JPS6069651A - 剥離現像方法 - Google Patents
剥離現像方法Info
- Publication number
- JPS6069651A JPS6069651A JP17845183A JP17845183A JPS6069651A JP S6069651 A JPS6069651 A JP S6069651A JP 17845183 A JP17845183 A JP 17845183A JP 17845183 A JP17845183 A JP 17845183A JP S6069651 A JPS6069651 A JP S6069651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- image forming
- forming material
- peeling
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は印刷回路等の製造の用に供される剥離現像方
法に関するものである。
法に関するものである。
印刷回路の製造等のために、画像形成用基板の表面に透
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を貼
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を貼
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
而して、上記支持体の剥離は、一般に露光終了後におけ
る基板上の上記支持体の一端に該基板より突出するテー
プ状の剥離端片を接着したのち、ニンプロールや吸引ロ
ール等の剥離手段に上記剥離端片を挾み込ませて上記支
持体を巻き上げることによって行われている。
る基板上の上記支持体の一端に該基板より突出するテー
プ状の剥離端片を接着したのち、ニンプロールや吸引ロ
ール等の剥離手段に上記剥離端片を挾み込ませて上記支
持体を巻き上げることによって行われている。
しかるに、上記剥離方法によれば、露光後に別途剥離端
片を設けなければならず、工程数の増加を強いられるこ
とになる。
片を設けなければならず、工程数の増加を強いられるこ
とになる。
一方、露光後にそのまま剥離現像できる方法として、こ
の発明者らは特願昭５７−１７０２８８号で開示したよ
うに、基板上に画像形成材料を貼着後例えば画像露光に
先立って、基板の少なくとも】５つのコーナ部分に露光
部分を設け、かくして画像形成材料側に対しての接着力
を弱めさせておき、粘着テープあるいは粘着ロールなど
により基板のコーナ一部から支持体を上記基板から分離
しながら剥離現像を行なうことを提案している。
の発明者らは特願昭５７−１７０２８８号で開示したよ
うに、基板上に画像形成材料を貼着後例えば画像露光に
先立って、基板の少なくとも】５つのコーナ部分に露光
部分を設け、かくして画像形成材料側に対しての接着力
を弱めさせておき、粘着テープあるいは粘着ロールなど
により基板のコーナ一部から支持体を上記基板から分離
しながら剥離現像を行なうことを提案している。
しかるに、この方法においては、現像された基板の周辺
部に光硬化した光重合性組成物層が付着しているから、
この基板を取り扱う過程で上記光重合性組成物層が欠け
て、その欠片が基板の内側へ付着することがあり、その
場合はエツチングやメッキ工程での不良発生の要因とな
る。
部に光硬化した光重合性組成物層が付着しているから、
この基板を取り扱う過程で上記光重合性組成物層が欠け
て、その欠片が基板の内側へ付着することがあり、その
場合はエツチングやメッキ工程での不良発生の要因とな
る。
また、この発明者らは、特願昭５８−５７１０７号に開
示したように、あらかじめ基板のコーナ一部に接着力の
低い粘着テープを貼着しておき、その」二に画像形成材
料を貼着することにより、容易に剥離し得る方法も案出
している。しかし、この方法は粘着テープの粘着力が弱
いものであっても剥離の最初のきっかけとなる部分が基
板に接着しているため、常時、剥離がスムースにできる
とは限らない。
示したように、あらかじめ基板のコーナ一部に接着力の
低い粘着テープを貼着しておき、その」二に画像形成材
料を貼着することにより、容易に剥離し得る方法も案出
している。しかし、この方法は粘着テープの粘着力が弱
いものであっても剥離の最初のきっかけとなる部分が基
板に接着しているため、常時、剥離がスムースにできる
とは限らない。
鋭意検討した結果、この発明を完成するに至ったもので
ある。
ある。
すなわち、この発明は画像形成材料を基板に貼着するに
あたり、上記画像形成材料の端部のみを非粘着性のテー
プを介して基板に積層して該画像形成材料の端部に基板
と接着しない領域を存在させ、画像露光後における支持
体と未露部分の剥ｍ１の容易化を図ったものである。
あたり、上記画像形成材料の端部のみを非粘着性のテー
プを介して基板に積層して該画像形成材料の端部に基板
と接着しない領域を存在させ、画像露光後における支持
体と未露部分の剥ｍ１の容易化を図ったものである。
この発明に使用される非粘着テープ類としては、プラス
チックフィルム、紙、金属箔などが使用される。これら
のも望みは可及的に薄い方がよｔ、％それは、画像形成
材料を基板に積層したのち、該画像形成材料にフォトマ
スクを密着して露光を行なう際に、上記画像形成材料に
おける非粘着テープの介在された端部と他の部位とで段
差が生じ、これが大きいと、該端部の近傍で上記フォト
マスクの密着性が損なわれるからである。したがって通
常厚さは２５ｐｍｍ下のものが好適に使用されもまた上
記非粘着テープの幅は作業性のうえから、５〜１０＋ａ
ｔ程度が好ましい。
チックフィルム、紙、金属箔などが使用される。これら
のも望みは可及的に薄い方がよｔ、％それは、画像形成
材料を基板に積層したのち、該画像形成材料にフォトマ
スクを密着して露光を行なう際に、上記画像形成材料に
おける非粘着テープの介在された端部と他の部位とで段
差が生じ、これが大きいと、該端部の近傍で上記フォト
マスクの密着性が損なわれるからである。したがって通
常厚さは２５ｐｍｍ下のものが好適に使用されもまた上
記非粘着テープの幅は作業性のうえから、５〜１０＋ａ
ｔ程度が好ましい。
つぎに、上記のような非粘着テープを画像形成材料の端
部に介在させて基板に貼着させる方法の一例を説明する
。
部に介在させて基板に貼着させる方法の一例を説明する
。
一般に、この種画像形成材料は第１図に示される方法で
基板に貼着される。同図において、１は矢印ａ方向へ搬
送される画像形成用基板、２は画像形成材料供給ロール
、３は保護フィルム巻取ロール、４は保護フィルム剥離
ロール、５は転接ロールである。６は画像形成材料７と
これを保護する保護フィルム８とからなる帯状体である
。−上記帯状体６は供給ロール２から繰り出される。
基板に貼着される。同図において、１は矢印ａ方向へ搬
送される画像形成用基板、２は画像形成材料供給ロール
、３は保護フィルム巻取ロール、４は保護フィルム剥離
ロール、５は転接ロールである。６は画像形成材料７と
これを保護する保護フィルム８とからなる帯状体である
。−上記帯状体６は供給ロール２から繰り出される。
繰り出し経路において、剥離ロール４によって保護フィ
ルム８が画像形成材料７から剥離され、これは巻取ロー
ル３に巻き取られる。一方、上記画像形成材料７は転接
ロール５によって基板１の主面に貼着される。
ルム８が画像形成材料７から剥離され、これは巻取ロー
ル３に巻き取られる。一方、上記画像形成材料７は転接
ロール５によって基板１の主面に貼着される。
上記画像形成材料７が上記基板１に貼着される際に、第
２図のように非粘着テープ巻回ロール９を上記画像形成
材料７の端部に合わせて位置決めセットすればよい。こ
の状態で上記画像形成材料７を基板１に貼着する動作に
合わせて非粘着テープ巻回ロール９から順次非粘着テー
プ１０を縁り出させれば、上記画像形成材料７の貼着に
よって該画像形成材料７の端部に非粘着のテープｌＯが
付着した基板１を得ることができる。この場合、非粘着
テープ１０は画像形成材料７の端部より多少はみ出すよ
うにセットすることが重要である。
２図のように非粘着テープ巻回ロール９を上記画像形成
材料７の端部に合わせて位置決めセットすればよい。こ
の状態で上記画像形成材料７を基板１に貼着する動作に
合わせて非粘着テープ巻回ロール９から順次非粘着テー
プ１０を縁り出させれば、上記画像形成材料７の貼着に
よって該画像形成材料７の端部に非粘着のテープｌＯが
付着した基板１を得ることができる。この場合、非粘着
テープ１０は画像形成材料７の端部より多少はみ出すよ
うにセットすることが重要である。
上記のようにして画像形成材料７を基板１の主面に貼着
したのち、画像露光を行なう。しかる後、粘着テープや
粘着ロールを用いて上記画像形成材料７の端部から剥離
を開始すればよい。
したのち、画像露光を行なう。しかる後、粘着テープや
粘着ロールを用いて上記画像形成材料７の端部から剥離
を開始すればよい。
ここで、画像形成材料７の端部が基板１に対して非粘着
テープ１０により接着しないから、−に記剥離現像が失
敗なく容易に行なえる。とくに上記画像形成材料７の基
板１への貼着工程で非粘着テープ１０を同時に介在させ
ることができるため、作業工程の増加を招くこともない
。
テープ１０により接着しないから、−に記剥離現像が失
敗なく容易に行なえる。とくに上記画像形成材料７の基
板１への貼着工程で非粘着テープ１０を同時に介在させ
ることができるため、作業工程の増加を招くこともない
。
つぎに、この発明の詳細な説明する。
実施例
画像形成材料（日東電気工架装のネオロンクＥ）を銅張
り積層板に貼着する際、この画像形成材料の端部に、厚
さ１６μｍ１幅１０勲のポリエステルフィルムを介在さ
せた。
り積層板に貼着する際、この画像形成材料の端部に、厚
さ１６μｍ１幅１０勲のポリエステルフィルムを介在さ
せた。
ついで、」１記画像形成材料に対して、プリント配線板
用の配線パターンをフォトマスクを介して露光した。こ
の露光後、画像形成材料の上記ポリエステルフィルムが
介在している端部を含む基板のコーナ一部より粘着テー
プを貼着しながら、この粘着テープを基板より引き剥す
ことにより、現像を行なったところ、」１記画像形成材
料が容易に剥がされて現像処理が達成できた。また、上
記ポリエステルフィルムが介在しているところより、約
１ｍの距離にあるパターンも画像として鮮明なものであ
った。
用の配線パターンをフォトマスクを介して露光した。こ
の露光後、画像形成材料の上記ポリエステルフィルムが
介在している端部を含む基板のコーナ一部より粘着テー
プを貼着しながら、この粘着テープを基板より引き剥す
ことにより、現像を行なったところ、」１記画像形成材
料が容易に剥がされて現像処理が達成できた。また、上
記ポリエステルフィルムが介在しているところより、約
１ｍの距離にあるパターンも画像として鮮明なものであ
った。
第１図は画像形成材料を基板に貼着する方法の説明図、
第２図はこの発明に係る剥離現像方法に適用された画像
形成材料の基板への貼着時の説明図である。 】・・・画像形成用基板、７・・・画像形成材料、ＩＯ
・・・非粘着テープ。 特許出願人 日東電気工業株式会社
第２図はこの発明に係る剥離現像方法に適用された画像
形成材料の基板への貼着時の説明図である。 】・・・画像形成用基板、７・・・画像形成材料、ＩＯ
・・・非粘着テープ。 特許出願人 日東電気工業株式会社
Claims (1)
- ＋１＋ 画像を形成すべき基板の表面に、光重合性組成
物層が透明支持体上に被着された画像形成材料を貼着し
て露光した後、上記支持体を光重合性組成物層の非露光
域とともに上記基板より剥離して画像を形成する剥離現
像方法において、上記画像形成材料を少なくとも基板の
一辺に沿った端部に非粘着テープを介在させながら上記
基板の主面に貼着し、露光を行なった後、上記支持体に
おける上記非粘着テープ介在端部を剥離開始端部として
基板から剥離することを特徴とする剥離現像方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845183A JPS6069651A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845183A JPS6069651A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069651A true JPS6069651A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16048745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17845183A Pending JPS6069651A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 剥離現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069651A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5531854A (en) * | 1994-12-01 | 1996-07-02 | Eastman Kodak Company | De-laminator apparatus and method |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17845183A patent/JPS6069651A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5531854A (en) * | 1994-12-01 | 1996-07-02 | Eastman Kodak Company | De-laminator apparatus and method |
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