JPS6067163A - 液体噴射記録装置 - Google Patents
液体噴射記録装置Info
- Publication number
- JPS6067163A JPS6067163A JP17728383A JP17728383A JPS6067163A JP S6067163 A JPS6067163 A JP S6067163A JP 17728383 A JP17728383 A JP 17728383A JP 17728383 A JP17728383 A JP 17728383A JP S6067163 A JPS6067163 A JP S6067163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- liquid
- electrode
- protective film
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は発熱によって飛翔液滴を形成し記録を行う液体
噴射記録装置に関する。
噴射記録装置に関する。
［従来技術］
第１図（ａ）は従来の液体噴射記録ヘッドの一例を示す
平面断面図であり、第１図（ｂ）は第１図（ａ）におけ
るＡ−Ａ断面図である。同図において、基板ｌ上には発
熱手段、すなわち電気−熱変換部（以下９発熱部と記す
）２と導電部３とが形成され、その上に９図示されてい
ないが保護膜が形成されている０発熱部２の各々は溝付
板４により仕切られて熱作用室５と液供給室６とが形成
されている。熱作用室５の一端には吐出ロアがあり、液
体はここから噴射される。噴射される液体は、吐出ロア
とは反対側に設けられた液供給パイプ８を通して供給さ
れ、液供給室６および熱作用室５を満たしている。
平面断面図であり、第１図（ｂ）は第１図（ａ）におけ
るＡ−Ａ断面図である。同図において、基板ｌ上には発
熱手段、すなわち電気−熱変換部（以下９発熱部と記す
）２と導電部３とが形成され、その上に９図示されてい
ないが保護膜が形成されている０発熱部２の各々は溝付
板４により仕切られて熱作用室５と液供給室６とが形成
されている。熱作用室５の一端には吐出ロアがあり、液
体はここから噴射される。噴射される液体は、吐出ロア
とは反対側に設けられた液供給パイプ８を通して供給さ
れ、液供給室６および熱作用室５を満たしている。
吐出ロアからの液体の噴射は発熱部２の発熱によって引
き起こされる。所望の位置の発熱部２は、その発熱部２
が接続している導電部３に所定のパルス電圧が印加され
ることによって発熱する。この電圧が印加されると、熱
によって発熱部２の近傍にある液体は瞬時のうちに気化
し、その気泡は熱作用室５内で急激に成長する。この圧
力によって吐出ロア側にある液体は吐出ロアから急速に
押し出され、飛翔液滴となって記録部材に付着し記録が
行われることとなる０次いで、印加電圧がオフされると
気泡は急速に収縮し、消滅する。
き起こされる。所望の位置の発熱部２は、その発熱部２
が接続している導電部３に所定のパルス電圧が印加され
ることによって発熱する。この電圧が印加されると、熱
によって発熱部２の近傍にある液体は瞬時のうちに気化
し、その気泡は熱作用室５内で急激に成長する。この圧
力によって吐出ロア側にある液体は吐出ロアから急速に
押し出され、飛翔液滴となって記録部材に付着し記録が
行われることとなる０次いで、印加電圧がオフされると
気泡は急速に収縮し、消滅する。
このように動作する液体噴射ヘッドにおいては９発熱手
段（発熱部−２および導電部３）が液体と接触しないよ
うに保護膜が設けられている。第２図は、第１図（ｂ）
に示された液体噴射記録ヘッドの発熱部２の近傍を拡大
して、より詳細に示した断面図である。同図において、
基板１上に−は抵抗体９と電極１ｏが形成されており、
抵抗体９だけの部分が第１図における発熱部２に、抵抗
体９と電極１０の重なった部分が第１図における導電部
３にそれぞれ対応している。これら発熱手段としての抵
抗体９と電極１０は保護膜１１によって液体１２から保
護されている。
段（発熱部−２および導電部３）が液体と接触しないよ
うに保護膜が設けられている。第２図は、第１図（ｂ）
に示された液体噴射記録ヘッドの発熱部２の近傍を拡大
して、より詳細に示した断面図である。同図において、
基板１上に−は抵抗体９と電極１ｏが形成されており、
抵抗体９だけの部分が第１図における発熱部２に、抵抗
体９と電極１０の重なった部分が第１図における導電部
３にそれぞれ対応している。これら発熱手段としての抵
抗体９と電極１０は保護膜１１によって液体１２から保
護されている。
抵抗体９および電極１ｏは液体１２に接触すると、酸化
反応や電気分解等の化学反応によって変質が生じる結果
、抵抗値が変化したり断線したりする危険がある。その
ために保護膜１１が設けられている。この保護膜１１が
完全なものであれば問題はなく、抵抗体９および電極１
ｏは液体１２と完全に分離され、抵抗体９の高寿命は保
証される。
反応や電気分解等の化学反応によって変質が生じる結果
、抵抗値が変化したり断線したりする危険がある。その
ために保護膜１１が設けられている。この保護膜１１が
完全なものであれば問題はなく、抵抗体９および電極１
ｏは液体１２と完全に分離され、抵抗体９の高寿命は保
証される。
しかしながら、このような理想的な保護膜を形成するの
は事実上極めて困難である。通常の製造工程においては
、不可避的に第２図に示されるような数ミクロン以下の
微小な欠陥点１３が保護膜１１に生じてしまう。また、
抵抗体９の発熱部２の発熱による熱ストレスやすでに述
べたように気泡の発生、消滅にともなう衝撃等によって
も保護膜１１には欠陥点１３が生じることがわかってい
る。 欠陥点１３が存在すると、液体１２と抵抗体９お
よび電極１０とが接触し、電気化学的反応が生じるが、
その反応速度は、抵抗体９や電極ｌＯの種類、抵抗体９
の発熱温度、そして液体中の導電イオンの種類等によっ
て大きく異なっている。しかし１通常１発熱部２に欠陥
点１３が生しると、１０５〜１０６回程度のパルス電圧
が印加されただけで抵抗体９の発熱部２が破壊され断線
してしまい実用的な耐久力を有さない。実用に供するに
はすくなくとも１０８回程度パルス電圧が印加されても
抵抗体９（特に発熱部２）や電極ｌＯに損傷が生じない
程度の耐久性が必要である。
は事実上極めて困難である。通常の製造工程においては
、不可避的に第２図に示されるような数ミクロン以下の
微小な欠陥点１３が保護膜１１に生じてしまう。また、
抵抗体９の発熱部２の発熱による熱ストレスやすでに述
べたように気泡の発生、消滅にともなう衝撃等によって
も保護膜１１には欠陥点１３が生じることがわかってい
る。 欠陥点１３が存在すると、液体１２と抵抗体９お
よび電極１０とが接触し、電気化学的反応が生じるが、
その反応速度は、抵抗体９や電極ｌＯの種類、抵抗体９
の発熱温度、そして液体中の導電イオンの種類等によっ
て大きく異なっている。しかし１通常１発熱部２に欠陥
点１３が生しると、１０５〜１０６回程度のパルス電圧
が印加されただけで抵抗体９の発熱部２が破壊され断線
してしまい実用的な耐久力を有さない。実用に供するに
はすくなくとも１０８回程度パルス電圧が印加されても
抵抗体９（特に発熱部２）や電極ｌＯに損傷が生じない
程度の耐久性が必要である。
このように保護膜ｌｌに欠陥点１３が存在すると、抵抗
体９の発熱部２の寿命が短くなり、その結果、ヘッドの
寿命も短くなる。なぜならば、ひとつの抵抗体が破壊さ
れた時点がそのヘッドの寿命でもあるからである。しか
し、すでに述べたように欠陥点１３を完全に除去するこ
とは極めて困難である。また、保護膜１１の膜厚を大き
くすることは熱効率の低下、入力信号に対する熱応答性
の悪化等の理由から避けねばならない。したがって、従
来の記録ヘッドの製造では、短寿命のヘッドが数ある中
に混入することは避けられず、そのために商品信頼性も
著しく低下させるという問題点を有していた。
体９の発熱部２の寿命が短くなり、その結果、ヘッドの
寿命も短くなる。なぜならば、ひとつの抵抗体が破壊さ
れた時点がそのヘッドの寿命でもあるからである。しか
し、すでに述べたように欠陥点１３を完全に除去するこ
とは極めて困難である。また、保護膜１１の膜厚を大き
くすることは熱効率の低下、入力信号に対する熱応答性
の悪化等の理由から避けねばならない。したがって、従
来の記録ヘッドの製造では、短寿命のヘッドが数ある中
に混入することは避けられず、そのために商品信頼性も
著しく低下させるという問題点を有していた。
さらに、抵抗体の寿命は抵抗体の発熱部２に印加される
電圧にも依存することが知られている。
電圧にも依存することが知られている。
実際、液体噴射記録ヘッドには、たとえば１００ノズル
以上の多数のノズルが設けられている。
以上の多数のノズルが設けられている。
各ノズルには上述したように抵抗体が組込まれているわ
けであるが、発熱によって気泡を発生させるためには所
定値（しきい値）以上の電圧を抵抗体に印加する必要が
ある。しかしノズル数が多くなると、各抵抗体の特性に
もバラツキが生じることは避は難いことである。そこで
、すべてのノズル内に確実に気泡を発生きせるためには
、しきい値電圧ｖｈの１．３倍程度の電圧を印加するこ
とが望ましい。
けであるが、発熱によって気泡を発生させるためには所
定値（しきい値）以上の電圧を抵抗体に印加する必要が
ある。しかしノズル数が多くなると、各抵抗体の特性に
もバラツキが生じることは避は難いことである。そこで
、すべてのノズル内に確実に気泡を発生きせるためには
、しきい値電圧ｖｈの１．３倍程度の電圧を印加するこ
とが望ましい。
ところが、印加電圧を１．３倍とするとしきい値程度の
印加電圧を加える場合に比べてはるかに抵抗体の故障率
が増加してしまうという問題があった。例えば、印加電
圧を１．３Ｖｔ ｈとした場合のは、印加電圧がｌ 、
ｌＶｔ ｈとした場合に比べ故障率は１桁以上も高くな
ってしまう。この為に、従来のヘッドでは全てのノズル
内で確実に液体を噴射させるためのエネルギーを発生さ
せられるように印加電圧を１．３Ｖｔ ｈでノズルを駆
動させると十分な信頼性を確保する事が困難となるとい
う問題点を有していた。
印加電圧を加える場合に比べてはるかに抵抗体の故障率
が増加してしまうという問題があった。例えば、印加電
圧を１．３Ｖｔ ｈとした場合のは、印加電圧がｌ 、
ｌＶｔ ｈとした場合に比べ故障率は１桁以上も高くな
ってしまう。この為に、従来のヘッドでは全てのノズル
内で確実に液体を噴射させるためのエネルギーを発生さ
せられるように印加電圧を１．３Ｖｔ ｈでノズルを駆
動させると十分な信頼性を確保する事が困難となるとい
う問題点を有していた。
［発明の目的］
本発明は上記従来の欠点に鑑みなされたものであり、そ
の目的とするところは発熱手段の保護膜に従来と同レベ
ルの欠陥点が存在していたどしても、またノズルから液
体の噴射を確実に行なわせるために十分高い電圧を抵抗
体に印加したとしても実用に供しうる高寿命をもつ液体
噴射記録装置を提供することにある。
の目的とするところは発熱手段の保護膜に従来と同レベ
ルの欠陥点が存在していたどしても、またノズルから液
体の噴射を確実に行なわせるために十分高い電圧を抵抗
体に印加したとしても実用に供しうる高寿命をもつ液体
噴射記録装置を提供することにある。
［発明の要旨］
上記目的を達成するために本発明による液体噴射記録装
置は液体に電位を与えるための電極を設けるとともに、
前記抵抗体がタンタルＴａを３０原子％以上含有してい
ることを特徴とする。
置は液体に電位を与えるための電極を設けるとともに、
前記抵抗体がタンタルＴａを３０原子％以上含有してい
ることを特徴とする。
［発明の実施例］
以下９本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第３図は２本発明による液体噴射記録装置の一実施例の
概略的構成図、第４図は本実施例の配線図である。電極
１０の一端は電源１４によって電圧ｖｈが印加され、抵
抗体９の発熱部２を介した電極ｌＯの他端はスイッチン
グトランジスタ１５に接続されている。スイッチング、
トランジスタ１５は所定の信号によりオン状−あるいは
オフ状態となり、抵抗体９の発熱部２にパルス状の電圧
を供給する動作を行なう。ここまでの構成は従来と同様
であるが９本発明では、液体１２に接触して電極１６を
設け、電源１７によって電圧Ｖｉｎｋを液体１２に印加
している。
概略的構成図、第４図は本実施例の配線図である。電極
１０の一端は電源１４によって電圧ｖｈが印加され、抵
抗体９の発熱部２を介した電極ｌＯの他端はスイッチン
グトランジスタ１５に接続されている。スイッチング、
トランジスタ１５は所定の信号によりオン状−あるいは
オフ状態となり、抵抗体９の発熱部２にパルス状の電圧
を供給する動作を行なう。ここまでの構成は従来と同様
であるが９本発明では、液体１２に接触して電極１６を
設け、電源１７によって電圧Ｖｉｎｋを液体１２に印加
している。
図示されるような電極１６を有さない従来の液体噴射記
録ヘッドでは、保護膜１１に欠陥点１３が存在すると液
体１２の電位は電＃ｉ１４が供給する電圧ｖｈとほぼ同
レベルとなる。そのために電圧ｖｈが加わっている発熱
部２のＡ部分は液体１２どの電位差がほとんどなく、そ
の結果液体１２と抵抗体９あるいは電極１０との電気化
学的反応はそれほど急速に進行することはなかった。し
かしＢ部分の電位は、スイッチングトランジスタ１５が
オン状態となると、接地電圧Ｖｇの近くまで下降するた
めに、液体１２との間にほぼｖｈ−ｖｇはどの電位差が
生じてしまう。そのために、欠陥点１３がＢ部分近傍に
存在する場合はその欠陥点１３を通して電流が流れやす
くなり、その結果抵抗体９と液体１２との間に電気化学
的反応が急速に進行し、最後には抵抗体９が破壊されて
断線という事態にいたる。
録ヘッドでは、保護膜１１に欠陥点１３が存在すると液
体１２の電位は電＃ｉ１４が供給する電圧ｖｈとほぼ同
レベルとなる。そのために電圧ｖｈが加わっている発熱
部２のＡ部分は液体１２どの電位差がほとんどなく、そ
の結果液体１２と抵抗体９あるいは電極１０との電気化
学的反応はそれほど急速に進行することはなかった。し
かしＢ部分の電位は、スイッチングトランジスタ１５が
オン状態となると、接地電圧Ｖｇの近くまで下降するた
めに、液体１２との間にほぼｖｈ−ｖｇはどの電位差が
生じてしまう。そのために、欠陥点１３がＢ部分近傍に
存在する場合はその欠陥点１３を通して電流が流れやす
くなり、その結果抵抗体９と液体１２との間に電気化学
的反応が急速に進行し、最後には抵抗体９が破壊されて
断線という事態にいたる。
しかしながら欠陥点による電気化学的反応の進行につい
ては、まだ十分に解明されたわけではない。ただ確かな
ことは、上述したように液体１２の電位が高く抵抗体９
（あるいは電極１０）の電位が低い場合には液体１２か
ら抵抗体９（あるいは電極１０）へ電流が流れやすく、
逆の場合、すなわち抵抗体９（あるいは電極ｌＯ）の電
位の方が液体１２の電位より高い場合は電流が流れにく
い、という点がある。
ては、まだ十分に解明されたわけではない。ただ確かな
ことは、上述したように液体１２の電位が高く抵抗体９
（あるいは電極１０）の電位が低い場合には液体１２か
ら抵抗体９（あるいは電極１０）へ電流が流れやすく、
逆の場合、すなわち抵抗体９（あるいは電極ｌＯ）の電
位の方が液体１２の電位より高い場合は電流が流れにく
い、という点がある。
したがって、液体１２の電位の方が高ければ抵抗体９（
あるいは電極ｉｏ）との電気化学的反応は速やかに進行
し、逆に抵抗体９（あるいは電極ｌＯ）の電位が液体１
２の電位より高いか、あるいはあまり差がない場合は電
流が流れにくいために電気化学的反応はあまり進行しな
い。その結果、抵抗体９（特に発熱部２）や電極ｌＯの
寿命が長くなる０本発明はこの現象を利用したものであ
る。
あるいは電極ｉｏ）との電気化学的反応は速やかに進行
し、逆に抵抗体９（あるいは電極ｌＯ）の電位が液体１
２の電位より高いか、あるいはあまり差がない場合は電
流が流れにくいために電気化学的反応はあまり進行しな
い。その結果、抵抗体９（特に発熱部２）や電極ｌＯの
寿命が長くなる０本発明はこの現象を利用したものであ
る。
第３図および第４図における電極１６は液体１２に電位
を与えるために設けられている。このために電極１６の
電位Ｖｉｎｋを電源１７によって調整することで液体１
２の電位を調整し、液体１２と抵抗体９（あるいは電極
ｌＯ）の電気化学的反応が抑制される状態をつくりだす
ことが可能となる。
を与えるために設けられている。このために電極１６の
電位Ｖｉｎｋを電源１７によって調整することで液体１
２の電位を調整し、液体１２と抵抗体９（あるいは電極
ｌＯ）の電気化学的反応が抑制される状態をつくりだす
ことが可能となる。
次に、抵抗体９の材料について具体的実験例を用いて説
明する。
明する。
第３図において、ＳＬ基板上に５ｉ０２熱酸化膜を５ル
ｍ形成し、そのうえに抵抗体９を２００ｏＡ、電極ｌＯ
として金Ａｕを５０００人形成した。そしてフォトリソ
工程により３０ｇｍＸＩＯ０７ｚｍの抵抗体パターンを
形成した後、保護ｌｌｌ１ｌとしてＴａ２０５を５００
０人スパッタした。
ｍ形成し、そのうえに抵抗体９を２００ｏＡ、電極ｌＯ
として金Ａｕを５０００人形成した。そしてフォトリソ
工程により３０ｇｍＸＩＯ０７ｚｍの抵抗体パターンを
形成した後、保護ｌｌｌ１ｌとしてＴａ２０５を５００
０人スパッタした。
ただし９本実験例では欠陥点の多い保護膜を作成するた
めに、直径約３ｐｍ程度のゴミを保護膜作成前に意識的
に付着させた。このために、形成された抵抗体上には平
均２〜５個のゴミが観察された。液体に電位を与える電
極１６は金Ａｕを用い、抵抗体９に対して対向電極とし
た。
めに、直径約３ｐｍ程度のゴミを保護膜作成前に意識的
に付着させた。このために、形成された抵抗体上には平
均２〜５個のゴミが観察された。液体に電位を与える電
極１６は金Ａｕを用い、抵抗体９に対して対向電極とし
た。
液体１２にはＮａ（１０，２モル水溶液を用いた。しき
い値電圧ｖｔｈは抵抗体９の材料、形状等によって異な
るが本実施例で用いた抵抗体の場合ｖｔｈは１８Ｖ〜２
５Ｖであった。本実施例においては、しきい値電圧ｖｔ
ｈの１．３倍の電圧でパルス幅１０ｐＬｓｅｃ、駆動周
波数３ＫＨｚで、電極１６に印加される電圧Ｖ ｉ ｎ
ｋを変化させて１０８回抵抗体にパルス電圧を印加し
た後の不良ノズル率（抵抗体の破壊率）を測定した。そ
の結果を第１表に示す。
い値電圧ｖｔｈは抵抗体９の材料、形状等によって異な
るが本実施例で用いた抵抗体の場合ｖｔｈは１８Ｖ〜２
５Ｖであった。本実施例においては、しきい値電圧ｖｔ
ｈの１．３倍の電圧でパルス幅１０ｐＬｓｅｃ、駆動周
波数３ＫＨｚで、電極１６に印加される電圧Ｖ ｉ ｎ
ｋを変化させて１０８回抵抗体にパルス電圧を印加し
た後の不良ノズル率（抵抗体の破壊率）を測定した。そ
の結果を第１表に示す。
第１表
第１表において、タンタルＴａ含有率が高い程、マタ電
圧Ｖ ｉ ｎ ｋが−１０（Ｖ） 〜０ （Ｖ）の範囲
で抵抗体９の破壊率が低くなっている。特にタンタルＴ
ａ含有率が３０原子％以上で、Ｖｉｎｋが−１０（Ｖ）
〜Ｏ（Ｖ）の範囲である時は極めて良好な結果が得られ
た。
圧Ｖ ｉ ｎ ｋが−１０（Ｖ） 〜０ （Ｖ）の範囲
で抵抗体９の破壊率が低くなっている。特にタンタルＴ
ａ含有率が３０原子％以上で、Ｖｉｎｋが−１０（Ｖ）
〜Ｏ（Ｖ）の範囲である時は極めて良好な結果が得られ
た。
抵抗体のタンタル含有率が高くなる程、好結果が得られ
るのは、ｖｉｎｋを一１Ｏ（Ｖ）〜０（Ｖ）とした時に
保護膜１１の欠陥点１３を通して抵抗体９の表面が陽極
酸化され、不活性なタンタル酸化物で覆われるためであ
る。この現象を利用して欠陥点１３が原因となる抵抗体
の破壊を大幅に減少させることが可能である。すなわち
、保護膜１１の製造工程において生じた欠陥点およびそ
の後気泡の消滅時の衝撃等で新たに欠陥点が発生しても
、Ｖｉｎｋを−１０（Ｖ） 〜０ （Ｖ） ＋７）範囲
で制御すれば、抵抗体９の表面は陽極酸化されるので抵
抗体９上は不活性な膜で覆われ、従来のように電気化学
的反応が進行しにくくなるわけである。
るのは、ｖｉｎｋを一１Ｏ（Ｖ）〜０（Ｖ）とした時に
保護膜１１の欠陥点１３を通して抵抗体９の表面が陽極
酸化され、不活性なタンタル酸化物で覆われるためであ
る。この現象を利用して欠陥点１３が原因となる抵抗体
の破壊を大幅に減少させることが可能である。すなわち
、保護膜１１の製造工程において生じた欠陥点およびそ
の後気泡の消滅時の衝撃等で新たに欠陥点が発生しても
、Ｖｉｎｋを−１０（Ｖ） 〜０ （Ｖ） ＋７）範囲
で制御すれば、抵抗体９の表面は陽極酸化されるので抵
抗体９上は不活性な膜で覆われ、従来のように電気化学
的反応が進行しにくくなるわけである。
［発明の効果］−
以上、詳細に説明したように本発明のよる液体噴射記録
装置は液体に所望の電位を与えることで抵抗体表面に陽
極酸化による不活性膜を形成するために、保護膜に従来
と同レベルの欠陥点が存在しても抵抗体の破壊率を大幅
に低下させることができ信頼性を向上させることができ
るという大きな効果を有する。
装置は液体に所望の電位を与えることで抵抗体表面に陽
極酸化による不活性膜を形成するために、保護膜に従来
と同レベルの欠陥点が存在しても抵抗体の破壊率を大幅
に低下させることができ信頼性を向上させることができ
るという大きな効果を有する。
第１図（ａ）は液体噴射記録ヘッドの従来例の一部破断
の平面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）におけるＡ−Ａ
断面図、第２図は第１図（ｂ）における発熱部近傍を拡
大した部分断面図、第３図は本発明による液体噴射記録
装置の一実施例の基本構成図、第４図は本実施例の配線
図である。 ２・ψ・発熱部、９Φ・・抵抗体、１０・・・電極、ｌ
ｌ・・・保護膜、 １２・・・液体。 １３φ・拳欠陥点、１６・・拳電極。 第１図（（１） 第１図（ｂ） 第２図 第３図 第４図
の平面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）におけるＡ−Ａ
断面図、第２図は第１図（ｂ）における発熱部近傍を拡
大した部分断面図、第３図は本発明による液体噴射記録
装置の一実施例の基本構成図、第４図は本実施例の配線
図である。 ２・ψ・発熱部、９Φ・・抵抗体、１０・・・電極、ｌ
ｌ・・・保護膜、 １２・・・液体。 １３φ・拳欠陥点、１６・・拳電極。 第１図（（１） 第１図（ｂ） 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- （１） 抵抗体を発熱させその熱作用によって液体を吐
出させる液体噴射記録装置において、前記液体に電位を
与えるための電極を設けるとともに、前記抵抗体がタン
タルＴａを３０原子％以上含有していることを特徴とす
る液体噴射記録装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17728383A JPS6067163A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 液体噴射記録装置 |
| US06/652,888 US4626875A (en) | 1983-09-26 | 1984-09-21 | Apparatus for liquid-jet recording wherein a potential is applied to the liquid |
| DE19843435163 DE3435163A1 (de) | 1983-09-26 | 1984-09-25 | Vorrichtung zur fluessigkeitsstrahlaufzeichnung |
| GB08424301A GB2148195B (en) | 1983-09-26 | 1984-09-26 | Liquid-jet recording apparatus |
| HK684/91A HK68491A (en) | 1983-09-26 | 1991-08-29 | Apparatus for liquid-jet recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17728383A JPS6067163A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 液体噴射記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067163A true JPS6067163A (ja) | 1985-04-17 |
| JPH0457504B2 JPH0457504B2 (ja) | 1992-09-11 |
Family
ID=16028321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17728383A Granted JPS6067163A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 液体噴射記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067163A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990009888A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having heat-generating resistor constituted of non-monocrystalline substance containing iridium, tantalum and aluminum, and ink jet device equipped with said head |
| WO1993002864A1 (fr) * | 1991-08-02 | 1993-02-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Base pour tete d'impression a jet d'encre, tete d'impression a jet d'encre utilisant ladite base, et dispositif d'impression a jet d'encre pourvu de ladite tete |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17728383A patent/JPS6067163A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990009888A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having heat-generating resistor constituted of non-monocrystalline substance containing iridium, tantalum and aluminum, and ink jet device equipped with said head |
| WO1990009887A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having heat-generating resistor constituted of non-monocrystalline substance containing iridium, tantalum and aluminum, and ink jet device equipped with said head |
| US5142308A (en) * | 1989-02-28 | 1992-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having heat generating resistor made of non-single crystalline substance containing ir and ta |
| WO1993002864A1 (fr) * | 1991-08-02 | 1993-02-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Base pour tete d'impression a jet d'encre, tete d'impression a jet d'encre utilisant ladite base, et dispositif d'impression a jet d'encre pourvu de ladite tete |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0457504B2 (ja) | 1992-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60210462A (ja) | インクジエツト記録装置 | |
| US4626875A (en) | Apparatus for liquid-jet recording wherein a potential is applied to the liquid | |
| CN112236238A (zh) | 液滴喷出装置和液滴喷出方法 | |
| JPS6067163A (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| JPS6018357A (ja) | インクジエツト印刷ヘツド | |
| EP0812691A2 (en) | Head and method for an ink jet printer | |
| JPS6068960A (ja) | 液体噴射記録装置及び該記録装置を用いた液体噴射記録方法 | |
| JPS6067161A (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| US8020971B2 (en) | Liquid ejection head, liquid ejection apparatus and liquid ejection method | |
| JPS61255866A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH05338184A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPS5833471A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH0457503B2 (ja) | ||
| JPS61255865A (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| KR100205747B1 (ko) | 잉크젯프린터의 분사장치 및 분사방법 | |
| JP2005335294A (ja) | 液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出ヘッドの駆動制御装置および液滴吐出装置 | |
| JPS62152757A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS60157873A (ja) | 液体噴射記録装置の駆動回路 | |
| EP0812690A2 (en) | Head and method for an ink jet printer | |
| JPH0760963A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPS60208246A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS6342872A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JPS59124871A (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| JPS59124870A (ja) | インク噴射ヘッド | |
| JPS58112752A (ja) | インクジエツト記録装置 |