JPS6063925A - ウエハ取扱い方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は処理装置，特に複数の炉心管を有する熱処理装
置への被処理物を収容するボートのローディング．アン
ローディングを自動的に行なう方法に関する。たとえば
、熱処理技術に関し℃はＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　Ｉｎｔ
ｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ　（　Ｊ．　Ａｌｌ
ｉｓｏｎ著）の４８頁〜５０頁に紹介されている。

半導体集積回路を製造する工程において．半導体薄板（
ウェハ）κ不純物を拡散したり，あるいは酸化処理を施
こす工程がある。これらの処理作業は拡散炉と呼ばれる
熱処理装置で行なわれる。

この拡散炉には上下に亘って平行に３段の炉心管が配設
されるとともに，各炉心管はその外周に巻かれて配設さ
メるヒータによって適宜所望の温度に加熱される。また
、前記炉心管の前面は開口して被処理物の出入が自由に
行なわれるよう忙なり。

後方は炉心管内に不純物ガス等を供給するような構造と
なっている。

ところで、被処理物の炉心管内への出入は，引出棒によ
って行なわれる。すなわち、被処理物（ウェハ）はカー
トリッジ圧入れられ，このカートリッジは石英製又はシ
リコン製のボート（トレー）上に載置される。また、ボ
ートの手前端には引掛孔が設けられ，との引掛孔に引出
棒先端の折れ曲がったフックが引っ掛けられ，引出棒の
前後進で炉心管と炉心管の入口に配設されるトレーステ
ーション間を移動する。前記引出棒の操作は従来人手で
行なわれていたが、最近ボートロータト呼ばれる自動機
が開発され、各炉心管内のボートの出し入れを自動的に
行なうようになってきた。

しかし、このボートローダも単に炉心管内へのボートの
自動出入動作を行なうだけであり、炉心管の入口部のト
レーステーションからのボートの取り外しく載置）は人
手で行なわなければならず作業性が低い。したがって、
これらトレーステーションをも自動的に動作させること
Ｋよって、炉心管へのボートのローディング、アンロー
ディングを完全に自動化することが望まれている。この
全自動化を阻む原因は、　（１１，拡散炉のクリーンベ
ンチはヌベースが小さく、かつ色々なユニットが配設さ
れているため一各トレーステーションを可動式とすると
、これらのユニ７）の動作部との干渉も生じ１機構およ
び制御が複雑となる。（２）、これに対して一個のトレ
ーステーションを共用させることによって前記（１）の
弊害を解決するとしだ場合、複数の炉心管から各ボート
ローダが自動的に同時にボートを取り出す場合には、ト
レーステーションは共用で１個しかないので一対処する
ことができない。また、付加的欠点として、ボートロー
ダの引出棒が炉心管内に入っている場合には。

トレーステーションは引出棒に衝突しないように迂回し
なければならない。

一方、ボートローダの採用によって、作業者のクリーン
ベンチ付近での作業頻度の低減が図れ。

作業者の移動による塵埃の舞い上がりによるウェハの汚
染カ少なくなるが、トレーステーションへのボートの着
脱作業が存在することから、ウェハの汚染はまだ多い。

このため、製品の歩留、信頼性は低い。

したがって１本発明の目的は１作業能率の優れた熱処理
方法を提供することにある。

また１本発明の他の目的は信頼性が高く９歩留の高い熱
処理を施こすことのできる熱処理方法を提供することに
ある。

このような目的を達成するために本発明の一実施例は、
多段の炉心管と、側方から炉心管入口に水平に前後進す
るとともに上下に多段に亘って昇降するボートを載置す
るトレーステーション機構と、トレーステーション機構
と炉心管との間のボートの移換を行なうとともに炉心管
の低温入口部にもボートを停止させることのできるボー
トローダと、前記各部の動きを制御する制御系とを有す
る熱処理装置であるとともに、その使用において複数の
炉心管から時を同じくしてボートを取り出す際には、あ
らかじめ設定した基準によって制御系でその取出順序を
決定し、少なくとも最先の取出ボート以外のボートは対
応するボートローダによって各炉心管の低温部である入
口部に移動させておき、これと同時に決定した取出順序
に従ってトレーステーション機構および各ボートローダ
を動作させて所望のボートの取出を順次行なうものであ
って、以下実施例により本発明の詳細な説明する。

第１図〜第６図は本発明に供する熱処理装置（拡散炉）
の一実施例を示す。第１図は外観図であり、この拡散炉
は２組の拡散炉が一体に作られている。したがって説明
の便宜上−組の拡散炉について説明する。拡散炉は上、
中、下と三段に亘って３本の炉心管１が配設され、これ
ら炉心管１の前方にはクリーンベンチ２が設けられてい
る。

そして、このクリーンベンチ２部分に各炉心管１内へ石
英ｆｆ又はシリコン製のボート３を出し入れするボート
ローダ４がそれぞれ３住設けられ、各炉心管１内へのボ
ート３の出し入れをそれぞれ行なうようになっている。

また、各炉心管１０入口部近傍に臨み、炉心管１から引
き出したボート３を受け取ったり、ボートローダ４へ供
給する役割を果す単一のトレーステーション機構５が配
設されている。また、この拡散炉の前面下部および前面
−側部には、ボートローダ制御ボックス６、ガスシーケ
ンサ−制御ボンクス７．低温加熱用制御ボックス８．ト
レーステーション機構制御ボックス９等各制御ボックス
が設けられている。また。

側部には拡散炉制御パネル１０等も配設され、後部には
ドウピングキャビネット１１が設けられている。

つぎに、第２図〜第４図を参照しながらトレーステーシ
ョン機構５について説明する。第２図に示すように、床
板１２と天井板１３との間には平行な２本のガイドシャ
フト１４が取り付けられ。

このガイドシャフト１４には両端部を遊嵌スる昇降体（
エレベータ）１５が取り付けられている。

また、昇降体１５の中央部には雌ねじを設けた嵌合孔が
設けられ、この嵌合孔には雄ねじを切ったねじ棒１６が
螺合されている。このねじ棒１６は前記ガイドシャフト
１４と平行に延び、上下をそれぞれ天井板１３．床板１
２に回動自在に取り付けられている。また、ねじ棒１６
の下部にはドリブンギヤ１７が嵌合固定され、このドリ
ブンギヤ１７は床板１２に取付板１８を介して固定され
た昇降用モータ１９０回転軸２０に嵌合固定されたドラ
イブギヤ２１に噛み合っている。前記昇降用モータ１９
は正逆回転し、正転時ドライブギヤ２１、ドリブンギヤ
１７．ねじ棒１６を介して昇降体１５をＺ方向に上昇さ
せ、逆転によって昇降体１５を下降させるようになって
いる。また、昇降体１５の一端部近傍には上端を天井板
１３に、下端を床板１２にそれぞれ固定し、ガイドシャ
フト１３に平行に延びるリミットスイッチ取付棒２２が
配設さねている。このリミットスイッチ取付棒２２は中
央に沿って長溝２３を有する板材であり、リミットスイ
ッチはこの長溝を利用して上下方向の位置調整をしなが
ら固定できるようになっている。そして、このリミット
スイッチ取付棒２２には合計８個のりミントスイッチ２
４が取り付けられている。これらのりミツトスイッチ２
４の内訳は、最も低い位置、すなわち１作業者が後述の
トレーステーションにボート３を載置したり。

あるいは取り出したりする位置にほぼ対応する下死点り
ミツトスイッチ（下死点ＬＳ）、最も高い位置に配設さ
れ昇降体１５のオーバランを防止する上死点リミットス
イッチ（上死点ＬＳ）、各炉心管に収容されたボートの
高さの下方（Ａ　１．−／１６３の位置）および同一高
さＣ／１６１．’〜、Ａ３’の位置）に配設されたりミ
ツトスイッチ（／１６１リミノトスィ、チル１６３リミ
ツトスイツチ（／１６１ＬＳ−４３ＬＳ）、ｍｌ’リミ
ットスイッチ〜／１６３′リミットスイッチ（Ａ１’Ｌ
Ｓ−Ａ３’ＬＳ　）、ここで下段の炉心管に対応する高
さをＡ１．ＡＩ’、中段の炉心管に対応する高さを１１
６２．／１６２’、上段の炉心管に対応する高さを／ｒ
６３．Ｉ６３’と呼ぶ。）となっている。

これらリミットスイッチ２４は昇降体１５の一端との接
触で作動し、昇降用モータ１９０回動を停止させる信号
を制御系に伝える。

一方、昇降体１５の一側にはチャンネルからなる支持体
２５が固定され、支持体２５は水平方向に延びている。

また、この支持体２５の外側を取り囲むように矩形枠断
面の可動支持体２６が嵌合されている。この可動支持体
２６の昇降体側の後端部の底板２７の内壁には支持ブロ
ック２８がボルト２９で固定されている。この支持ブロ
ック２８の両側には鋼球（ボール）３０を上部および下
部に接触支持する保持板３１がボルト３２で取り付けら
れている。そＬ−て−これらボール３０は可動支持体２
６の側壁３２の内壁にボルト３３を介して取り付けられ
たガイド板３４０転勤部３５に沿って支持ブロック２８
と共に移動するようになっている。前記支持体２５の中
央に沿ってねじ棒３６が延びている。このねじ棒３６は
前記支持ブロック２８の中央に穿った雌ねじを切った嵌
合孔に螺合するとともに支持体２５の先端近傍にまで延
びている。また、このねじ棒３６の他端は前記昇降体１
５に穿ったねじ棒３６よりも瘉かに太い透孔の中心を貫
き、ボルト３７を介して昇降体１５に固定した支持板３
８の鉛直部３９に回転自在に取り付けられている。また
、鉛直部３９の付は根部分のねじ棒３６にはドリブンギ
ヤ４０が固定され、このドリブンギヤ４０は鉛直部３９
に固定したＸ方向用モータ４１の回転軸４２に固定した
ドライブギヤ４３と噛み合っている。したがつ１、この
Ｘ方向用モータ４１が正転すると、ドライブギヤ４３．
ドリブンギヤ４０．ねじ棒３６が回転するので支持ブロ
ック２８、すなわち可動支持体２６がガイド板３４をガ
イドとして前進し。

Ｘ方向用モータ４１が逆転すると可動支持体２６が後退
する。また、この可動支持体２６の前後進による停止位
置を規制するために、支持体２５の一側壁内側の支持体
先端および他端部にリミットスイッチ４４が取り付けら
れている。Ｘ方向前進停止用ＩＪ　ミツトスイッチ（Ｘ
ＦＬＳ）は支持体２５の先端部に、Ｘ方向後退停止用リ
ミットスイッチ（ＸＢＬＳ　）は支持体２５の後端部に
取り付けられている。

他方、前記可動支持体２６の先端にはトレーステーショ
ン４５が固定されている。このトレーステーション４５
は上部が長手方向に沿って一部開口した箱体かもなるカ
バー４６と、このカバー４６内に配設される駆動部４７
と、駆動部４７によって移動しかつボート３を載置する
石英製のパドル４８とからなっている。そして、前記可
動支持体２６とはカバー４６で固定されている。カバー
４６は可動支持体２６の前後進方向と直交する水平面上
に長く延び、カバー４６内の先端部および後端部の図示
しないカバー底板上には第４図で示すように、前方支持
板４９および後方支持板５０が平行にボルト５１を介し
て固定されている、前方支持板４９は炉心管１の炉口５
２に近く、後方支持板５０は炉口５２から遠くなってい
る。また、前方支持板４９と後方支持板５０との間には
ガイド棒５３とねじ棒５４とが平行に延び、ガイド棒５
３は前・後方支持板４９．５０に固定され。

ねじ棒５３は回動自在となっ℃いる。また、ねじ棒５３
の一端は後方支持板５０を貫通し、その先端にドリブン
ギヤ５５を固定している。このドリブンギヤ５５はカバ
ー４６にボルト５６を介して固定される支持台５７に固
定されるＹ方向用モータ５８の回転軸５９に取り付けら
れたドライブギヤ６０に噛み合っている。また、これら
ガイド棒５３とねじ棒５４には離れて２枚の支持板６１
゜６２が嵌合されている。この嵌合状態は、ガイド棒５
３に対しては滑動自在圧遊嵌し、ねじ棒５４に対しては
雌ねじを介して螺合し℃いる。したがって、Ｙ方向用モ
ータ５８を正転させると、ドライブギヤ６０．ドリブン
ギヤ５５．ねじ棒５４が回転することと％２枚の支持板
６１．６２は一方をガイド棒５３に嵌合していることが
ら回転できず、支持板は炉口５２に向がって前進し、Ｙ
方向用モータ５８の逆転によって後退する。この２枚の
支持板６】、６２の前後進はカバー４６に固定した支持
片６３．６４に固定された２つのリミットスイッチ６５
によって停止位置を規制するようになっている。すなわ
ち、−炉口５２側のＹ方向前進停止用リミットスイッチ
（ＹＦＬＳ）は炉口５２に向かって前進する支持板６２
がリミットスイッチのローラを叩くと制御系に信号を送
り、瞬時にＹ方向用モータ５８の正転を停止させる。ま
た、炉口５２がら遠い位置のＹ方向後退停止用リミット
スイッチ（ＹＢＬＳ　）は後退する支持板６２がリミッ
トスイッチのローラを叩くと制御系に信号を送り、瞬時
にＹ方向用モータ５８の逆転を停止させる。

また、前記支持板６１．６２の上面中央部には第２図に
示すようなパドル４８がねじ６６によって固定されてい
る。このパドル４８はカバー４６の上面の切欠空間部を
支持板６１．６２とともに炉口５２に対して前後進する
。また、パドル４８の上面にはＹ方向に沿ってＶ字溝６
８が形成され。

ボート３の受面を形成している。

つぎに、第２図、第５図および第６図を用いてボートロ
ーダについて説明する。ボートローダの駆動棒６９は炉
心管１と平行に延び、がっ図示しない後方で前後動機構
に連結されている。この駆動棒６９の先端部は屈曲部７
ｏを形成し、対応する炉心管１側に９０度屈曲し、その
先端には連結ブロック７１が固定されている。また、こ
の連結ブロック７１には連結棒７２の一端がわずかに回
動自在となるように取り付けられている。この連結棒７
２の他端は駆動棒６９に平行となりかつ炉口５２に向か
って延びている。また、連結棒７２の他端は円板７３の
中心圧固定され、この円板７３の中心を外れた一部には
石英材からなる引出棒７４（塵埃の巻き込みを防止する
キャンプ付）０後端が固定されている。そして、この引
出棒７４の先端は屈曲してフック７５を形作っている。

また、装置から突出した駆動棒６９はクリーンペンチ２
を形作る縦枠７６に固定される２本の回転可能なローラ
７７．７８に挾まれて支持されている。また、引出棒７
４は第５図で示す昇降機構７９の昇降棒８０の先端上に
載る状態で支持され。

昇降棒８０の先端部に互いに離れて回転可能に嵌合され
た２つのガイドローラ８１によって延在する方向を規制
されている。また、このガイドローラ８１によって規制
されて延びる引出棒７４の先端延長□上にはパドル４８
が位置し、そのバドル４８上・に載置されるボート３０
手前側引掛孔８２（第５図参照）もその延長上に位置す
るよう釦なっている。

前記引出棒７４を上下動させ、引出棒７４の先端のフッ
ク７５をボート３の引掛孔８２内に挿脱する昇降棒８０
は第５図に示すように昇降板８３に固定されている。こ
の昇降板８３は水平方向に延びる２枚の平行な支持板８
４．８５間に鉛直方向に延びろ２本の平行なガイドシャ
フト８６゜８７に嵌合し、上下動自在となっている。ま
た。

昇降板８３の中央を螺合状態で貫いて鉛直方向に延びる
ねじ棒８８が配設され、このねじ棒８８はねじ棒８８の
一端に嵌合されたドリブンギヤ８９を介してインチング
用昇降用モーク９０の回転軸９１に取り付けられたドラ
イブギヤ９２に噛合っている。そして１インチング用昇
降用モータ９０の正転によって昇降板８３は上昇し一逆
転によって下降するようになっている。また、２枚の支
持板８４．８５間にはガイドシャフト８６．８７と平行
に取付板９３が取り付けられている。この取付板９３の
上・中・下段にはそれぞれリミットスイッチ９４が取り
付けられている。下段のりミントスイッチは寸動降下停
止用リミットスイッチ（ＩＤＬＳ）であり、上段のりミ
ツトスイッチ９４は寸動上昇停止用リミットスイッチ（
ＩＵＬＳ）である。そして、昇降板８３の上昇によって
昇降板８３に連結された昇降棒８０は引出棒７４を持ち
上げて引出棒７４の先端のフック７５をボート３の引掛
孔８２から抜き、）降によってフック７５を引掛孔８２
内に入れるようになっている。

この際、引出棒７４は連結棒７２に偏心しかつ連結棒７
２は連結ブロック７１にある程度回動自在に取り付けら
れていることから引出棒７４は容易に昇降棒８０の上下
動に追従できるようになっている。なお、中段のリミッ
トスイッチ９４は手動用リミットスイッチである。また
、これらの機構の駆動部はクリーンベンチ２の縦板９５
の各炉心管に対応する高さに取り付けられたボックス９
６内に内蔵さＪｌている。

また、ボートローダの動き１前後進は第６図で示すよう
に、ポジション１　（ＰＩ　）〜ポジション４（Ｐ４）
まで４箇所で停止する。ポジション１は作業待機位置で
あって炉心管１の炉口よりも遠く、この状態では炉口と
フック７５との間にパドル４８が位置する。ポジション
２はトレーステーション４５上のパドル４８がＹＦＬＳ
まで前進して停止した際、フック７５をパドル４８上の
ボート３の引掛孔８２内に挿入する位置である。この状
態では、パドル４８の先端部は炉心管１０入口部近傍の
ヌカベンジャ（排気口）Ｓ内に臨んでいる。ポジション
３は炉心管１０入口部であって。

炉心管の均熱部から外れた温度の比較的低い領域である
。こわは、炉心管からボートを取り出す作業が２つ以上
の炉心管で重なった場合、一時的に一方あるいは２つの
ボートを停止させる位置である。この領域は温度が均熱
部よりも低いことからボート３上のカートリッジ９７に
入れられたウェハ等の拡散等の反応が極めて低く、単時
間の停止であるならば、処理状態に悪影響を与えない。

また、ボート３の取り出しが行なわれると、炉心管内へ
の不純物等の供給も自動的に停止させられることから、
ポジション３での他のボート取出完了を待つ時間程度の
一時停止は実際にはウェハ等の製品に悪影響は及ぼさな
い。ポジション４は炉心管１内の均熱領域で処理位置で
ある。

つぎに、このような熱処理装置の動作について、第７図
（ａ）〜（ｅｌのフローチャートに基づいて説明する。

まず、バドル４８上にウェノ・を収容したカートリッジ
９７を載置したボート３を載せた後、制御盤の上、中、
下のいずれかのスイッチを押す。

たとえば上のスイッチを押す。なお、ポートローダがポ
ジションＩＫある場合、スタートランプはＯＦＦとなり
、動作中はＯＮとなる（インターロック）。すると、ス
イッチに対応する上のポートローダがエンド、すなわち
ポジション１にあるか否かを判定り、ＮＯの場合には停
止する。そこで、上のボートローダがＰｌになった後再
びスタートスイッチを押す。ＹＥＳの場合には制御系で
自動的に判定および記憶が成され、昇降用モータ１９が
正転し、昇降体１５を高速で上昇させる。昇降体１５が
１６３　Ｌ　Ｓを叩くと昇降用モータ１９は回転を停止
する。つぎにＸ方向用モータ４１が正転して可動支持体
２６をＸＦＬＳを叩く位置まで前進させろ。すると、再
び昇降用モータ１９が正転して昇降体１５を低速で扁３
′の高さにまで上昇させる。この状態ではバドル４８上
のボート３の高さは上段の炉心管ｌの底面よりもわずか
に高く、炉心管内に収容状態となるボートの高さと同一
となっている。

つぎに、Ｙ方向用モータ５８が正転してパドル４８をＹ
ＦＬＳが動作するまで前進させる。この状態では、パド
ル４８の先端部は第６図で示すようにスカベンジャ内に
進入する。

つぎに、第７図（ｂｌで示すように、ボートローダが前
進し、第６図で示すようにポジション１からポジション
２に移る。すると、インチング用昇降用モータ９０が逆
転して昇降棒８０をＩＤＬＳが動作するまで降下させる
。昇降棒８０の降下によって昇降棒８０に支えられてい
た引出棒７４も降下し、先端のフック７５はパドル４８
上のボート３の引掛孔８２内に入る（ボート３の引掛孔
８２内に入らなかった場合はインターロックされ停止す
る）。この状態で引出棒７４はポジション４にまで進み
、ボート３を炉心管１の均熱部の中心に停止させる。こ
れと同時にオシレーションおよびガスシーケンスが開始
される。

熱処理が続行されている間にパドル４８がＹＢＬＳが動
作する位置まで後退した後、昇降体１５が１６３にまで
降下する。そして、パドルをＸＢＬＳが動作するまで後
端させた後、第７図（ｃ）で示すように、エレベータ１
５を下死点ＬＳが動作するまで降下させる。この下死点
にあるパドル４８上にボートがあるか否かを判定し、有
ればブザ表示して作業者に知らせ、ブザーをＯＦＦ状態
にした後アラームリセントをＯＮ（ランプ表示）すると
。

エレベータはスタンバイ（待機状態）となる。

一方、パドル４８上にボート１がないことが確認される
と、上段のボートローダがポジション３にあるか否かを
検出し、なければボー）ｏ−ダがポジション３に後退中
か否かを検出する。後退中でなければ、オシレーション
、ガス７−ケンスがＯＦＦになり、ボートローダがポジ
ション３になるのを待つ。結果としてボートローダがポ
ジション３にあるのが確認されると、再びエレベータが
下死点にあるか否かを確認し、下死点にあることヲ確認
した後エレベータ１５は／１６３まで上昇する。

なお、実際は前記下死点でのボートの有無判定後、ボー
トローダのポジション３の確認あるいはポジション３状
態のボートローダからの信号が上段のポートローダリ、
外である場合には、エレベータは中段あるいは下段の炉
心管内のボートの取り出しに向かうことにもなるが、こ
こでは先に上段の炉心管を入れたボートを取り出しに向
かう例について説明する（第７図（ｅ）参照）。

つぎに、パドルはＸ軸方向ＶＣＸＦ　Ｌ　Ｓが動作する
まで前進し、その後エレベータはＡ３’ＬＳが動作する
まで上昇する。つぎにパドルは上段の炉心管１の炉口に
向かってＹＦＬＳが動作するまで前進する。パドル４８
の先端部をスカベンジャ内に臨ませ２上段の炉心管１０
入口部近傍に位置するパドル４８に対し、上段のボート
ローダが作動し。

ボーート３をポジション３からポジション２に移動、す
なわち、パドル４８の受面上に載る。その後、インチン
グ用昇降用モータ９０が正転して昇降棒８０がＩＵＬＳ
が動作するまで上昇し、上昇によってボート３の引掛孔
８２に入っている引出棒７４の７ツク７５を外す。そし
て、引出棒７４をＰｌに後退させボートローダは次のボ
ートの挿入動作に備えて動作を停止（ボートローダＥＮ
Ｄ　）させる。

一方、ボート３を載置したパドル４８は、第７図（ｄ）
の■なる流れにしたがって、パドルのＹ軸後退、エレベ
ータのＡ３への下降、パドルのＸ軸後退、エレベータの
下死点への下降と順次動作し、作業位置にボートを運ぶ
、そして、この作業位置でボートは所望位置に運ばれ、
新に熱処理の必要なウェハを収容したボートがパドル上
に載せられ。

つぎのボート供給（ローディング）を行なう。あるいけ
、中段、下段のボートの取り出しに向が５゜前記の例で
は、上段の炉心管へのボートの挿入。

取出しについて説明したが、この熱処理装置は種々の動
きを組合せて行なうことがηきる。たとえば、上段、中
段、下段に順次ボートを挿入した後。

熱処理が完了した順にボートを炉心管から取り出し、再
び空状態となった炉心管にボートを挿入する等の動きで
ある。また、同時に複数の炉心管からボートを取り出す
場合には、各ボートが熱処理特性を損われることのない
炉心管入口部の低温部（ポジション３）Ｋ熱処理完了と
ともに運ばれ、ホード取出し作業に備えるため、トレー
ステーション機構の動きはあらかじめ定めた規準にしだ
がってボートの取出順序を自動的に決定して、最先を要
するボートの取り出しから順次ボート取出作業を行なう
。

また、この熱処理装置はつぎのような特長をも有してい
る。

（１）　動作中のシーケンスは上段、中段、下段別にラ
ンプ表示される。

（２）運転は手動、自動がスイッチの切換で行なえる。

この場合、各段は単独で切換が行なえる。手動に切換え
た場合、引出棒は炉心管の内側下面にほぼ対応する位置
（取付板９３の手動リミットスイッチ９４の位置）まで
ダウンする。また、１１時はＩＵＬＳまで上昇する。

（３）全シーケンスが手動の時のみ各部はインチングが
可能である。

（４）各部の動作は非常停止が可能である。

さらに、各部はステンレス、アルミニウム材で形作られ
ている。

このような実施例によれは１作業者はＸＹ軸後方に位置
し、かつ下死点位置にあるトレーステーションのパドル
上にボートを載誼したり、あるいは取り外したりするだ
けで、複数の炉心管の選択。

特定化された炉心管へのボートの挿入あるいは取り出し
は自動的にかつ迅速に行なわれる。したがって、極めて
作業性がよい。

また、この熱処理方法では１作業者はトレーステーショ
ンのパドル上へのボートの着脱作業だけをすればよい力
で、クリーンベンチ前での作業回斂が減り１作業者移動
による塵埃の舞い上がり、ウェハへの塵埃の付着頻度も
従来に較べて遥かに少なくなる。この結果、熱処理の信
頼性１歩留も向１する。。

なお１本発明は前記例に限定されない。たとえは、各動
作部の機構はねじ棒と雌ねじにしたが、円滑に作動させ
るためミニチュアボールねじ構造としてもよい。

また、各動作部の停止位置検出は他の機構、たとえば光
学的手段、可、気的手段でもよい。

また、実施例ではボートの取り出しにあっては、全てボ
ートを炉心管の入口部（Ｐｌ）に一時停止するようにし
ているが、ボートの取出作業が複数同時になった時だけ
Ｐｌにボートを一時停止させるだけにして１通常はボー
ト取出寸前に制御系からの信号を受けて所定の炉心管の
入口部にパドルを待機させるようにしてもよい。

また、引出棒のボートからの取り外し、引掛は下方から
行なう機構としてもよい。

また、実施例のエレベータと同様な構造で、ウェハを収
容するカートリッジを直接保持し、このカートリッジを
直接ボートにセットする構造としてもよい。この場合、
ボートから引出棒を取外さ／よくとも！（・、。

さらに、この実施例では半導体薄板（ウェハ）を被処理
物としているが、他の物でもよいことは勿論である。

以上のように５本発明の熱処理方法によれば、能率よく
作業を行なえるばかりでなく、信頼性の高い袈品を歩留
よく得ることができる。したがって、熱処理コストも低
減できる等の実益もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に供する熱処理装置の一例による外観図
、第２図は同じくトレーステーション機構を示す斜視図
、第３図は第２図のｍ−■を線における断面図、第４図
は本発明に供する熱処理装置の一例によるトレーステー
ション機構におけるＹ方向移動部を示す斜視図、第５図
は本発明に供する熱処理装置の一例におけるボートロー
ダの昇降機構を示す斜視図、第６図は同じくボートロー
ダによる炉心管へのボートの出入状態を示す説明図。 第７図（ａｔ〜（ｅ）は本発明の熱処理方法のボート出
入方法を示すフローチャートである。 １・・・炉心管、２・・・クリーンベンチ、３・・・ボ
ート、４・・・ボートローダ、５・・・トレーステーシ
ョン機構。 ６・・ボートローダ制御ボックス、７・・・ガスシーケ
ンサ−制御ボックス、８・・・低温加熱用制御ボックス
、９・・・トレーステーション機構制御ボックス。 １０・・・拡散炉制御パネル、１１・・ドウピングキャ
ビネット、１２・・・床板、１３・・・天井板、１４・
・・ガイドシャフト、１５・・・昇降体（エレベータ）
。 １６・・・ねじ棒−１７・・・ドリブンギヤ、１８・・
・取付板、１９・・・昇降用モータ、２０・・・回転軸
、２１・・・ドライブギヤ、２２・・・リミットスイッ
チ取付棒。 ２３・・・長溝、２４・・・リミットスイッチ、２５・
・・支持体、２６・・・可動支持体、２７・・・底板、
２８・・・支持ブロック、２９・・・ボルト、３０・・
・鋼球（ボール）。 ３１・・・保持板、３２．３３・・・ボルト、３４・・
・ガイド板、３５・・・転動部、３６・・・ねじ棒１京
７・・・ボルト、３８・・・支持板、３９・・・鉛直部
、４０・・・ドリブンギヤ、４１・・・Ｘ方向用モータ
、４２・・・回転軸。 ４３・・・ドライブギヤ、４４・・・リミットスイッチ
。 ４５・・・トレーステーション、４６・・・カバー、４
７・・・駆動部、４８・・・パドル、４９・・・前方支
持板、５０・・・後方支持板、５１・・・ボルト、５２
・・・炉口。 ５３・・・ガイド棒、５４・・・ねじ棒、５５・・・ド
リブンギヤ、５６・・・ボルト、５７・・・支持台、５
８・・・Ｙ方向用モータ、５９・・・回転軸、６０・・
・ドライブギヤ、６１．６２・・・支持板％６３．６４
・・支持片、６５・・・リミットスイッチ、６６・・・
ねじ、６７・・・ねじ、６８・・・Ｖ字溝、６９・・・
駆動棒、７０・・・屈曲部。 ７１・・・連結ブロック、７２・・・連結棒、７３・・
・円板。 ７４・・・引出棒、７５・・・フック、７６・・・縦枠
、７７゜７８・・・ローラ、７９・・・昇降機構、８０
・・・昇降棒。 ８１・・・ガイドａ−ラ、８２・・・引掛孔、８３・・
・昇降板−８４，８５・・・支持板、８６．８７・・・
ガイドシャフト、８８・・・ねじ棒、８９・・・ドリブ
ンギヤ。 ９０・・・インチング用昇降用モータ、９１・・・回転
軸。 ９２・・・ドライブギヤ、９３・・・取付板、９４・・
・リミットスイッチ、９５・・・縦板、９６・・・ボッ
クス。 ９７・・・カートリッジ。 第　７　図 ＣＡ） 第　７　図 （Ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のウェハを同時に処理する処理部を複数個有す
   る処理装置における上記ウエノ・の導入または取出方法
   であって、各処理部に対して共通に設けられた自動移動
   可能なウェハ保持機構を介して上記各処理部へのウェハ
   の導入または各処理部からのウェハの取出を行なうこと
   を特徴とするウェハ取扱い方法。 ２、上記ウェハ保持機構により上記各処理部の近傍まで
   移送した後、ウェハ・ローディング機構により、ウェハ
   の導入を行なうことを特徴とする特許 法。