JPH0455213B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455213B2 JPH0455213B2 JP58107872A JP10787283A JPH0455213B2 JP H0455213 B2 JPH0455213 B2 JP H0455213B2 JP 58107872 A JP58107872 A JP 58107872A JP 10787283 A JP10787283 A JP 10787283A JP H0455213 B2 JPH0455213 B2 JP H0455213B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal member
- vacuum
- seal
- roll
- preliminary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプラスチツク成形品、たとえば、塩化
ビニール系樹脂フイルムを連続的に真空状態で処
理（たとえばプラズマ処理、真空蒸着など）する
真空連続処理装置に関するものである。
ビニール系樹脂フイルムを連続的に真空状態で処
理（たとえばプラズマ処理、真空蒸着など）する
真空連続処理装置に関するものである。
従来、真空処理室の側方に配置される予備真空
室に設けられて被処理物を搬送するシールロール
と、このシールロールを収納するケーシングとの
間にはシール部材を取付け、これらシール部材と
シールロールとで真空処理室を大気から遮断して
おり、シール部材としては、ニトリルゴム、ウレ
タンゴムなどを使用したものや、シール部材の補
強金具を埋めこんだものがある。
室に設けられて被処理物を搬送するシールロール
と、このシールロールを収納するケーシングとの
間にはシール部材を取付け、これらシール部材と
シールロールとで真空処理室を大気から遮断して
おり、シール部材としては、ニトリルゴム、ウレ
タンゴムなどを使用したものや、シール部材の補
強金具を埋めこんだものがある。
上記従来技術は、シール部材に加わる圧力差が
大きいときには、シール部材の先端の変形が大き
くなり、シール性が低下する。また、変形を防止
するために、シールロールに対する押圧力を大き
くすると、シール部材とシールロールとの摩耗が
激しいという問題があつた。
大きいときには、シール部材の先端の変形が大き
くなり、シール性が低下する。また、変形を防止
するために、シールロールに対する押圧力を大き
くすると、シール部材とシールロールとの摩耗が
激しいという問題があつた。
本発明の目的は、シール部材に加わる差圧が大
きいときでもシール部材の変形がなく良好なシー
ル性を得るようにした真空連続処理装置を提供す
ることにある。
きいときでもシール部材の変形がなく良好なシー
ル性を得るようにした真空連続処理装置を提供す
ることにある。
本発明は上記目的を達成するために、真空処理
室の側方に配置する予備真空室と、その予備真空
室内に配置するシールロールと、このシールロー
ルの外周に接するシール部材とを備える真空連続
処理装置において、前記シール部材を折り曲げ、
この折り曲げたシール部材の内側の凹部及びこの
凹部に対応するシール部材の外側にシール部材の
変形を防止する弾性体を取り付けたものであ。
室の側方に配置する予備真空室と、その予備真空
室内に配置するシールロールと、このシールロー
ルの外周に接するシール部材とを備える真空連続
処理装置において、前記シール部材を折り曲げ、
この折り曲げたシール部材の内側の凹部及びこの
凹部に対応するシール部材の外側にシール部材の
変形を防止する弾性体を取り付けたものであ。
シール部材に大気側と真空側との圧力差によつ
て先端を変形させようとする力が加わつても、シ
ールロールの接触近傍にある弾性体が変形を防止
させるようにシール部材に作用するので、先端の
変形が防止される。
て先端を変形させようとする力が加わつても、シ
ールロールの接触近傍にある弾性体が変形を防止
させるようにシール部材に作用するので、先端の
変形が防止される。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図および第２図において、１はプラスチツ
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように化撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれに接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように化撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれに接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
処理される被処理物Ｆは巻出装置８より前方側
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。１０は
駆動用モータで、この駆動用モータ１０はライン
シヤフト１１および無段変速機１２，１３，１
４，１５を介して真空処理室１、予備真空室２，
３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処理室
１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動
系の回転速度は前記無段変速機１２，１３，１
４，１５により適宜調整される。
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。１０は
駆動用モータで、この駆動用モータ１０はライン
シヤフト１１および無段変速機１２，１３，１
４，１５を介して真空処理室１、予備真空室２，
３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処理室
１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動
系の回転速度は前記無段変速機１２，１３，１
４，１５により適宜調整される。
前記前方および後方予備真空室２，３は第３図
および第４図に示す如く、上下一対のシールロー
ル１６，１７、上下ケース１８，１９および上下
シール部材２０，２１などから構成されており、
以下にその詳細を説明する。
および第４図に示す如く、上下一対のシールロー
ル１６，１７、上下ケース１８，１９および上下
シール部材２０，２１などから構成されており、
以下にその詳細を説明する。
第３図および第４図において、２０は上ケース
１８に固定され、かつ上シールロール１６の表面
の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するシール
部材で、このシール部材２０はウレタンゴムなど
のような耐摩耗性の大なるものを使用する。２１
は下ケース１９に固定され、かつ下シールロール
１７の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接
するシール部材で、このシール部材２１も上記シ
ール部材２０と同様にウレタンゴムなどを使用す
る。これらシール部材２０，２１の断面形状は第
５図に示す如く上下シールロール１６，１７と対
接する先端側が弾力性を有するように折れ曲つて
いる。そして、シール部材２０は全体をニトリル
ゴムにより形成する。２２はシール部材２０の先
端側に設けられる弾性を有する板ばねで、この板
ばねはシール部材２０に加わる圧力差が大きいと
きに発生するシール部材の先端側の変形を防止す
る。この板ばねはシール部材２０の成形時に一体
に成形してもよく、あるいは別々に成形した後一
体的に取付けてもよい。また補強体２３を埋め込
むことによりシール部材２０，２１全体の変形を
防止することができる。
１８に固定され、かつ上シールロール１６の表面
の一部と軸方向に沿つて連続的に対接するシール
部材で、このシール部材２０はウレタンゴムなど
のような耐摩耗性の大なるものを使用する。２１
は下ケース１９に固定され、かつ下シールロール
１７の表面の一部と軸方向に沿つて連続的に対接
するシール部材で、このシール部材２１も上記シ
ール部材２０と同様にウレタンゴムなどを使用す
る。これらシール部材２０，２１の断面形状は第
５図に示す如く上下シールロール１６，１７と対
接する先端側が弾力性を有するように折れ曲つて
いる。そして、シール部材２０は全体をニトリル
ゴムにより形成する。２２はシール部材２０の先
端側に設けられる弾性を有する板ばねで、この板
ばねはシール部材２０に加わる圧力差が大きいと
きに発生するシール部材の先端側の変形を防止す
る。この板ばねはシール部材２０の成形時に一体
に成形してもよく、あるいは別々に成形した後一
体的に取付けてもよい。また補強体２３を埋め込
むことによりシール部材２０，２１全体の変形を
防止することができる。
２４はシール部材２０，２１の折り曲げたシー
ル部材の内側の凹部に沿つて取り付けた板ばねで
シール部材２０に加わる圧力差が大なるときに発
生するシール部材２０の先端側の変形を防止す
る。
ル部材の内側の凹部に沿つて取り付けた板ばねで
シール部材２０に加わる圧力差が大なるときに発
生するシール部材２０の先端側の変形を防止す
る。
さらに第６図に示すようにシール部材２０のシ
ールロールに対する押付力を過度に大きくしない
ようにスポンジ、あるいはシリコーンシーラント
のようなシール部材２０の材質よりもやわらかい
弾性体２４を凹部に埋込んでもよい。
ールロールに対する押付力を過度に大きくしない
ようにスポンジ、あるいはシリコーンシーラント
のようなシール部材２０の材質よりもやわらかい
弾性体２４を凹部に埋込んでもよい。
本発明によれば、シール部材にかかる差圧が大
きい時でも、良好なシール性が得られ、またシー
ル部材を過度にロールに対して押しつけないた
め、シール部材の耐久性を確保することができ
る。
きい時でも、良好なシール性が得られ、またシー
ル部材を過度にロールに対して押しつけないた
め、シール部材の耐久性を確保することができ
る。
第１図および第２図は本発明の真空連続処理装
置の一実施例を示すもので、第１図は正面図、第
２図は第１図の平面図、第３図は本発明装置にお
ける予備真空室の要部を示す拡大図、第４図は第
３図の４−４線矢視図、第５図および第６図は本
発明装置におけるシール部材を説明するための図
である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、２
０，２１……シール部材。
置の一実施例を示すもので、第１図は正面図、第
２図は第１図の平面図、第３図は本発明装置にお
ける予備真空室の要部を示す拡大図、第４図は第
３図の４−４線矢視図、第５図および第６図は本
発明装置におけるシール部材を説明するための図
である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、２
０，２１……シール部材。
Claims (1)
- １ 真空処理室の側方に配置する予備真空室と、
その予備真空室内に配置するシールロールと、こ
のシールロールの外周に接するシール部材とを備
える真空連続処理装置において、前記シール部材
を折り曲げ、この折り曲げたシール部材の内側の
凹部及びこの凹部に対応するシール部材の外側に
シール部材の変形を防止する弾性体を取り付けた
ことを特徴とする真空連続処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10787283A JPS60943A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 真空連続処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10787283A JPS60943A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 真空連続処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60943A JPS60943A (ja) | 1985-01-07 |
| JPH0455213B2 true JPH0455213B2 (ja) | 1992-09-02 |
Family
ID=14470221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10787283A Granted JPS60943A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 真空連続処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60943A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4518764A (en) * | 1982-10-30 | 1985-05-21 | Osaka Soda Co. Ltd. | Diallyl terephthalate copolymer and composition comprising said copolymer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57195740A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Continuous vacuum treatment apparatus |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP10787283A patent/JPS60943A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60943A (ja) | 1985-01-07 |
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