JPS627687B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱処理装置、特に複数の炉心管を有す
る熱処理装置への被処理物を収容するボートのロ
ーデイング，アンローデイングを自動的に行なう
装置に関する。

半導体集積回路を製造する工程において、半導
体薄板（ウエハ）に不純物を拡散したり、あるい
は酸化処理を施こす工程がある。これらの処理作
業は拡散炉と呼ばれる熱処理装置で行なわれる。
この拡散炉には上下に亘つて平行に３段の炉心管
が配設されるとともに、各炉心管はその外周に巻
かれて配設されるヒータによつて適宣所望の温度
に加熱される。また、前記炉心管の前面は開口し
て被処理物の出入が自由に行なわれるようにな
り、後方は炉心管内に不純物ガス等を供給するよ
うな構造となつている。

ところで、被処理物の炉心管内への出入は、引
出棒によつて行なわれる。すなわち、被処理物
（ウエハ）はカートリツジに入れられ、このカー
トリツジは石英製又はシリコン製のボート（トレ
ー）上に載置される。また、ボートの手前端には
引掛孔が設けられ、この引掛孔に引出棒先端の折
れ曲がつたフツクが引つ掛けられ、引出棒の前後
進で炉心管と炉心管の入口に配設されるトレース
テーシヨン間を移動する。前記引出棒の操作は従
来人手で行なわれていたが、最近ボートローダと
呼ばれる自動機が開発され、各炉心管内のボート
の出し入れを自動的に行なうようになつてきた。

しかし、このボートローダも単に炉心管内への
ボートの自動出入動作を行なうだけであり、炉心
管の入口部のトレーステーシヨンからのボートの
取り外し（載置）は人手で行なわなければならず
作業性が低い。したがつて、これらトレーステー
シヨンをも自動的に動作させることによつて、炉
心管へのボートのローデイング，アンローデイン
グを完全に自動化することが望まれている。この
全自動化を阻む原因は、(1)、拡散炉のクリーンベ
ンチはスペースが小さく、かつ色々なユニツトが
配設されているため、各トレーステーシヨンを可
動式とすると、これらのユニツトの動作部との干
渉も生じ、機構および制御が複雑となる。(2)、こ
れに対して一個のトレーステーシヨンを共用させ
ることによつて前記(1)の弊害を解決するとした場
合、複数の炉心管から各ボートローダが自動的に
同時にボートを取り出す場合には、トレーステー
シヨンは共用で１個しかないので、対処すること
ができない。また、付加的欠点として、ボートロ
ーダの引出棒が炉心管内に入つている場合には、
トレーステーシヨンは引出棒に衝突しないように
迂回しなければならない。

一方、ボートローダの採用によつて、作業者の
クリーンベンチ付近での作業頻度の低減が図れ、
作業者の移動による塵埃の舞い上がりによるウエ
ハの汚染が少なくなるが、トレーステーシヨンへ
のボートの着脱作業が存在することから、ウエハ
の汚染はまだ多い。このため、製品の歩留、信頼
性は低い。

したがつて、本発明の目的は、作業能率の優れ
た熱処理装置を提供することにある。

また、本発明の他の目的は信頼性が高く、歩留
の高い熱処理を施こすことのできる熱処理装置を
提供することにある。

このような目的を達成するために本発明の一実
施例は、多段の炉心管と、側方から炉心管入口に
水平に前後進するとともに上下に多段に亘つて昇
降するボートを載置するトレーステーシヨン機構
と、トレーステーシヨン機構と炉心管との間のボ
ートの移換を行なうとともに炉心管の低温入口部
にもボートを停止させることのできるボートロー
ダと、前記各部の動きを制御する制御系とを有す
る熱処理装置であるとともに、その使用において
複数の炉心管から時を同じくしてボートを取り出
す際には、あらかじめ設定した基準によつて制御
系でその取出順序を決定し、少なくとも最先の取
出ボート以外のボートは対応するボートローダに
よつて各炉心管の低温部である入口部に移動させ
ておき、これと同時に決定した取出順序に従つて
トレーステーシヨン機構および各ボートローダを
動作させて所望のボートの取出を順次行なうもの
であつて、以下実施例により本発明を詳細に説明
する。

第１図〜第６図は本発明の熱処理装置（拡散
炉）の一実施例を示す。第１図は外観図であり、
この拡散炉は２組の拡散炉が一体に作られてい
る。したがつて説明の便宜上一組の拡散炉につい
て説明する。拡散炉は上、中、下と三段に亘つて
３本の炉心管１が配設され、これら炉心管１の前
方にはクリーンベンチ２が設けられている。そし
て、このクリーンベンチ２部分に各炉心管１内へ
石英製又はシリコン製のボート３を出し入れする
ボートローダ４がそれぞれ３体設けられ、各炉心
管１内へのボート３の出し入れをそれぞれ行なう
ようになつている。また、各炉心管１の入口部近
傍に臨み、炉心管１から引き出したボート３を受
け取つたり、ボートローダ４へ供給する役割を果
す単一のトレーステーシヨン機構５が配設されて
いる。また、この拡散炉の前面下部および前面一
側部には、ボートローダ制御ボツクス６、ガスシ
ーケンサー制御ボツクス７、低温加熱用制御ボツ
クス８、トレーステーシヨン機構制御ボツクス９
等各制御ボツクスが設けられている。また、側部
には拡散炉制御パネル１０等も配設され、後部に
はドウピングキヤビネツト１１が設けられてい
る。

つぎに、第２図〜第４図を参照しながらトレー
ステーシヨン機構５について説明する。第２図に
示すように、床板１２と天井板１３との間には平
行な２本のガイドシヤフト１４が取り付けられ、
このガイドシヤフト１４には両端部を遊嵌する昇
降体（エレベータ）１５が取り付けられている。
また、昇降体１５の中央部には雌ねじを設けた嵌
合孔が設けられ、この嵌合孔には雄ねじを切つた
ねじ棒１６が螺合されている。このねじ棒１６は
前記ガイドシヤフト１４と平行に延び、上下をそ
れぞれ天井板１３、床板１２に回動自在に取り付
けられている。また、ねじ棒１６の下部にはドリ
ブンギヤ１７が嵌合固定され、このドリブンギヤ
１７は床板１２に取付板１８を介して固定された
昇降用モータ１９の回転軸２０に嵌合固定された
ドライブギヤ２１に噛み合つている。前記昇降用
モータ１９は正逆回転し、正転時ドライブギヤ２
１、ドリブンギヤ１７、ねじ棒１６を介して昇降
体１５をＺ方向に上昇させ、逆転によつて昇降体
１５を下降させるようになつている。また、昇降
体１５の一端部近傍には上端を天井板１３に、下
端を床板１２にそれぞれ固定し、ガイドシヤフト
１３に平行に延びるリミツトスイツチ取付棒２２
が配設されている。このリミツトスイツチ取付棒
２２は中央に沿つて長溝２３を有する板材であ
り、リミツトスイツチはこの長溝を利用して上下
方向の位置調整をしながら固定できるようになつ
ている。そして、このリミツトスイツチ取付棒２
２には合計８個のリミツトスイツチ２４が取り付
けられている。これらのリミツトスイツチ２４の
内訳は、最も低い位置、すなわち、作業者が後述
のトレーステーシヨンにボート３を載置したり、
あるいは取り出したりする位置にほぼ対応する下
死点リミツトスイツチ（下死点LS）、最も高い位
置に配設され昇降体１５のオーバランを防止する
上死点リミツトスイツチ（上死点LS）、各炉心管
に収容されたボートの高さの下方（No.１〜No.３の
位置）および同一高さ（No.1′〜No.3′の位置）に配
設されたリミツトスイツチ（No.１リミツトスイツ
チ〜No.３リミツトスイツチ（No.1LS〜No.3LS）、
No.1′リミツトスイツチ〜No.3′リミツトスイツチ
（No.1′LS〜No.3′LS）、ここで下段の炉心管に対応
する高さをNo.１，No.1′，中段の炉心管に対応する
高さをNo.２，No.2′，上段の炉心管に対応する高さ
をNo.３，No.3′と呼ぶ。）となつている。これらリ
ミツトスイツチ２４は昇降体１５の一端との接触
で作動し、昇降用モータ１９の回動を停止させる
信号を制御系に伝える。

一方、昇降体１５の一側にはチヤンネルからな
る支持体２５が固定され、支持体２５は水平方向
に延びている。また、この支持体２５の外側を取
り囲むように矩形枠断面の可動支持体２６が嵌合
されている。この可動支持体２６の昇降体側の後
端部の底板２７の内壁には支持ブロツク２８がボ
ルト２９で固定されている。この支持ブロツク２
８の両側には鋼球（ボール）３０を上部および下
部に接触支持する保持板３１がボルト３２で取り
付けられている。そして、これらボール３０は可
動支持体２６の側壁３２の内壁にボルト３３を介
して取り付けられたガイド板３４の転動部３５に
沿つて支持ブロツク２８と共に移動するようにな
つている。前記支持体２５の中央に沿つてねじ棒
３６が延びている。このねじ棒３６は前記支持ブ
ロツク２８の中央に穿つた雌ねじを切つた嵌合孔
に螺合するとともに支持体２５の先端近傍にまで
延びている。また、このねじ棒３６の他端は前記
昇降体１５に穿つたねじ棒３６よりも遥かに太い
透孔の中心を貫き、ボルト３７を介して昇降体１
５に固定した支持板３８の鉛直部３９に回転自在
に取り付けられている。また、鉛直部３９の付け
根部分のねじ棒３６にはドリブンギヤ４０が固定
され、このドリブンギヤ４０は鉛直部３９に固定
したＸ方向用モータ４１の回転軸４２に固定した
ドライブギヤ４３と噛み合つている。したがつ
て、このＸ方向用モータ４１が正転すると、ドラ
イブギヤ４３、ドリブンギヤ４０、ねじ棒３６が
回転するので支持ブロツク２８、すなわち可動支
持体２６がガイド板３４をガイドとして前進し、
Ｘ方向用モータ４１が逆転すると可動支持体２６
が後退する。また、この可動支持体２６の前後進
による停止位置を規制するために、支持体２５の
一側壁内側の支持体先端および他端部にリミツト
スイツチ４４が取り付けられている。Ｘ方向前進
停止用リミツトスイツチ（XFLS）は支持体２５
の先端部に、Ｘ方向後退停止用リミツトスイツチ
（XBLS）は支持体２５の後端部に取り付けられ
ている。

他方、前記可動支持体２６の先端にはトレース
テーシヨン４５が固定されている。このトレース
テーシヨン４５は上部が長手方向に沿つて一部開
口した箱体からなるカバー４６と、このカバー４
６内に配設される駆動部４７と、駆動部４７によ
つて移動しかつボート３を載置する石英製のパド
ル４８とからなつている。そして、前記可動支持
体２６とはカバー４６で固定されている。カバー
４６は可動支持体２６の前後進方向と直交する水
平面上に長く延び、カバー４６内の先端部および
後端部の図示しないカバー底板上には第４図で示
すように、前方支持板４９および後方支持板５０
が平行にボルト５１を介して固定されている。前
方支持板４９は炉心管１の炉口５２に近く、後方
支持板５０は炉口５２から遠くなつている。ま
た、前方支持板４９と後方支持板５０との間には
ガイド棒５３とねじ棒５４とが平行に延び、ガイ
ド棒５３は前・後方支持板４９，５０に固定さ
れ、ねじ棒５３は回動自在となつている。また、
ねじ棒５３の一端は後方支持板５０を貫通し、そ
の先端にドリブンギヤ５５を固定している。この
ドリブンギヤ５５はカバー４６にボルト５６を介
して固定される支持台５７に固定されるＹ方向用
モータ５８の回転軸５９に取り付けられたドライ
ブギヤ６０に噛み合つている。また、これらガイ
ド棒５３とねじ棒５４には離れて２枚の支持板６
１，６２が嵌合されている。この嵌合状態は、ガ
イド棒５３に対しては滑動自在に遊嵌し、ねじ棒
５４に対しては雌ねじを介して螺合している。し
たがつて、Ｙ方向用モータ５８を正転させると、
ドライブギヤ６０、ドリブンギヤ５５、ねじ棒５
４が回転することと、２枚の支持板６１，６２は
一方をガイド棒５３に嵌合していることから回転
できず、支持板は炉口５２に向かつて前進し、Ｙ
方向用モータ５８の逆転によつて後退する。この
２枚の支持板６１，６２の前後進はカバー４６に
固定した支持片６３，６４に固定された２つのリ
ミツトスイツチ６５によつて停止位置を規制する
ようになつている。すなわち、炉口５２側のＹ方
向前進停止用リミツトスイツチ（YFLS）は炉口
５２に向かつて前進する支持板６２がリミツトス
イツチのローラを叩くと制御系に信号を送り、瞬
時にＹ方向用モータ５８の正転を停止させる。ま
た、炉口５２から遠い位置のＹ方向後退停止用リ
ミツトスイツチ（YBLS）は後退する支持板６２
がリミツトスイツチのローラを叩くと制御系に信
号を送り、瞬時にＹ方向用モータ５８の逆転を停
止させる。

また、前記支持板６１，６２の上面中央部には
第２図に示すようなパドル４８がねじ６６によつ
て固定されている。このパドル４８はカバー４６
の上面の切欠空間部を支持板６１，６２とともに
炉口５２に対して前後進する。また、パドル４８
の上面にはＹ方向に沿つてＶ字溝６８が形成さ
れ、ボート３の受面を形成している。

つぎに、第２図、第５図および第６図を用いて
ボートローダについて説明する。ボートローダの
駆動棒６９は炉心管１と平行に延び、かつ図示し
ない後方で前後動機構に連結されている。この駆
動棒６９の先端部は屈曲部７０を形成し、対応す
る炉心管１側に90度屈曲し、その先端には連結ブ
ロツク７１が固定されている。また、この連結ブ
ロツク７１には連結棒７２の一端がわずかに回動
自在となるように取り付けられている。この連結
棒７２の他端は駆動棒６９に平行となりかつ炉口
５２に向かつて延びている。また、連結棒７２の
他端は円板７３の中心に固定され、この円板７３
の中心を外れた一部には石英材からなる引出棒７
４（塵埃の巻き込みを防止するキヤツプ付）の後
端が固定されている。そして、この引出棒７４の
先端は屈曲してフツク７５を形作つている。

また、装置から突出した駆動棒６９はクリーン
ベンチ２を形作る縦枠７６に固定される２本の回
転可能なローラ７７，７８に挾まれて支持されて
いる。また、引出棒７４は第５図で示す昇降機構
７９の昇降棒８０の先端上に載る状態で支持さ
れ、昇降棒８０の先端部に互いに離れて回転可能
に嵌合された２つのガイドローラ８１によつて延
在する方向を規制されている。また、このガイド
ローラ８１によつて規制されて延びる引出棒７４
の先端延長上にはパドル４８が位置し、そのパド
ル４８上に載置されるボート３の手前側引掛孔８
２（第５図参照）もその延長上に位置するように
なつている。

前記引出棒７４を上下動させ、引出棒７４の先
端のフツク７５をボート３の引掛孔８２内に挿脱
する昇降棒８０は第５図に示すように昇降板８３
に固定されている。この昇降板８３は水平方向に
延びる２枚の平行な支持板８４，８５間に鉛直方
向に延びる２本の平行なガイドシヤフト８６，８
７に嵌合し、上下動自在となつている。また、昇
降板８３の中央を螺合状態で貫いて鉛直方向に延
びるねじ棒８８が配設され、このねじ棒８８はね
じ棒８８の一端に嵌合されたドリブンギヤ８９を
介してインチング用昇降用モータ９０の回転軸９
１に取り付けられたドライブギヤ９２に噛合つて
いる。そして、インチング用昇降用モータ９０の
正転によつて昇降板８３は上昇し、逆転によつて
下降するようになつている。また、２枚の支持板
８４，８５間にはガイドシヤフト８６，８７と平
行に取付板９３が取り付けられている。この取付
板９３の上・中・下段にはそれぞれリミツトスイ
ツチ９４が取り付けられている。下段のリミツト
スイツチは寸動降下停止用リミツトスイツチ
（IDLS）であり、上段のリミツトスイツチ９４は
寸動上昇停止用リミツトスイツチ（IULS）であ
る。そして、昇降板８３の上昇によつて昇降板８
３に連結された昇降棒８０は引出棒７４を持ち上
げて引出棒７４の先端のフツク７５をボート３の
引掛孔８２から抜き、下降によつてフツク７５を
引掛孔８２内に入れるようになつている。この
際、引出棒７４は連結棒７２に偏心しかつ連結棒
７２は連結ブロツク７１にある程度回動自在に取
り付けられていることから引出棒７４は容易に昇
降棒８０の上下動に追従できるようになつてい
る。なお、中段のリミツトスイツチ９４は手動用
リミツトスイツチである。また、これらの機構の
駆動部はクリーンベンチ２の縦板９５の各炉心管
に対応する高さに取り付けられたボツクス９６内
に内蔵されている。

また、ボートローダの動き、前後進は第６図で
示すように、ポジシヨン１（Ｐ１）〜ポジシヨン
４（Ｐ４）まで４箇所で停止する。ポジシヨン１
は作業待機位置であつて炉心管１の炉口よりも遠
く、この状態では炉口とフツク７５との間にパド
ル４８が位置する。ポジシヨン２はトレーステー
シヨン４５上のパドル４８がYFISまで前進して
停止した際、フツク７５をパドル４８上のボート
３の引掛孔８２内に挿入する位置である。この状
態では、パドル４８の先端部は炉心管１の入口部
近傍のスカベンジヤ（排気口）Ｓ内に臨んでい
る。ポジシヨン３は炉心管１の入口部であつて、
炉心管の均熱部から外れた温度の比較的低い領域
である。これは、炉心管からボートを取り出す作
業が２つ以上の炉心管で重なつた場合、一時的に
一方あるいは２つのボートを停止させる位置であ
る。この領域は温度が均熱部よりも低いことから
ボート３上のカートリツジ９７に入れられたウエ
ハ等の拡散等の反応が極めて低く、単時間の停止
であるならば、処理状態に悪影響を与えない。ま
た、ボート３の取り出しが行なわれると、炉心管
内への不純物等の供給も自動的に停止させられる
ことから、ポジシヨン３での他のボート取出完了
を待つ時間程度の一時停止は実際にはウエハ等の
製品に悪影響は及ぼさない。ポジシヨン４は炉心
管１内の均熱領域で処理位置である。

つぎに、このような熱処理装置の動作につい
て、第７図ａ〜ｅのフローチヤートに基づいて説
明する。まず、パドル４８上にウエハを収容した
カートリツジ９７を載置したボート３を載せた
後、制御盤の上、中、下のいずれかのスイツチを
押す。たとえば上のスイツチを押す。なお、ボー
トローダがポジシヨン１にある場合、スタートラ
ンプはOFFとなり、動作中はONとなる（インタ
ーロツク）。すると、スイツチに対応する上のボ
ートローダがエンド、すなわちポジシヨン１にあ
るか否かを判定し、NOの場合には停止する。そ
こで、上のボートローダがＰ１になつた後再びス
タートスイツチを押す。YESの場合には制御系
で自動的に判定および記憶が成され、昇降用モー
タ１９が正転し、昇降体１５を高速で上昇させ
る。昇降体１５がNo.3LSを叩くと昇降用モータ１
９は回転を停止する。つぎにＸ方向用モータ４１
が正転して可動支持体２６をXFLSを叩く位置ま
で前進させる。すると、再び昇降用モータ１９が
正転して昇降体１５を低速でNo.3′の高さにまで上
昇させる。この状態ではパドル４８上のボート３
の高さは上段の炉心管１の底面よりもわずかに高
く、炉心管内に収容状態となるボートの高さと同
一となつている。

つぎに、Ｙ方向用モータ５８が正転してパドル
４８をYFLSが動作するまで前進させる。この状
態では、パドル４８の先端部は第６図で示すよう
にスカベンジヤ内に進入する。

つぎに、第７図ｂで示すように、ボートローダ
が前進し、第６図で示すようにポジシヨン１から
ポジシヨン２に移る。すると、インチング用昇降
用モータ９０が逆転して昇降棒８０をIDLSが動
作するまで降下させる。昇降棒８０の降下によつ
て昇降棒８０に支えられていた引出棒７４も降下
し、先端のフツク７５はパドル４８上のボート３
の引掛孔８２内に入る（ボート３の引掛孔８２内
に入らなかつた場合はインターロツクされ停止す
る）。この状態で引出棒７４はポジシヨン４にま
で進み、ボート３を炉心管１の均熱部の中心に停
止させる。これと同時にオシレーシヨンおよびガ
スシーケンスが開始される。

熱処理が続行されている間にパドル４８が
YBLSが動作する位置まで後退した後、昇降体１
５がNo.３にまで降下する。そして、パドルを
XBLSが動作するまで後端させた後、第７図ｃで
示すように、エレベータ１５を下死点LSが動作
するまで降下させる。この下死点にあるパドル４
８上にボートがあるか否かを判定し、有ればブザ
表示して作業者に知らせ、ブザーをOFF状態に
した後アラームリセツトをON（ランプ表示）す
ると、エレベータはスタンバイ（待機状態）とな
る。

一方、パドル４８上にボート１がないことが確
認されると、上段のボートローダがポジシヨン３
にあるか否かを検出し、なければボートローダが
ポジシヨン３に後退中か否かを検出する。後退中
でなければ、オシレーシヨン、ガスシーケンスが
OFFになり、ボートローダがポジシヨン３にな
るのを待つ。結果としてボートローダがポジシヨ
ン３にあるのが確認されると、再びエレベータが
下死点にあるか否かを確認し、下死点にあること
を確認した後エレベータ１５はNo.３まで上昇す
る。なお、実際は前記下死点でのボートの有無判
定後、ボートローダのポジシヨン３の確認あるい
はポジシヨン３状態のボートローダからの信号が
上段のボートローダ以外である場合には、エレベ
ータは中段あるいは下段の炉心管内のボートの取
り出しに向かうことにもなるが、ここでは先に上
段の炉心管に入れたボートを取り出しに向かう例
について説明する（第７図ｅ参照）。

つぎに、パドルはＸ軸方向にXFLSが動作する
まで前進し、その後エレベータはNo.3′LSが動作
するまで上昇する。つぎにパドルは上段の炉心管
１の炉口に向かつてYFLSが動作するまで前進す
る。パドル４８の先端部をスカベンジヤ内に臨ま
せ、上段の炉心管１の入口部近傍に位置するパド
ル４８に対し、上段のボートローダが作動し、ボ
ート３をポジシヨン３からポジシヨン２に移動、
すなわち、パドル４８の受面上に載る。その後、
インチング用昇降用モータ９０が正転して昇降棒
８０がIULSが動作するまで上昇し、上昇によつ
てボート３の引掛孔８２に入つている引出棒７４
のフツク７５を外す。そして、引出棒７４をＰ１
に後退させボートローダは次のボートの挿入動作
に備えて動作を停止（ボートローダEND）させ
る。

一方、ボート３を載置したパドル４８は、第７
図ｄのなる流れにしたがつて、パドルのＹ軸後
退、エレベータのNo.３への下降、パドルのＸ軸後
退、エレベータの下死点への下降と順次動作し、
作業位置にボートを運ぶ、そして、この作業位置
でボートは所望位置に運ばれ、新に熱処理の必要
なウエハを収容したボートがパドル上に載せら
れ、つぎのボート供給（ローデイング）を行な
う。あるいは、中段、下段のボートの取り出しに
向かう。

前記の例では、上段の炉心管へのボートの挿入
取出しについて説明したが、この熱処理装置は
種々の動きを組合せて行なうことができる。たと
えば、上段、中段、下段に順次ボートを挿入した
後、熱処理が完了した順にボートを炉心管から取
り出し、再び空状態となつた炉心管にボートを挿
入する等の動きである。また、同時に複数の炉心
管からボートを取り出す場合には、各ボートが熱
処理特性を損われることのない炉心管入口部の低
温部（ポジシヨン３）に熱処理完了とともに運ば
れ、ボート取出し作業に備えるため、トレーステ
ーシヨン機構の動きはあらかじめ定めた規準にし
たがつてボートの取出順序を自動的に決定して、
最先を要するボートの取り出しから順次ボート取
出作業を行なう。

また、この熱処理装置はつぎのような特長をも
有している。

(1) 動作中のシーケンスは上段、中段、下段別に
ランプ表示される。

(2) 運転は手動、自動がスイツチの切換で行なえ
る。この場合、各段は単独で切換が行なえる。
手動に切換えた場合、引出棒は炉心管の内側下
面にほぼ対応する位置（取付板９３の手動リミ
ツトスイツチ９４の位置）までダウンする。ま
た、自動時はIULSまで上昇する。

(3) 全シーケンスが手動の時のみ各部はインチン
グが可能である。

(4) 各部の動作は非常停止が可能である。さら
に、各部はステンレス、アルミニウム材で形作
られている。

このような実施例によれば、作業者はXY軸後
方に位置し、かつ下死点位置にあるトレーステー
シヨンのパドル上にボートを載置したり、あるい
は取り外したりするだけで、複数の炉心管の選
択、特定化された炉心管へのボートの挿入あるい
は取り出しは自動的にかつ迅速に行なわれる。し
たがつて、極めて作業性がよい。

また、この熱処理装置では、作業者はトレース
テーシヨンのパドル上へのボートの着脱作業だけ
をすればよいので、クリーンベンチ前での作業回
数が減り、作業者移動による塵埃の舞い上がり、
ウエハへの塵埃の付着頻度も従来に較べて遥かに
少なくなる。この結果、熱処理の信頼性、歩留も
向上する。

なお、本発明は前記実施例に限定されない。た
とえば、各動作部の機構はねじ棒と雌ねじにした
が、円滑に作動させるためミニアチユアボールね
じ構造としてもよい。

また、各動作部の停止位置検出は他の機構、た
とえば光学的手段、電気的手段でもよい。

また、実施例ではボートの取り出しにあつて
は、全てボートを炉心管の入口部Ｐ１に一時停止
するようにしているが、ボートの取出作業が複数
同時になつた時だけＰ１にボートを一時停止させ
るだけにして、通常はボート取出寸前に制御系か
らの信号を受けて所定の炉心管の入口部にパドル
を待機させるようにしてもよい。

また、引出棒のボートからの取り外し、引掛は
下方から行なう機構としてもよい。

また、実施例のエレベータと同様な構造で、ウ
エハを収容するカートリツジを直接保持し、この
カートリツジを直接ボートにセツトする構造とし
てもよい。この場合、ボートから引出棒を取外さ
なくともよい。

さらに、この実施例では半導体薄板（ウエハ）
を被処理物としているが、他の物でもよいことは
勿論である。

以上のように、本発明の熱処理装置によれば、
能率よく作業を行なえるばかりでなく、信頼性の
高い製品を歩留よく得ることができる。したがつ
て、熱処理コストも低減できる等の実益もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の熱処理装置の一実施例による
外観図、第２図は同じくトレーステーシヨン機構
を示す斜視図、第３図は第２図の−線におけ
る断面図、第４図は本発明の熱処理装置の一実施
例によるトレーステーシヨン機構におけるＹ方向
移動部を示す斜視図、第５図は本発明の熱処理装
置の一実施例におけるボートローダの昇降機構を
示す斜視図、第６図は同じくボートローダによる
炉心管へのボートの出入状態を示す説明図、第７
図ａ〜ｅは本発明の熱処理装置へのボート出入方
法を示すフローチヤートである。 １……炉心管、２……クリーンベンチ、３……
ボート、４……ボートローダ、５……トレーステ
ーシヨン機構、６……ボートローダ制御ボツク
ス、７……ガスシーケンサー制御ボツクス、８…
…低温加熱用制御ボツクス、９……トレーステー
シヨン機構制御ボツクス、１０……拡散炉制御パ
ネル、１１……ドウピングキヤビネツト、１２…
…床板、１３……天井板、１４……ガイドシヤフ
ト、１５……昇降体（エレベータ）、１６……ね
じ棒、１７……ドリブンギヤ、１８……取付板、
１９……昇降用モータ、２０……回転軸、２１…
…ドライブギヤ、２２……リミツトスイツチ取付
棒、２３……長溝、２４……リミツトスイツチ、
２５……支持体、２６……可動支持体、２７……
底板、２８……支持ブロツク、２９……ボルト、
３０……鋼球（ボール）、３１……保持板、３
２，３３……ボルト、３４……ガイド板、３５…
…転動部、３６……ねじ棒、３７……ボルト、３
８……支持板、３９……鉛直部、４０……ドリブ
ンギヤ、４１……Ｘ方向用モータ、４２……回転
軸、４３……ドライブギヤ、４４……リミツトス
イツチ、４５……トレーステーシヨン、４６……
カバー、４７……駆動部、４８……パドル、４９
……前方支持板、５０……後方支持板、５１……
ボルト、５２……炉口、５３……ガイド棒、５４
……ねじ棒、５５……ドリブンギヤ、５６……ボ
ルト、５７……支持台、５８……Ｙ方向用モー
タ、５９……回転軸、６０……ドライブギヤ、６
１，６２……支持板、６３，６４……支持片、６
５……リミツトスイツチ、６６……ねじ、６７…
…ねじ、６８……Ｖ字溝、６９……駆動棒、７０
……屈曲部、７１……連結ブロツク、７２……連
結棒、７３……円板、７４……引出棒、７５……
フツク、７６……縦枠、７７，７８……ローラ、
７９……昇降機構、８０……昇降棒、８１……ガ
イドローラ、８２………引掛孔、８３……昇降
板、８４，８５……支持板、８６，８７……ガイ
ドシヤフト、８８……ねじ棒、８９……ドリブン
ギヤ、９０……インチング用昇降用モータ、９１
……回転軸、９２……ドライブギヤ、９３……取
付板、９４……リミツトスイツチ、９５……縦
板、９６……ボツクス、９７……カートリツジ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 開口部を有する管状の処理部を複数個有する
   処理炉と、上記複数の処理部それぞれの上記開口
   部側の上記処理部外から上記複数の処理部それぞ
   れの処理部内へ被処理体を導入したり又は上記複
   数の処理部それぞれの上記処理部内から上記開口
   部側の処理部外へ上記被処理体を取り出したりす
   ることができる第１の移送手段と、上記複数の処
   理部それぞれの開口部側の上記処理部外に上記被
   処理体を供給することができる第２の移送手段
   と、上記複数の処理部で処理される上記被処理体
   を上記処理部内から処理部外へ取り出す時に、所
   定の処理部内の被処理体を上記処理部外へ取り出
   すと共に他の処理部内の被処理体を上記他の処理
   部の開口部近傍の上記他の処理部内に停止させて
   おくように上記第１の移送手段を制御することの
   できる制御手段とを有することを特徴とする熱処
   理装置。