１は前記大気
側のリップル部材２０，２１とは逆向きにシールロール
１６、１７に対接する。一方、予備真空室３てはそれと
同様の原理で予備真空室２とは逆方向にそれぞれ取付け
られる。次に本発明装置の作動を説明する。
第１図の一番左側又は右側の予備真空室の大気側の上下
シールロール１６，１７の軸方向に沿つて対接するリッ
プル部材２０，２１は、大気側と真空側の圧力差が生じ
ない状態、すなわち、真空ポンプ６が作動しない状態で
は、リップル部材の弾性力によりシールロール１６，１
７に対して押付けられている。
シールロール１６，１７の軸方向に沿つて対接するリッ
プル部材２０，２１は、大気側と真空側の圧力差が生じ
ない状態、すなわち、真空ポンプ６が作動しない状態で
は、リップル部材の弾性力によりシールロール１６，１
７に対して押付けられている。
つぎに真空ポンプ６が作動し、圧力Ａ，ＣおよびＣ，Ｂ
に圧力差が生じると、大気側および真空側のリップル部
材２０，２１にはそれぞれシールロール１６，１７から
離れる方向の力が作用する。この結果、前記圧力差によ
る力はリップル部材２０，２１の弾性力に打ち勝ち、リ
ップル部材２０，２１と上下シールロール１６，１７の
間には微小な隙間が形成されると共にその隙間から空気
が流れ込む。このとき、流入した空気はシールロール１
６，１７とリップル部材２０，２１との間でエアフィル
ムの作用をするため、シールロールとリップル部材の間
の摺動抵抗が非常に小さくなる上、冷却効果によりシー
ルロールおよびリップル部材の発熱を防止する。しかし
ながら、前記流入される空気により大気側の予備真空室
の真空度は若干悪化するが、真空処理室１に近い方の予
備真空室では、前記圧力差が非常に少ないため、シール
ロールとリップル部材とはほぼ接触するためシール効果
は大きくなる。本発明のようにリップル部材を圧力差に
よりシールロールから離れるように配設した場合の効果
を確かめるため、従来のようにリップル部材を圧力差に
よりシールロールに押付けるように配設した場合を同一
条件で比較した。大気側の予備真空室内のシールロール
における駆動トルク、温度、真空度を測定した結果は下
表の通りてある。
に圧力差が生じると、大気側および真空側のリップル部
材２０，２１にはそれぞれシールロール１６，１７から
離れる方向の力が作用する。この結果、前記圧力差によ
る力はリップル部材２０，２１の弾性力に打ち勝ち、リ
ップル部材２０，２１と上下シールロール１６，１７の
間には微小な隙間が形成されると共にその隙間から空気
が流れ込む。このとき、流入した空気はシールロール１
６，１７とリップル部材２０，２１との間でエアフィル
ムの作用をするため、シールロールとリップル部材の間
の摺動抵抗が非常に小さくなる上、冷却効果によりシー
ルロールおよびリップル部材の発熱を防止する。しかし
ながら、前記流入される空気により大気側の予備真空室
の真空度は若干悪化するが、真空処理室１に近い方の予
備真空室では、前記圧力差が非常に少ないため、シール
ロールとリップル部材とはほぼ接触するためシール効果
は大きくなる。本発明のようにリップル部材を圧力差に
よりシールロールから離れるように配設した場合の効果
を確かめるため、従来のようにリップル部材を圧力差に
よりシールロールに押付けるように配設した場合を同一
条件で比較した。大気側の予備真空室内のシールロール
における駆動トルク、温度、真空度を測定した結果は下
表の通りてある。
この表から明らかなように、リップル部材を本発明装置
のように配設した場合には、シールロールとリップル部
材間の摺動抵抗および発熱に起因するシールロールの駆
動トルクおよび温度がリップル部材を従来のように配設
した場合に比較して大幅に低減するため、特に大気側の
シールロールおよびリップル部材の耐久性が大幅に向上
する。ただし、真空度について比較すると、リップル部
材を本発明装置のように配設した場合には従来の場合よ
り悪化するが、前述したように真空処理室１に近い方の
予備真空室では、前記圧力差が非常に少ないため、シー
ル効果は大きくなる。〔発明の効果〕 本発明によれば、シールロールとリップル部材間の摺動
抵抗を小さくし、かつ発熱を防止するようにしたので、
シールロールとリップル部材の耐久性を向上させること
ができる。
のように配設した場合には、シールロールとリップル部
材間の摺動抵抗および発熱に起因するシールロールの駆
動トルクおよび温度がリップル部材を従来のように配設
した場合に比較して大幅に低減するため、特に大気側の
シールロールおよびリップル部材の耐久性が大幅に向上
する。ただし、真空度について比較すると、リップル部
材を本発明装置のように配設した場合には従来の場合よ
り悪化するが、前述したように真空処理室１に近い方の
予備真空室では、前記圧力差が非常に少ないため、シー
ル効果は大きくなる。〔発明の効果〕 本発明によれば、シールロールとリップル部材間の摺動
抵抗を小さくし、かつ発熱を防止するようにしたので、
シールロールとリップル部材の耐久性を向上させること
ができる。
第１図は本発明の連続式真空処理装置の概略縦ｌ断面図
、第２図は第１図の概略平面図、第３図は本発明装置の
一実施例の縦断面図、第４図は第３図の４−４線断面図
、第５図は本発明装置におけるリップル部材を示す側断
面図、第６図は本発明装置におけるリップル部材の取付
状態を説明する門ための図である。 １・・・真空処理室、２，３・・・予備真空室、１６・
・・上シールロール、１７・・・下シールロール、２０
，２１・・・リップル部材。
、第２図は第１図の概略平面図、第３図は本発明装置の
一実施例の縦断面図、第４図は第３図の４−４線断面図
、第５図は本発明装置におけるリップル部材を示す側断
面図、第６図は本発明装置におけるリップル部材の取付
状態を説明する門ための図である。 １・・・真空処理室、２，３・・・予備真空室、１６・
・・上シールロール、１７・・・下シールロール、２０
，２１・・・リップル部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被処理物を連続的に処理する真空処理室およびこの
真空処理室の前後に予備真空室とを備え、この予備真空
室を、被処理物の搬送方向に複数組配置した一対のシー
ルロールと、これらのシールロールの軸方向に沿つて対
接するリップル部材と、前記シールロールの端面をシー
ルするサイドピースとから構成し、前記リップル部材を
、大気側と真空側の圧力差によりシールロールから離れ
るように配設したことを特徴とする連続式真空処理装置
。 ２ 前記リップル部材を備えた予備真空室を大気側に配
設したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の連
続式真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56080898A JPS6059251B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 連続式真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56080898A JPS6059251B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 連続式真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57195744A JPS57195744A (en) | 1982-12-01 |
| JPS6059251B2 true JPS6059251B2 (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=13731176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56080898A Expired JPS6059251B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 連続式真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059251B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5819790B2 (ja) * | 1976-04-16 | 1983-04-20 | 株式会社山東鉄工所 | 高圧スチ−マのシ−ル装置 |
| JPS5495672A (en) * | 1978-01-12 | 1979-07-28 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Continuous transfer of film |
-
1981
- 1981-05-29 JP JP56080898A patent/JPS6059251B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57195744A (en) | 1982-12-01 |
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