JPS6070452A

JPS6070452A - 露光装置

Info

Publication number: JPS6070452A
Application number: JP58178305A
Authority: JP
Inventors: Keiichiro Sakado; 坂戸　啓一郎
Original assignee: Nikon Corp; Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1983-09-28
Filing date: 1983-09-28
Publication date: 1985-04-22
Also published as: JPH0423818B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の属する技術分野〕本発明に、ウェハ又はフォトマスク上にパターンを露光
する装置に関し、特に、その制御装置に関する。

〔発明の背景〕

近年、半導体素子、特にＩＣ製造においては、回路パタ
ーンの微細化が要求され、ウェハ上に１μｍ以下の線幅
を有するパターンを焼き付ける装置、いわゆる露光装置
も高精度な露光制御が望まれてきた。

一般に、ウェハ又はフォトマスクに回路パターンの像を
露光する露光装置は、ウニ・・上に塗布された感光材料
（フォトレジスト）に、常に一定の露光量を与えること
が望ましい。このような露光装置の概略を第１図に示す
。

第１図において、露光用の光源、例えは水銀ランプ１の
光が集光レンズ２によって集光された後、シャッターと
なる回転板６を介して、コ／デ／サーレンズ５、投影し
／ズ８をへて、ウエノ・９（フォトマスクでもよい。）
に至るような、投影式の露光装置を示す。（その他の方
式の露光装置でも同様である。）回転板６は、例えは４
分割して、遮光部と透過部を交互に設け、回転駆動機構
、例えはパルスモータ４によって回転され、ロータリー
シャッターとして働く。回路パターンを有するガラス基
板７（レティクルやフォトマスク）は、エンデンサーレ
ンズ５と投影レンズ８０間に配置され、ガラス基板７の
パターンがウエノ・９の上に結像する。又、光検出器６
は、光源の光強度を測定するような光電変換素子であり
、シャッターを経た光を測光し、その出力は露光制御の
ために使われる。このような装置では、機構上シャッタ
ーの開閉動作時間が長く、数ｍ５ｅｃ〜数１０ｍ５ｅｃ
に及ぶ。また、露光動作、に伴う光強度（検出器６で検
出した値、又はウェハ９上で測定した値）の変化を第２
図に示す。第２図で、横軸に露光時間、縦軸に光強度を
取り、台形状の折線ＡとＢは、光源のランプの劣化によ
るちがいを表わす。ランプが新しく、光強度が大きいと
、折ｉＡのように、またランプが劣化して光強度が小さ
いと折線Ｂのようになる。同、台形の上底部すなわちシ
ャッターの全開時の光強度をｌ、Ｎ　、　ＬＯとする。

このように、台形状の光強度特性を有するのは、シャッ
ターの開閉動作時間に基づいている。これは、第１図で
示したような回転板３が１／４回転する時間によって生
じるものである。回転板乙の遮光部が光をさえぎってい
る状態から回転板６が１／４回転して、光を完全に透過
する状態捷でにかかる時間（シャッター開放時間）は、
第２図では時間１．　１゜である。尚、回転板６の回転
開始時を１０としである。そして、時間ｔｊｉ　ｔｏが
経過後、回転板６を光が完全に透過する（このことを、
以後シャッター全開と呼ぶ。）ので、光強＃　ＬＮ　％
又はＬｏとして安定する。そして、所定の露光時間後、
すなわち時刻ｔｂ又は時刻ｔｄから回転板６が芒らに１
／４回転して、遮光部によって光がさえぎられる。光が
完全に遮光される時刻は、時刻１．又はｔｅである。尚
、シャッターの構造上開方動作時間と、開成動作時間は
ほぼ等し七ので、時間ｔｃ−Ｊ、と時間ｔｅ−ｊｄは共
に等しく、かつ時間１．１ｏともほぼ等しくなる。

この光強度特性に示したように、普通このような装置で
は、露光量を一定にするため、ランプの明るさに応じて
露光時間を変えている。そこで、従来の露光制御につい
て、第６図により説明する。

第６図において、光電検出器乙の先輩出力は増幅器１１
によって増幅された後、抵抗１２、コンデンサー１４、
増幅器１６による積分器に入力する。

積分器の出力が、露光量に比例した値、いわゆる光量積
分値である。との積分器の出力は、比較器１５によって
、あらかじめ定めた目標値（基準電圧）Ｅｓと比較され
る。一方、７リツプフロツプ回路１６は、露光動作の開
始時点でセットされ、ンヤツター駆動回路１７によって
、モーター等を駆動してシャッターを開く。シャッター
が開いり後、上述の如く光量積分値が基４電圧Ｅｓに達
すると、比較器１５の出力が反転してフリップフロップ
回路１６がリセットされる。このリセットによシ、駆動
回路１７は、モーター等をさらに回転して、シャッター
を閉じる。こうして、ランプの明るさが変わっても光量
積分値が、一定値になるように、シャッターは制御され
る。ここで、その時の露光量を第４図のグラフに示す。

第４図のグラフで横軸に第２図と同一の時間軸を取り、
縦軸に露光量、すなわち光量積分値を取る。露光開始時
１ｏから時刻１．までは、第２図のように、シャッター
の開放動作時間であシ、露光量はなだらかに上昇してい
く。時刻１ａから時刻ｔｂ、又は時刻ｔｄまでは、シャ
ッター全開期間である。尚、露光量ＡとＢは第２図で示
したように、光源の光強度が大きいときと、小さいとき
を示す。そして露光量Ａ、又はＢが目標値Ｅ１１に達す
ると、シャッター閉じ動作が始まる。

しかしながら、シャッターが完全に閉じるまでの時間ｔ
ｃ−ｔｂ、又はｔｅ−ｊｄにも、露光されることになシ
、その結果総露光量はＥｏ、又はＥｏ’となり、所定の
目標値Ｅｓよシも超過（Ｅｏ−Ｆｒｓ、又はＥｏ’　−
Ｅｓ）することになる。

光源の光強度が常に一定であれば超過分を予測して、総
露光量を決定できるが、実際には、ランプの劣化に伴い
光源の明るさは大きく変化する。

従って、第４図に示したように、時間ｔ（、−ｔｂと時
間ｔｏ　−ｔｄは同じでも、超過分は変化してしまう。

この超過分の変化（Ｅｏ　−Ｅｏ’　）は、光源の光強
度が小さく、露光時間が十分に長い場合には無視できる
。しかし、光源の光強度が大きくなり、全露光量中に占
める、７ヤツターの閉じ動作時間中の露光量の割合が大
きくなった場合、超過分の変化（’Ｅｏ　−Ｅｏ’　）
によるａ露光量の変動は重要な問題となる。一般に、露
光量の制御として、総露光量の変動は数多以下が必要と
されるが、上述の場合、従来のような装置では、超過分
に対する配慮がな窟れていないので、長期間に渡って、
安定した露光量を得ることができない欠点を有していた
。

〔本発明の目的〕

本発明の目的は、従来技術における欠点を解決し、光源
の光強度の変化にかかわらず、・常に一定の総露光量を
得ることのできる構成の簡単な露光装置を実現しようと
するものでめる。

〔本発明の概快〕

本発明に係る装−置は、光源からの光強度を露光用の第
１の光強度と、この光強度よシも低い第２の光強度とに
可変可能であって、光源からの光の透過及び遮断を行な
うシャッターの少なくとも閉成動作期間中、光源からの
光強度を第２の光強度になるように制御する手段を設け
た点にひとつの特徴カニある。

〔実施例の説明〕

第５図は、本発明に係る装置の一例を示す構成ブロック
図である。この図において、１は光源で、例えば超高圧
水銀ランプが使用される。６は光源１からの光の強さを
検出する測光手段としての光七ノｔ　’ｔ’　；ｈ　ル
。光源１とこの光セッサ６との間、及びその周辺には図
示してないが第１図と同様に光の透過、遮断を行なうシ
ャッターとなる回転板を含む光学系が設置されている。

１１は光センサ６からの信号を増巾する増巾器、２０は
ＰｆＪ１１］器１１のアナログ出カ侶号ｓ１を周波数信
号Ｓ２に変換する電圧周波数変換器、２１は周波数信号
Ｓ２を計数するカウンタである。

２３は露光目標値Ｅｏが設定、記憶されているレジスタ
、２６はレジスタ２２がらの信号とカウンタ２１からの
信号Ｓ、とを比較する比較器で、カウンタ２１からの露
光量に対応した信号Ｓ、が目標値ＫＯに達すると一致信
号へを出力する。２４はフリップフロップ回路で、トリ
ガ信号によってセットされ、比較器２６からの一致信４
＋８４によってリセットされる。２５は光源１の電源回
路で、フリップフロップ回路２４からＱ信号及びモノマ
ルチ２６を介して可信号を入力し、これらの信号によっ
て電源回路２５の動作を制御している。なお、モノマル
チ２６は、シャッタ閉成時間に比例したパルス巾の信号
を出力する。２７はトリガ信号と比較器２３からの一致
信号を入力するパルスモータ４のドライブ回路である。

パルスモータ４は、図示してないシャッターに連結して
おり、ドライブ回路２７から出力されるドライブ・パル
スによってシャッターを９０°回転させる。

第６図は、第５図ブロック図において、光源１のｔ源回
路２５の一例を示す接続図である。ここでは光源１とし
、て水銀ランプを用いる場合を想定している。この図に
おいて、１００は一次コイルが商用電源ＡＣに接続され
た変圧器、１０１は全波整流回路、１０２は平滑用コン
デンサで、ここに平滑された直流出力が得られる。１０
６は光源１に供給する電流を制御するシリーズトランジ
スタ、１ｏ４は光源１に流れる電流■を検出するプリー
タ抵抗で、ここに生ずる電圧は増巾器１０５で増巾され
乗算器１０６の一方の入力端に印加されている。ｒＩ＋
ｒ２は光源１に印加される電圧Ｖｐを検出する分圧器で
、この分圧電圧は乗算器１０６の他方の入力端に印加さ
れている。

乗ＸＥ器１０６は、そこに入力芒れる電とＬＩと印加電
圧Ｖｐに対応した信号と７乗算し、光源１に供給される
電力Ｐｗに関連した信号を出力する。

１０８は第５図に示したフリップフロップ回路２４及び
モノマルチ２６から出力される信号Ｑ、Ｓ５を入力する
ｋＷ回路で、Ｑ、Ｓ、の信号レベルに応じて、各スイッ
チに、　、　Ｋ、　、　Ｋ、を第１表に示すように駆動
する。

第　１　表各スイッチに１．　Ｋ、　、　Ｋ、はそれぞれ、光源１
に供給する電力に対応した各目標値ＥＩ　＋　”ｔ　＋
　ＥＳが接続されている。ここで、各目標値ＥＩ　＋　
Ｅ２　＋　’ｋＪｓは、光源１に対してｇ２表に示すよ
うな電力を供給するようにその値が選定されている。

第　２　表同、通常パワーとは水銀ランプの定格電力のことを表わ
し、バ「７−アップとは定格電力の２倍程度、パワーダ
ウンとは、ここでは定格電力の１／２程度の電力を表わ
すものとする。１０７は誤差増巾器で、一方の入力端に
乗算器１０６からの信号が印加され、他方の入力端にス
イッチに１〜に、のいずれかを介して目標値Ｅ１〜Ｅ、
のいずれかが印加されておシ、この誤差信号に応じてシ
リーズトランジスタ１０６によｐ供給′電力を制御する
。

このように構成した装置の動作を、次に第７図及び第８
図の動作波形図をｉ照しながら説明する。

はじめに、第７図（イ）に示すように、フリップフロッ
プ回路２４及びドライブ回路２７に、シャッター開を示
すトリガ信号が時間ｔ。の時点で印加されたものとする
。これによって、フリップフロップ回路２４の出力Ｑ、
Ｑは第７図←）、（ハ）に示すように、また、モノマル
チ２６の出力はＧ−１９に示すように変化する。これに
よって、電源回路２５は、第６図においてスイッチに２
がオンとなり、光源１に目標値Ｅ２に対応してパワーア
ップする電力Ｉ。を第７図（ト）に示すように供給する
。一方、ドラ・［プ回路２７は、パルスモータ４に第７
図（へ）に示すように回転板を９０’回転させ°、シャ
ッタを開にするに必要なパルスを送出する。

第８図（イ）は、光源１の光強度、（ロ）はウェハ（第
１図に符号９で示す）上に照射される光強度、（ハ）は
露光量を示す波形図である。

（イ）に示す光源１の光強度は、第７図（ト）に示す供
給′電力に対応して変化する。すなわち、トリガ信号が
印加された時点ｔｏから、露光用の第１０光強腿Ｐｏに
維持される。　←）に示すウェハ上に照射される光強度
は、シャッタ開成動作とともに図示するように徐々に大
きくなり、シャッタが全開した時点ｔ、で一定となる。

また、（ハ）に示す露光量は、←）に示すウェハ上の光
強度を積分したものであって、時点勧からｔ１′！ｌ：
では緩やかに、ｔｌからｔ２′１ではやや急となって増
大する。

第５図において、カウンタ２１は印加される周波数信号
島を計数することによって第８図（ハ）に示す露光量を
めるもので、これがレジスタ２２に設定されている露光
目標値に達した時点ｔ２で、比較器２６から第７図に）
に示すように一致信号Ｓ４が出力される。この一致信号
Ｓ４は、フリップフロップ２４の出力信号Ｑ、司を第７
図（ロ）、（ハ）に示すように、またモノマルチ２６の
出力信号Ｓ、を第７図（ホ）に示すように変化させ、こ
れによシ、電源回路２５は、光源１の供給電力を（ト）
に示すようにＩＣに変化させ、光源１の光強度を第８図
（−ｒ）に示すように第１光強度Ｐｏよシも低い第２の
光強度Ｐｃになるように制御する。すなわち第６図にお
いて、スイッチに３がオンとなシ、目標値Ｅｓが誤差増
巾器１０７の子端に印加され、前記したような制御が行
なわれる。一致信号へは、同時にドライブ回路２７に印
加され、第７図（へ）に示すようにドライブノくルスを
ステップモータ４に印加し、これによって７ヤツタは閉
成動作を行ない、ｔ、の時点でシャッタ閉成動作が完了
する。このシャッタ閉成動作時（ｔ２からｔ３の期間）
においては、ウエノ・に到達する光の強度は、第８図（
ロ）に示すようにｔ２の時点でも極めて小さい。これは
、光の１の光強度が、この時点でＰＯからＰｃに低下し
ているためである。従って、露光量は、第８図（ハ）に
示す通りとなり、シャッタ閉成後（ｔｓＯ時点）の総露
光量はＥＯ′で、露光量の変動中はＥｏ’　Ｅｏと、第
４図に示す従来技術に比べて゛小さくすることができる
。

シャツタ閉１成後（ｔｓの時点以後）は、電源回路２５
は、スイッチに１がオンとなシ目標値Ｅ１が印加されて
、光源１に第７図（ト）に示すように定格電力ＩＮが供
給され、光源１の光強度は第８図（イ）に示すようにＰ
Ｎで維持される。

なお、光源１に超高圧水銀灯を使用する場合、定格電力
で点灯した後、供給電力を低下させると、管内の水銀蒸
気圧が低下し消灯する心配があるが、本発明においては
、シャッタの閉成動作時間が、数ｍＩ＋から数１０ｍ５
程度の短かい時間であり、この程度の短時間、供給電力
を定格電力の１／２〜１／６に低下ぢせても直ちに消灯
することなく、動作上＋’ｉ＋５題ない。また、水銀放
電灯はバ「７−アップやパワーダウンの応答が早く通常
１〜２にｎｓ程度でるり、ツヤツタ−の作動時間よりも
十分に高速である。

第９図は本発明ｒ適用した露光装置の一例を示す構成ブ
ロック図である。この図において、６０は第５図に示す
蕗元制、御部であり、ＣＰＵからトリガ信号を受け、ま
た、ＣＰＵに、シトツタ６の閉成の開始を示すイぎ号Ｓ
、　（第７図（ホ）参照）を出力している。ウェハやマ
スク等の感光基板９は、２次元に移動するステージ１０
に載置されている。

ステージ１０は、例えばモータを含んで構成されている
ステージ駆動部３２により、ＣＰＵ６１から送られてく
る駆動データＤ２に応じて２次元移動する。このステー
ジ１ｏの２次元的な位置は、座標測定手段６６によって
検出され、その座標データＤ、はＣＰＵ３１に読み込１
れる。

この、装置の動作を次に第１０図のフローチャートを参
照しながら説明する。ＣＰＵ３１け、はじめに第１０図
のステップ２００に示すように、駆動データＤ２をステ
ージ駆動部３２に出力し、ステージ１０を移動させて、
ウェハ９をはじめのショット位置にセントさせる。この
セット位置は、座標測定手段６６で検出され、その座標
データＤＩがステップ２０１でＣＰＵ３１に読み込まれ
、ステップ２０２で、ＤＩ＝Ｄ２であるか否が、即ち目
標とするショット位置であるか否が判断し、Ｄ、＝Ｄ２
となった時、ステップ２０６で、ステージを停止さ、？
る。続いて、ステップ２［Ｊ４で、トリガ信号を露光ｉ
１＋ｌｌ　＃手４６１０に出力し、ステップ２０５で、
シャッタ６の閉成開始を示す信号Ｓ、が「Ｈ」レベルと
なったが否かを判断する。シャッタ６の閉成が開始され
るト、即チＳ、がｒＨＪレベルとなると、ステップ２０
６において、タイマールーチンに人シ、一定時間（第７
図、８ｇ８図において、稲からｔ３をすぎ、次のステッ
ピング開始までの時間）経過後、ステップ２０７に移）
、ここでウェハ９上にＮ回の繰返し露光を完了したか否
か判断し、Ｎ回に達してないときは、ステップ２００に
進み、ステージ１ｏのステッピングを再び開始する。ス
テップ２０７において、Ｎ回に達しだと判断された時、
終了する。

なお、第１０図のフローチャートにおいて、ステップ２
０６は、パワーダウン時の光強度を７ヤツタ一閉成動作
時間中、ウェハ９のフォトレジス）　−を感光させない
程度に低下できないならば、必ずしも必要でない。

第１１図は、従来装置と本発明装置とにおける露光とス
テージ１Ｄ１］御の様子を示す動作波形図である。従来
゛装置（（イ）、（ロ））においては、（ロ）に示すよ
うにステージ制御が停止し、ウェハが所定位置に到達し
て露光が（イ）に示すように実施され、露光が完全に終
了した時点（シャッタが完全に閉成された時点）で、ス
テッピングが開始し、次の露光位置に向かってウェハが
移動する。

これに対して、本発明装置（（ハ）、に））においては
、ステージ制御が停止し、露光が実施される点は従来装
置と同じであるが、シャッタ開成時において、閉成動作
期間中の露光量はｅ）に示すように著しく少なくなるの
で、シャッタ閉成動作の途中からに）に示すようにステ
ッピング開始を開始させることができる。従って、本発
明に係る装置によれば、１回の露光工程で、Δを時間だ
けＬ光時間を短縮することができる。よって、ウェハ上
にＮ回の露光を実施する場合、１枚のウェハの処理時間
を△ｔＸＮだけ短縮することがてきる。

したがって、ステップ・アンド・リヒート方式の露光装
置においては、シャッター閉成動作期間中に、パワーダ
ウンする光強度會なるべく小さくすることによって、総
合的にスループットが向上する。特にウェハが大口径と
なり、ウェハ上のチップ数が増大した場合には極めてＭ
利でりる。尚、水銀放電灯以外の光源を用いて、パワー
タウン時に光強度を零まで低下させることがでされば、
尚好都合でるる。

また、本発明は適正露光量の正確な制御という点で、ス
テップ・アンド・リピート方式以外の露光装置に利用で
きることは言うまでもない。

ぐらに、上記各実施例で、光源の光強度は６段階に変化
でせたが、必らずしもその必要はなく、シャッターの閉
成中、全開中に渡って一定の光強度とし、シャッターの
開成動作期間中だけパワータウンさせる」：うな構成と
しても同様の効果が得られる。尚、本実施例においては
、光センサ６によってシャッター６の通過光を測光する
ことによって、常に適正露光量でシャッター６が閉じ始
めるように？１ＩＩＩ御した。

ところが元諒の光強瓜に経時的な変化が少ない場合は、
必らずしも露光のたびに測光する必要はない。例えば光
センサ６をシャッター６とは熱間Ｑに當に光ｒｊ、７１
）らの光を受光するように構成しておけは、路光開始前
にシャッター６が開くべき時同間隔はめておくことがで
きる。すなわち、シ・ヤソター６の開放動作期ＥｉＪ中
の露光量と、シャッター６の全開期間中の露光量との和
が適正露光量になるようにシャッター３の全開時間を逆
算する。

その時間だけシャッター６を全開した後、閉成信号（一
致信号Ｓ４）に応答してシャッター６を閉じ始めると共
に、光源のパワーダウンを行なうようにしてもよい。

そして、例えば一枚のウェハを露光する間は、常にその
逆算された全開時間に従ってシャッター３を制御し、ウ
ェハを交換して次のウェハを露光する際に、光源の光強
度を再測光して、新たな全開時間を算出するようにして
もよい。

この場合、第５図の回路において、レジスタ２２には逆
算された全開時間とシャッター６の開放動作時間との和
の時間に対応した値がセットされ、カウンタ２１はシャ
ッター６の開放開始から一定の時間間隔で発生するクロ
ックパルスを計斂し始めるように構成される。

このようなレジスタ２２への値のセットは、第９図に示
したＣＰ’Ｕ３１にょシ行なってもよいし、又光源の光
強度が常に一定ならば、手動にょ夛セットしてもよい。

同、その際、光センサ６の光電信号はアナログ−デジタ
ル変換器、いわゆるＡ／Ｄコンバータによって検出して
適宜ＣＰＵ３１に読み込むようにするとよい。

葦だ、本実施例ではシャッター６の開放開始に−応答し
て光源１の光強度をアップするようにしだが、光強度を
ｐＮからＰＯに”アップするタイミングはシャッター６
の開放開始の前でもよいし、開放開始信号（トリ力）が
発生してから、シャッター６が回転し始める゛までのタ
イムラグの間にｐＮからＰＯにアップしてもよい。

〔本発明の効果〕

以上説明したように、本発明に係る装置によれば、７ヤ
ソタ閉成動作中、光源の光強度を大巾に低下させ、超過
露光量分が生じないようにしたもので、総１１’ｆ、光
：ｔ９．　ｋ　ｉＥ確に制御することができる。

また、全体の露光に要する処理時Ｉｉ：ｉＩを短縮する
こともできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は露光装置の概略を示す構成図、第２図は露光時
間と光強度変化を示す図、第６図は従来装置における露
光制御回路の要部のブロック図、第４図は第６図におけ
る露光時間と露光量を示す線図、第５図は本発明に係る
装置の一例を示す構成ブロック図、第６図は光源の電源
回路の一例を示す接続図、第７図及び第８図はその動作
波形図、第９図は本発明を適用した露光装置の構成ブロ
ック図、第１０図はその動作を示すフｊノーチャート、
第１１図は従来装置と本発明装置における露光とステー
ジ制御の様子を示す動作波形図である。１・・・光源　３・・・シャッタ　９・・・ウェハ６・
・・光センサ　２５・・・電源回路代理人　弁理士　木
　村　三　朗山田１）□ ―厭ｌ１ｌｌＩＩ１士５図ｑ、ｔ６叉、ｔ′７図（イ）トリガ°　−−」を−一一一一−−−−−−−−
−−−（ロ）　α　−一−１−−−−−−−−−−−１
−−−−−−−弘１ａ　：　’−−−− オ８図 −ｐｎ大１０図才１１囚ｔｏで＋　ｂｔ３手続補正書（自発）昭和５８年１１月２２日特許庁長官殿１　事件の表示特願昭５８−１７８３０５号２　発明の名称露光装置３　補正をする者事件との関係　特許出願人名　称　（４１１１日本光学工業株式会社４代理人〒１０５　東京都港区虎）門−丁目２１番１９号５補正
の対象（１）　明細書の、特許請求の範囲の欄の記載を別紙の
とおり補正する。（２）　明細書を次のとおり補正する。特許請求の範囲（補正）（１１光源からの光をシャッタを介して感光基板に照射
させ当該感光基板に所定の露光量を与えるようにした露
光装置において、前記シャッタの開放及び閉成を制御す
るシャッタ制御回路と；前記光源の光強度を前記シャッ
タの開成動作開始前までは露光用の第１の光強度とし、
少なくとも前記ンヤッタ閉成動作期間中は前記第１の光
強度よりも低い第２の光強度となるように制御する光源
制御回路とを設けｔコことを特徴とする露光装置。（２）　感光基板は、シャッタの閉成動作期間中にステ
ージによって歩進を開始する特許請求の範囲第１項記載
の露光装置。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光源からの光をシャッタを介して感光基板に照射
させ轟該感光基板に所定の露光量を与えるようにした露
光装置において、前記シャッタの開放及び開成を制御す
るシャッタ制御回路と；前記光源の光強度を前記シャッ
タの開成動作開始前までは露光用の第１の光強度とし、
少なくとも前記シャッタ開成動作期間中は前記第１の光
強度よシも低い第２の光強度となるように制御する光臨
制御回路とを設けたことを特徴とする露光装置。
（２）感光基板はシャッタの開成動作期間中にステージ
によって歩進を開始する特許請求の範囲第１項記載の露
光装置。