JPS6069650A - 剥離現像方法 - Google Patents
剥離現像方法Info
- Publication number
- JPS6069650A JPS6069650A JP17845083A JP17845083A JPS6069650A JP S6069650 A JPS6069650 A JP S6069650A JP 17845083 A JP17845083 A JP 17845083A JP 17845083 A JP17845083 A JP 17845083A JP S6069650 A JPS6069650 A JP S6069650A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- forming material
- image forming
- peeling
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は印刷回路等の製造の用に供される剥離現像方
法に関するものである。
法に関するものである。
印刷回路の製造等のために、画像形成用基板の表面に透
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を貼
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を貼
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
而して、上記支持体の剥離は、一般に露光終了後におけ
る基板上の上記支持体の一端に該基板より突出するテー
プ状の剥離端片を接着したのち、ニンプロールや吸引ロ
ール等の剥離手段に上記剥離端片を挾み込ませて上記支
持体を巻き上げることによって行われている。
る基板上の上記支持体の一端に該基板より突出するテー
プ状の剥離端片を接着したのち、ニンプロールや吸引ロ
ール等の剥離手段に上記剥離端片を挾み込ませて上記支
持体を巻き上げることによって行われている。
しかるに、上記剥離方法によれば、露光後に別途剥離端
片を設けなければならず、工程数の増加を強いられるこ
とになる。
片を設けなければならず、工程数の増加を強いられるこ
とになる。
一方、露光後にそのまま剥離現像できる方法として、こ
の発明者らは特願昭５７−１７０２８８号で開示したよ
うに、基板上に画像形成材料を貼着後例えば画像露光に
先立って、基板の少なくとも１つのコーナ部分に露光部
分を設け、かくして画像形成材料側に対しての接着力を
弱めさせておき、粘着テープあるいは粘着ロールなどに
より基板のコーナ一部から支持体を上記基板から分離し
ながら剥離現像を行なうものを提案している。
の発明者らは特願昭５７−１７０２８８号で開示したよ
うに、基板上に画像形成材料を貼着後例えば画像露光に
先立って、基板の少なくとも１つのコーナ部分に露光部
分を設け、かくして画像形成材料側に対しての接着力を
弱めさせておき、粘着テープあるいは粘着ロールなどに
より基板のコーナ一部から支持体を上記基板から分離し
ながら剥離現像を行なうものを提案している。
しかるに、この方法においては、現像された基板の周辺
部に光硬化した光重合性組成物層が付着しているから、
この基板を取り扱う過程で上記光重合性組成物層が欠け
て、その欠片が基板の内側へ付着することがあり、その
場合はエツチングやメッキ工程での不良発生の要因とな
る。
部に光硬化した光重合性組成物層が付着しているから、
この基板を取り扱う過程で上記光重合性組成物層が欠け
て、その欠片が基板の内側へ付着することがあり、その
場合はエツチングやメッキ工程での不良発生の要因とな
る。
この発明者らは、このような問題を解決すべく鋭意検討
した結果、少なくとも一辺部が予め露光し硬化された画
像形成材料を基板に貼着すれば、上記−辺部は基板に接
着しないから、この部分から容易に剥離が行なえるとと
もに、光硬化した部分も支持体とともに基板から取り去
られるため、後工程での悪影響のおそれを解消し得るこ
とを見い出し、この発明を完成させるに至った。
した結果、少なくとも一辺部が予め露光し硬化された画
像形成材料を基板に貼着すれば、上記−辺部は基板に接
着しないから、この部分から容易に剥離が行なえるとと
もに、光硬化した部分も支持体とともに基板から取り去
られるため、後工程での悪影響のおそれを解消し得るこ
とを見い出し、この発明を完成させるに至った。
この発明において、画像形成材料の少なくとも一辺部を
光硬化させるにあたっては、通常、この種の画像形成材
料は長尺のものをロール状に巻いて供給するようになっ
ているから、ロールの幅方向の少なくとも一側端に長手
方向へ沿って硬化部分を設けておくのが最も好しい。
光硬化させるにあたっては、通常、この種の画像形成材
料は長尺のものをロール状に巻いて供給するようになっ
ているから、ロールの幅方向の少なくとも一側端に長手
方向へ沿って硬化部分を設けておくのが最も好しい。
その方法としては、ロール状に巻かれている画像形成材
料の少なくとも一側面に紫外線を照射するのが最も簡単
である。また、帯状の画像形成材料の少なくとも一側端
部だけを残してマスキングしてから、上記−側端部に光
を連続照射して画像形成材料を巻き取ったり、あるいは
上記−側端部に光をスポット的に照射して巻き取る方法
であってもよい。上記−側端部に設ける光硬化部分の幅
は、０．０５〜２ｆｌの範囲に設定するのが好ましい。
料の少なくとも一側面に紫外線を照射するのが最も簡単
である。また、帯状の画像形成材料の少なくとも一側端
部だけを残してマスキングしてから、上記−側端部に光
を連続照射して画像形成材料を巻き取ったり、あるいは
上記−側端部に光をスポット的に照射して巻き取る方法
であってもよい。上記−側端部に設ける光硬化部分の幅
は、０．０５〜２ｆｌの範囲に設定するのが好ましい。
勿論、この範囲に限定されるものではない。
上記のような方法で光硬化部分を設けた画像形成材料は
基板に貼着される。その場合、第１図に示すように画像
形成材料１の一辺部、つまり幅方向の一側端部の光硬化
部分１ａが基板２の端縁からはみ出さないようにして該
画像形成材料を基板２に貼着する。
基板に貼着される。その場合、第１図に示すように画像
形成材料１の一辺部、つまり幅方向の一側端部の光硬化
部分１ａが基板２の端縁からはみ出さないようにして該
画像形成材料を基板２に貼着する。
ついで、上記基板２上の画像形成材料１に対して画像状
露光を行なった後、たとえば第２図に示すように粘着テ
ープ３と圧着・剥離ロール４およびニップロール５を用
いて剥離現像する。つまり、画像形成材料】の上記光硬
化部１ａを含むコーナ一部２０から粘着テープ３を貼着
しながら、該粘着テープ３を圧着・剥離ロール４および
ニップロール５を介して巻き取ってゆくと、上記光硬化
部１ａは基板２と接着してないから、画像形成材料ｌ（
具体的には透明支持体）は上記基板２から容易に剥離さ
れはじめる。これにともなって、上記画像形成材料１に
おける光重合組成物層の未露光部分が上記支持体ととも
に剥離されて現像が完了する。
露光を行なった後、たとえば第２図に示すように粘着テ
ープ３と圧着・剥離ロール４およびニップロール５を用
いて剥離現像する。つまり、画像形成材料】の上記光硬
化部１ａを含むコーナ一部２０から粘着テープ３を貼着
しながら、該粘着テープ３を圧着・剥離ロール４および
ニップロール５を介して巻き取ってゆくと、上記光硬化
部１ａは基板２と接着してないから、画像形成材料ｌ（
具体的には透明支持体）は上記基板２から容易に剥離さ
れはじめる。これにともなって、上記画像形成材料１に
おける光重合組成物層の未露光部分が上記支持体ととも
に剥離されて現像が完了する。
以上のように、この発明の方法によれば、画像露光が終
了すれば、基板に何ら手を加えることなく、そのまま剥
離現像でき、しかも剥離する際にも、基板に接着してい
ない部分から剥離を開始することにより、剥離が失敗の
おそれもなくスムースに行なえる。とくに、基板の周辺
部に露光部分を設けｌのと異なり、後工程で不良を発生
させる＾ おそれは全くない。
了すれば、基板に何ら手を加えることなく、そのまま剥
離現像でき、しかも剥離する際にも、基板に接着してい
ない部分から剥離を開始することにより、剥離が失敗の
おそれもなくスムースに行なえる。とくに、基板の周辺
部に露光部分を設けｌのと異なり、後工程で不良を発生
させる＾ おそれは全くない。
つぎに、この発明の詳細な説明する。
実施例
画像形成材料（日東電気工業製のネオロックＥ）を銅張
り積層板に貼着する際、あらかじめこの画像形成材料の
端部を、幅２ｙｎｍで長手方向へ沿って光照射して、光
硬化部とした。
り積層板に貼着する際、あらかじめこの画像形成材料の
端部を、幅２ｙｎｍで長手方向へ沿って光照射して、光
硬化部とした。
ついで、上記画像形成材料を銅張り積層板に貼着したの
ち、プリント配線板用の配線ツクターンをフォトマスク
を介して露光した。この露光後、画像形成材料における
上記予め硬化された端部を含むコーナ一部より粘着テー
プを貼着しながら、この粘着テープを基板より引き剥す
ことにより、現像を行なったところ、上記画像形成材料
は容易に剥がされて現像処理が達成できた。また、上記
硬化さぜた端部以外の部位のパターンは画像として鮮明
なものであった。
ち、プリント配線板用の配線ツクターンをフォトマスク
を介して露光した。この露光後、画像形成材料における
上記予め硬化された端部を含むコーナ一部より粘着テー
プを貼着しながら、この粘着テープを基板より引き剥す
ことにより、現像を行なったところ、上記画像形成材料
は容易に剥がされて現像処理が達成できた。また、上記
硬化さぜた端部以外の部位のパターンは画像として鮮明
なものであった。
第１図はこの発明に係る剥離現像方法に適用された画像
形成材料が基板に貼着された状態を示す斜視図、第２図
は同画像形成材料の露光後の剥離方法を示す斜視図であ
る。 １・・画像形成材料、ｌａ・・・光硬化部（露光部）、
２ 画像形成用基板。 特許出願人 日東電気工業株式会社 第１ 図 第２図
形成材料が基板に貼着された状態を示す斜視図、第２図
は同画像形成材料の露光後の剥離方法を示す斜視図であ
る。 １・・画像形成材料、ｌａ・・・光硬化部（露光部）、
２ 画像形成用基板。 特許出願人 日東電気工業株式会社 第１ 図 第２図
Claims (1)
- ［１） 画像を形成すべき基板の表面に、光重合性組成
物層が透明支持体上に被着された画像形成材料を貼着し
て露光した後、上記支持体を光重合性組成物層の非露光
域とともに上記基板より剥離して画像を形成する剥離現
像方法において、上記画像形成材料を基板の表面に貼着
するに先立って少なくとも一辺部を露光させておき、剥
離現像時には上記−辺部を含む透明支持体の端部を剥離
開始端とすることを特徴とする剥離現像方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845083A JPS6069650A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845083A JPS6069650A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069650A true JPS6069650A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16048728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17845083A Pending JPS6069650A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069650A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5533452A (en) * | 1990-11-19 | 1996-07-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of peeling a release film from a photosensitive plate blank |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17845083A patent/JPS6069650A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5533452A (en) * | 1990-11-19 | 1996-07-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of peeling a release film from a photosensitive plate blank |
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