JPS607007U - 平面度測定器 - Google Patents
平面度測定器Info
- Publication number
- JPS607007U JPS607007U JP9817083U JP9817083U JPS607007U JP S607007 U JPS607007 U JP S607007U JP 9817083 U JP9817083 U JP 9817083U JP 9817083 U JP9817083 U JP 9817083U JP S607007 U JPS607007 U JP S607007U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical surface
- surface plate
- measuring device
- measured
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の光学定盤を利用した物体表面の平面度測
定方法を示す模式図、第２図〜第５図は本考案に基づく
平面度測定器の一実施例を示す断面図である。 図において、１は光学定盤、２は被測定物の部品、３は
反射鏡、５は干渉光、６はケース、９は直角プリズム、
１０は反射鏡面をそれぞれ示す。
定方法を示す模式図、第２図〜第５図は本考案に基づく
平面度測定器の一実施例を示す断面図である。 図において、１は光学定盤、２は被測定物の部品、３は
反射鏡、５は干渉光、６はケース、９は直角プリズム、
１０は反射鏡面をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 物体の当該被測定面と光学定盤の測定表面とを接して発
生する光干渉による干渉縞の数を観測計数して前記被測
定面の平面度を測定するために、前記物体を前記被測定
面にてその上に載置する光学定盤と、前記光学定盤をそ
の上部において支持固定するケースと、前記光学定盤の
下方の前記ケースの下部に配設された光学的反射手段と
よりなる構成において、発生する干渉縞を前記光学定盤
を通して観測するような構造を有することを特徴とする
平面度測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9817083U JPS607007U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 平面度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9817083U JPS607007U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 平面度測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607007U true JPS607007U (ja) | 1985-01-18 |
Family
ID=30233199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9817083U Pending JPS607007U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 平面度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607007U (ja) |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP9817083U patent/JPS607007U/ja active Pending
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