JPS6070810A - 縦振動型圧電振動子 - Google Patents
縦振動型圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6070810A JPS6070810A JP17884183A JP17884183A JPS6070810A JP S6070810 A JPS6070810 A JP S6070810A JP 17884183 A JP17884183 A JP 17884183A JP 17884183 A JP17884183 A JP 17884183A JP S6070810 A JPS6070810 A JP S6070810A
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- JP
- Japan
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- vibration
- piezoelectric vibrator
- type piezoelectric
- support
- vibration type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0595—Holders or supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は縦振動をする主振動部と該主振動部を支持する
音叉形状の支持体とを７ｎ■−エツチング加工により一
体で形成して成る縦振動型圧電振動子に関する。
音叉形状の支持体とを７ｎ■−エツチング加工により一
体で形成して成る縦振動型圧電振動子に関する。
本発明の目的は、高安定な性能を持ぢ、且つ小型、低価
格な縦振動型圧電振動子を提供することにある。
格な縦振動型圧電振動子を提供することにある。
本発明の縦振動型圧電振動子の基本的な構成として、特
開昭５７−１３８２１２号を従来例として第１図に斜視
図で示す。第１図において本例は、水晶板から、縦振動
をする主振動部１と、該主振動部１の振動変位の最も小
さくなる位置に該主振動部１の幅方向に設けられた支持
連結部２ａ、２ｂの両端から延長されている支持腕部５
ａ、３ｂｚ支持基部４とが、フォトエツチング加工によ
り一体で形成されている。水晶板は光軸２に対し、はぼ
垂直に切り出され、主振動部１は機械軸Ｙに沿って配置
ｎされ、電極構造においては、主？１ｒ、極５′ａ、５
′ｂが主振動部１の側面に形成されており、該支持連結
部２ａ 、２ｂ上、該支持腕部３ａ、３ｂ上と接続し、
さらに支持基部４」−の外部接続電極６’ａ、６’ｂに
継ぐ対称構造となっており、該外部接続電極６’ａ、６
’ｂにて固定部利７に導電暫の固着剤８ａ、８ｂによっ
て接続されている。
開昭５７−１３８２１２号を従来例として第１図に斜視
図で示す。第１図において本例は、水晶板から、縦振動
をする主振動部１と、該主振動部１の振動変位の最も小
さくなる位置に該主振動部１の幅方向に設けられた支持
連結部２ａ、２ｂの両端から延長されている支持腕部５
ａ、３ｂｚ支持基部４とが、フォトエツチング加工によ
り一体で形成されている。水晶板は光軸２に対し、はぼ
垂直に切り出され、主振動部１は機械軸Ｙに沿って配置
ｎされ、電極構造においては、主？１ｒ、極５′ａ、５
′ｂが主振動部１の側面に形成されており、該支持連結
部２ａ 、２ｂ上、該支持腕部３ａ、３ｂ上と接続し、
さらに支持基部４」−の外部接続電極６’ａ、６’ｂに
継ぐ対称構造となっており、該外部接続電極６’ａ、６
’ｂにて固定部利７に導電暫の固着剤８ａ、８ｂによっ
て接続されている。
本例の縦振動型圧電振動子は、主電極５′σ、５′ｂに
よる電界が水晶の電気軸Ｘに対して平行となることや、
音叉形状の支持体を有することから、良好な振動特性を
得られるという利点を有している０ ところで、一般的に縦振動型圧電振動子は主振動部の長
辺方向の伸縮に伴なって短辺方向の伸縮が生じるので、
本例のように、支持部材２、支持腕部３、支持基部４と
で構成する支持体６をセラミック等の剛体の固定部材７
に直接固定する構成においては、この短辺振動による支
持体部の振動が、直接容器（図示せず）Ｋ伝わってしま
い、本例の構成の利点である良好な振動特性を十分に生
かすことが困難となる。
よる電界が水晶の電気軸Ｘに対して平行となることや、
音叉形状の支持体を有することから、良好な振動特性を
得られるという利点を有している０ ところで、一般的に縦振動型圧電振動子は主振動部の長
辺方向の伸縮に伴なって短辺方向の伸縮が生じるので、
本例のように、支持部材２、支持腕部３、支持基部４と
で構成する支持体６をセラミック等の剛体の固定部材７
に直接固定する構成においては、この短辺振動による支
持体部の振動が、直接容器（図示せず）Ｋ伝わってしま
い、本例の構成の利点である良好な振動特性を十分に生
かすことが困難となる。
本発明は、以上に説明した従来の欠点を解消するもので
、その実施例を第２図に示す。同図において本発明は、
縦振動をする主振動部２０と該主振動部２０の振動変位
の最も小さくなる位置（はぼ中心）に該主振動部２０の
幅方向に対称構造で設けられた支持連結部２１と該支持
連結部２１の両端から前記主振動部２０の一方と平行に
延長して形成されている支持腕部２２と該支持腕部２２
と連結して該主振動部２０の一方を取り囲み音叉形状を
得る支持基部２３とからなる縦振動型圧電振動子２４と
、前記支持基部２３の底部から延長されて、前記縦振動
型圧電振動子２４を取り囲む、外部支持枠２５とを７オ
トエノチング加工により一体で形成したものである。
、その実施例を第２図に示す。同図において本発明は、
縦振動をする主振動部２０と該主振動部２０の振動変位
の最も小さくなる位置（はぼ中心）に該主振動部２０の
幅方向に対称構造で設けられた支持連結部２１と該支持
連結部２１の両端から前記主振動部２０の一方と平行に
延長して形成されている支持腕部２２と該支持腕部２２
と連結して該主振動部２０の一方を取り囲み音叉形状を
得る支持基部２３とからなる縦振動型圧電振動子２４と
、前記支持基部２３の底部から延長されて、前記縦振動
型圧電振動子２４を取り囲む、外部支持枠２５とを７オ
トエノチング加工により一体で形成したものである。
本発明による外部支持枠２５を設けた構成の縦振動型圧
電振動子を用いれば、主振動部２０から固定部材２６へ
の固着位置までの距離を長くすることが可能となり、主
振動部のｔｈｅ動による、支持体部への振動モレを、更
に減衰した位置で固定部材に固着できるため、振動モレ
が直接容器に伝わることを防ぐことができ、良好な振動
特性を得ることができる。更に、第６図に示す如く、水
晶あるいはガラス等の透明材料で作成した凹部ろ０を有
スる上ケース３１、セラミック等の不透明材料あるいは
水晶、ガラス等の透明材料で作成した四部ろ２を有する
下ケースろ６との間に、本発明の縦振動型圧電振動子６
４をはさみ込み・該上ケース３１、該縦振動型圧電振動
子３４、該下ケース５３の順に重ね合わせ、各々低融点
金属、接着剤等で固着した構成にすれば、従来品より厚
みにおいて、１／２〜１／ろと小型、薄型化を図ること
ができる。
電振動子を用いれば、主振動部２０から固定部材２６へ
の固着位置までの距離を長くすることが可能となり、主
振動部のｔｈｅ動による、支持体部への振動モレを、更
に減衰した位置で固定部材に固着できるため、振動モレ
が直接容器に伝わることを防ぐことができ、良好な振動
特性を得ることができる。更に、第６図に示す如く、水
晶あるいはガラス等の透明材料で作成した凹部ろ０を有
スる上ケース３１、セラミック等の不透明材料あるいは
水晶、ガラス等の透明材料で作成した四部ろ２を有する
下ケースろ６との間に、本発明の縦振動型圧電振動子６
４をはさみ込み・該上ケース３１、該縦振動型圧電振動
子３４、該下ケース５３の順に重ね合わせ、各々低融点
金属、接着剤等で固着した構成にすれば、従来品より厚
みにおいて、１／２〜１／ろと小型、薄型化を図ること
ができる。
本構成においては、封入後の周波数調整を行なう都合上
、上ケースろ１は透明材料を用いるが、これが不透明材
料、例えばセラミック、金属であっても、何ら発明の効
果を変えるものではない。
、上ケースろ１は透明材料を用いるが、これが不透明材
料、例えばセラミック、金属であっても、何ら発明の効
果を変えるものではない。
また同様に下ケースろ３においてもこれが水晶ガラス等
の透明材料であっても、又金属、セラミック等の不透明
材料であっても構わない。
の透明材料であっても、又金属、セラミック等の不透明
材料であっても構わない。
本発明の応用例を第４図に平面図で示す。４０は主振動
部・４１ａ、４１ｂは支持連結部・４２ａ、４２ｂは支
持腕部、４３は支持基部・４４゜４５は２重構造の外部
支持枠であり、フォトエツチング加工により一体で形成
しである。本発明は、支持連結部から固定部材との接合
部までの距離を長くすることによって、利点を生ずるた
め、外部支持枠が多ければ、効果は更に増す力；、実用
上番１１〜２重構造が適用される。尚フ第１・エソチン
ク゛加工の利点として、形状の複４１゛さ＆ｊ、 、
（ｌｔらｊｌｆｌ Ｉ ｆｆ１ｇを阻害するものではな
しλ。
部・４１ａ、４１ｂは支持連結部・４２ａ、４２ｂは支
持腕部、４３は支持基部・４４゜４５は２重構造の外部
支持枠であり、フォトエツチング加工により一体で形成
しである。本発明は、支持連結部から固定部材との接合
部までの距離を長くすることによって、利点を生ずるた
め、外部支持枠が多ければ、効果は更に増す力；、実用
上番１１〜２重構造が適用される。尚フ第１・エソチン
ク゛加工の利点として、形状の複４１゛さ＆ｊ、 、
（ｌｔらｊｌｆｌ Ｉ ｆｆ１ｇを阻害するものではな
しλ。
第１図は縦振動型圧電振動子の従夕（（グ１を示す余（
親図・ 第２図は本発明の実施例を示す平面図。 第ろ図（σ） 、 に） 、 （Ｃ）は本発明の一実施
例を示す宗［親図０ 第４図は本発明の応用例を示す平面図。 ２ｏ、４０・・・主振動部 ２１ 、４ ｌ ｂｌ 、 ４ ｌ ｂ−・−支持連糸
吉玲≦２２．４２ａ、４２ｂ＝支持腕部 ２３．４３・・・支持基部 ２５．３５，４４．４５・・・外部支持替ｆ２６・・固
定部材 ろ１・十ケース ３２・−下ケース ３６．３７・・・外部取出し電極 ＞７ 図 米２図
親図・ 第２図は本発明の実施例を示す平面図。 第ろ図（σ） 、 に） 、 （Ｃ）は本発明の一実施
例を示す宗［親図０ 第４図は本発明の応用例を示す平面図。 ２ｏ、４０・・・主振動部 ２１ 、４ ｌ ｂｌ 、 ４ ｌ ｂ−・−支持連糸
吉玲≦２２．４２ａ、４２ｂ＝支持腕部 ２３．４３・・・支持基部 ２５．３５，４４．４５・・・外部支持替ｆ２６・・固
定部材 ろ１・十ケース ３２・−下ケース ３６．３７・・・外部取出し電極 ＞７ 図 米２図
Claims (1)
- 縦振動をする主振動部と、該主振動部を支持する音叉形
状の支持体とを、フォトエツチング加工により一体で形
成し、主電極を該主振動部の側面に設けてなる縦振動型
圧電振動子の外側に・少なくとも１ケ所以上の連結部で
支持された外枠を形成し、該外枠は前記縦振動型圧電振
動子と同時に７オトエノチング加工により一体で形成さ
れていることを特徴とする縦振動型圧電振動子０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17884183A JPS6070810A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 縦振動型圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17884183A JPS6070810A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 縦振動型圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070810A true JPS6070810A (ja) | 1985-04-22 |
Family
ID=16055598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17884183A Pending JPS6070810A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 縦振動型圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070810A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63260312A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPS63302612A (ja) * | 1987-06-02 | 1988-12-09 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPS6416112A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-19 | Seiko Electronic Components | Longitudinal quartz oscillator |
| JPS6465913A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-13 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPS6465912A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-13 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPH01212011A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH01212013A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| US5059853A (en) * | 1987-06-02 | 1991-10-22 | Seiko Electric Components Ltd. | Longitudinal quartz crystal resonator |
| US5107164A (en) * | 1988-05-20 | 1992-04-21 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extentional quartz resonator |
| JP2012209957A (ja) * | 2003-08-19 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552621A (en) * | 1978-10-11 | 1980-04-17 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Vertical vibration-type piezo-vibrator |
| JPS55149519A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal resonator |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17884183A patent/JPS6070810A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5552621A (en) * | 1978-10-11 | 1980-04-17 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Vertical vibration-type piezo-vibrator |
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| JPH01212013A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| US5107164A (en) * | 1988-05-20 | 1992-04-21 | Seiko Electronic Components Ltd. | Length-extentional quartz resonator |
| JP2012209957A (ja) * | 2003-08-19 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子 |
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