JPS607138A - アルミニウムワイヤボンデイング用キヤピラリ - Google Patents
アルミニウムワイヤボンデイング用キヤピラリInfo
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- JPS607138A JPS607138A JP58114186A JP11418683A JPS607138A JP S607138 A JPS607138 A JP S607138A JP 58114186 A JP58114186 A JP 58114186A JP 11418683 A JP11418683 A JP 11418683A JP S607138 A JPS607138 A JP S607138A
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- capillary
- aluminum
- bonding
- aluminum wire
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
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- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
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- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5524—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising aluminium [Al]
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明はアルミニウムワイヤ又はアルミニウム合金ワイ
ヤをボンディングするためのアルミニウムワイヤボンデ
ィング用牛ヤピラリに関する。
ヤをボンディングするためのアルミニウムワイヤボンデ
ィング用牛ヤピラリに関する。
（発明の背景）
半導体装置の製造工程においては、ワイヤボンディング
によって回路素子の電極とリードとがワイヤで接続され
る。
によって回路素子の電極とリードとがワイヤで接続され
る。
ところで最近、かかるワイヤボンディングにおいで、経
済性及びボンディングの信頼性の点からワイヤにアルミ
ニウム又はアルミニウム合金が用いられつつある。この
ようなアルミニウムワイヤを対象としたものとしで、例
えば特開昭５１−１４７１７４号公報、特開昭５４−４
０５７０号公報、特開昭５５−１２３１９８号公報及び
特開昭５７−８９２３２号公報に示すものが知られてい
る。
済性及びボンディングの信頼性の点からワイヤにアルミ
ニウム又はアルミニウム合金が用いられつつある。この
ようなアルミニウムワイヤを対象としたものとしで、例
えば特開昭５１−１４７１７４号公報、特開昭５４−４
０５７０号公報、特開昭５５−１２３１９８号公報及び
特開昭５７−８９２３２号公報に示すものが知られてい
る。
これらの方法の一例を図ζこよって説明すると、キャピ
ラリ１ζこ挿通されたアルミニウムワイヤ２の下端付近
をノズル３１こより不活性ガスを噴出して不活性ガス噴
囲気にし、放電電極４とアルミニウムワイヤ２の先端間
に放電を生じさせてアルミニウムワイヤ２の先端ｌこボ
ール２ａを形成した後、ネイルヘッドワイヤボンディン
グ方法でワイヤボンディングを行う。
ラリ１ζこ挿通されたアルミニウムワイヤ２の下端付近
をノズル３１こより不活性ガスを噴出して不活性ガス噴
囲気にし、放電電極４とアルミニウムワイヤ２の先端間
に放電を生じさせてアルミニウムワイヤ２の先端ｌこボ
ール２ａを形成した後、ネイルヘッドワイヤボンディン
グ方法でワイヤボンディングを行う。
ところで、かかるアルミニウムワイヤ２のボンディング
においでは、主ワイヤの場合と同様に、キャピラ＋７１
の材質として耐久性及び品質面からセラミック、タング
ステン、チタンカーバイト等が一般に用いられでいる。
においでは、主ワイヤの場合と同様に、キャピラ＋７１
の材質として耐久性及び品質面からセラミック、タング
ステン、チタンカーバイト等が一般に用いられでいる。
しかしながら、アルミニウムワイヤのホ゛ンディ７り０
）場合には、前記したセラミック牛ヤピ５１Ｊ、タング
ステンキャピラリ、チタンカーバイトキャピラリでは、
ボール２ａ形成不良、圧着強度不良、ワイヤ接続不良及
びワイヤループ形状不良等が多発（７、連続運転ができ
なく、生産性が非常に悪いという欠点があった。そこで
、本発明者はこの原因を分析したところ、次のようなこ
とが判明した。
）場合には、前記したセラミック牛ヤピ５１Ｊ、タング
ステンキャピラリ、チタンカーバイトキャピラリでは、
ボール２ａ形成不良、圧着強度不良、ワイヤ接続不良及
びワイヤループ形状不良等が多発（７、連続運転ができ
なく、生産性が非常に悪いという欠点があった。そこで
、本発明者はこの原因を分析したところ、次のようなこ
とが判明した。
長時間使用したキャピラリには、そのキャピラリの材質
であるセラミック、タングステン、チタンカーバイトの
物質中にアルミニウムが入り込んでアルミニウムとの化
合物を作っている状態をこなっている。このようにアル
ミニウムがキャビ９１月こ入り込んでいるので、アルミ
ニウムワイヤの先端がキャピラリに付着し、キャピラリ
の下端にアルミニウムワイヤのテールがでできていなく
、ボールが形成されない。またアルミニウムワイヤがキ
ャピラリに付着し易いことζこより、圧着強度が弱く、
ひどい時はボンディングされたワイヤがはがれたりする
。またキャビ９１月と対するアルミニウムワイヤの滑り
が悪くなるので、正常なワイヤループが形成されない。
であるセラミック、タングステン、チタンカーバイトの
物質中にアルミニウムが入り込んでアルミニウムとの化
合物を作っている状態をこなっている。このようにアル
ミニウムがキャビ９１月こ入り込んでいるので、アルミ
ニウムワイヤの先端がキャピラリに付着し、キャピラリ
の下端にアルミニウムワイヤのテールがでできていなく
、ボールが形成されない。またアルミニウムワイヤがキ
ャピラリに付着し易いことζこより、圧着強度が弱く、
ひどい時はボンディングされたワイヤがはがれたりする
。またキャビ９１月と対するアルミニウムワイヤの滑り
が悪くなるので、正常なワイヤループが形成されない。
（発明の目的）
本発明の目的は、アルミニウムワイヤ又はアルミニウム
合金ワイヤのボンディングを良好に行うことができるア
ルミニウムワイヤボンディング用キャピラリを提供する
ことにある。
合金ワイヤのボンディングを良好に行うことができるア
ルミニウムワイヤボンディング用キャピラリを提供する
ことにある。
（発明の実施例）
本発明（才、キャピラリの材質としで、ルビー、サファ
イヤ等の宝石類を使用し、アルミニウムワイヤ又はアル
ミニウム合金ワイヤをボンディングすることを特徴とす
る。
イヤ等の宝石類を使用し、アルミニウムワイヤ又はアル
ミニウム合金ワイヤをボンディングすることを特徴とす
る。
このよう壷こ、ルビー、サファイヤ等の宝石類よりキャ
ピラリを用いてアルミニウムワイヤ又はアルミニウム合
金ワイヤをボンディングしたところ、長時間使用しても
キャピラリへのアルミニウムの付着は認められなく、キ
ャピラリの下端にアルミニウムワイヤのテールが正常に
突出しており、正常なボールが形成されると共に、圧着
強度も向上し、またワイヤ接続不良も防止された。また
アルミニウムワイヤは千ヤピラリζこ対しでスムーズに
滑り、ワイヤループも正常に形成された。これは前記し
た宝石類は表面が鏡面になっており、かつ結晶が緻密で
あるので、アルミニウムワイヤが付着するのを阻害する
と共に、アルミニウムが宝石の中に入り込みにくいため
である。
ピラリを用いてアルミニウムワイヤ又はアルミニウム合
金ワイヤをボンディングしたところ、長時間使用しても
キャピラリへのアルミニウムの付着は認められなく、キ
ャピラリの下端にアルミニウムワイヤのテールが正常に
突出しており、正常なボールが形成されると共に、圧着
強度も向上し、またワイヤ接続不良も防止された。また
アルミニウムワイヤは千ヤピラリζこ対しでスムーズに
滑り、ワイヤループも正常に形成された。これは前記し
た宝石類は表面が鏡面になっており、かつ結晶が緻密で
あるので、アルミニウムワイヤが付着するのを阻害する
と共に、アルミニウムが宝石の中に入り込みにくいため
である。
（発明の効果）
本発明によれば、ルビー、サファイヤ等の宝石類よりな
るキャピラリでアルミニウムワイヤ又はアルミニウム合
金ワイヤをボンディングするので、アルミニウムワイヤ
又はアルミニウム合金ワイヤがキャピラリに付着するこ
とが防止され、良好なボンディングが行える。
るキャピラリでアルミニウムワイヤ又はアルミニウム合
金ワイヤをボンディングするので、アルミニウムワイヤ
又はアルミニウム合金ワイヤがキャピラリに付着するこ
とが防止され、良好なボンディングが行える。
図はワイヤボンディングにおけるボール形成状態の一実
施例を示す説明図である。 １・・・キャピラリ、 ２・・・アルミニウムワイヤ、
２ａ・・・ボール、 ３・・・ノズル゛、４・・・電極
。 ５−
施例を示す説明図である。 １・・・キャピラリ、 ２・・・アルミニウムワイヤ、
２ａ・・・ボール、 ３・・・ノズル゛、４・・・電極
。 ５−
Claims (1)
- ルビー、サファイヤ等の宝石類よりなることを特徴とす
るアルミニウムワイヤボンディング用キャピラリ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58114186A JPS607138A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | アルミニウムワイヤボンデイング用キヤピラリ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58114186A JPS607138A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | アルミニウムワイヤボンデイング用キヤピラリ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607138A true JPS607138A (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=14631344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58114186A Pending JPS607138A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | アルミニウムワイヤボンデイング用キヤピラリ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607138A (ja) |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP58114186A patent/JPS607138A/ja active Pending
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