JPS6068544A - 熱分解質量分析計用熱分解体投入装置 - Google Patents
熱分解質量分析計用熱分解体投入装置Info
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- JPS6068544A JPS6068544A JP59116770A JP11677084A JPS6068544A JP S6068544 A JPS6068544 A JP S6068544A JP 59116770 A JP59116770 A JP 59116770A JP 11677084 A JP11677084 A JP 11677084A JP S6068544 A JPS6068544 A JP S6068544A
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- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 title description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 title 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims description 27
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- CVSVTCORWBXHQV-UHFFFAOYSA-N creatine Chemical compound NC(=[NH2+])N(C)CC([O-])=O CVSVTCORWBXHQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 238000000009 pyrolysis mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0495—Vacuum locks; Valves
-
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- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0468—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample
- H01J49/0472—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample with means for pyrolysis
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
不発明は質量分析計に用いる熱分解体投入装置に関する
ものである。
ものである。
質量分析計においては、試料のイオンがそれらの質量或
いは質量対電荷の比に基づいて分析さ、れ、存在するイ
オンやそれらの相対的な割合が決定される。従って、種
々の形態の質量分析計において、この分析計内の真空開
に悪影響を及ぼすことなくこの分析計の排気内部に分子
を投入しうるようにする必要がある。
いは質量対電荷の比に基づいて分析さ、れ、存在するイ
オンやそれらの相対的な割合が決定される。従って、種
々の形態の質量分析計において、この分析計内の真空開
に悪影響を及ぼすことなくこの分析計の排気内部に分子
を投入しうるようにする必要がある。
（従来の技術）
従来では、大気状態に開放しつる入口を有するトラップ
を用いて熱分解体を質量分析計内に投入している。この
轟合、上記σノ入口を開放して試料を挿入し、次にこの
入口を閉成して試料を大気から封止している。次にこの
トラップな、目的に応じて設けたポンプにより排気し、
所望の真空状態に達した際に弁を開いてトラップを質量
分析計の内部に連通ぎせている。
を用いて熱分解体を質量分析計内に投入している。この
轟合、上記σノ入口を開放して試料を挿入し、次にこの
入口を閉成して試料を大気から封止している。次にこの
トラップな、目的に応じて設けたポンプにより排気し、
所望の真空状態に達した際に弁を開いてトラップを質量
分析計の内部に連通ぎせている。
試料は真空状態下にある際に熱分解され、熱分解体が膨
張室および毛細管を通過して分子ビームを形成し、質量
分析計内でイオン化および後の分析が行なわれる。膨張
室は、トラップ内の圧力が熱分解で可成り増大するとい
う事実σ〕為に必要となるものであり、圧力の脈動を広
げて１分析の為に分子が制御速度で毛細管を下方じ通る
ようにするには大容積の膨張室が必要となり、このよう
な膨張室が無いと圧力差が過大となってしまう。
張室および毛細管を通過して分子ビームを形成し、質量
分析計内でイオン化および後の分析が行なわれる。膨張
室は、トラップ内の圧力が熱分解で可成り増大するとい
う事実σ〕為に必要となるものであり、圧力の脈動を広
げて１分析の為に分子が制御速度で毛細管を下方じ通る
ようにするには大容積の膨張室が必要となり、このよう
な膨張室が無いと圧力差が過大となってしまう。
（発明が解決しようとする問題点）
上述した従来の装置は複雑な構成配置のポンプおよびゲ
ート（弁）を必要とし、装置の製造が面倒で装置が高価
となってしまう。不発明の目的はこのような欠点を低減
させた熱分解体投入装置を提供せんとするにある。
ート（弁）を必要とし、装置の製造が面倒で装置が高価
となってしまう。不発明の目的はこのような欠点を低減
させた熱分解体投入装置を提供せんとするにある。
（問題点を解決するための手段）
不発明は、熱分解体な分析の為に熱分解質量分析計のイ
オン源内に投入する毛細管と、この毛細管の端部に配置
した膨張室と、この膨張室に形成され、分析すべき試料
を収容する試料室に前記の膨張室２封止連結しつるよう
にする孔とを具える熱分解質量分析計用熱分解体投入装
置において、前記の膨張室内に摺動自在に配置され前記
の孔を開閉する弁閉成部材と、前記の膨張室および前記
の試料室間が連通した後に前記の膨張室１低真空に排気
するボンピングラインと、前記の膨張室が低真空になっ
た後に前記のポンピングラインを前記の膨張室から封止
し、前記の毛細管２経てこの膨張室を一層高い真空度に
排気しつるようにするＦＡ村とを設けたことを特徴とす
る。
オン源内に投入する毛細管と、この毛細管の端部に配置
した膨張室と、この膨張室に形成され、分析すべき試料
を収容する試料室に前記の膨張室２封止連結しつるよう
にする孔とを具える熱分解質量分析計用熱分解体投入装
置において、前記の膨張室内に摺動自在に配置され前記
の孔を開閉する弁閉成部材と、前記の膨張室および前記
の試料室間が連通した後に前記の膨張室１低真空に排気
するボンピングラインと、前記の膨張室が低真空になっ
た後に前記のポンピングラインを前記の膨張室から封止
し、前記の毛細管２経てこの膨張室を一層高い真空度に
排気しつるようにするＦＡ村とを設けたことを特徴とす
る。
通常、低真空ポンピングラインを封止する前記の部材は
前記の孔に対するのと同じ弁閉成部材を以って構成し、
この弁閉成部材は、一方の面が前記の孔を閉成する作用
をし反対側の他方の面が低真空ボンピングラインを分離
する作用をするピストンとする。
前記の孔に対するのと同じ弁閉成部材を以って構成し、
この弁閉成部材は、一方の面が前記の孔を閉成する作用
をし反対側の他方の面が低真空ボンピングラインを分離
する作用をするピストンとする。
前記のピストンは中間位置で前記の毛細管を膨張室から
分離するように配置するのが有利である。
分離するように配置するのが有利である。
（実施例）
不発明の一例の質量分析計用熱分解体投入装置？示す断
面図である第１図において、ｌＯは毛細管を示し、この
毛細管１０ｙｉ−経て分子が分析の為に質量分析計のイ
オン源内に投入される。質量分析計は不発明の関係では
詳細に考慮する必要はなく、第１図の熱分解体投入装置
は、イオンがノＪＩ］速ぎれて、質量対電荷量の比があ
る値であるイオンのみを集イオン電極に到達せしめるフ
・イルタとして作用する四重極構造体に前記の７Ｊ［ｌ
速−イオンを至らしめる四重極質量分析計に用いる為
のものであるという背景で質量分析計を説明しである。
面図である第１図において、ｌＯは毛細管を示し、この
毛細管１０ｙｉ−経て分子が分析の為に質量分析計のイ
オン源内に投入される。質量分析計は不発明の関係では
詳細に考慮する必要はなく、第１図の熱分解体投入装置
は、イオンがノＪＩ］速ぎれて、質量対電荷量の比があ
る値であるイオンのみを集イオン電極に到達せしめるフ
・イルタとして作用する四重極構造体に前記の７Ｊ［ｌ
速−イオンを至らしめる四重極質量分析計に用いる為
のものであるという背景で質量分析計を説明しである。
しかし、熱分解体投入装置は他のいかなる種類の質量分
析計にも用いることができる。
析計にも用いることができる。
毛細管ｌＯは加熱用外被（マントル＞１２４こより囲む
とともに図面で見て上端の側で膨張室１４内に開目させ
、この膨張室１４はこの場合試料管１６より成る試料室
に連結する。
とともに図面で見て上端の側で膨張室１４内に開目させ
、この膨張室１４はこの場合試料管１６より成る試料室
に連結する。
試料管］６には分析すべき試料を入れ、使用に際しては
試料管１６を囲むコイルにより金属ポート上にある試料
を加熱して熱分解させる。蒸気（気体）は膨張室１４内
に入り、ここで膨張してその圧力が減少する。この圧力
の減少により蒸気が毛細管ＩＯを経て電極構造体の加速
電極に向けて低速度で移動されるようにする。加熱用外
被】２σＪｌ”ｌ的は粒子が毛細管】０の内面上に堆積
されるのを防止することにある。
試料管１６を囲むコイルにより金属ポート上にある試料
を加熱して熱分解させる。蒸気（気体）は膨張室１４内
に入り、ここで膨張してその圧力が減少する。この圧力
の減少により蒸気が毛細管ＩＯを経て電極構造体の加速
電極に向けて低速度で移動されるようにする。加熱用外
被】２σＪｌ”ｌ的は粒子が毛細管】０の内面上に堆積
されるのを防止することにある。
膨張室を存在させることは熱分解質量分析計装沼におい
ては常套手段であり、この膨張室を試料管に連結する通
常の方法は、膨張室と試料管１６との間に分離弁を設け
、この分離弁を開放して試料管と膨張室との間を連通さ
せる前に個別のポンプにより試料管を排気する方法であ
る。
ては常套手段であり、この膨張室を試料管に連結する通
常の方法は、膨張室と試料管１６との間に分離弁を設け
、この分離弁を開放して試料管と膨張室との間を連通さ
せる前に個別のポンプにより試料管を排気する方法であ
る。
第３図に示す装置では、膨張室１４内でピストン］８を
往復運動しつるようにし、試料管１６内に開口する孔の
口σつ周りにＯリング２０の形態の第１の封止部材′？
ｉ：設ける。ピストン１日には、軸方向に延在する凹所
２５が形成ぎれているピストンロッド２２を設け、この
ピストンロッド２２をボー）２４に連結されているロー
タリーポンプに膨張室１４を連通ぎせる弁の一部として
作用させる。ピストンロッド２２の端部は真空封止部材
として作用するしゃばら（ベローズ）２６に連結し、こ
のピストンロッド２２をモータ２８により移動せしめる
ようにする。
往復運動しつるようにし、試料管１６内に開口する孔の
口σつ周りにＯリング２０の形態の第１の封止部材′？
ｉ：設ける。ピストン１日には、軸方向に延在する凹所
２５が形成ぎれているピストンロッド２２を設け、この
ピストンロッド２２をボー）２４に連結されているロー
タリーポンプに膨張室１４を連通ぎせる弁の一部として
作用させる。ピストンロッド２２の端部は真空封止部材
として作用するしゃばら（ベローズ）２６に連結し、こ
のピストンロッド２２をモータ２８により移動せしめる
ようにする。
ピストン１８は図面で最も右側の位置に来た際第２の封
止部材８０に対接して封止を行７：ｒい、膨張室１４を
ロータリーポンプから分離する。ピストンがわずかに左
側に移動して第２図Ｇこ示す状態になると、ピストンは
毛細管１ ｆＪの端部全封止するも、ピストンロッド２
２における凹所２５を経て膨張室１４とロータリーポン
プとの間を連通ぎゼる。ピストンにＣま通路８２を設け
、この通路がこのピストンの両側の空所間を連通させる
ようにする為、第２図の状態では試料管と膨張室１４と
の双方がロータリーポンプにより排気される。
止部材８０に対接して封止を行７：ｒい、膨張室１４を
ロータリーポンプから分離する。ピストンがわずかに左
側に移動して第２図Ｇこ示す状態になると、ピストンは
毛細管１ ｆＪの端部全封止するも、ピストンロッド２
２における凹所２５を経て膨張室１４とロータリーポン
プとの間を連通ぎゼる。ピストンにＣま通路８２を設け
、この通路がこのピストンの両側の空所間を連通させる
ようにする為、第２図の状態では試料管と膨張室１４と
の双方がロータリーポンプにより排気される。
使用に際して試料を質量分析計内に投入したい場合には
、ピストン１８をまず最初に第１図で見て左側に移動さ
せて封止部材ｚＯに対接する封止と毛細管１０の端部σ
り封止とを同時に行ない、いかなる気体も質量分析計内
に入り込まないようにする。
、ピストン１８をまず最初に第１図で見て左側に移動さ
せて封止部材ｚＯに対接する封止と毛細管１０の端部σ
り封止とを同時に行ない、いかなる気体も質量分析計内
に入り込まないようにする。
ここで試料管１６を適所に固着する。例えば、膨張室１
４１の外部に配置した他の０リングに対してこの試料管
を封止するか或いはこの試料管を適所に螺着するように
することができる。次にピストン１８を第２図に示す位
置に移動ぎせ、これにより、この時点までに高真空とな
っている膨張室１４１内に試料！’ １６がら空気を導
入させるＯこれにより膨張室１４内の圧力を高めるもほ
んの短時間の間だけである。その理由は、高速排気を行
なうロータリーポンプが膨張室１４内の圧力を急速に減
少させて低真空状態とする為である。膨張室１４内が一
旦充分に低い圧力になると、ピストン１８を右側に移動
ざゼて封止部材８０に対接する封止を行ない、これによ
り膨張室１４をロータリーポンプから分離ぎせるととも
に毛細管を開口させる。質量分析計の内部空所は拡散ポ
ンプにより常時排気されており、この拡散ポンプは毛細
管】０を経て膨張室を排気するのに比較的わずかな時間
しか必要としない。膨張室１４内の真空度が充分良好に
、丁なわち高真空度になると、試料は熱分解されて分子
となり、質量分析計内Ｇこ入って・分析される。
４１の外部に配置した他の０リングに対してこの試料管
を封止するか或いはこの試料管を適所に螺着するように
することができる。次にピストン１８を第２図に示す位
置に移動ぎせ、これにより、この時点までに高真空とな
っている膨張室１４１内に試料！’ １６がら空気を導
入させるＯこれにより膨張室１４内の圧力を高めるもほ
んの短時間の間だけである。その理由は、高速排気を行
なうロータリーポンプが膨張室１４内の圧力を急速に減
少させて低真空状態とする為である。膨張室１４内が一
旦充分に低い圧力になると、ピストン１８を右側に移動
ざゼて封止部材８０に対接する封止を行ない、これによ
り膨張室１４をロータリーポンプから分離ぎせるととも
に毛細管を開口させる。質量分析計の内部空所は拡散ポ
ンプにより常時排気されており、この拡散ポンプは毛細
管】０を経て膨張室を排気するのに比較的わずかな時間
しか必要としない。膨張室１４内の真空度が充分良好に
、丁なわち高真空度になると、試料は熱分解されて分子
となり、質量分析計内Ｇこ入って・分析される。
（発明の効果）
上述したところから明らかなようにＯｉＪ記熱分解体投
入装置は膨張室１〜をエアロツクとしても作用ぎせる比
較的簡単な機構を用いている。更に、膨張室１４内にピ
ストンを設けることにより、質量分析計の内部を排気す
るのに用いるのと同じロータリーおよび拡散ポンプを、
複雑な弁機構を必要とすることなく試料管を排気するの
に用いつる・・ようになる。
入装置は膨張室１〜をエアロツクとしても作用ぎせる比
較的簡単な機構を用いている。更に、膨張室１４内にピ
ストンを設けることにより、質量分析計の内部を排気す
るのに用いるのと同じロータリーおよび拡散ポンプを、
複雑な弁機構を必要とすることなく試料管を排気するの
に用いつる・・ようになる。
不発明によれば弁機構を簡単化し、これにより価格を低
廉化することに加え、漏洩のおそれおよび新たな試料を
投入するのに必要な時間を減少せしめる。その理由は、
熱分解体投入装置に入れられる空気の量と、分析前に除
去する必要のある空気の量との合計が試料管自体の体積
よりも多くならない為である。
廉化することに加え、漏洩のおそれおよび新たな試料を
投入するのに必要な時間を減少せしめる。その理由は、
熱分解体投入装置に入れられる空気の量と、分析前に除
去する必要のある空気の量との合計が試料管自体の体積
よりも多くならない為である。
第１図は不発明による質量分析計用熱分解体投入装置の
一例を示す断面図、 第２図はピストンを他の位置にして第１図の一部を示す
断面図である。 ＩＯ・・・毛細ｙ １２・・・加熱用外被１４°°・膨
張室 】６・・・試料管 １日・・・ピストン ２０ 、３０・・・０リング（封
止部材）２２・・・ピストンロッド ２４・・・ボート
２５・・・凹所 ２６・・・じやばら ２８・・・モータ ３２・・・通路。 特許出願人 プルチック・リミテッド 手続補正書（方式） 昭和５９年１０ 月２５１ １、事件の表示 昭和５９年特許 願第１１６７７０号 ２、発明の名称 熱分解質量分析計用熱分解体投入装置 ３、補正をする者 ７ハ件との関係 特許出願人 名 称 プルチック・リミテッド 電 話 （５８１） ２２４１番（代表）昭和５９年９
月２５日
一例を示す断面図、 第２図はピストンを他の位置にして第１図の一部を示す
断面図である。 ＩＯ・・・毛細ｙ １２・・・加熱用外被１４°°・膨
張室 】６・・・試料管 １日・・・ピストン ２０ 、３０・・・０リング（封
止部材）２２・・・ピストンロッド ２４・・・ボート
２５・・・凹所 ２６・・・じやばら ２８・・・モータ ３２・・・通路。 特許出願人 プルチック・リミテッド 手続補正書（方式） 昭和５９年１０ 月２５１ １、事件の表示 昭和５９年特許 願第１１６７７０号 ２、発明の名称 熱分解質量分析計用熱分解体投入装置 ３、補正をする者 ７ハ件との関係 特許出願人 名 称 プルチック・リミテッド 電 話 （５８１） ２２４１番（代表）昭和５９年９
月２５日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 熱分解体を分析の為に熱分解質ゑ分析計のイオン源
内に投入する毛細管（１ｏ）と、この毛細管（１０）の
端部に配置した膨張室（１４）と、この膨張室（１４）
に形成され、分析すべき試料を収容する試料室（１６）
に前記の膨張室を封止連結しうるようにする孔とを具え
る熱分解質量分析計用熱分解体投入装置において、前記
の膨張室（１４１）内に摺動自在しこ配置され前記の孔
を開閉する弁閉成部材（］８〕と、前記の膨張室（１４
）および前記の試料室（１６）間が連通した後に前記の
膨張室（１４）を低真空に排気するボンピングライン（
２４１，２５＋と、前記の膨張室（ｊ４）が低真空にな
った後に前記のボンピングライン（２４，、２５）を前
記の膨張室（１４）から封止し、前記の毛細管（１０）
Ｐ経てこの膨張室を一層高い真空度に排気しうるように
する部材（１Ｂ）とを設けたことを特徴とする熱分解質
量分析計用熱分解体投入装置。 ２、特許請求の範囲１記載の熱分解質量分析計用熱分解
体投入装置において、低真空ボンピングライン（２４，
２５３Ｅ封止する前記の部材は前記の孔に対するのと同
じ弁閉成部材を以って構成されており、この弁閉成部材
は、一方の面が前記の孔を閉成する作用をし反対側の他
方の面が低真空ボンピングライン（２４゜２５）ご分離
する作Ｆ＠ヲするピストン（１８）であることを特徴と
する熱分解質量分析計用熱分解体投入装置。 ＆ 特許請求の範囲２記載の熱分解質量分析計用熱分解
体投入装置において、前記のピストン〔１８）は中間位
置で前記の毛細管（１ｏ）を膨張室（１４）から分離す
るように配置されることを特徴とする熱分解質量分析計
用熱分解体投入装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB08315956A GB2141230A (en) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Sample inlet system for a mass spectrometer |
| GB8315956 | 1983-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068544A true JPS6068544A (ja) | 1985-04-19 |
Family
ID=10544091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59116770A Pending JPS6068544A (ja) | 1983-06-10 | 1984-06-08 | 熱分解質量分析計用熱分解体投入装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4590371A (ja) |
| EP (1) | EP0128716B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6068544A (ja) |
| AT (1) | ATE32804T1 (ja) |
| AU (1) | AU559918B2 (ja) |
| DE (1) | DE3469641D1 (ja) |
| GB (1) | GB2141230A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4960992A (en) * | 1983-08-30 | 1990-10-02 | Research Corporation Technologies | Method and means for vaporizing liquids by means of heating a sample capillary tube for detection or analysis |
| US4730111A (en) * | 1983-08-30 | 1988-03-08 | Research Corporation | Ion vapor source for mass spectrometry of liquids |
| US4814612A (en) * | 1983-08-30 | 1989-03-21 | Research Corporation | Method and means for vaporizing liquids for detection or analysis |
| US4861989A (en) * | 1983-08-30 | 1989-08-29 | Research Corporation Technologies, Inc. | Ion vapor source for mass spectrometry of liquids |
| DE4202125A1 (de) * | 1992-01-27 | 1993-07-29 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Einlassventil fuer ein hochvakuum-analysengeraet mit bypass-bepumpung |
| WO1997023779A1 (en) * | 1995-12-23 | 1997-07-03 | The University Court Of The University Of Dundee | Gas inlet system |
| US20080083874A1 (en) * | 2006-10-10 | 2008-04-10 | Prest Harry F | Vacuum interface for mass spectrometer |
| JP6025406B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2016-11-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 質量分析装置 |
| US20160298783A1 (en) | 2015-04-09 | 2016-10-13 | Hamilton Sundstrand Corporation | Thermally actuated flow control valve |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3385102A (en) * | 1966-04-21 | 1968-05-28 | Nat Res Corp | Rapid cycle leak detection of plural test pieces |
| US4408125A (en) * | 1981-07-13 | 1983-10-04 | University Of Utah | Modular pyrolysis inlet and method for pyrolyzing compounds for analysis by mass spectrometer |
-
1983
- 1983-06-10 GB GB08315956A patent/GB2141230A/en not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-06-04 AT AT84303724T patent/ATE32804T1/de not_active IP Right Cessation
- 1984-06-04 EP EP84303724A patent/EP0128716B1/en not_active Expired
- 1984-06-04 DE DE8484303724T patent/DE3469641D1/de not_active Expired
- 1984-06-08 US US06/618,467 patent/US4590371A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-06-08 AU AU29245/84A patent/AU559918B2/en not_active Ceased
- 1984-06-08 JP JP59116770A patent/JPS6068544A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0128716A2 (en) | 1984-12-19 |
| EP0128716B1 (en) | 1988-03-02 |
| AU2924584A (en) | 1984-12-13 |
| GB2141230A (en) | 1984-12-12 |
| DE3469641D1 (en) | 1988-04-07 |
| US4590371A (en) | 1986-05-20 |
| GB8315956D0 (en) | 1983-07-13 |
| EP0128716A3 (en) | 1985-06-19 |
| AU559918B2 (en) | 1987-03-26 |
| ATE32804T1 (de) | 1988-03-15 |
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