JPS633085Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は大気圧イオン化（API）イオン源を備
えた質量分析装置に用いて好適なアパーチヤ板の
交換機構に関するものである。

APIイオン源を用いた質量分析装置において
は、大気圧のイオン源で出来たイオンを高真空の
質量分析装置内部に導入する必要があり、従来例
えば第１図に示す様に両者の間にアパーチヤ板を
配置する構成が知られている。図において１は
APIイオン源、２は該APIイオン源で生成された
イオンを質量分析する四重極質量分析装置、３は
該質量分析装置内部を排気する拡散ポンプ、４は
高真空の質量分析装置と大気圧のイオン源を結ぶ
中間接続室、５は接続室４内部を排気するロータ
リポンプ、６は接続室４とイオン源１の間に設け
られたアパーチヤ板、７は大気側から流入するガ
スや不要な溶媒等を減少させるために接続室４と
質量分析装置との間に設けられたスキマーであ
る。

この様な質量分析装置においては、圧力差を維
持するためにアパーチヤ板６に開けられるアパー
チヤの径が極めて小さく、試料による目づまり等
が起こり易いので、清掃又は交換のためにアパー
チヤ板を頻繁に取外す必要があり、従来はそのた
びに真空ポンプを停止させ、作業を行つていた。
そのため、交換乃至清掃作業終了後、再び装置が
高真空になるまで長時間を要する結果となつてい
た。

本考案はこの点に鑑みてなされたものであり、
真空を破ることなくアパーチヤ板の交換を行うこ
とのできる機構を提供するものである。

本考案は、開口を有する基体と、該基体の表面
に該開口を２重に包囲する如く配置された２つの
Ｏリングと、開口部を有し該開口部を封止する如
くアパーチヤ板が取付けられる保持板とから成
り、前記保持板を前記Ｏリングを介して前記基体
に滑動可能に密着させると共に、前記２つのＯリ
ングの間に前記保持板の開口部が同時に２つのＯ
リングにかかることがないようなスペースを設け
たことを特徴としている。以下本考案の一実施例
を添付図面に基づき詳述する。

第２図は本考案の一実施例の構成を示す断面図
であり、第１図と同一の構成要素には同一番号が
付されている。図において８は接続室４と質量分
析装置とを仕切る隔壁で、スキマー７が取付けら
れている。９は該接続室４とAPIイオン源とを仕
切る隔壁で、イオンを通過させる開口１０を有し
ている。該隔壁９のイオン源側の表面には、第３
図に示す様に開口１０を囲んで２重の溝が設けら
れ、該溝に夫々Ｏリング１１，１２が埋め込まれ
ている。１３はアパーチヤ板を保持する保持板
で、イオンを通過させる開口１４を有し、アパー
チヤ板６は該開口１４を封止する様に押えリング
１５によつて該保持板１３に取付けられている。
そして、前記保持板１３は隔壁９に密接して配置
されると共に、図示しないスライド機構により密
接状態を保つたまま矢印方向にスライド可能に設
けられている。

上述の如き構成において、隔壁９と保持板１３
との間はＯリング１１によつてシールされるた
め、接続室４とイオン源はアパーチヤ板６に開け
られた微小径のアパーチヤを介して連通し、ロー
タリーポンプ５により排気されている接続室４と
大気圧のイオン源との圧力差は該アパーチヤによ
り維持される。そして、APIイオン源において生
成されたイオンは該アパーチヤを介して接続室４
へ導かれ、更にスキマー７を介して質量分析装置
内へ導入される。

長時間の使用によりアパーチヤの目づまり等が
起こりアパーチヤ板を交換する場合は、前記スラ
イド機構により保持板１３を矢印方向に移動さ
せ、第４図の状態にすれば、接続室４とイオン源
との間は保持板１３とＯリング１１により仕切ら
れるため、イオン源側からガスが接続室４に流入
することはなく、真空ポンプ等はそのままの状態
でアパーチヤ板６の交換を行うことが出来る。第
２図の状態から第４図の状態に移る途中で、保持
板１３の開口１４がＯリング１１を越える時Ｏリ
ング１１によるシールがなくなるが、その外側に
Ｏリング１２が設けられているため、接続室４に
イオン源側からガスが流入することはない。

尚、Ｏリング１１とＯリング１２との間には、
アパーチヤ板６が移動してくる部分に、少くとも
開口１４がＯリング１１とＯリング１２に同時に
かからないようなスペースが必要であることは言
うまでもない。

上述した実施例ではＯリング１２を基体となる
隔壁９に設けた溝に固定したが、Ｏリングよりも
薄い板で外側からおさえるようにしても良い。

本考案は上述した例の様な接続室４が存在せ
ず、アパーチヤを介して直接質量分析装置にイオ
ンが導入される装置であつても実施することが出
来、更にはアパーチヤ板で圧力差のある２つの領
域を仕切る装置に広く実施可能である。

以上詳述した如く本考案によれば、簡単な構成
で真空を破ることなくアパーチヤ板を交換するこ
との出来るアパーチヤ板交換機構が実現される。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の構成を示す図、第２図及び第
４図は本考案の一実施例の構成を示す断面図、第
３図は２つのＯリングの配置を説明するための図
である。 １：APIイオン源、２：四重極質量分析装置、
４：中間接続室、６：アパーチヤ板、９：隔壁、
１０，１４：開口、１１，１２：Ｏリング、１
３：保持板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 開口を有する基体と、該基体の表面に該開口を
   ２重に包囲する如く配置された２つのＯリング
   と、開口部を有し該開口部を封止する如くアパー
   チヤ板が取付けられる保持板とから成り、前記保
   持板を前記Ｏリングを介して前記基体に滑動可能
   に密着させると共に、前記２つのＯリングの間に
   前記保持板の開口部が同時に２つのＯリングにか
   かることがないようなスペースを設けたことを特
   徴とするアパーチヤ板の交換機構。