JPS6065593U - 遠心乾燥機 - Google Patents

遠心乾燥機

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Publication number
JPS6065593U
JPS6065593U JP15882483U JP15882483U JPS6065593U JP S6065593 U JPS6065593 U JP S6065593U JP 15882483 U JP15882483 U JP 15882483U JP 15882483 U JP15882483 U JP 15882483U JP S6065593 U JPS6065593 U JP S6065593U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
turntable
centrifugal dryer
rotation stage
stage
periphery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15882483U
Other languages
English (en)
Inventor
章 岩山
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
Priority to JP15882483U priority Critical patent/JPS6065593U/ja
Publication of JPS6065593U publication Critical patent/JPS6065593U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
゛　　　第１図は従来の遠心乾燥機の一部省略平面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図は第１
図の遠心乾燥機の問題点を説明するための被乾燥物断面
図、第４図は本考案の一実施例の遠心乾燥機の一部省略
平面図、第５図は第４図のＢ−Ｂ線に沿う部分断面図、
第６図と第７図は本考案による遠心乾燥の動作を説明す
るための被乾燥物断面図である。 ３・・・被乾燥物（半導体ウェーハ）、１４・・・ター
ンテーブル、１５・・・回転ステージ、１６・・・羽根
板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 水平なターンテーブルと、該ターンテーブルの周辺部上
    定位置に回転可能に配置されて被乾燥物が適宜位置決め
    載置される回転ステージと、該回転ステージの外周に突
    設されてターンテーブルの回転時にターンテーブル上方
    の空気抵抗にて回転ステージに自転力を付与する羽根板
    とを具備したことを特徴とする遠心乾燥機。
JP15882483U 1983-10-13 1983-10-13 遠心乾燥機 Pending JPS6065593U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15882483U JPS6065593U (ja) 1983-10-13 1983-10-13 遠心乾燥機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15882483U JPS6065593U (ja) 1983-10-13 1983-10-13 遠心乾燥機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6065593U true JPS6065593U (ja) 1985-05-09

Family

ID=30349787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15882483U Pending JPS6065593U (ja) 1983-10-13 1983-10-13 遠心乾燥機

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JP (1) JPS6065593U (ja)

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